JPH01273365A - 透光性表示パネル - Google Patents

透光性表示パネル

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Publication number
JPH01273365A
JPH01273365A JP63101427A JP10142788A JPH01273365A JP H01273365 A JPH01273365 A JP H01273365A JP 63101427 A JP63101427 A JP 63101427A JP 10142788 A JP10142788 A JP 10142788A JP H01273365 A JPH01273365 A JP H01273365A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
light
glass substrate
emitting element
display panel
Prior art date
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Pending
Application number
JP63101427A
Other languages
English (en)
Inventor
Seishi Takagi
清史 高木
Mitsuru Masuda
満 増田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
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  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は1例えば自動車9列車等の移動体の運転者の前
に設置されるヘットアップデイスプレィ、数字1文字等
のメツセージを高級感をもって表示するデバイスの如き
透光性表示パネルに関するものである。
(従来技術〕 この種の透光性表示パネルは9例えば、実願昭62−1
68535号に記載されているように、ガラス基板の上
に設けられたITO(In20:+ ” S n 02
 )の透明電極と、この透明電極の上に絶縁層を介して
設けられた蛍光体と。
この蛍光体の上に絶縁層を介して設けられたITOの透
明電極と、これらの素子を囲むようにガラス基板に取付
けられたガラスハウジングと、このガラスハウジングに
注入されたシリコンオイルの如き透明封止材とを含む薄
膜エレクトロルミネセンス表示素子から成っている。
(発明が解決しようとする課題) しかし、このような透光性表示パネルは9本質的にガラ
ス基板を通してみえる背景上に高輝度の文字、数字等か
浮き上がるように発光して表示するので上記の薄膜エレ
クトロルミネセンス表示素子のように可視域透過率か7
0%以上あるものよりも明るい初夏の昼光下や雪道を走
る場合の自動車走行環境下ては透過率か50%程度のや
や暗い画面かむしろよく、また高級しストラン等て用い
られるメツセージ、金額等を表示するマルチメツセージ
ては高級感を印象づけるために透過率か低いいわゆるツ
ロンズガラス調のものか好まれることかあり、こねまて
透過率か高いことか必要条件てあった薄膜エレクトロル
ミネセンス表示素子は適さないことか解った。また、薄
膜エレクトロルミネセンス表示素子はその駆動電圧か2
00Vと高いためにその画素のオン・オフには300V
程度の耐圧性か要求され、且つ駆動時のオン抵抗かlO
Ω程度て耐圧性ICか必要となって全体的に高価となる
欠点かあった。更に、Q[エレクl−ロルミネセンス表
示素子はLED (発光ダイオード)に比べて輝爪及び
効率か低い欠点かあった。
本発明の目的は、h記の欠点を回避し、低い駆動電圧て
高い輝度を得ることかてき、また透過率を低くすること
かてきる薄型て軽量の透光性表示パネルを得ることにあ
る。
(課題を解決するための4段) 本発明は、h記の課題を解決するために2画素毎に微細
な溝か形成されたガラス基板と、このガラス基板上にp
−n接合を有する半導体化合物結晶の薄膜をエピタクシ
ー成長させて形成されたLED発光素子と、このLED
発光素子の1層とn層との上に設けられた電極と、p層
電極とn層電極とを直交して結ぶボンディングワイヤと
から成っていることを特徴とする透光性表示パネルを提
供するものである。
(作用) このように発光素子はp−n接合を有する半導体化合物
結晶の薄膜をエピタクシーでT&長させて形成されてい
るので低い駆動電圧で高い輝度を得ることができるか、
特に透過率を低く抑えてコントラストをよくすることか
できる。
(実施例) 本発IJIの実施例を図面を参照して詳細に説明すると
、第1図は本発明に係る透光性表示パネル10を示し、
この透光性表示パネルlOは。
ガラス基板12と、このガラス基板12上にp−n接合
を有する半導体化合物結晶のFiMをエピタクシー成長
させて形成された発光素子14と、この発光素子の9層
14Bと0層14Aとの−Fにそれぞれ設けられた電極
16.18と。
0層電極16と2層電極18とを直交して結ぶボンディ
ングワイヤ20とから成っている。ガラス基板12は、
第2図に示すように1画素毎に微細なyt22が設けら
れており1発光素子14はこの微細溝22上に形成され
ている。
次に1本発明の透光性表示パネルの具体例をのべると、
ガラス基板12は厚さか1.2mmの硼硅酸ガラスの表
面を硝酸を用いるかまたはプラズマクリーニング法を用
いて洗浄した後この洗浄された表面にS i O2膜を
0.5ALmの厚みでECR(電子サイクロトロン共鳴
)プラズマCVD法によって形成する。尚、この場合、
基板温度はioooCとし、パワーは100W76in
chφとし、5IH4102で流量は10/IO3cc
Mとした0次いで、この5if2膜の上にレジストをス
ピンコーチ・インクによって0.2μmの厚みて塗布し
、その後フォトリソグラフィー法によってレジストパタ
ーンを形成し、更にECRプラズマを用いた反応性イオ
ンエツチングによって2.Ommx2.Ommのドツト
画素毎に第21Aに示すように0−2JLmの深さで2
ルmの幅の微細な溝を形成する。
尚、Sin、の成膜及びそのエツチングにECRプラズ
マCVD法を用いたのはこの方法で形成された膜は異方
性が高く、基板から成長する膜の方向にほぼ直角に近い
パターンでエツチングか行なわれ1通常の化学エツチン
グまたはスパッタリングによるエツチングて生ずる基板
表面近くの数100人の径のエツチング残か生ずること
がないからである。
次に、このガラス基板の上にLED発光素子を形成する
ために、ガラス基板に30〜35Vのバイアス電圧をか
けなからGaPの薄膜をECRプラズマCVD法によっ
て形成する。尚。
この際、基板温度は400°Cて原料ガスとしてはトリ
メチルガリウムを3〜5SCCMのfil M)で、ま
たホスフィンを15〜20SCCMの流量で流し、パワ
ーは60W76inchφとし、ガス圧力は2 x l
 O−’Torrとした。そして、2層を形成するため
に原料ガス中にZnをジメチル亜鉛の形態でH2キャリ
アガスに0.2体積%トープし、またn層を形成するた
めにNをアンモニアの形態てH2キャリアガス中に0.
3体積%ドープしてp−n接合を形成した。この場合、
2層の厚みは30μmで、n層の厚みは1100pであ
り、ガラス基板上にn層、P層の順にエピタキシー成長
させてLED発光層を形成した。尚、この時のP+”各
層のキャリア濃度はそれぞれ7xlO”cm−’、2x
lO”cm−’で良好な結果を得ている。また、n層を
形成した段階でエッチピット密度は1x106/cm2
で通常のGaPエピタキシー基板を用いた時の値よりも
1桁程度低いか9発光ダイオード特性には大きな影響を
及ぼしていないことか解った。
このように形成されたp−n接合のLED発光層はフォ
トリソグラフィー法または化学エツチング法によって2
 m m 幅て0.5m間隔て画素毎に分割してLED
発光素子を形成するようにパターニングされる。第3図
はこのパターニングの方法を工程順に示し、先ず第3図
(A)乃至(D)に示すように、LED発光層の上にレ
ジスト22を90uLmの幅で塗布しく第3図(B)参
照)、x−y方向にGaP膜をエツチングして0層14
Aのパターンを形成しく第3図(C)参照)、レジスト
22を除去した後(第3図(D)参照)、n層のパター
ンの上に他のレジスト24を塗布しく第3図(E)参照
)、GaPをエツチングして2層14Bの一部を除去し
く第3図(F)参照)、その後、1層14Alp層14
Bの上にレジスト26を被覆した後1発光層の溝をポリ
アミド樹脂28で60gm厚みに埋め(第3図(G)参
照)、最後にレジスト26を除去する。
n層電極は0層14Aの上にA u −S iをストラ
イプ状に成膜して形成し、1層電極は2層14Bの上に
Au−Beを8.膜して形成し、またコンパクトバッド
を成膜して形成する。これらの電極及びコンパクトバッ
ドはマスクを用いた真空蒸着法によって容易に形成され
る。Auボンディングワイヤ20はn層電極と1層電極
とを結ぶ。
このように発光素子がp−n接合を有する半導体化合物
結晶の薄膜をエピタクシーで成長させて形成すると、低
い駆動電圧で高い輝度を得ることができ、一方パネル全
体の透過率は発光素子の不透明性とガラス基板の微細な
溝とによって低く抑えられるのでコントラストをよくす
ることかてきる。測定の結果、上記のようにして形成さ
れたドツトマトリックス型表示パネルは、駆動電圧lO
vで輝度は180 c d / m ”であってその効
率はo、ii%であり、また可視光透過度は52%であ
った。
尚、上記実施例では、エピタキシー膜としてGaPを用
いたか、これ以外にGaAs、GaAlAs等+7)I
II−V族化合物、5iC(7)如き1v−IV族化合
物またはZnS、Zn5e等のll−Vl族化合物を用
いることもてきる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、上記のように、低い駆動電圧で高い輝
度を得ることかできる上にパネルの透過率は低く抑えら
れているのてコントラストが向上し、且つすべての素子
か一体成形されるので安価に提供することかできる実益
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る透光性表示パネルの要部の拡大斜
視図、第2図は第1図のパネルの画素パターンを示す斜
視図、第3図(A)乃至(G)は発光素子を形成する工
程を順に示す断面図である。 10−−−−−一透光性表示パネル、12−−−−−ガ
ラス基板、14−−−−−LED発光素子、16.18
−−一−−n層及び1層電極。 20−−−−−ボンデインクワイヤ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  画素毎に微細な溝が形成されたガラス基板と、前記ガ
    ラス基板上にp−n接合を有する半導体化合物結晶の薄
    膜をエピタクシー成長させて形成されたLED発光素子
    と、前記LED発光素子のp層とn層との上に設けられ
    た電極と、前記p層電極とn層電極とを直交して結ぶボ
    ンディングワイヤとから成っていることを特徴とする透
    光性表示パネル。
JP63101427A 1988-04-26 1988-04-26 透光性表示パネル Pending JPH01273365A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006301639A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Crf Soc Consortile Per Azioni 透明ledディスプレイ
JP2006301650A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Crf Soc Consortile Per Azioni 透明なledディスプレイ及びその製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006301639A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Crf Soc Consortile Per Azioni 透明ledディスプレイ
JP2006301650A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Crf Soc Consortile Per Azioni 透明なledディスプレイ及びその製造方法

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