JPH01266462A - 全方向均一型空気吹出口 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、主としてクリーンルームの天井に取付けられ
る空気吹出口に関するものであり、さらに詳しくは、擬
似的な押し出し流を発生させて換気を行う全方向均一型
空気吹出口に係るものである。

［従来の技術］ 一般に、クリーンルームの換気は、天井に設置された空
気吹出口から清浄な空気を送り出すことによって行われ
ている。

例えば、清浄空気の気流によってクリーンルーム内に攪
拌効果をおこし、塵埃濃度のムラを防ぎつつ、濃度を稀
釈していく乱流式のクリーンルームが知られている。こ
のような乱流式のクリーンルームの空気吹出口としては
、初期的なタイプとして、第４図に示すように、空気清
浄フィルタが内蔵された吹出口１の本体の下端に、円錐
台形のチャンバ２が下方に突出して取付けられ、このチ
ャンバ２の下面に多数の吹出孔が設けられたパンチング
フェイス３が形成されている。しかし、このような吹出
口１は、吹出口直下は強い下降流、逆に吹出口間やクリ
ーンルームの壁際では上昇流が発生するのみで、単純な
対流しかおこらず、攪拌効果が低かった。そのため、塵
埃の濃度ムラが大きくコスト的に不利だった。なお、ａ
は清浄な空気の気流を示す。

そこで、第５図に示すような、垂直吹出と共に天井面に
水平吹出する吹出口４や第６図に示すような、アネモ吹
出口を用いて斜め方向に吹出す吹出口５が提案され、攪
拌効果の向上が図られていた。このような改良型の乱流
式クリーンルームの空気吹出口としては、実開昭６２−
１０５４４９号に記載された考案がある。この空気吹出
口は、第７図に示すように吹出口本体の下端に、底面円
形状のパンチングフェイス３０を備え、このパンチング
フェイス３０内に吹出口本体と同心円を成す円錐状のバ
ッフルプレート６を取付けたことを特徴とし、パンチン
グフェイス３０からの気流ａの拡散性が極めて高い。従
って攪拌効果に優れ、塵埃！！度のムラは非常に少ない
。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、以上のような従来技術には次のような課題があ
った。

すなわち、上記のような乱流式をとる場合、攪拌効果が
高ければ、塵埃の高濃度な場所が生じにくい反面、気流
ａによって渦流が発生し、塵埃がクリーンルーム内から
除去されなかった。例えば、前記実開昭６２−１０５４
４９号記載の実施例においても、気流ａはバッフルプレ
ート６に沿って斜め方向に強く送り出され、パンチング
フェイス３０の真下の気流ａとの間で渦流が発生しやす
い。

以上のように、従来技術においては、クリーンルーム内
に塵埃の濃度ムラは発生しないが、塵埃聞そのものが著
しく減少することはなく、かえって局所的な渦流発生の
場合では塵埃が除去さｈＩ、。

くくなっていた。本発明は、このような課題を解゛決す
るために提案されたものであり、その目的は、クリーン
ルーム内の塵埃を押し出すように排出し、塵埃を一掃さ
せる、優れた全方向均一型空気吹出口を提供することで
ある。

［課題を解決するための手段］ 以上のような課題を解決するために、本発明の全方向均
一型空気吹出口は空気清浄用のフィルタが内蔵された吹
出口本体の下端に１、全面に多数の吹出孔が設置された
略半球状の吹出面を下方へ突出するように取付け、 この吹出面の内部に、吹出面全面に均一に空気を供給す
るよう吹出面から一定の距離を保って設置される均一拡
散部材を備えたことを特徴とする。

［作　用］ 以上のような構成を有する本発明の作用は、次のとおり
である。

すなわち、空気清浄用のフィルタを通過した空気は、均
一拡散部材に当たり、均一に拡散される。

この拡散された空気は、均一に略半球状の吹出面に当た
り、全面に形成された吹出孔から全方向に吹出されてい
く。

この空気は、吹出面から円周方向への特性差が出ない様
吹出し、クリーンルーム内に巨視的な渦を作らずに上か
ら下へ微風速で流れ、擬似−様流的な押し出し流となる
。この押し出し流に乗せて塵埃をできるだけ濃いまま排
出し、清浄度の回復を図る。

このような押し出し流は、コンベンション型クリーンル
ームでは、循環風量が少なく、その吹出口も点在である
ため、形成が困難でおると考えられていた。しかも、こ
の押し出し流は微風速で擬似的に形成されるため、作業
員の動き、照明の発熱、吹出温度差などのちょっとした
外乱によっても乱れる恐れがあり、実現が難しいと思わ
れていた。

しかしながら、本件出願人の実験により上記の構成を有
する本発明の清浄度回復特性は、作業員の歩行頻度が著
しく高くない限り、瞬時−様拡散の理論値を大きく超え
ており、平均的な清浄度も従来型と比べて良好であるこ
とが明らかになった。

ところで、吹出表面が曲面状となる実開昭６２−１０５
４４９号記載の考案は、形状的には本発明と似ているも
のの、その目的とする所は気流の拡散性を向上させ、塵
埃の攪拌効果を高めることをめざしたものであり、本発
明のように、擬似的な押し出し流を形成する程の全方向
性や均一性を目的とした形状を示すものではなかった。

以上のように、本発明は、擬似的な押し出し流を吹出す
ことにより、従来技術と比べて同−風量で高い清浄度を
得ることができ、且つ、従来技術と同一の平均清浄度を
得る際にも、より少ない風量で済むので省エネルギー化
が図ることができる。

［実施例］ 以上説明したような本発明の一実施例を図面に基づいて
具体的に説明する。

本実施例の構成＊ 第１図に示すように、空気清浄用のフィルタが内蔵され
た全方向均一型空気吹出口７は、吹出口本体の下端部に
、短い円柱部とこれに連なる円心円状の半真珠部からな
る吹出面８が下方に突出して設けられている。この吹出
面８は、全面に多数の吹出孔が設置された、目の細かい
、パンチングメタルや金網、又は、目の粗い金網に支え
ら°れた化繊やガラス繊維などの布から構成されており
、適度に大きな抵抗を均一に与えられている。

また、この吹出面８の内部には、吹出面２と同心状の均
一拡散板９が設けられており、吹出面８と同様の部材で
構成されている。

本実施例の作用＊ 以上のような構成を有する本実施例の作用は次のとおり
でおる。

すなわち、空気清浄用のフィルタを通過した空気が、均
一拡散板９に当たり、均一の抵抗が与えられつつ、上流
からの動圧が弱められる。

ざらに、この空気が吹出面８に均一に供給され、吹出孔
から擬似−様流的な押し出し流となって至内に長されて
いく。この時、吹出面８の円柱部は、周囲方向への風量
を増加させ、半真球部からは全方向に均一に吹出される
。また、吹出面８には均一に比較的大きな抵抗が与えら
れているため、吹田風速に高い均一性が得られる。

以上のような本実施例の洗浄度回復特性を従来技術と比
較すると第８図に示すように、換気回数を２０回／ｈと
した時、本実施例は、２０回／ｈの理論線を超える洗浄
度をもたらす。

さらに、本実施例は、微風速であるため、作業０の歩行
などにより、押し出し流が乱される心配があったが、第
９図に示すとおり、第６図の吹出口５の清浄度と比べて
も、人の歩行時以外の時の塵埃濃度は著しく低く、平均
しても、本実施例の清浄度の方が明らかに優れている。

＊他の実施例＊ 本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、均一
拡散部材は吹出面全面に均一に空気を供給できればよく
、例えば、同心円状のベーンなとでもよい。また、吹出
面の円柱部の長さを変えることにより、室端への風量配
分比を変えることができる。さらに、同様の主旨で正面
縦長楕円形状の吹出面８０を備えた全方向均一型空気吹
出口７０としてもよい。（第２図）この時、均一拡散部
材９０は、同心状のものとする。

また、天井から大きく突き出ることは、実用上支障とな
ることが多い。そこで、第３図に示すように、所定の高
さで半球を輪切りにし、二重（若しくは多重）に球冠の
吹出面１１．１２を重ねる型の全方向均一型空気吹出口
１０でもよい。この場合も、吹出面１１．１２は、大き
さが異なる、同心円状に形成されており、両者は、やは
り同心円状の円錐台状のリング１３で区画されており、
気流を防げるものではない。このような実施例において
は、外周部へ吹出される風量の配分比が大きくなるが、
敢えて全方向均一吹出が必要な場合には、外側の吹出面
１１の構成部材の抵抗係数を内側の吹出面１２のそれよ
り大きく設定する事により、均一吹出に近づけることが
可能である。なお、均一拡散板１４．１５は各々吹出面
１１，１２の方向に設置されている。

尚、上記の実施例においては、フランジの外形を円形と
してきたが、それは丸型のフィルタボックス用又はダク
ト接続用の形であり、角形フィルタボックス用には外形
を角形とするフランジを用いる。

［発明の効果］ 以上述べたよつに、本発明の全方向均一型空気吹出口に
よれば、略半球状の吹出面と、その内部に、吹出面全面
に均一に空気を供給する均一拡散部材を備えるという簡
単な構成によって、擬似−様流的な押し出し流を作り出
し、瞬時−様拡散の理論地を上回る清浄度回復特性を示
す優れた清浄効果をもたらす全方向均一型空気吹出口を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本実施例の側面図、第２図は他の実施例の側
面図、第３図は他の実施例の側面断面図、第４図〜第６
図は従来例の側面図、第７図は従来例の側面断面図、第
８図は各種吹出口の洗浄度回復特性を比較するグラフ、
第９図は人の歩行前後にあける至内清浄度変化の本発明
と従来例とを比較するグラフである。 １・・・吹出口、２・・・チャンバ、３・・・パンチン
グフェイス、４，５・・・吹出口、６・・・バッフルプ
レート、７・・・全方向均一型空気吹出口、８・・・吹
出面、９・・・内部拡散材、１０・・・全方向均一型空
気吹出口、１１．１２・・・吹出面、１３・・・リング
、１４．１５・・・均一拡散板、ａ・・・気流。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気清浄用のフィルタが内蔵された吹出口本体の下端に
   、全面に多数の吹出孔が設置された略半球状の吹出面を
   下方へ突出するように取付け、この吹出面の内部に、吹
   出面全面に均一に空気を供給するよう吹出面から一定の
   距離を保って設置される均一拡散部材を備えたことを特
   徴とする全方向均一型空気吹出口。