JPH01262409A - 電子式穴内径測定器による測定方法 - Google Patents

電子式穴内径測定器による測定方法

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JPH01262409A
JPH01262409A JP8890588A JP8890588A JPH01262409A JP H01262409 A JPH01262409 A JP H01262409A JP 8890588 A JP8890588 A JP 8890588A JP 8890588 A JP8890588 A JP 8890588A JP H01262409 A JPH01262409 A JP H01262409A
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JP
Japan
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hole
measured
measuring
plug
parabola
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Application number
JP8890588A
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English (en)
Inventor
Shinichi Hirose
伸一 広瀬
Makoto Kano
真 狩野
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Amada Machinics Co Ltd
Original Assignee
Amada Sonoike Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、例えばタレットディスクやダイホルダなど
の被測定物の穴内径を測定ザる電子式穴内径測定器によ
る測定方法に関する。
(従来の技術) 従来、例えばタレットディスクやダイボルダなどの被測
定物の穴内径を測定する測定装置としては、電子式穴内
径測定器が知られている。
この電子式穴内径測定器は、自動的に1lIIIIIl
されるロボットハンドの先端に測定プラグを着脱自在に
把持せしめて、その測定プラグを被測定物の穴内に挿入
づると共に、穴の内周面に自動的かつ連続的に傾けなか
ら当接せしめて穴内径を測定Jるものである。
(発明が解決しようとする課題) ところで、電子式穴内径測定器で被測定物の穴内径を測
定する場合、被測定物と測定プラグのクリアランスを小
ざくすることで測定プラグの傾きによる誤差を低減する
ことができる。しかし41がら、測定プラグと被測定物
の穴とのクリアランスを小さくすると、測定プラグ挿入
作業が困九となるため、通常は測定プラグと被測定物の
穴とのクリアランスを大ぎくとって穴内径の測定を行っ
ている。そのため、穴内径の測定値には測定誤差が生じ
て正確な穴内径の測定が出来ないという問題がある。
また、被測定物の穴における内周面の面粗さによる測定
値のバラツキも加味されるため、測定データはさらに拡
大された誤差となって正確な穴内径測定が出来ないとい
う問題があった。
差を除去、低減を可能ならしめて被測定物の穴内径にお
ける正確な測定値を得るようにした電子式穴内径測定器
による測定方法を提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明は、被測定物の穴
内径を電子式穴内径測定器で測定する際、電子式穴内径
測定器の測定プラグを被測定物の穴内に挿入すると共に
、被測定物の穴における内周面に前記測定プラグを自動
的かつ連続的に傾けなから当接せしめて、多数の測定デ
ータをアナログ波形として測定し、その測定されたアナ
ログ波形をデジタル量に変換覆ると共に平滑化処理を行
い、次いで平滑化されたデータを補正データ波形にして
その補正データ波形の最小値を求めてその最小値を被測
定物の穴内径とする電子式穴内径測定器による測定方法
である。
(作用) この発明の電子式穴内径測定器による測定方法を採用す
ることにより、被測定物の穴内径を測定する際、まず電
子式穴内径測定器の測定プラグを被測定物の穴内に挿入
する。その被測定物の穴内に挿入された測定プラグを被
測定物の穴内における内周面に自動的かつ連続的に傾け
ながら当接せしめて多数の測定データを測定する。その
測定データはアナログ波形であるため、デジタル量に変
換し、さらに外来ノイズを除去するため平滑化処理を行
う。次いで平滑化処理されたデータを補正データ波形に
してその補正データ波形の最小値を求めて、その最小値
が被測定物の穴内径とされる。
(実施例) 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
第6図には電子式穴内径測定器で被測定物の内径を測定
づ−る一例が示されている。第6図において、タレット
ディスクやダイホルダなどの被測定物Wの穴Hにおける
内径を測定する場合、自動的にX、Y、Z軸およびC軸
に制御されるロボットハンド1の先端には、公知である
位置・姿勢補正ユニットとしてのRCC装置(Reio
te  con+pl 1ance  Centerの
略)3が取付けられており、しかもそのRCC装置3に
はロッド5を介して測定プラグ7が着脱自在に把持され
ている。
なお、第6図において、左右方向をY軸方向、紙面に対
して直交する方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向およ
びロッド5の軸心を中心にして傾斜する方向をC@力方
向する。
而して、ロボットハンド1をX軸、Y軸およびZ軸方向
に移動せしめることによって、測定プラグ7が被測定物
Wの穴Hに挿入される。
被測定物Wの穴Hに測定プラグ7を挿入した後、測定プ
ラグ7の外周面に設けられた例えば球形状の接触子9を
被測定物Wの穴Hにおける内周面に当接せしめながら自
動的かつ連続的にRCC装置3の姿勢v1111(傾き
1t11制御)を行うことにより多数の測定データが測
定され、かつ処理されて、第2図に示した雑音を含んだ
放物線Aが得られる。この雑&を含んだ放物線Aは穴H
のバイト面や面粗さなどの影響による外来のノイズによ
って振動波形となって生じる。そこで、本実施例ではこ
の雑音を含んだ放物線Aに平滑化処理を行うことによっ
て、雑音を含まない放物線Bとし、その放物線Bの最小
値Mを求めてその最小値Mを被測定物Wの内径とするも
のである。
次に被測定物Wの穴Hにおける穴径測定時の測定プラグ
7移動量と測定値との関係を第3図、第4図を基にして
説明すると、まず第3図において、測定プラグ7が角度
θ傾いたときの理論上の測定艙X′は、 X′茸A / cos  θ            
  ・・・(1)C表わされる。
[但し、A:真の穴径(θ=0のとき)]ところが、測
定プラグ7が角度θ傾いた場合、第4図に示す様に、穴
1」内面と測定プラグ7の接触子9の接触場所が傾きに
よって変化するため、実際の測定(lff×は、理論値
X′よりεだけ小さい値となる。
と X=X −−,5=X −−2X (i−y )−<2
)(但し、X:実際の測定値、 r :接触子9の半径
θニブラグの傾き) 上記(1)、(2)式により、 X=  −<A−2r )+2r   −(3)ぴ9 となる。
したがって、実際の測定値Xは(3)式で表ねづことが
できる。
次に、測定プラグ7の移動ff1Tは、第3図により、
T= −一愛cos  (θ2+θ)    ・・・(
4)となる。[但し、吏:測定プラグ7側のRCC装置
3の上端面の中心とプラグガイド上面エツジどの距離、
θ:測定プラグ7の傾き、θ2 :ρ、を作る線分と測
定プラグガイド上面とのなず角(最小値)B:測定プラ
グガイドの直径) −F記(3)式を変形すると。
となり、また、゛第4図により、 θ2 = cos −+ (−L−)       ・
・・(6)2ノ となる。
上記(4) 、 <5> 、 (6)式により、となり
、測定プラグ7の移動ωTと測定値Xとの関係を求める
ことかできる。
上記(7)式において、Tを変化させたときの測定値x
の変化をグラフ化づると、第2図に示した雑音を含んだ
放物線へとなり、これは、測定頭1或では関数 X =a T2 + H−<8> に近似できる。(但し、a :定数、H:被測定物の内
径) 上記(8)式は演口処理方法として2次多項式適合法を
適用する。
平滑化処理を行うことによって、第2図に示した放物線
Bとなり、最小値Mを演算処理して穴内径として求める
ことになる。
第1図に示した構成ブロック図を基にして、本実施例の
構成を説明すると、ロボットハンド1にはロボットハン
ドコントローラ11を介してロボットハンド用υjO′
ll装置13が接続されている。而して、ロボットハン
ド用制御Il装置13からの微小動作指令によりロボッ
トハンドコントローラ11でロボットハンド1がY軸方
向に移動し、ロボットハンド1の先端に取付けられた測
定プラグ7が自動的かつ連続的に被測定物Wの穴Hにお
ける内周面に当接しながら傾きθで移動して測定データ
が1!!られる。
前記測定プラグ7にはアンプ15が接続されており、そ
のアンプ15にはA/D変換器17を介して平滑化処理
手段19が接続されている。その平滑化処理手段19に
は、最小値用油q処理手段21が接続されている。
上記構成により、その作用を第5図に示したフローチt
p −トを基にして説明すると、ステップS1でロボッ
トハンド1ををロボットハンド制御装置13からの微小
動作指令でロボッ1−ハンドコントローラ11を介して
Y軸方向に移動し、被tllll定物Wの穴H内に挿入
された測定プラグ7の接触〒9を前記穴1」の内周面に
角度Oで傾けながら当接せしめることによって多数の測
定生データが17られる。
ステップS2ではその多数の測定生データがアンプ15
で増幅され、さらにA/D変換器によりアナログ間から
デジタル帛に変換される。ステップS3において、その
変換されたデジタル争である測定生データの点数と平滑
化処理のための平滑化点数が入力手段により平滑化処理
手段19に読み込よれる。
ステップS4では、さらに、入力手段から重み係数、正
規化定数データ群より平滑化点数に対応づる重み係数、
正規化定数が選択され平滑化処理手段19に読み込まれ
る。ステップS5で第2図に示した曲線Aから曲線已に
なるよう、すなわら、前記(8)式から2次多項式適合
法を使って、測定生データから(9) 、 (10)式
に示した平滑化処理を平滑化処理手段19内で処理し、
平滑値に変換する。次いで、ステップS6で平滑化した
データを逐次配列し、補正データ波形(第2図に示した
曲線B)を作成する。
ステップS7で補正データ波形から最小値用演算処理手
段21で最小値を演弾処理し、だの最小(1r1を穴径
測定値とする。
このように、測定生データに平滑化処理を行って平滑化
値を求め、この平滑化値を配列した補正データ波形を作
成し、その補正データ波形の最小(11〕を穴径測定値
とすることによって、穴の内周面の面粗さなどの外来の
ノイズを除去し、測定プラグの傾きによる測定誤差を低
減できるから、従来よりも正確な内径測定値を1ワるこ
とができる。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行うことによって、その他の態様で実施
し得るものである。例えば、本実施例に採用した平滑化
処理手段は、被測定物の穴内径測定だけでなく、外径測
定の場合にも平滑化処理の使用、特性を変更すれば利用
可能である。
[発明の効果] 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、特許請求の範囲に記載されたとおりの構
成であるから、被測定物の穴における内周面の面粗さな
どの外来ノイズを除去すると共に、測定プラグの傾きか
ら生じる測定誤差を低減して、正確で安定した穴内径測
定値を測定づることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明を実施した一例の構成ブロック図、第
2図は測定データによる曲線と平滑化処理された曲線の
一例を示した図である。 第3図J3よび第4図はこの発明の主要部である平滑化
処理するため基本説明用の被測定物の穴と測定プラグと
の関係邑である。 第5図はこの発明の詳細な説明するフローチャートであ
る。 第6図は電子式穴内径測定器で被測定物の穴内径を測定
づるための説明図である。 1・・・ロボットハンド 7・・・測定プラグ13・・
・ロボツ[ヘハンド制御装置 1つ・・・平滑化処理手段 21・・・最小値用演算処理手段 代理人 弁理士 三 好  保 男 第3図 第4図 @5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被測定物の穴内径を電子式穴内径測定器で測定する際、
    電子式穴内径測定器の測定プラグを被測定物の穴内に挿
    入すると共に、被測定物の穴における内周面に前記測定
    プラグを自動的かつ連続的に傾けながら当接せしめて、
    多数の測定データをアナログ波形として測定し、その測
    定されたアナログ波形をデジタル量に変換すると共に平
    滑化処理を行い、次いで平滑化されたデータを補正デー
    タ波形にしてその補正データ波形の最小値を求めてその
    最小値を被測定物の穴内径とすることを特徴とする電子
    式穴内径測定器による測定方法。
JP8890588A 1988-04-13 1988-04-13 電子式穴内径測定器による測定方法 Pending JPH01262409A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008241450A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Showa Denko Kk 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008241450A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Showa Denko Kk 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置

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