JPH01267901A - 光源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光源装置に係り、特に広い平面を強い照度で照
射するのに適した光源装置に係る。

〔従来の技術〕

マイクロ波の空胴中で無電極ランプを点灯する装置は特
公昭５５−３５８２５号に記載されている。この装置は
マイクロ波の発振源と円筒状の空胴と直管形のランプか
ら成る。マイクロ波の電磁界がランプ中にプラズマを誘
起して、ランプが発光する。

この装置はランプに電極が無いので、（１）製作が容易
、（２）ランプ封入物の自由度が大いき、（３）大電力
化が容易、などの利点を有している。

またこの従来例では、空胴内面を曲面の光反射板とし、
曲面の形を変えることにより、空胴からとり出すランプ
光の方向などを制御する方法が述べられている。

〔発明が解決しようとするｉ題〕

上記従来技術では、ランプで広い平面を照射する場合、
光反射板を利用する。すると面内の照度の均一性は良く
なる。しかし、照度の大きさは。

ランプと被照射面の距離が長くなるために、あまり大き
くすることができない。

ところで、半導体製造プロセスなどのような特殊利用で
は、しばしば、光照度の面内の均一性に加えて照度の大
きさが重要になる。

本発明の目的は、広い平面を強い照度で照射でき、かつ
、ランプの始動と光の面均−性が改善された光源装置を
得ることである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、空胴の形を偏平にじて、かつ、その厚さを
部分的に変え、空胴内にランプを平面状に配置すること
で達成できる。

〔作用〕

偏平形空胴内で平面状に配したランプを点灯することで
広い平面を強い照度で照射できる。この装置で、さらに
空胴の厚さを局所的に薄くすると、その部分の電界強度
は強くなる。空胴の薄い部分に平面状に配されたランプ
の一部分がはさまっていると、ランプを始動するとき、
その部分で放電が生じ易くなる。すなわち、ランプの始
動がより確実に起こる。

また、空胴中の電界の強弱によりランプ光出力の平面分
布には明暗ができる。この明暗は、空胴の厚さを調節す
ることで緩和できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は本発明の全体構成図である。第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図である。偏平形の空胴１の中に直管形ラン
プ２が複数本配置されている。ランプ２の中には、たと
えば希ガス、希ガスとＨｇ　ｒＣｄ、Ｚｎ、Ａｓなどの
各種金属あるいはこれらのハロゲン化物゛、ヨウ素２重
水素などが封入されている。紫外線を利用する場合は、
ランプ２は石英などの紫外線透過物質でつくる。ランプ
２は高周波の誘導放電で点灯するので電極をつける必要
がない。マイクロ波電力は、マイクロ波電源６から導波
管５と電力供給口４を通して、空胴１に入る。マイクロ
波電源６は、たとえば周波数２．４５ＧＨｚ、波長１２
．２４ａｎのマグネトロンである。

空胴１の少なくとも一面は光を取り出すため、金網３に
なっている。本構成により、複数本のランプ２が同時に
点灯し、広い平面を照射することができる。

空胴内には、空胴の厚さを局所的に薄くする役割の凸部
７がついている。凸部７は金属で、空胴１と電気的に接
続している。凸部７は空胴１と一体化してもよいし、ね
じ止め等でつけてもよい。

凸部７と金網３の間の距離が短かくなるので、この間の
電界強度は大きくなる。すると、ランプ２を始動すると
き、この部分で最初の種になる放電が生じ易くなる。つ
まり、ランプ２をよの確実に始動することができる。な
お、この実施例では。

凸部７はランプ２を固定する台も兼ねている。

第３図は別実施例で、同図ａは空胴１の下面図、同図す
はそのＢ−Ｂ断面図である。下面図では金網３は省略し
である。この実施例ではランプ２は。

直管形のものを複数本並べるのではなく、１本を多重折
りして広い面を覆うようにした。この実施例でも凸部７
の効果は同じである。ランプ２を１本化すると、ランプ
２内でプラズマが広がり易いので光の均一性が良くなる
。

第４図は別実施例で、同図ａは空胴１の下面図、同図す
はそのＣ−Ｃ断面図である。この実施例では凸部７は、
ランプ２の光出力の面均−性を改善するために設けであ
る。空胴１に凸部７を設けな　・いで、ランプ２を点灯
すると、空胴１内の電界の強弱によりランプ２の光出力
に明暗ができる。そこで、凸部７を設けることで、空胴
１内の電界の強弱の差を少なくし、光出力の明暗の差を
少なくすることができる。凸部７を設ける位置は、一般
的にはランプ２が暗くなる部分につけるが、凸部を設け
ることにより空胴１内の電界分布が変化するので、試行
錯誤的に設定位置を決める。

以上の実施例で、空胴１の厚さｄ（第２図参照）は、マ
イクロ波の波長の２分の１以下にするのが好ましい。こ
のようにすると、厚さｄ方向には電界の定在波が生じな
い。従ってランプ２を金ｗ４３に近接させても暗くなら
ない。つまり、ランプ２と被照物量の距離を短くして、
照度を上げることができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、空胴１内に部分的に電界が強い所をつ
くれるので、ランプの始動を確実にしたり、光出力の面
均−性を改良することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の光源装置の全体構成を示す
部分断面斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３
図と第４図はそれぞれ別の実施例の、空胴部下面図と空
胴部所面図である。 第　１　の 第　２　困

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、マイクロ波の空胴とそれに電気的に接続されたマイ
   クロ波電源と空胴内に置かれたランプから成る光源装置
   において、空胴を偏平形にし、かつ、その厚さを部分的
   に変えたことを特徴とする光源装置。 ２、前記偏平形空胴の厚さの大部分は使用しているマイ
   クロ波の波長の２分の１以下であることを特徴とする請
   求項第１項記載の光源装置。