JPH01264764A - ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 - Google Patents
ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置Info
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- JPH01264764A JPH01264764A JP33373787A JP33373787A JPH01264764A JP H01264764 A JPH01264764 A JP H01264764A JP 33373787 A JP33373787 A JP 33373787A JP 33373787 A JP33373787 A JP 33373787A JP H01264764 A JPH01264764 A JP H01264764A
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- groove rollers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
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- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は高硬度脆性材料を同時に多数のウェハー状に切
断するワイヤ式切断機のワイヤ張設機構にワイヤを巻付
けるワイヤ巻付装置に関する。 〔従来の技術〕 上記高硬度脆性材料例えばシリコンのインゴットを同時
に多数のウェハー状に切断する手段の１つとして高速走
行するワイヤを利用するワイヤ式切断機がある。その概
要を第５図及び第６図に示す。この切断機１００はワイ
ヤＳの張設機構１０１と対をなすワイヤ巻取リール１０
２．１０３とを備える。 ワイヤ張設機構１０１は複数個例えば３個の溝ローラ１
０４，１０５，１０６を平行に配備し、それぞれには所
定ピッチの環状溝１０４ａ 、 １０５ａ 、 １０６
ａ を形成し、各環状溝に沿ってワイヤＳを螺旋状に
巻回してなる。ワイヤＳの両端はそれぞれダンサローラ
１０７゜１０８を巻回して巻取リール１０２．１０３に
巻付けられ、一方のリール例えばリール１０２に巻かれ
たワイヤＳを張設機構１０１の駆動により引き出し、他
方のリール１０３に巻取ると共に被切断物Ｗを徐々に上
昇しワイヤＳと砥粒を含む加工液の相互作用により切断
する。ダンサローラ１０７，１０８は周知の如く張設機
構１０１におけるワイヤＳを逆方向に走行させ、同様に
被切断物Ｗを切断すると共に、ワイヤＳをリール１０２
に巻取る。以下これを繰返す。なお図中１０９．１１０
はワイヤ案内用トラバース機構であり、それぞれ相対す
るリールの回転に同調してワイヤを往復移行しボビンを
形成する。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記ワイヤ張設機構は切断するウェハーの厚さ等によっ
て環状溝のピッチの異なる溝ローラと交換する必要があ
る。その他使用中にワイヤが切断したとき等にはその都
度ワイヤを張設機構に巻付ける必要があり、一般に手作
業によって行われているが、溝ピッチは１１程度ときわ
めて細かく、しかも巻付回数が多く、手数を要し非能率
的である。このため張設機構を取外し、適宜のダミーワ
イヤを巻付ける手段も提案されているが着脱に手数を要
する等の問題がある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明はかかる点に鑑み、張設機構の取外しを必要とせ
ず、自動的にワイヤを各溝ローラに巻付ける新規なワイ
ヤ巻は装置を提供することを目的とするもので、その特
徴とするところは複数の溝ローラを組とし、それぞれの
溝ローラには所定ピッチの環状溝を形状し、切断用ワイ
ヤを該環状溝に添って螺旋状に参付けるワイヤ式切断機
におけるワイヤ張設機構において上記組をなす溝ローラ
を嵌挿するリング部材と、該リング部材を押圧する押圧
ローラとを備え、リング部材は内周に上記溝ローラの環
状溝に嵌合するねじ溝を形成し、押圧ローラによりリン
グ部材のねじ溝を溝ローラ環状溝に嵌合し、溝ローラの
回転に追随回動し溝ローラ軸心方向に移行すると共に、
リング部材にワイヤを止着し上記リング部材の移行に伴
い溝ローラの環状溝に螺旋状に巻付することにある。 〔作用〕 リング部材を各溝ローラに嵌合圧着し、溝ローラを駆動
することによりリング部材は回転しつつ溝ロマーラの軸
心に沿って移行する。このときワイヤの先端をリング部
材に取付けることによりワイヤは各溝ローラの環状溝に
嵌合すると共に各溝ローラに螺旋状に巻付けられる。 〔実施例〕 第１図乃至第４図は本発明の実施例を示す。ワイヤ式切
断機１はワイヤＳの張設機構２と対をなすワイヤ巻付リ
ール３．４とを備える。ワイヤ張設機構２は例えば３個
の溝ローラ５，６．７を組とし、支持フレーム８に回動
自在に取付け、支持フレーム８は機台フレームＦに取付
けられている。 各溝ローラ５，６．７は前述（第６図）に示す如く所定
ピッチに環状溝５ａ、６ａ、７ａが刻設されている。 ワイヤ巻付リール３，４は機台フレームＦの一側に取付
けられ、それぞれ軸受１０．１１により回動自在に支持
され、かつそれぞれに駆動モータ（図示省略）が接続さ
れている。１２．１３は各リール３゜４に対するワイヤ
トラバース機構、また１４はリール４に対する張力調整
用ダンサローラ、また１５はワイヤ洗浄装置である。な
おリール３に対するダンサローラは上記ダンサローラ１
４と重複してその後方に設けられている。また１６は溝
ローラ５の駆動モータ、１７は被切断物Ｗの取付台であ
り適宜手段にて昇降する。 ２０は上記張設機構２に対するワイヤ巻付装置である。 この巻付装置２０はリング部材２１を押圧する押圧機構
２２とを備える。リング部材２１は２分割されたリング
単位体２１ａ、２１ｂと、両単位体を着脱可能に接続す
る連結片２３ａ、２３ｂとからなり、リング単位体２１
ａ 、 ２１ｂは接続した状態で内周にねじ溝２４が刻
設されている。このねじ溝２４のピッチＰは各溝ローラ
５，６．７の環状溝５ａ、５ｂ。 ５Ｃのピッチと同一とし、かつ内径は組をなす溝ローラ
の外接円より若干大径とする。 押圧機構２２はフレームＦの適所に軸支したアーム３０
と、アーム先端に取付けた押圧ローラ３１及びアーム揺
動用シリンダ３２とからなり、押圧ローラ３１は溝ロー
ラ５，６．７の少くとも環状溝刻設長さ以上とし、アー
ム３０に回動自在に支持されている。なお３３は押圧ロ
ーラ駆動モータである。 上記構成において、張設機構２の各溝ローラ５゜６．７
にワイヤＳを巻付けるに際しては、先づリング部材２１
を各溝ローラ５，６．７の外周に嵌挿し、揺動シリンダ
３２を作動し押圧ローラ３１によりリング部材２１を溝
ローラ５．７に押付け、ねじ溝２４を溝ローラの環状溝
５ａ、７ａに嵌合する。このとき溝ローラ６とは若干離
間している（第３図及び第４図参照）。 この状態においてワイヤＳを引き出し、好ましくは数回
凸溝ローラ５，６．７に巻きつけ、先端をリング部材２
１の適所に止着する。ついで溝ローラ駆動モータ１６を
駆動し、同時に押圧ローラ駆動モータ３３も駆動する。 これによりリング部材２１は回転しつつ溝ローラの一端
から他端に向って移行する。即ち螺旋状に回動するもの
で、これに伴い取付けたワイヤＳを各溝ローラ５，６．
７の環状溝５ａ、６ａ、７ａに嵌合すると共に螺旋状に
巻回する。 この場合押圧ローラ３１の表面速度は溝ローラ５の表面
速度より若干高速とすることが好ましい。 これはリング部材２１に先端を取付けたワイヤＳは、リ
ング部材２１に沿った円弧長の長さが繰出されるが巻付
ける長さは溝ローラ間の直線長さである。 このため若干の弛みを生じ易く、これを解消するためリ
ング部材２１を溝ローラ表面速度より若干高速とする。 巻付終了後は揺動シリンダ３２を作動し、押圧ローラ３
１を上方に引き上げ、リング部材２１を分解して取外す
。 なお溝ローラの環状溝はリング部材２１が嵌合する幅長
がワイヤの巻付は残りとなる。このためリング部材２１
の幅は可及的に狭くすることが好ましい。この場合にお
いてもワイヤ巻付は残の環状溝を生ずるが、溝ローラ５
を回動し、ワイヤＳを引き出し、手作業により巻付ける
。ただし環状溝をワイヤの所定巻数以上に形成し、リン
グ部材２１の取付は状態においてワイヤＳを所定回数巻
付けるようにしてもよい。 〔発明の効果〕 本発明によるときは溝ローラ群にリング部材を嵌合し、
リング部材の螺旋状の回動によりワイヤを巻付けるよう
にしたから、張設機構を機台フレームから取外すことな
くワイヤを自動的に各溝ローラの環状溝に嵌合しつつ螺
旋状に巻付けることができる効果を有する。
断するワイヤ式切断機のワイヤ張設機構にワイヤを巻付
けるワイヤ巻付装置に関する。 〔従来の技術〕 上記高硬度脆性材料例えばシリコンのインゴットを同時
に多数のウェハー状に切断する手段の１つとして高速走
行するワイヤを利用するワイヤ式切断機がある。その概
要を第５図及び第６図に示す。この切断機１００はワイ
ヤＳの張設機構１０１と対をなすワイヤ巻取リール１０
２．１０３とを備える。 ワイヤ張設機構１０１は複数個例えば３個の溝ローラ１
０４，１０５，１０６を平行に配備し、それぞれには所
定ピッチの環状溝１０４ａ 、 １０５ａ 、 １０６
ａ を形成し、各環状溝に沿ってワイヤＳを螺旋状に
巻回してなる。ワイヤＳの両端はそれぞれダンサローラ
１０７゜１０８を巻回して巻取リール１０２．１０３に
巻付けられ、一方のリール例えばリール１０２に巻かれ
たワイヤＳを張設機構１０１の駆動により引き出し、他
方のリール１０３に巻取ると共に被切断物Ｗを徐々に上
昇しワイヤＳと砥粒を含む加工液の相互作用により切断
する。ダンサローラ１０７，１０８は周知の如く張設機
構１０１におけるワイヤＳを逆方向に走行させ、同様に
被切断物Ｗを切断すると共に、ワイヤＳをリール１０２
に巻取る。以下これを繰返す。なお図中１０９．１１０
はワイヤ案内用トラバース機構であり、それぞれ相対す
るリールの回転に同調してワイヤを往復移行しボビンを
形成する。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記ワイヤ張設機構は切断するウェハーの厚さ等によっ
て環状溝のピッチの異なる溝ローラと交換する必要があ
る。その他使用中にワイヤが切断したとき等にはその都
度ワイヤを張設機構に巻付ける必要があり、一般に手作
業によって行われているが、溝ピッチは１１程度ときわ
めて細かく、しかも巻付回数が多く、手数を要し非能率
的である。このため張設機構を取外し、適宜のダミーワ
イヤを巻付ける手段も提案されているが着脱に手数を要
する等の問題がある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明はかかる点に鑑み、張設機構の取外しを必要とせ
ず、自動的にワイヤを各溝ローラに巻付ける新規なワイ
ヤ巻は装置を提供することを目的とするもので、その特
徴とするところは複数の溝ローラを組とし、それぞれの
溝ローラには所定ピッチの環状溝を形状し、切断用ワイ
ヤを該環状溝に添って螺旋状に参付けるワイヤ式切断機
におけるワイヤ張設機構において上記組をなす溝ローラ
を嵌挿するリング部材と、該リング部材を押圧する押圧
ローラとを備え、リング部材は内周に上記溝ローラの環
状溝に嵌合するねじ溝を形成し、押圧ローラによりリン
グ部材のねじ溝を溝ローラ環状溝に嵌合し、溝ローラの
回転に追随回動し溝ローラ軸心方向に移行すると共に、
リング部材にワイヤを止着し上記リング部材の移行に伴
い溝ローラの環状溝に螺旋状に巻付することにある。 〔作用〕 リング部材を各溝ローラに嵌合圧着し、溝ローラを駆動
することによりリング部材は回転しつつ溝ロマーラの軸
心に沿って移行する。このときワイヤの先端をリング部
材に取付けることによりワイヤは各溝ローラの環状溝に
嵌合すると共に各溝ローラに螺旋状に巻付けられる。 〔実施例〕 第１図乃至第４図は本発明の実施例を示す。ワイヤ式切
断機１はワイヤＳの張設機構２と対をなすワイヤ巻付リ
ール３．４とを備える。ワイヤ張設機構２は例えば３個
の溝ローラ５，６．７を組とし、支持フレーム８に回動
自在に取付け、支持フレーム８は機台フレームＦに取付
けられている。 各溝ローラ５，６．７は前述（第６図）に示す如く所定
ピッチに環状溝５ａ、６ａ、７ａが刻設されている。 ワイヤ巻付リール３，４は機台フレームＦの一側に取付
けられ、それぞれ軸受１０．１１により回動自在に支持
され、かつそれぞれに駆動モータ（図示省略）が接続さ
れている。１２．１３は各リール３゜４に対するワイヤ
トラバース機構、また１４はリール４に対する張力調整
用ダンサローラ、また１５はワイヤ洗浄装置である。な
おリール３に対するダンサローラは上記ダンサローラ１
４と重複してその後方に設けられている。また１６は溝
ローラ５の駆動モータ、１７は被切断物Ｗの取付台であ
り適宜手段にて昇降する。 ２０は上記張設機構２に対するワイヤ巻付装置である。 この巻付装置２０はリング部材２１を押圧する押圧機構
２２とを備える。リング部材２１は２分割されたリング
単位体２１ａ、２１ｂと、両単位体を着脱可能に接続す
る連結片２３ａ、２３ｂとからなり、リング単位体２１
ａ 、 ２１ｂは接続した状態で内周にねじ溝２４が刻
設されている。このねじ溝２４のピッチＰは各溝ローラ
５，６．７の環状溝５ａ、５ｂ。 ５Ｃのピッチと同一とし、かつ内径は組をなす溝ローラ
の外接円より若干大径とする。 押圧機構２２はフレームＦの適所に軸支したアーム３０
と、アーム先端に取付けた押圧ローラ３１及びアーム揺
動用シリンダ３２とからなり、押圧ローラ３１は溝ロー
ラ５，６．７の少くとも環状溝刻設長さ以上とし、アー
ム３０に回動自在に支持されている。なお３３は押圧ロ
ーラ駆動モータである。 上記構成において、張設機構２の各溝ローラ５゜６．７
にワイヤＳを巻付けるに際しては、先づリング部材２１
を各溝ローラ５，６．７の外周に嵌挿し、揺動シリンダ
３２を作動し押圧ローラ３１によりリング部材２１を溝
ローラ５．７に押付け、ねじ溝２４を溝ローラの環状溝
５ａ、７ａに嵌合する。このとき溝ローラ６とは若干離
間している（第３図及び第４図参照）。 この状態においてワイヤＳを引き出し、好ましくは数回
凸溝ローラ５，６．７に巻きつけ、先端をリング部材２
１の適所に止着する。ついで溝ローラ駆動モータ１６を
駆動し、同時に押圧ローラ駆動モータ３３も駆動する。 これによりリング部材２１は回転しつつ溝ローラの一端
から他端に向って移行する。即ち螺旋状に回動するもの
で、これに伴い取付けたワイヤＳを各溝ローラ５，６．
７の環状溝５ａ、６ａ、７ａに嵌合すると共に螺旋状に
巻回する。 この場合押圧ローラ３１の表面速度は溝ローラ５の表面
速度より若干高速とすることが好ましい。 これはリング部材２１に先端を取付けたワイヤＳは、リ
ング部材２１に沿った円弧長の長さが繰出されるが巻付
ける長さは溝ローラ間の直線長さである。 このため若干の弛みを生じ易く、これを解消するためリ
ング部材２１を溝ローラ表面速度より若干高速とする。 巻付終了後は揺動シリンダ３２を作動し、押圧ローラ３
１を上方に引き上げ、リング部材２１を分解して取外す
。 なお溝ローラの環状溝はリング部材２１が嵌合する幅長
がワイヤの巻付は残りとなる。このためリング部材２１
の幅は可及的に狭くすることが好ましい。この場合にお
いてもワイヤ巻付は残の環状溝を生ずるが、溝ローラ５
を回動し、ワイヤＳを引き出し、手作業により巻付ける
。ただし環状溝をワイヤの所定巻数以上に形成し、リン
グ部材２１の取付は状態においてワイヤＳを所定回数巻
付けるようにしてもよい。 〔発明の効果〕 本発明によるときは溝ローラ群にリング部材を嵌合し、
リング部材の螺旋状の回動によりワイヤを巻付けるよう
にしたから、張設機構を機台フレームから取外すことな
くワイヤを自動的に各溝ローラの環状溝に嵌合しつつ螺
旋状に巻付けることができる効果を有する。
第１図乃至第４図は本発明の実施例に関し、第１図はワ
イヤ巻付装置を取付けたワイヤ式切断機の正面図、第２
図その一部の左側面図、第３図はリング部材の挿着説明
図、第４図はリング部材と溝ローラとの噛合説明図、第
５図及び第６図はワイヤ式切断機、第７図はそのワイヤ
張設機構の斜視図である。 １はワイヤ式切断機、２はワイヤ張設機構、５゜６．７
は溝ローラ、５ａ、６ａ、７ａは環状溝、２０はワイヤ
巻付装置、２１はリング部材、３１は押圧ローラ、２４
はねじ溝である。 特許出願人 住友金属工業株式会社 ２：ワイタ１長會マー腎別ｉ ５、６，７ ニジ鼻ローラ ２０：ワイマ冬４丁数１Ｌ 力 ：す〉グ畜序ダ ３１：ＦＰ／ε口−ラ ｖＪ３図 ′４４図 手続孕市正ｉ与（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年特許願第３３３７３７号 ２、発明の名称 ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置３、補正をする
者 事件との関係 特許出願人 大阪市東区北浜５丁目１５番地 住友金属工業株式会社 （外１名） 代表者 新 宮 康 男 ４、代理人 ５、補正命令の日付 平成１年５月３０日 （１）明細シ第９頁第５行目より１２行目までを次の通
り訂正する。
イヤ巻付装置を取付けたワイヤ式切断機の正面図、第２
図その一部の左側面図、第３図はリング部材の挿着説明
図、第４図はリング部材と溝ローラとの噛合説明図、第
５図及び第６図はワイヤ式切断機、第７図はそのワイヤ
張設機構の斜視図である。 １はワイヤ式切断機、２はワイヤ張設機構、５゜６．７
は溝ローラ、５ａ、６ａ、７ａは環状溝、２０はワイヤ
巻付装置、２１はリング部材、３１は押圧ローラ、２４
はねじ溝である。 特許出願人 住友金属工業株式会社 ２：ワイタ１長會マー腎別ｉ ５、６，７ ニジ鼻ローラ ２０：ワイマ冬４丁数１Ｌ 力 ：す〉グ畜序ダ ３１：ＦＰ／ε口−ラ ｖＪ３図 ′４４図 手続孕市正ｉ与（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年特許願第３３３７３７号 ２、発明の名称 ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置３、補正をする
者 事件との関係 特許出願人 大阪市東区北浜５丁目１５番地 住友金属工業株式会社 （外１名） 代表者 新 宮 康 男 ４、代理人 ５、補正命令の日付 平成１年５月３０日 （１）明細シ第９頁第５行目より１２行目までを次の通
り訂正する。
第１図乃至第４図は本発明の実施例に関し、第１図はワ
イヤ巻付装置を取付けたワイヤ式切断機の正面図、第２
図その一部の左側面図、第３図はリング部材の挿着説明
図、第４図はリング部材と溝ローラとの噛合説明図、第
５図はワイヤ式切断機、第６図はそのワイヤ張設機構の
斜視図である。
イヤ巻付装置を取付けたワイヤ式切断機の正面図、第２
図その一部の左側面図、第３図はリング部材の挿着説明
図、第４図はリング部材と溝ローラとの噛合説明図、第
５図はワイヤ式切断機、第６図はそのワイヤ張設機構の
斜視図である。
Claims (1)
- 複数の溝ローラを組とし、それぞれの溝ローラには所定
ピッチの環状溝を形状し、切断用ワイヤを該環状溝に添
って螺旋状に巻付けるワイヤ式切断機のワイヤ張設機構
において上記組をなす溝ローラを嵌挿するリング部材と
、該リング部材を押圧する押圧ローラとを備え、リング
部材は内周に上記溝ローラの環状溝に嵌合するねじ溝を
形成し、押圧ローラによりリング部材のねじ溝を溝ロー
ラ環状溝に嵌合し、溝ローラの回転に追随回動し溝ロー
ラ軸心方向に移行すると共に、リング部材にワイヤを止
着し上記リング部材の移行に伴い溝ローラの環状溝に螺
旋状に巻回することを特徴とするワイヤ式切断機のワイ
ヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33373787A JPH0818243B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33373787A JPH0818243B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01264764A true JPH01264764A (ja) | 1989-10-23 |
| JPH0818243B2 JPH0818243B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=18269391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33373787A Expired - Lifetime JPH0818243B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ張設機構に対するワイヤ巻付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818243B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788859A1 (fr) * | 1996-02-06 | 1997-08-13 | HAUSER, Charles | Dispositif de sciage par fil |
| EP2401109A4 (en) * | 2009-02-26 | 2012-09-26 | Saint Gobain Abrasives Inc | AUTOMATIC WINDING OF A WIRE FIELD IN A WIRE CUTTING MACHINE |
| CN106800220A (zh) * | 2015-11-26 | 2017-06-06 | 重庆力缆电线有限责任公司 | 一种线缆盘包装构造 |
| CN106985051A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-07-28 | 贵州精正检测有限公司 | 一种具有除尘和计数功能的钢筋切割机 |
| CN116619604A (zh) * | 2023-06-21 | 2023-08-22 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种适用于12吋金刚线切割的切割辊及金刚线缠绕方式 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP33373787A patent/JPH0818243B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788859A1 (fr) * | 1996-02-06 | 1997-08-13 | HAUSER, Charles | Dispositif de sciage par fil |
| US5787872A (en) * | 1996-02-06 | 1998-08-04 | Hct Shaping Systems Sa | Wire sawing device |
| EP2401109A4 (en) * | 2009-02-26 | 2012-09-26 | Saint Gobain Abrasives Inc | AUTOMATIC WINDING OF A WIRE FIELD IN A WIRE CUTTING MACHINE |
| CN106800220A (zh) * | 2015-11-26 | 2017-06-06 | 重庆力缆电线有限责任公司 | 一种线缆盘包装构造 |
| CN106985051A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-07-28 | 贵州精正检测有限公司 | 一种具有除尘和计数功能的钢筋切割机 |
| CN116619604A (zh) * | 2023-06-21 | 2023-08-22 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种适用于12吋金刚线切割的切割辊及金刚线缠绕方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0818243B2 (ja) | 1996-02-28 |
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