JPH01265134A - 集光レンズのエネルギー吸収率測定装置 - Google Patents
集光レンズのエネルギー吸収率測定装置Info
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- JPH01265134A JPH01265134A JP9335788A JP9335788A JPH01265134A JP H01265134 A JPH01265134 A JP H01265134A JP 9335788 A JP9335788 A JP 9335788A JP 9335788 A JP9335788 A JP 9335788A JP H01265134 A JPH01265134 A JP H01265134A
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- JP
- Japan
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- condensing lens
- energy absorption
- shielding plate
- laser beam
- integrating sphere
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ用光学部品の１つである集光レンズ、
特に、Ｋ Ｃｌ ＋ Ｋ Ｂ ｒｌ Ｎ ａＣｌ ＋
Ｚ ｎｓｅ、 ＣｄＴｅ、 Ｇ ｅ。
特に、Ｋ Ｃｌ ＋ Ｋ Ｂ ｒｌ Ｎ ａＣｌ ＋
Ｚ ｎｓｅ、 ＣｄＴｅ、 Ｇ ｅ。
Ｓｉ、 ＧａＡｓ、 ＩｎＳｂなどで作られるＣｏ、
ＣＯ，、ＹＡＧ等の大出力レーザ用業光レンズのエネル
ギー吸収率測定装置に関する。
ＣＯ，、ＹＡＧ等の大出力レーザ用業光レンズのエネル
ギー吸収率測定装置に関する。
（従来の技術）
レーザカロリメトリー法を用いてレーザ用集光レンズの
エネルギー吸収率を測定するときには、測定対象物であ
る集光レンズの焦点距離がいろいろ異なるため、レンズ
通過後のレーザ光を常に完全にパワーメータでとらえる
ことが難しく、正確な測定が不可能であった。また、パ
ワーメータ等からの散乱反射光が、集光レンズ周囲の熱
平衡を乱したり、集光レンズに直接照射されるために集
光レンズの温度変化の測定値に誤差を与えるという問題
があった。
エネルギー吸収率を測定するときには、測定対象物であ
る集光レンズの焦点距離がいろいろ異なるため、レンズ
通過後のレーザ光を常に完全にパワーメータでとらえる
ことが難しく、正確な測定が不可能であった。また、パ
ワーメータ等からの散乱反射光が、集光レンズ周囲の熱
平衡を乱したり、集光レンズに直接照射されるために集
光レンズの温度変化の測定値に誤差を与えるという問題
があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記の問題を解消し、種々の焦点距離を有す
る集光レンズについて、散乱反射光の影響を除いて、集
光レンズのエネルギー吸収率を精確に測定することがで
きる装置を提供しようとするものである。
る集光レンズについて、散乱反射光の影響を除いて、集
光レンズのエネルギー吸収率を精確に測定することがで
きる装置を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザカロリメトリー法を用いて集光レンズ
のエネルギー吸収率を測定する装置において、レーザ光
路に測定対象物である集光レンズ、ピンホールを有する
散乱反射光遮蔽板、及び、アパーチャをレーザ光路に向
けた積分球を置き、該遮蔽板をレーザ光の焦点位置にす
る移動手段を設け、かつ、集光レンズ側面に熱電対を付
設し、該熱電対及び積分球のディテクタからの信号をデ
ータロガに収集するようにしたことを特徴とする集光レ
ンズのエネルギー吸収率測定装置である。なお、遮蔽板
は、例えば銅、アルミニウム等の赤外光を反射する性質
を有する材料で作られる。
のエネルギー吸収率を測定する装置において、レーザ光
路に測定対象物である集光レンズ、ピンホールを有する
散乱反射光遮蔽板、及び、アパーチャをレーザ光路に向
けた積分球を置き、該遮蔽板をレーザ光の焦点位置にす
る移動手段を設け、かつ、集光レンズ側面に熱電対を付
設し、該熱電対及び積分球のディテクタからの信号をデ
ータロガに収集するようにしたことを特徴とする集光レ
ンズのエネルギー吸収率測定装置である。なお、遮蔽板
は、例えば銅、アルミニウム等の赤外光を反射する性質
を有する材料で作られる。
（作用）
第１図は、本発明の１具体例である集光レンズのエネル
ギー吸収率測定装置の概念図である。
ギー吸収率測定装置の概念図である。
レーザ光路に集光レンズ１１ピンホールを有する散乱反
射光遮蔽板２、及び積分球３を配置し、上記３者のうち
いずれかを光軸に沿って移動することによって、レーザ
光の焦点距離に遮蔽板２を置き、レーザ光のみを通過さ
せ、かつ、散乱反射光を集光レンズに照射しないように
遮蔽する役割をする。また、遮蔽板２のピンホールを通
過したレーザ光を、アパーチャを経て総てを受けるよう
に積分球３を配置する。
射光遮蔽板２、及び積分球３を配置し、上記３者のうち
いずれかを光軸に沿って移動することによって、レーザ
光の焦点距離に遮蔽板２を置き、レーザ光のみを通過さ
せ、かつ、散乱反射光を集光レンズに照射しないように
遮蔽する役割をする。また、遮蔽板２のピンホールを通
過したレーザ光を、アパーチャを経て総てを受けるよう
に積分球３を配置する。
上記の配置の下でレーザ光を測定対象物である集光レン
ズに導入し、遮蔽板のピンホール及びアパーチャを経て
、積分球で受け、集光レンズの温度変化を熱雷対で検出
し、積分球のディテクタの信号と合わせてデータロガに
送り、集光レンズのエネルギー吸収率を求めるものであ
る。
ズに導入し、遮蔽板のピンホール及びアパーチャを経て
、積分球で受け、集光レンズの温度変化を熱雷対で検出
し、積分球のディテクタの信号と合わせてデータロガに
送り、集光レンズのエネルギー吸収率を求めるものであ
る。
このように、遮蔽板を集光レンズと積分球の間のレーザ
光の焦点に配置することにより、集光レンズを通過させ
たレーザ光をピンホールを介して総て積分球に導入する
とともに、積分球からの散乱反射光が集光レンズを照射
することを防止することができ、その結果、安定した熱
平衡状態における集光レンズの温度測定を可能にした。
光の焦点に配置することにより、集光レンズを通過させ
たレーザ光をピンホールを介して総て積分球に導入する
とともに、積分球からの散乱反射光が集光レンズを照射
することを防止することができ、その結果、安定した熱
平衡状態における集光レンズの温度測定を可能にした。
（実施例）
第１図の装置を用いて、レーザ光の照射による集光レン
ズの温度上昇と遮断後の温度降下を測定した。
ズの温度上昇と遮断後の温度降下を測定した。
集光レンズはＺｎ５ｅ製で焦点距離が６３．５１のもの
を用いた。遮蔽板はＣｕ製で厚さは２■、ピンホールの
直径が０．５閣のものを用いた。また、積分球はＣｕｒ
Ｍで直径１５２閣で、ターゲットは直径２５．４ｍで高
さ５■の円錐形であり、アパーチャの直径は２５．４−
のものを用いた。
を用いた。遮蔽板はＣｕ製で厚さは２■、ピンホールの
直径が０．５閣のものを用いた。また、積分球はＣｕｒ
Ｍで直径１５２閣で、ターゲットは直径２５．４ｍで高
さ５■の円錐形であり、アパーチャの直径は２５．４−
のものを用いた。
第２図は、上記の実験結果を示したグラフであり、レー
ザ光の照射による集光レンズの温度上昇と、レーザ光の
遮蔽後の温度降下時における、同一温度における微分係
数の絶対和が各点において士（１，０１％以内のバラツ
キであり、安定した熱平衡状態の下にあったことが分か
った。
ザ光の照射による集光レンズの温度上昇と、レーザ光の
遮蔽後の温度降下時における、同一温度における微分係
数の絶対和が各点において士（１，０１％以内のバラツ
キであり、安定した熱平衡状態の下にあったことが分か
った。
なお、遮蔽板を用いずに、上記と同様の実験を行ったと
ころ、バラツキは上記の１０倍を示した。
ころ、バラツキは上記の１０倍を示した。
第１図は本発明の１具体例である集光レンズのエネルギ
ー吸収率測定装置の概念図であり、第２図は実施例にお
ける集光レンズの吸収率測定結果を示したグラフである
。
ー吸収率測定装置の概念図であり、第２図は実施例にお
ける集光レンズの吸収率測定結果を示したグラフである
。
Claims (1)
- レーザカロリメトリー法を用いて集光レンズのエネルギ
ー吸収率を測定する装置において、レーザ光路に測定対
象物である集光レンズ、ピンホールを有する散乱反射光
遮蔽板、及び、アパーチャをレーザ光路に向けた積分球
を置き、該遮蔽板をレーザ光の焦点位置にする移動手段
を設け、かつ、集光レンズ側面に熱電対を付設し、該熱
電対及び積分球のディテクタからの信号をデータロガに
入力するようにしたことを特徴とする集光レンズのエネ
ルギー吸収率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9335788A JPH01265134A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 集光レンズのエネルギー吸収率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9335788A JPH01265134A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 集光レンズのエネルギー吸収率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01265134A true JPH01265134A (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=14080026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9335788A Pending JPH01265134A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 集光レンズのエネルギー吸収率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01265134A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103591910A (zh) * | 2013-10-28 | 2014-02-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种辐射计光阑面积的高精度测量装置 |
-
1988
- 1988-04-18 JP JP9335788A patent/JPH01265134A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103591910A (zh) * | 2013-10-28 | 2014-02-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种辐射计光阑面积的高精度测量装置 |
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