JPH01267796A - 光源の点灯確認装置を備えた紫外線応用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光源の点灯確認手段に係り特に、紫外線等人
体に有害な放射源の点灯を電気回路的に検出し、信号又
は表示灯等に変換して出力を出す紫外線放射源を応用し
た装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、特開昭６２−７１１９７号の記載のよう
に、ランプからの光を受光素子によって検出し。

その出力を利用してランプの光出力を調光するようにな
っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来構成では、ランプが点灯か消灯かのみを検出す
る目的には１回路が複雑で高価であった。

本発明の目的は、人体の有害な強い紫外線の放射光源の
点灯の確認を目視でなく電気的に行い安全性を確認する
ことのできる紫外線応用装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、光源の電極間に流れる放電々流に感応する
電気的な変化を検出し、変換して信号や表示灯の点灯を
することによって達成される。

〔作用〕

光源に流れる放電電流を変流器を通して電圧に変換し、
この電圧を利用して、Ｌ　Ｅ　Ｄの表示灯を点灯させる
ことや、電気信号として、制御装置に入力することがで
きるので、直接光源をみることなく、光源の点灯状態を
確認できる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を第１．２．３図により説明する。

強い紫外線を放射する光ｇ１は、ランプハウス２内に収
納されていて、外部からは、目視でその点灯状態が確認
できない構造となっている。該ランプハウス２に隣接し
て紫外光応用してアッシングやエツチング戎はＣＶＤ等
を行う処理室３がある。該紫外線放射光ｒＡ１は、両極
に熱陰極４゜４′を備えており、該熱陰極４，４′は、
点灯電源５の熱ｉｔｓ極予熱回路６，６′に接続されて
いる。

光源１が点灯すると熱陰極回路には、放電電流と陰極予
熱電流が流れる。放１！電流を検出する方法の一つの例
を第２図に、他の例を第３図に示す。

第２図においては、変流器１０の一次側に、熱陰極の両
端の導線を２本とも巻回したものであり、前記熱陰極に
流す予熱電流は、逆方向であるために相殺されて放電電
流のみが有効に磁場を作り、これが二次電圧を生じさせ
る。二次側には、生じた電圧を利用して、ＬＥＤ８を点
灯すると同時に抵抗９の両端から電気信号を取り出すこ
とができるようになっている。第３図に示した他の例は
。

熱陰極の２本の導線の一方をタイマーにより一定の時間
後にスイッチ１２をＯＦＦにしてやり、熱陰極の予熱電
流を流さないようにする。残りの導線を変流器の一次側
に巻回し、二次側の出力回路に前記タイマーにより同時
間後にＯＮとなるスイッチ１３をＯＮにしてやると、第
２図で説明したのと同じ動作をする。

〔発明の効果〕

本発明によれば、カバーにより光源が見えない状態でも
、光源の放電々流を検出し、変流器を介してＬ　ト：Ｄ
等の表示灯を点灯させたり、電気信号を出力できるよう
にすることができるので、人体に有害な紫外線放射光源
の放電状態を直接口で確認しなくてもすむ効果がある。

また電気信号の出力を同時に利用することができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による紫外線応用装置の概略ｍ成因、第
２図、第３図は夫々第１図における点灯確認手段の具体
的回路構成図である。 １・・・光源、２・・・ランプハウス、３・・・処理室
、４゜４′・・・熱陰極、５・・・点灯電源。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、紫外線を放射する光源を備えた紫外線応用装置にお
   いて、紫外線放射光源の点灯回路の放電電流又は、回路
   素子に流れる電流又は索子両端の電圧の変化を検出して
   、光源の点灯を電気的に確認し、電気信号又は表示灯或
   はその両方に変換して出力するようにしたことを特徴と
   する光源の点灯確認装置を備えた紫外線応用装置。 ２、複数ケのランプの点灯を電気的に確認しその信号を
   処理して、システムとして正常状態、異常状態の区別を
   して信号を出力するか表示をするか或はその両方をする
   機能をもつことを特徴とする第１項の紫外線応用装置。