JPH0728511Y2 - 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 - Google Patents
可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造Info
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- JPH0728511Y2 JPH0728511Y2 JP2433391U JP2433391U JPH0728511Y2 JP H0728511 Y2 JPH0728511 Y2 JP H0728511Y2 JP 2433391 U JP2433391 U JP 2433391U JP 2433391 U JP2433391 U JP 2433391U JP H0728511 Y2 JPH0728511 Y2 JP H0728511Y2
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- Japan
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- booth
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- clean
- curved perforated
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Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 title 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は可搬式クリーンブース内
に濾過処理した清浄空気を一方から巻き上げることなく
送気できて他方から押出状に排気できるようにした可搬
式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造に関する
ものである。
に濾過処理した清浄空気を一方から巻き上げることなく
送気できて他方から押出状に排気できるようにした可搬
式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】可搬式クリーンブースは食品工業をはじ
めとするバイオクリーンルームや半導体工業をはじめと
するインダストリアルクリーンルームに広く用いられ、
工場内の必要なエリアだけを選択的に清浄空間とするこ
とができ、工場全体をクリーンにしないで済むので、経
済性、省エネルギー性、省力性から優れた利点がある。
めとするバイオクリーンルームや半導体工業をはじめと
するインダストリアルクリーンルームに広く用いられ、
工場内の必要なエリアだけを選択的に清浄空間とするこ
とができ、工場全体をクリーンにしないで済むので、経
済性、省エネルギー性、省力性から優れた利点がある。
【０００３】従来、可搬式クリーンブースの清浄空気の
吹出口は平板形の多孔板がブース天井面に取り付けられ
て使用されているが、その吹出口からクリーンブース内
に吹出された清浄空気によりクリーンブース内の塵埃を
多量に含む空気は対流や渦流等を生起して巻き上げられ
たり攪拌されたりして塵埃を拡散して清浄な空間を確保
することが極めて困難であった。通常の場合、送風量１
５０回／時、ブース内発塵ゼロ（無負荷）の条件下で、
０．５μ径の粉塵が約１０，０００個（クラス１０００
０）程度の性能であり、清浄度に劣る欠点があった。
吹出口は平板形の多孔板がブース天井面に取り付けられ
て使用されているが、その吹出口からクリーンブース内
に吹出された清浄空気によりクリーンブース内の塵埃を
多量に含む空気は対流や渦流等を生起して巻き上げられ
たり攪拌されたりして塵埃を拡散して清浄な空間を確保
することが極めて困難であった。通常の場合、送風量１
５０回／時、ブース内発塵ゼロ（無負荷）の条件下で、
０．５μ径の粉塵が約１０，０００個（クラス１０００
０）程度の性能であり、清浄度に劣る欠点があった。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】本考案は可搬式クリー
ンブース内に上方から送気された清浄空気により該クリ
ーンブース内の多量の塵埃を含む空気が巻き上げられた
り攪拌されたりすることなく、押出状に下方から排気で
きるようにして上方に向かう塵埃の拡散を防止してブー
ス内の清浄度を確保できる可搬式クリーンブースにおけ
る曲面多孔板吹出構造を得ようとするものである。
ンブース内に上方から送気された清浄空気により該クリ
ーンブース内の多量の塵埃を含む空気が巻き上げられた
り攪拌されたりすることなく、押出状に下方から排気で
きるようにして上方に向かう塵埃の拡散を防止してブー
ス内の清浄度を確保できる可搬式クリーンブースにおけ
る曲面多孔板吹出構造を得ようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は上記の如き観点
に鑑みてなされたもので、可搬式クリーンブースの天井
パネルの下面に曲面多孔板吹出を取り付け、清浄空気を
該ブースの空間内に吐出し、該曲面多孔板吹出の内部に
案内羽根が取り付けられ、該案内羽根の流入側の羽根は
等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根によ
り形成される空気の流出方向が曲面に対して略直角にな
るように配置されている可搬式クリーンブースにおける
曲面多孔板吹出構造を提供しようとするものである。
に鑑みてなされたもので、可搬式クリーンブースの天井
パネルの下面に曲面多孔板吹出を取り付け、清浄空気を
該ブースの空間内に吐出し、該曲面多孔板吹出の内部に
案内羽根が取り付けられ、該案内羽根の流入側の羽根は
等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根によ
り形成される空気の流出方向が曲面に対して略直角にな
るように配置されている可搬式クリーンブースにおける
曲面多孔板吹出構造を提供しようとするものである。
【０００６】
【作用及び実施例】以下、本考案一実施例の構成を図面
を参照しながら作用と共に説明する。クリーンブース１
を構成する４本の脚フレーム２には帯電防止ビニールカ
ーテン３が取り付けられ、その下端部に鎖の重り４が付
着されて該ブース１内の風圧に適当に対抗して壁面を構
成するようになされている。該ブース１の上部に天井パ
ネル５が張設され、それと前記カーテン３とによりブー
ス空間６が形成されている。該天井パネル５の上には吐
出チャンバー７とそれに隣接させたファンケーシング８
が取り付けられ、該ファンケーシング８にはその側面に
開穿された吸込口９と該吸込口９部に張設されたプレフ
ィルター１０、内部に配置されたファン１１とそのファ
ンモーター１２が配設され、前記吐出チャンバー７の下
面に穿設された吐出口１３にはメインフィルター（高性
能フィルター）１４が敷設され、前記ファンモーター１
２の作動によりファン１１が回転駆動するとファンケー
シング８の吸込口９から外部空気が吸い込まれてプレフ
ィルター１０を通る過程で粗濾過されて吐出チャンバー
７内に入気し、該吐出チャンバー７を経由してメインフ
ィルター１４を通過する過程で精濾過されて吐出口１３
からブース空間６内に清浄空気が吐出される。該吐出口
１３の下側に位置する天井パネル５には曲面多孔板吹出
１５が取り付けられ、前記曲面多孔板吹出１５の内部に
は案内羽根１６が吐出チャンバー７の吐出口１３に対し
て等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根１
６により形成される空気の流出方向が曲面１７に対して
略直角になるように配置されている。それにより上記吐
出口１３から吐出された清浄空気は曲面多孔板吹出１５
の案内羽根１６間に等量の清浄空気が導入され、且つそ
の流出方向が曲面１７に対して略直角になるようになさ
れているから、該清浄空気は曲面多孔板吹出１５の曲面
１７を一端部としてブース空間６に放射状に等速に流出
する。従って、曲面多孔板吹出１５から流出した清浄空
気はブース空間６に向かって整流となって平行移動的即
ちトコロテン式に押し出されて排気される。そして、前
記天井パネル５の下面にはブース空間６を照明する蛍光
灯１８が取り付けられ、脚フレーム２の所要箇所には上
記ファンモーター１２用のファンスイッチ１９、上記蛍
光灯用の照明スイッチ２０、その他、コンセント２１が
付設され、また、その下部にプラグ付電源コード２２が
取り付けられている。前記脚フレーム２の下端にはスト
ッパー付キャスター２３が設けられて、ブース１が可搬
式に構成されている。
を参照しながら作用と共に説明する。クリーンブース１
を構成する４本の脚フレーム２には帯電防止ビニールカ
ーテン３が取り付けられ、その下端部に鎖の重り４が付
着されて該ブース１内の風圧に適当に対抗して壁面を構
成するようになされている。該ブース１の上部に天井パ
ネル５が張設され、それと前記カーテン３とによりブー
ス空間６が形成されている。該天井パネル５の上には吐
出チャンバー７とそれに隣接させたファンケーシング８
が取り付けられ、該ファンケーシング８にはその側面に
開穿された吸込口９と該吸込口９部に張設されたプレフ
ィルター１０、内部に配置されたファン１１とそのファ
ンモーター１２が配設され、前記吐出チャンバー７の下
面に穿設された吐出口１３にはメインフィルター（高性
能フィルター）１４が敷設され、前記ファンモーター１
２の作動によりファン１１が回転駆動するとファンケー
シング８の吸込口９から外部空気が吸い込まれてプレフ
ィルター１０を通る過程で粗濾過されて吐出チャンバー
７内に入気し、該吐出チャンバー７を経由してメインフ
ィルター１４を通過する過程で精濾過されて吐出口１３
からブース空間６内に清浄空気が吐出される。該吐出口
１３の下側に位置する天井パネル５には曲面多孔板吹出
１５が取り付けられ、前記曲面多孔板吹出１５の内部に
は案内羽根１６が吐出チャンバー７の吐出口１３に対し
て等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根１
６により形成される空気の流出方向が曲面１７に対して
略直角になるように配置されている。それにより上記吐
出口１３から吐出された清浄空気は曲面多孔板吹出１５
の案内羽根１６間に等量の清浄空気が導入され、且つそ
の流出方向が曲面１７に対して略直角になるようになさ
れているから、該清浄空気は曲面多孔板吹出１５の曲面
１７を一端部としてブース空間６に放射状に等速に流出
する。従って、曲面多孔板吹出１５から流出した清浄空
気はブース空間６に向かって整流となって平行移動的即
ちトコロテン式に押し出されて排気される。そして、前
記天井パネル５の下面にはブース空間６を照明する蛍光
灯１８が取り付けられ、脚フレーム２の所要箇所には上
記ファンモーター１２用のファンスイッチ１９、上記蛍
光灯用の照明スイッチ２０、その他、コンセント２１が
付設され、また、その下部にプラグ付電源コード２２が
取り付けられている。前記脚フレーム２の下端にはスト
ッパー付キャスター２３が設けられて、ブース１が可搬
式に構成されている。
【０００７】
【考案の効果】本考案は以上の説明により明らかなよう
に、曲面多孔板吹出から流出した清浄空気はブース空間
に向かって整流となって放射状に流動して押し出されて
排気されるものであるから、濾過処理されてブース空間
内に導入された清浄空気は乱流を生ぜず、従って、塵埃
や粉塵等を巻き上げることがないので、高度の清浄度が
確保できるものである。
に、曲面多孔板吹出から流出した清浄空気はブース空間
に向かって整流となって放射状に流動して押し出されて
排気されるものであるから、濾過処理されてブース空間
内に導入された清浄空気は乱流を生ぜず、従って、塵埃
や粉塵等を巻き上げることがないので、高度の清浄度が
確保できるものである。
【０００８】上記実施例で、送風量１５０回／時、ブー
ス内発塵ゼロ（無負荷）の条件で、０．５μ径の粉塵が
約１０個（クラス１０）程度の性能が確認された。
ス内発塵ゼロ（無負荷）の条件で、０．５μ径の粉塵が
約１０個（クラス１０）程度の性能が確認された。
【図１】本考案一実施例の構成を示す正面図である。
【図２】本考案一実施例の構成を示す側面図である。
【図３】本考案一実施例の構成を示す平面図である。
【図４】本考案一実施例の構成の要部を示す断面図であ
る。
る。
１ クリーンブース ５ 天井パネル ６ ブース空間 １３ 吐出口 １５ 曲面多孔板吹出 １６ 案内羽根 １７ 曲面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 立田 敏明 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 三井第二別館 (72)考案者 久保 一朗 東京都中央区日本橋本石町４丁目４番20号 三井第二別館 (56)参考文献 実開 昭52−25462（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 可搬式クリーンブース１の天井パネル５
の下面に曲面多孔板吹出１５を取り付け、清浄空気を該
ブース１の空間６内に吐出し、該曲面多孔板吹出１５の
内部に案内羽根１６が取り付けられ、該案内羽根１６の
流入側の羽根は等間隔平行に取り付けられると共に、該
各案内羽根１６により形成される空気の流出方向が曲面
１７に対して略直角になるように配置されていることを
特徴とする可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹
出構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2433391U JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2433391U JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525241U JPH0525241U (ja) | 1993-04-02 |
| JPH0728511Y2 true JPH0728511Y2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=12135258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2433391U Expired - Lifetime JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0728511Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8992806B2 (en) | 2003-11-18 | 2015-03-31 | Honeywell International Inc. | Antireflective coatings for via fill and photolithography applications and methods of preparation thereof |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195636A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | クリーン作業モジュール及びクリーントンネル |
| JP2017087160A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | トリニティ工業株式会社 | 塗装ブース |
| JP7217720B2 (ja) | 2020-03-10 | 2023-02-03 | 信越化学工業株式会社 | ベースプレートの汚染防止方法 |
| JP7558720B2 (ja) * | 2020-08-26 | 2024-10-01 | 日本無機株式会社 | ブース組立ユニット |
| JP7102032B2 (ja) * | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| TWI896842B (zh) * | 2021-07-15 | 2025-09-11 | 日商西部技研股份有限公司 | 潔淨棚 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP2433391U patent/JPH0728511Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8992806B2 (en) | 2003-11-18 | 2015-03-31 | Honeywell International Inc. | Antireflective coatings for via fill and photolithography applications and methods of preparation thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525241U (ja) | 1993-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |