JPH01264786A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボットInfo
- Publication number
- JPH01264786A JPH01264786A JP8857888A JP8857888A JPH01264786A JP H01264786 A JPH01264786 A JP H01264786A JP 8857888 A JP8857888 A JP 8857888A JP 8857888 A JP8857888 A JP 8857888A JP H01264786 A JPH01264786 A JP H01264786A
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- JP
- Japan
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- arm
- thermal expansion
- detected
- length
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/16—Program controls
- B25J9/1628—Program controls characterised by the control loop
- B25J9/1641—Program controls characterised by the control loop compensation for backlash, friction, compliance, elasticity in the joints
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は産業用ロボットに係り、特に水平多関節ロボッ
トのアームの熱膨張対策が可能な産業用ロボットに関す
る。
トのアームの熱膨張対策が可能な産業用ロボットに関す
る。
〈従来の技術）
産業用ロボット（以下、ロボットと称す）は、モータや
動力伝達機構が熱源となりアームは熱膨張する。この熱
膨張はロボットを恒温室に入れても生じるので、環境に
依らないロボット固有の誤差である。
動力伝達機構が熱源となりアームは熱膨張する。この熱
膨張はロボットを恒温室に入れても生じるので、環境に
依らないロボット固有の誤差である。
従来、この熱膨張が無視できない程精度が必要な場合、
センサを付けて先端でのズレ分を補正する方法が一般的
で位置ズレを測定するようなセンサを用いている。
センサを付けて先端でのズレ分を補正する方法が一般的
で位置ズレを測定するようなセンサを用いている。
第６図は従来の産業用ロボットの一例で、この場合水平
多関節ロボットワーク１５の位置ズレをビジョンカメラ
１７とビジョンモニタ１８とからなるビジョンシステム
を使って補正をかける方法で、その目的は温度補償に限
らないが、確実にアームの熱膨張に対応できる手法であ
る。なお、図中１４はロボットコントローラであり、こ
れには各モータ軸の角度を検出するモータ軸エンコーダ
（図示せず）を有している。２１は第１アーム、２２は
第２アーム、２３は据付部分である。
多関節ロボットワーク１５の位置ズレをビジョンカメラ
１７とビジョンモニタ１８とからなるビジョンシステム
を使って補正をかける方法で、その目的は温度補償に限
らないが、確実にアームの熱膨張に対応できる手法であ
る。なお、図中１４はロボットコントローラであり、こ
れには各モータ軸の角度を検出するモータ軸エンコーダ
（図示せず）を有している。２１は第１アーム、２２は
第２アーム、２３は据付部分である。
（発明が解決しようとする課ＫＭ）
第６図の従来の技術は、ビジョンカメラ１７、ビジョン
モニタ１８を用いているので構成が複雑かつ大がかりな
ものとなり、温度補償機能をロボットコントローラの機
能として追加するには、コントローラ自身も複雑になる
という問題点がある。
モニタ１８を用いているので構成が複雑かつ大がかりな
ものとなり、温度補償機能をロボットコントローラの機
能として追加するには、コントローラ自身も複雑になる
という問題点がある。
本発明は、高価なビジョンシステムを使うことなく、光
遮断式検出器やタッチセンサなどアーム長を直接に測定
する安価なセンサで、ロボット本体が持っているエンコ
ーダの位置割出し機能を利用して、時折、アーム長の測
定を行なうことで温度補償が実現可能となる産業用ロボ
ットを提供することを目的とする。
遮断式検出器やタッチセンサなどアーム長を直接に測定
する安価なセンサで、ロボット本体が持っているエンコ
ーダの位置割出し機能を利用して、時折、アーム長の測
定を行なうことで温度補償が実現可能となる産業用ロボ
ットを提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は前記目的を達成するため、据付部分に対して第
１アームと第２アームが順次水平に取付けられ、かつこ
れらが９０°に屈曲した状態にあり、それを制御するロ
ボットコントローラを有する水平多関節形ロボットにお
いて、据付部分に対してその方向が可変できるように取
付けられ、熱膨張の少ない材料からなるはっと、第２ア
ームの先端に取付けられた被検出部分と、前記はりに取
付けられこのはりを回動させて被検出部を非接触状態で
はさむ接触した状態で有効アーム長を検出するセンサと
、センサで検出された有効アーム長と、ロボットコント
ローラに有するモータ軸エンコーダから求められる熱膨
張時と基本アーム長時の角度差と、アーム駆動Ｉ＃ｉ減
速機減速比とからアームの熱膨張長さを求める演算部と
を具備したものである。
１アームと第２アームが順次水平に取付けられ、かつこ
れらが９０°に屈曲した状態にあり、それを制御するロ
ボットコントローラを有する水平多関節形ロボットにお
いて、据付部分に対してその方向が可変できるように取
付けられ、熱膨張の少ない材料からなるはっと、第２ア
ームの先端に取付けられた被検出部分と、前記はりに取
付けられこのはりを回動させて被検出部を非接触状態で
はさむ接触した状態で有効アーム長を検出するセンサと
、センサで検出された有効アーム長と、ロボットコント
ローラに有するモータ軸エンコーダから求められる熱膨
張時と基本アーム長時の角度差と、アーム駆動Ｉ＃ｉ減
速機減速比とからアームの熱膨張長さを求める演算部と
を具備したものである。
（作用）
上記のように構成することにより、第１アームと第２ア
ームともにモータなどの熱源からの熱伝導によりそれぞ
れ伸びるが９０°に両アームは屈曲している姿勢ではそ
の伸びは独立に測定できる。一方のアームを動かして被
検出部分１１が検出器に検出される位置は動かすアーム
の熱膨張はその方向が検出器の検出方向と直角ななめ影
響しないが、もう一方の静止しているアームの熱膨張は
検出器の検出方向に平行なため熱膨張した分だけズレる
ことになる。この熱膨張の解析には、検出器が検出した
時の信号をロボットコントローラに送ることで、検出時
の動かしているアームのエンコーダ値を使うことができ
る。基本アーム長時と熱ｍ張時の角度差がわかるので、
それに動かしているアームのアーム長をかければ、もう
一方の静止しているアームの熱膨張の値になる。
ームともにモータなどの熱源からの熱伝導によりそれぞ
れ伸びるが９０°に両アームは屈曲している姿勢ではそ
の伸びは独立に測定できる。一方のアームを動かして被
検出部分１１が検出器に検出される位置は動かすアーム
の熱膨張はその方向が検出器の検出方向と直角ななめ影
響しないが、もう一方の静止しているアームの熱膨張は
検出器の検出方向に平行なため熱膨張した分だけズレる
ことになる。この熱膨張の解析には、検出器が検出した
時の信号をロボットコントローラに送ることで、検出時
の動かしているアームのエンコーダ値を使うことができ
る。基本アーム長時と熱ｍ張時の角度差がわかるので、
それに動かしているアームのアーム長をかければ、もう
一方の静止しているアームの熱膨張の値になる。
従って、アームの熱膨張に追従できるように作業中にあ
る時間間隔でアームの熱膨張値を測定する。そして、そ
の都度ロボットコントローラ内で使っているロボットの
アーム長パラメータを書き換えるか、座標値に補正をか
けるなどすることにより、ロボットの温度補償を行うこ
とが可能となる。
る時間間隔でアームの熱膨張値を測定する。そして、そ
の都度ロボットコントローラ内で使っているロボットの
アーム長パラメータを書き換えるか、座標値に補正をか
けるなどすることにより、ロボットの温度補償を行うこ
とが可能となる。
（実施例）
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。はじめに第１図〜第４図を参照して本発明の第１の実
ｌ１１ａＳについて説明する。第１図は、本発明の全体
の構成を示す斜視図であり、第２図は第１図の検出器の
配置と向きを示す平面図、第３図および第４図は第１図
の動作を説明するための図である。
。はじめに第１図〜第４図を参照して本発明の第１の実
ｌ１１ａＳについて説明する。第１図は、本発明の全体
の構成を示す斜視図であり、第２図は第１図の検出器の
配置と向きを示す平面図、第３図および第４図は第１図
の動作を説明するための図である。
第２アーム２２の先端に光を遮断する被検出部分（以下
、単に被検出部分と称す）１１ａを第２アーム２２の軸
線上に、被検出部分１１ｂを第２アーム長に相当する距
離のアーム軸線直交線上に取付ける。検出器としては第
１アーム２１と第２アーム２２を９０゛に屈曲した姿勢
で、被検出部分１１ａが検出される位置に光遮断式検出
器（フォトセンサ）１２ａをはり１３に取付けてあり、
まな、第１アーム２１と第２アーム２２の９０゜の屈曲
姿勢を保ち、第一の姿勢とは互いに干渉しない別の場所
で、被検出部分１１ｂが検出される位置に光遮断式検出
器（以下単に検出器と称す）１２ｂをはり１３に取付け
である。
、単に被検出部分と称す）１１ａを第２アーム２２の軸
線上に、被検出部分１１ｂを第２アーム長に相当する距
離のアーム軸線直交線上に取付ける。検出器としては第
１アーム２１と第２アーム２２を９０゛に屈曲した姿勢
で、被検出部分１１ａが検出される位置に光遮断式検出
器（フォトセンサ）１２ａをはり１３に取付けてあり、
まな、第１アーム２１と第２アーム２２の９０゜の屈曲
姿勢を保ち、第一の姿勢とは互いに干渉しない別の場所
で、被検出部分１１ｂが検出される位置に光遮断式検出
器（以下単に検出器と称す）１２ｂをはり１３に取付け
である。
検出器１２ａ、１２ｂの取付は向きは、第２図に示すよ
うに検出器１２ａの光軸（検出方向に直角な軸）が第２
アーム２２の熱膨張を測定する測定姿勢ａにおける第２
アーム２２に平行で、検出器１２ｂの光軸が第１アーム
２１の熱膨張を測定する測定姿勢すにおける第１アーム
２１に平行である。ふたたび第１図に戻り説明すると、
はり１３は、据付部分２３に第１アーム２１の駆動軸と
同軸に回転できるように取付けられている。さらに検出
器１２ａ、１２ｂの信号は、ロボットコントローラ１４
に送られる。
うに検出器１２ａの光軸（検出方向に直角な軸）が第２
アーム２２の熱膨張を測定する測定姿勢ａにおける第２
アーム２２に平行で、検出器１２ｂの光軸が第１アーム
２１の熱膨張を測定する測定姿勢すにおける第１アーム
２１に平行である。ふたたび第１図に戻り説明すると、
はり１３は、据付部分２３に第１アーム２１の駆動軸と
同軸に回転できるように取付けられている。さらに検出
器１２ａ、１２ｂの信号は、ロボットコントローラ１４
に送られる。
第１アーム２１の熱膨張と第２アーム２２の熱膨張を解
析する原理について第３図および第４図を用いて説明す
る。第３図は、第１アーム２１の熱膨張を測定している
状態であり、第２アーム２２を振って被検出部分１１ａ
が光遮断式検出器１２ａに検出された時の姿勢を第１ア
ーム２１が伸びる前（実線）と伸びた後（二点鎖線）で
示した。第２アーム２２の伸びは、検出器１２ａの光軸
方向（検出方向には直角）なので無視できる。
析する原理について第３図および第４図を用いて説明す
る。第３図は、第１アーム２１の熱膨張を測定している
状態であり、第２アーム２２を振って被検出部分１１ａ
が光遮断式検出器１２ａに検出された時の姿勢を第１ア
ーム２１が伸びる前（実線）と伸びた後（二点鎖線）で
示した。第２アーム２２の伸びは、検出器１２ａの光軸
方向（検出方向には直角）なので無視できる。
第３図より第２アーム２２のモータ軸エンコーダの読み
の差ΔＥ２と、第１アーム２１の膨張長さΔＬ１との間
には次の関係があることがわかる。
の差ΔＥ２と、第１アーム２１の膨張長さΔＬ１との間
には次の関係があることがわかる。
ここで、Ｌ ′ ：有効第２アーム長さｚ２ ：第２ア
ーム２２の駆動軸減速 機減速比 第４図は、第２アーム２２の熱膨張を測定している状態
であり、第１アーム２１を振って被検出部分１１ｂが検
出器１２ｂに検出された時の姿勢を第２アーム２２が伸
びる前（実線）と伸びた後（二点鎖線）で示した。第１
アーム２１の伸びは、検出器１２ｂの光軸方向（検出方
向には直角）なので無視できる。第３図同様に第４図よ
り第１７−ム２１のモータ軸エンコーダの読みの差ΔＥ
１と、第２アームの膨張長さΔＬ２との間には次の関係
がある。
ーム２２の駆動軸減速 機減速比 第４図は、第２アーム２２の熱膨張を測定している状態
であり、第１アーム２１を振って被検出部分１１ｂが検
出器１２ｂに検出された時の姿勢を第２アーム２２が伸
びる前（実線）と伸びた後（二点鎖線）で示した。第１
アーム２１の伸びは、検出器１２ｂの光軸方向（検出方
向には直角）なので無視できる。第３図同様に第４図よ
り第１７−ム２１のモータ軸エンコーダの読みの差ΔＥ
１と、第２アームの膨張長さΔＬ２との間には次の関係
がある。
ここで、Ｌ ′：有効第１アーム長
Ｚｌ ：第１アーム２１の駆動軸減速機減速比
これらの式（１）、（２＞を使ってアームの熱膨張値を
求めることができる。このようにして求めな熱膨張値は
、ロボットコントローラの１４の長パラメータを変更す
るなどしてロボットの温度補償に使える。
求めることができる。このようにして求めな熱膨張値は
、ロボットコントローラの１４の長パラメータを変更す
るなどしてロボットの温度補償に使える。
また、上記測定を複数回行うことにより、熱膨張値を精
度良く求めることも可能である。
度良く求めることも可能である。
以上述べた実施例によれば、被検出部分１１ａ。
１１ｂも熱伝導により膨張するが、この構成の場合、膨
張する方向が検出器光軸方向（検出方向には直角）なの
で影響は無視できる。このことはもし別の方向、仮に被
検出部分１１ａと被検出部分１１ｂが逆の取付けの場合
は第一アーム２１が伸びな時、被検出部分１１ａの伸び
は第１アーム２１と同一方向なためどちらの膨張の影響
がどれだけかわからなくなるという問題を生じるが、こ
の構成の場合はは生じないという利点がある。
張する方向が検出器光軸方向（検出方向には直角）なの
で影響は無視できる。このことはもし別の方向、仮に被
検出部分１１ａと被検出部分１１ｂが逆の取付けの場合
は第一アーム２１が伸びな時、被検出部分１１ａの伸び
は第１アーム２１と同一方向なためどちらの膨張の影響
がどれだけかわからなくなるという問題を生じるが、こ
の構成の場合はは生じないという利点がある。
さらに、検出器１２ａ、１２ｂを支持しているはり１３
をセラミックなど熱膨張の少ない材料を使えば、環境温
度が変化した際のアームの伸縮も含めて解析することが
できる。
をセラミックなど熱膨張の少ない材料を使えば、環境温
度が変化した際のアームの伸縮も含めて解析することが
できる。
また、検出器１２ａ、１２ｂは非接触式のため本装置は
寿命が長い。
寿命が長い。
第５図は本発明の第２の実施例を示すもので、前述の実
施例と比較して、光学遮断式検出器１２ａ。
施例と比較して、光学遮断式検出器１２ａ。
１２ｂが接触検出器１５ａ、１５ｂに、被検出部分１２
ａ、１２ｂが被接触部分１６ａ、１６ｂになっている。
ａ、１２ｂが被接触部分１６ａ、１６ｂになっている。
接触検出器としては、接触してから力が加わってもバネ
で支持されている球が逃げることで過大な力が生じるこ
とがないタッチセンサなどが考えられる。被接触部分１
５ａ、１５ｂの接触面の向きは、第１の実施例の検出器
１２ａ。
で支持されている球が逃げることで過大な力が生じるこ
とがないタッチセンサなどが考えられる。被接触部分１
５ａ、１５ｂの接触面の向きは、第１の実施例の検出器
１２ａ。
１２ｂの光軸の向きと同じ扱いで、検出方向に直角でな
ければならない。
ければならない。
このように構成した第２の実施例であっても、前述の実
施例と同様な効果が得られるばかりでなく、光遮断式検
出器１２ａ、１２ｂが接触検出器１５ａ、１５ｂに代っ
たことから、接触検出器１５ａ、１５ｂは光遮断式検出
器１２ａ、１２ｂに比較して外乱光などの影響を受けず
環境に対する安定性がある。
施例と同様な効果が得られるばかりでなく、光遮断式検
出器１２ａ、１２ｂが接触検出器１５ａ、１５ｂに代っ
たことから、接触検出器１５ａ、１５ｂは光遮断式検出
器１２ａ、１２ｂに比較して外乱光などの影響を受けず
環境に対する安定性がある。
［発明の効果］
本発明によれば、アーム長を直接に測定する高価なビジ
ョンシステムを使うことなく、光遮断式検出器や接触検
出器などの安価なセンサで、ロボット本体が持っている
エンコーダの位置割り出し機能を利用して、時折、アー
ム長の測定を行なうことで温度補償が実現可能となる産
業用ロボットを提供できる。
ョンシステムを使うことなく、光遮断式検出器や接触検
出器などの安価なセンサで、ロボット本体が持っている
エンコーダの位置割り出し機能を利用して、時折、アー
ム長の測定を行なうことで温度補償が実現可能となる産
業用ロボットを提供できる。
第１図は本発明の産業用ロボットの第１の実施例を示す
斜視図、第２図は第１図の検出器の配置と向きを示す平
面図、第３図は第１図の装置で第１アームの熱膨張を測
定する際の説明図、第４図は第１図の装置で第２アーム
の熱膨張を測定する際の説明図、第５図は本発明の産業
用ロボットの温度補償装置の第２の実施例を示す斜視図
、第６図は従来の産業用ロボットの一例を示す斜視図で
ある。 １１ａ、１１ｂ＝・・被検出部分、１２ａ、１２ｂ・・
・光遮断式検出器、１４・・・ロボットコントローラ、
１５ａ、１５ｂ・・・接触検出器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦ｗＥ１ｔ！１ １Ｉ２ｔ！１ ！ｉ５図 ｗ＆６ 図
斜視図、第２図は第１図の検出器の配置と向きを示す平
面図、第３図は第１図の装置で第１アームの熱膨張を測
定する際の説明図、第４図は第１図の装置で第２アーム
の熱膨張を測定する際の説明図、第５図は本発明の産業
用ロボットの温度補償装置の第２の実施例を示す斜視図
、第６図は従来の産業用ロボットの一例を示す斜視図で
ある。 １１ａ、１１ｂ＝・・被検出部分、１２ａ、１２ｂ・・
・光遮断式検出器、１４・・・ロボットコントローラ、
１５ａ、１５ｂ・・・接触検出器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦ｗＥ１ｔ！１ １Ｉ２ｔ！１ ！ｉ５図 ｗ＆６ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 据付部分に対して第１アームと第２アームが順次水平に
取付けられ、かつこれらが９０°に屈曲した状態にあり
、それを制御するロボットコントローラを有する水平多
関節形ロボットにおいて、前記据付部分に対してその方
向が可変できるように取付けられ、熱膨張の少ない材料
からなるはりと、 前記第２アームの先端に取付けられた被検出部と、 前記はりに取付けられこのはりを回動させて前記被検出
部を非接触状態ではさむ接触した状態で有効アーム長を
検出するセンサと、 このセンサで検出された有効アーム長と、前記ロボット
コントローラに有するモータ軸エンコーダから求められ
る熱膨張時と基本アーム長時の角度差と、アーム駆動軸
減速機減速比とからアームの熱膨張長さを求める演算部
とを具備した産業用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8857888A JPH01264786A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 産業用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8857888A JPH01264786A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 産業用ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01264786A true JPH01264786A (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=13946729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8857888A Pending JPH01264786A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 産業用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01264786A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07314367A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-05 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットの精度補正方法 |
| WO2002047871A1 (fr) * | 2000-12-12 | 2002-06-20 | Ulvac,Inc. | Procede de transfert de substrat |
| JP2018523307A (ja) * | 2015-07-13 | 2018-08-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 |
| CN108413906A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-08-17 | 天津英创汇智汽车技术有限公司 | 用于精密测量的温度补偿辅助机构及测量方法 |
| WO2022239266A1 (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び膨張量算出方法 |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP8857888A patent/JPH01264786A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07314367A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-05 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットの精度補正方法 |
| WO2002047871A1 (fr) * | 2000-12-12 | 2002-06-20 | Ulvac,Inc. | Procede de transfert de substrat |
| JP2018523307A (ja) * | 2015-07-13 | 2018-08-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 |
| US10978330B2 (en) | 2015-07-13 | 2021-04-13 | Brooks Automation, Inc. | On the fly automatic wafer centering method and apparatus |
| JP2021170667A (ja) * | 2015-07-13 | 2021-10-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 |
| CN108413906A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-08-17 | 天津英创汇智汽车技术有限公司 | 用于精密测量的温度补偿辅助机构及测量方法 |
| WO2022239266A1 (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び膨張量算出方法 |
| JPWO2022239266A1 (ja) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 |
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