JPH01260350A - グリーンシート検査装置の吸着テーブル - Google Patents
グリーンシート検査装置の吸着テーブルInfo
- Publication number
- JPH01260350A JPH01260350A JP8979688A JP8979688A JPH01260350A JP H01260350 A JPH01260350 A JP H01260350A JP 8979688 A JP8979688 A JP 8979688A JP 8979688 A JP8979688 A JP 8979688A JP H01260350 A JPH01260350 A JP H01260350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- suction
- suction table
- inspection device
- exhaust hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、柔軟な未焼結セラミックス・プリント基板
（グリーンシート）の配線パターンの検査装置に使用す
る吸着テーブルに関するものである。
（グリーンシート）の配線パターンの検査装置に使用す
る吸着テーブルに関するものである。
［従来の技術］
最近における電子機器のプリント基板においては、ベー
ス材として従来のプラスチックスに代わってセラミック
スを使用するものがある。製造方法としては、焼結前の
柔軟な状態のセラミックスの薄板（グリーンシート）に
、配線パターンがプリントされる。配線パターンが検査
された後、焼結処理により硬化してセラミック・プリン
ト基板となる。
ス材として従来のプラスチックスに代わってセラミック
スを使用するものがある。製造方法としては、焼結前の
柔軟な状態のセラミックスの薄板（グリーンシート）に
、配線パターンがプリントされる。配線パターンが検査
された後、焼結処理により硬化してセラミック・プリン
ト基板となる。
従来、プラスチック・プリント基板の検査装置において
は、第３図（ａ）に示す吸着テーブルが使用されている
。図において、適当な厚さのステンレス・スチール板１
に排気孔１ａを多数貫通させたもので、この上に被検査
のプリント基板２が載置され、排気孔よりエアを吸引し
て吸着されるものである。いま、図（ｂ）のようにグリ
ーンシート３を上記の吸着テーブルに吸着させるときは
、シ−トは厚さ０．５〜１ｍｍの薄い柔軟なものである
ので、排気孔１ａの部分でエアに引かれて四面３ａを生
ずる。凹面により検査装置の光学系の焦点がボケるばか
りでな（、セラミックスは弾性係数が小さいので吸着を
解放した後においても凹面は復旧せず、焼結後も残存し
て電子部品の取り付は配線に支障する。また、プリント
基板用のセラミ、クスにはステンレスなどの粉末微粒子
が混入されており、柔軟な状態ではこの微粒子がエアに
より排気孔に吸い出されて基板の品質が低下する。
は、第３図（ａ）に示す吸着テーブルが使用されている
。図において、適当な厚さのステンレス・スチール板１
に排気孔１ａを多数貫通させたもので、この上に被検査
のプリント基板２が載置され、排気孔よりエアを吸引し
て吸着されるものである。いま、図（ｂ）のようにグリ
ーンシート３を上記の吸着テーブルに吸着させるときは
、シ−トは厚さ０．５〜１ｍｍの薄い柔軟なものである
ので、排気孔１ａの部分でエアに引かれて四面３ａを生
ずる。凹面により検査装置の光学系の焦点がボケるばか
りでな（、セラミックスは弾性係数が小さいので吸着を
解放した後においても凹面は復旧せず、焼結後も残存し
て電子部品の取り付は配線に支障する。また、プリント
基板用のセラミ、クスにはステンレスなどの粉末微粒子
が混入されており、柔軟な状態ではこの微粒子がエアに
より排気孔に吸い出されて基板の品質が低下する。
このような凹面ができないように、排気孔の直径を小さ
くするためには孔数の増加を必要とし、また直径が小さ
いと」上記の微粒子が孔に目詰まりして使用できない。
くするためには孔数の増加を必要とし、また直径が小さ
いと」上記の微粒子が孔に目詰まりして使用できない。
これに代わって、通気性のある多孔質のステンレス焼結
合金を使用する方法が知られている。ただし、ステンレ
ス焼結合金は強度が弱くて吸着エアの力により湾曲する
恐れがあるので、大きいサイズの基板に対しては、厚さ
をかなり大きくする必要があり、重量が過大となって取
り扱いが問題となる。そこで、この問題を解決した先行
技術が、この発明の出願人により「特願Ｇ２−２７８３
０８号、表面検査装置用シート吸着テーブル」により出
願されている。
合金を使用する方法が知られている。ただし、ステンレ
ス焼結合金は強度が弱くて吸着エアの力により湾曲する
恐れがあるので、大きいサイズの基板に対しては、厚さ
をかなり大きくする必要があり、重量が過大となって取
り扱いが問題となる。そこで、この問題を解決した先行
技術が、この発明の出願人により「特願Ｇ２−２７８３
０８号、表面検査装置用シート吸着テーブル」により出
願されている。
第４図（ａ）、（ｂ）は上記の既特許出願にかかる吸着
テーブルの構造を示すもので、ステンレス・スチール板
１に図示のような異形孔１ｂを多数貫通させて配列する
。合孔に、ステンレス焼結合金のシリンダ４を嵌入させ
、その表面をステンレス拳スチール板の表面と共仕上げ
研磨して吸着面としたものである。このような吸着テー
ブルでは、ステンレス焼結合金が一部のみに使用される
ので、強度を十分にとることができるとともに、四部を
生ずることなくグリーンシートを安定に吸着することが
できる。
テーブルの構造を示すもので、ステンレス・スチール板
１に図示のような異形孔１ｂを多数貫通させて配列する
。合孔に、ステンレス焼結合金のシリンダ４を嵌入させ
、その表面をステンレス拳スチール板の表面と共仕上げ
研磨して吸着面としたものである。このような吸着テー
ブルでは、ステンレス焼結合金が一部のみに使用される
ので、強度を十分にとることができるとともに、四部を
生ずることなくグリーンシートを安定に吸着することが
できる。
［解決しようとする課題］
しかしながら、上記の既特許出願にかかる吸着テーブル
はステンレス拳スチール板に異形な孔を多数設けて、そ
れぞれにステンレス焼結合金ノシリンダを嵌入させるた
めに、工作はかならずしも容易ではなく費用も大きい。
はステンレス拳スチール板に異形な孔を多数設けて、そ
れぞれにステンレス焼結合金ノシリンダを嵌入させるた
めに、工作はかならずしも容易ではなく費用も大きい。
さらに、ステンレス焼結合金には粘性があるため加工の
際にいわゆるパリを生じて、これが多孔質の微小孔を目
詰まりして吸着力が劣化する欠点がある。
際にいわゆるパリを生じて、これが多孔質の微小孔を目
詰まりして吸着力が劣化する欠点がある。
この発明は、上記の吸着テーブルより工作が容易で、ま
た目詰まりによる吸着力が低下する欠点のない材料とし
て、多孔体アルミナセラミックスを使用したグリーンシ
ートに対する吸着テーブルを提供することを目的とする
ものである。
た目詰まりによる吸着力が低下する欠点のない材料とし
て、多孔体アルミナセラミックスを使用したグリーンシ
ートに対する吸着テーブルを提供することを目的とする
ものである。
［課題を解決するための手段］
この発明は、グリーンシートの検査装置に使用する吸着
テーブルであって、多孔体アルミナセラミックスの粒子
を焼結して、一定の厚さの方形の吸着体を形成し、その
表面を研磨してプリント基板を吸着する吸着面とし、吸
着体の裏面に、プリント基板を吸着するエアの排気孔を
有する支持板を固定して構成される。
テーブルであって、多孔体アルミナセラミックスの粒子
を焼結して、一定の厚さの方形の吸着体を形成し、その
表面を研磨してプリント基板を吸着する吸着面とし、吸
着体の裏面に、プリント基板を吸着するエアの排気孔を
有する支持板を固定して構成される。
上記の支持板は、その上面に吸着体を接着して補強する
支持梁を具備し、支持梁に設けたｔＪ１気孔よりの吸着
エアを集約して、底面の排気孔より外部に排出するもの
である。
支持梁を具備し、支持梁に設けたｔＪ１気孔よりの吸着
エアを集約して、底面の排気孔より外部に排出するもの
である。
［作用］
上記の構成による、この発明によるプリント基板検査用
吸着テーブルにおいては、吸着体として多孔体アルミナ
セラミックスが使用される。このものは、高純度のアル
ミナセラミックスの粒子に適当な助剤を混合して焼結す
ることにより、吸着テーブルに必要な、例えば６０〜１
００μｍの直径の微小孔が連続した、多孔質の吸着体か
えられる。これは容易に研磨でき、吸着テーブルに必要
な良好な平面度に仕−Ｅげられる。また、研磨の際、セ
ラミックスに特有な低粘度のために、研磨ズリはサラサ
ラしているので、洗浄により流されて、多孔質の孔に目
詰まりすることがなく、吸着力の低下の恐れがない。た
だし、多孔体アルミナセラミックスは、硬度は適当であ
るが、弾性が弱くて脆弱であるので支持板の支持梁によ
り補強する。
吸着テーブルにおいては、吸着体として多孔体アルミナ
セラミックスが使用される。このものは、高純度のアル
ミナセラミックスの粒子に適当な助剤を混合して焼結す
ることにより、吸着テーブルに必要な、例えば６０〜１
００μｍの直径の微小孔が連続した、多孔質の吸着体か
えられる。これは容易に研磨でき、吸着テーブルに必要
な良好な平面度に仕−Ｅげられる。また、研磨の際、セ
ラミックスに特有な低粘度のために、研磨ズリはサラサ
ラしているので、洗浄により流されて、多孔質の孔に目
詰まりすることがなく、吸着力の低下の恐れがない。た
だし、多孔体アルミナセラミックスは、硬度は適当であ
るが、弾性が弱くて脆弱であるので支持板の支持梁によ
り補強する。
グリーンシートを吸着したエアは支持梁の排気孔を通っ
て、底面の共通排気孔に集約されて外部に排出されるも
のである。
て、底面の共通排気孔に集約されて外部に排出されるも
のである。
［実施例］
第１図は、この発明によるグリーンシート検査装置の吸
着テーブルの実施例において、吸着体の形成工程を説明
するものである。金属板５の上に、被検査のグリーンシ
ートに見合った面積をアングル材で囲んだ枠６を固定し
、その中に高純度のアルミナセラミックスの粒子に適当
な助剤を混合して粘土状とした素材７を充填し、これを
炉中で焼結して硬化させる。この場合助剤の成分を適当
に選定して所定の温度、時間で焼結することにより、吸
着に必要な平均気孔径として６０〜１００μｍ１有効気
孔率として５〜１０％のものかえられる。
着テーブルの実施例において、吸着体の形成工程を説明
するものである。金属板５の上に、被検査のグリーンシ
ートに見合った面積をアングル材で囲んだ枠６を固定し
、その中に高純度のアルミナセラミックスの粒子に適当
な助剤を混合して粘土状とした素材７を充填し、これを
炉中で焼結して硬化させる。この場合助剤の成分を適当
に選定して所定の温度、時間で焼結することにより、吸
着に必要な平均気孔径として６０〜１００μｍ１有効気
孔率として５〜１０％のものかえられる。
次に、その表面を研磨して必要な平面度、例えば２μｍ
の吸着面の吸着体８ができ上がる。
の吸着面の吸着体８ができ上がる。
第２図は、この発明のグリーンシート検査装置の吸着テ
ーブルの実施例における組み立て図で、１−記した方法
により製造された吸着体８を枠６とともに、支持板９に
固定しその表面を吸着面とする。支持板には上部に格子
状の支持梁９ａを設け、その上面を吸着体に接着して補
強する。支持梁には排気孔１０ａを横方向に貫通し、吸
着体の連続した微小孔よりの吸着エアを矢印のように集
約して、底板の適当な箇所に設けられた共通排気孔１０
ｂより外部に排出される。
ーブルの実施例における組み立て図で、１−記した方法
により製造された吸着体８を枠６とともに、支持板９に
固定しその表面を吸着面とする。支持板には上部に格子
状の支持梁９ａを設け、その上面を吸着体に接着して補
強する。支持梁には排気孔１０ａを横方向に貫通し、吸
着体の連続した微小孔よりの吸着エアを矢印のように集
約して、底板の適当な箇所に設けられた共通排気孔１０
ｂより外部に排出される。
［発明の効果コ
以］二の説明により明らかなように、この発明によるグ
リーンシート検査装置の吸着テーブルにおいては、吸着
体を構成する多孔質材料として、多孔体アルミナセラミ
ックスをベースとするもので、従来のステンレス・スチ
ール板の場合のごと（多数の孔加工が不要なために製作
費用が低減され、またステンレス焼結合金のごとく研磨
の際の目詰まりによる吸着力の低下がない。ただし、多
孔体アルミナセラミックスは硬度は大きいが、反面脆弱
であるので支持板により補強するとともに、これに排気
孔を設けて、吸着エアを排出するもので、簡易な構成に
より製作容易であり、柔軟なグリーンシートを安定に吸
着できる効果には勝れたものがある。
リーンシート検査装置の吸着テーブルにおいては、吸着
体を構成する多孔質材料として、多孔体アルミナセラミ
ックスをベースとするもので、従来のステンレス・スチ
ール板の場合のごと（多数の孔加工が不要なために製作
費用が低減され、またステンレス焼結合金のごとく研磨
の際の目詰まりによる吸着力の低下がない。ただし、多
孔体アルミナセラミックスは硬度は大きいが、反面脆弱
であるので支持板により補強するとともに、これに排気
孔を設けて、吸着エアを排出するもので、簡易な構成に
より製作容易であり、柔軟なグリーンシートを安定に吸
着できる効果には勝れたものがある。
第１図は、この発明によるグリーンシート検査装置の吸
着テーブルの実施例における、吸着体の形成工程の説明
図、第２図はこの発明によるグリーンシート検査装置の
吸着テーブルの実施例における組み立て構造図、第３図
（ａ）および（ｂ）はプラスチック・プリント基板用の
吸着テーブルの構造図、第４図（ａ）および（ｂ）は、
既特許出願にかかる先行技術のグリーンシートの吸着テ
ーブルの構造図である。 １…ステンレス・スチール板、 １ａ・・・排気孔、 １ｂ・・・穴形孔、２・
・・プラスチック・プリント基板、３・・・グリーンシ
ート、 ４・・・ステンレス焼結合金のシリンダ、５・・・金属
板、 ６・・・枠、７・・・アルミナセラミッ
クスの素材、８・・・吸着体、 ９・・・支持
板、９ａ・・・支持梁、 ９ｂ・・・底面、１０
ａ・・・排気孔、ＩＯｂ・・・共通排気孔。 第２図
着テーブルの実施例における、吸着体の形成工程の説明
図、第２図はこの発明によるグリーンシート検査装置の
吸着テーブルの実施例における組み立て構造図、第３図
（ａ）および（ｂ）はプラスチック・プリント基板用の
吸着テーブルの構造図、第４図（ａ）および（ｂ）は、
既特許出願にかかる先行技術のグリーンシートの吸着テ
ーブルの構造図である。 １…ステンレス・スチール板、 １ａ・・・排気孔、 １ｂ・・・穴形孔、２・
・・プラスチック・プリント基板、３・・・グリーンシ
ート、 ４・・・ステンレス焼結合金のシリンダ、５・・・金属
板、 ６・・・枠、７・・・アルミナセラミッ
クスの素材、８・・・吸着体、 ９・・・支持
板、９ａ・・・支持梁、 ９ｂ・・・底面、１０
ａ・・・排気孔、ＩＯｂ・・・共通排気孔。 第２図
Claims (2)
- （１）柔軟な未焼結セラミック・プリント基板（以トグ
リーンシートという）の検査装置において、多孔体アル
ミナセラミックスの粒子を焼結して、一定の厚さの方形
の吸着体を形成し、該吸着体の表面を研磨して上記グリ
ーンシートを吸着する吸着面と、該吸着体の裏面に、吸
着エアの排気孔を有する支持板を固定して構成されたこ
とを特徴とする、グリーンシート検査装置の吸着テーブ
ル。 - （２）上記支持板は、上面に上記吸着体を接着して補強
する支持梁を具備し、該支持梁の排気孔よりの吸着エア
を集約して底面に設けた共通排気孔より外部に排出する
、請求項１記載のグリーンシート検査装置の吸着テーブ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8979688A JPH01260350A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | グリーンシート検査装置の吸着テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8979688A JPH01260350A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | グリーンシート検査装置の吸着テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260350A true JPH01260350A (ja) | 1989-10-17 |
Family
ID=13980666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8979688A Pending JPH01260350A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | グリーンシート検査装置の吸着テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01260350A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111347278A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-30 | 温州易正科技有限公司 | 一种pcb板加工用夹持工装 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6282343A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光学式表面欠陥検査装置 |
| JPS6332849B2 (ja) * | 1985-03-05 | 1988-07-01 | Kawasaki Steel Co |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP8979688A patent/JPH01260350A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6332849B2 (ja) * | 1985-03-05 | 1988-07-01 | Kawasaki Steel Co | |
| JPS6282343A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光学式表面欠陥検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111347278A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-30 | 温州易正科技有限公司 | 一种pcb板加工用夹持工装 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20090082360A (ko) | 화학 기계적 평탄화를 위한 컨디셔닝 공구 및 방법 | |
| RU2005113159A (ru) | Паяные алмазные инструменты и способы их получения | |
| KR100382191B1 (ko) | 회로기판의 제조방법, 그의 제조장치, 및 그것에 사용된다공질 시트 | |
| JP4502683B2 (ja) | 多孔質アルミナ焼結体およびその製造方法 | |
| JPH068086A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH0819927A (ja) | 真空吸着装置とその製造方法 | |
| JP3325441B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH11243135A (ja) | 真空吸着盤 | |
| JPH01260350A (ja) | グリーンシート検査装置の吸着テーブル | |
| JP2001025973A (ja) | ビトリファイドボンド工具及びその製造方法 | |
| JPH01121738A (ja) | 表面検査装置用シート吸着テーブル | |
| JPS63312035A (ja) | 薄板保持装置 | |
| JPH06143239A (ja) | セラミックス基板の製造方法 | |
| US20240145182A1 (en) | Method for aligning multilayer components and method for manufacturing multilayer ceramic electronic components | |
| JPH07214442A (ja) | バキューム・テーブル | |
| JPS6318114B2 (ja) | ||
| JPH0617233U (ja) | チップボンディング装置におけるワーク吸着部 | |
| JP2005308146A (ja) | 静圧軸受装置およびその製造方法 | |
| JPWO2004034758A1 (ja) | セラミック多層基板の製造方法 | |
| JPS63284893A (ja) | 導体ペ−スト充填方法 | |
| JP3205870B2 (ja) | 感光材料、用紙等の吸着保持法 | |
| JPS63312036A (ja) | 吸着保持方法 | |
| KR20100029802A (ko) | 진공척용 진공패드 및 그 제작방법 | |
| JPS62238639A (ja) | 吸着プレ−ト | |
| JP2825987B2 (ja) | サンドイッチ構造の耐火物製棚板 |