JPH01274002A - レーザ測長器 - Google Patents
レーザ測長器Info
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- JPH01274002A JPH01274002A JP63102726A JP10272688A JPH01274002A JP H01274002 A JPH01274002 A JP H01274002A JP 63102726 A JP63102726 A JP 63102726A JP 10272688 A JP10272688 A JP 10272688A JP H01274002 A JPH01274002 A JP H01274002A
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- wavelength
- laser
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野コ
この発明はレーザ測長器に関し、詳細には半導体レーザ
素子を光源とした干渉旧方式の測長ムにおいて、該光源
の発振波長の変動による測定誤差を排除するものである
。
素子を光源とした干渉旧方式の測長ムにおいて、該光源
の発振波長の変動による測定誤差を排除するものである
。
［従来の技術］
光学式測長器はレーザ光の干渉現象を利用して、波長オ
ーダの微小変位を測定するものである。
ーダの微小変位を測定するものである。
第３図はトワイマン・グリーン型とよばれるｌｌ渉計を
使用した測長器の原理図で、レーザ光源１よりのレーザ
ビームをビームスプリッタ２により測定対象物５の方向
の測定ビームｍと、これに直角方向の参照ビームｒに分
割する。測定ビームは測定対象物に取り付けられた再帰
性の測定ミラー４により反射されて戻り、ビームスプリ
ッタにより直角のｒ方に反射される。これに対して参！
Ｋ（ビームは一定の位置に固定された再帰性の参照ミラ
ー３により反射されてビームスプリッタを透過し、Ｌ記
の測定ビームと重ね合わされて干渉縞を生ずる。いま、
測定対象物が光軸Ｘの方向に移動すると干渉縞が移動し
、これを受光器６により受光すると、波長λの２分の１
をピンチ間隔とするパルス信号６ａがえられる。この個
数をカウントしてλ／２を乗することにより測定対象物
の変位量が測定されるものである。
使用した測長器の原理図で、レーザ光源１よりのレーザ
ビームをビームスプリッタ２により測定対象物５の方向
の測定ビームｍと、これに直角方向の参照ビームｒに分
割する。測定ビームは測定対象物に取り付けられた再帰
性の測定ミラー４により反射されて戻り、ビームスプリ
ッタにより直角のｒ方に反射される。これに対して参！
Ｋ（ビームは一定の位置に固定された再帰性の参照ミラ
ー３により反射されてビームスプリッタを透過し、Ｌ記
の測定ビームと重ね合わされて干渉縞を生ずる。いま、
測定対象物が光軸Ｘの方向に移動すると干渉縞が移動し
、これを受光器６により受光すると、波長λの２分の１
をピンチ間隔とするパルス信号６ａがえられる。この個
数をカウントしてλ／２を乗することにより測定対象物
の変位量が測定されるものである。
さて、当初においては光源としてヘリウム・ネオンなど
のガスレーザ管が使用されていたが、これに代わって最
近では小型で小電力の半導体レーザ素子が用いられる趨
勢である。しかしながら、゛１′導体レーザ素子にはガ
スレーザ管に比較して発振波長が大きく変動する弱点が
あり、波長を一定として測長器に適用するときは測定誤
差が大きくて正確なデータかえられない。半導体レーザ
の発振波長は動作２見度と注入電流により左右されるの
で、これらを制御して波長の安定化が行われている。第
３図の温度制御器７においては、工ｌ−導体レーザ素子
１を熱伝導率の良好なベース７ａに固定し、その温度を
センサ７ｂで検出して温度制御回路７Ｃによりペルチェ
素子７ｄに制御電流を５えて炉室温度Ｔｔに保持する。
のガスレーザ管が使用されていたが、これに代わって最
近では小型で小電力の半導体レーザ素子が用いられる趨
勢である。しかしながら、゛１′導体レーザ素子にはガ
スレーザ管に比較して発振波長が大きく変動する弱点が
あり、波長を一定として測長器に適用するときは測定誤
差が大きくて正確なデータかえられない。半導体レーザ
の発振波長は動作２見度と注入電流により左右されるの
で、これらを制御して波長の安定化が行われている。第
３図の温度制御器７においては、工ｌ−導体レーザ素子
１を熱伝導率の良好なベース７ａに固定し、その温度を
センサ７ｂで検出して温度制御回路７Ｃによりペルチェ
素子７ｄに制御電流を５えて炉室温度Ｔｔに保持する。
他方、注入電流については発振波長の変動をなんらかの
方法で検出して、これによりｉ’、ＩＥ入主電流制御し
て発振波長を一定にする方法がある。波長変動の検出方
法としては、ある種の金属ガス、例えばルビジウムのス
ペクトル吸収線の選択特性を利用する方法が公知である
。第４図（ａ）、（ｂ）はルビジウムを用いた気体セル
８の構造と特性を説明するもので、適当な容器８ａにル
ビジウムの気体８ｂを１・を人する。ルビジウムは近赤
外域の゛１′−導体レーザ素ｒの発振波長領域内の７８
０ ｎ ｍ付近に吸収線を有しており、この気体セルを
透過したビームは図（ｂ）のように吸収線の波長λ０を
中心として極めて鋭い直線的な選択特性を示す。この気
体セルを使用して注入電流を制御する考案がこの発明の
発明者により実用新案登録出願ｒ ８３−１３５号、半
導体レーザ測長器の光源装置」として出願されている。
方法で検出して、これによりｉ’、ＩＥ入主電流制御し
て発振波長を一定にする方法がある。波長変動の検出方
法としては、ある種の金属ガス、例えばルビジウムのス
ペクトル吸収線の選択特性を利用する方法が公知である
。第４図（ａ）、（ｂ）はルビジウムを用いた気体セル
８の構造と特性を説明するもので、適当な容器８ａにル
ビジウムの気体８ｂを１・を人する。ルビジウムは近赤
外域の゛１′−導体レーザ素ｒの発振波長領域内の７８
０ ｎ ｍ付近に吸収線を有しており、この気体セルを
透過したビームは図（ｂ）のように吸収線の波長λ０を
中心として極めて鋭い直線的な選択特性を示す。この気
体セルを使用して注入電流を制御する考案がこの発明の
発明者により実用新案登録出願ｒ ８３−１３５号、半
導体レーザ測長器の光源装置」として出願されている。
この考案は、光源の発振波長の変動を検出する気体セル
を光源と別筐体の制御部に設け、これらの間にオプチカ
ルファイバによる光路を構成し、温度制御方法を併用し
て両者により発振波長の安定化を計ったものである。
を光源と別筐体の制御部に設け、これらの間にオプチカ
ルファイバによる光路を構成し、温度制御方法を併用し
て両者により発振波長の安定化を計ったものである。
［解決しようとする課題］
Ｌ記の実用新案登録出願にかかる考案においては、波長
の安定化のための温度制御器は極めて微小な温度変化、
例えば０．００１’ Ｃオーダの精度で忠実に制御する
ものが必要で、ベース、ペルチェ素子などが必然的に大
型となるが、しかし温度制御にはある程度の時間遅延が
避けられず、高速、高精度の波長制御が困難である。ま
た、上記の各部品のために装置の小型化が未だ十分でな
い。
の安定化のための温度制御器は極めて微小な温度変化、
例えば０．００１’ Ｃオーダの精度で忠実に制御する
ものが必要で、ベース、ペルチェ素子などが必然的に大
型となるが、しかし温度制御にはある程度の時間遅延が
避けられず、高速、高精度の波長制御が困難である。ま
た、上記の各部品のために装置の小型化が未だ十分でな
い。
この発明においては上記に対して発想を転換し、かりに
波長が変動してもその正確な値が判れば正確な変位Ｍが
計算できることに着目し、波長の安定よりむしろ変動を
ある程度許容する。その方法は、上記の気体セルを透過
したビームの信号より、演算により刻々に変動する波長
をリアルタイムに求めるもので、同時に温度制御の精度
を大幅、例えば０．０１°Ｃオーダに低下することが可
能となり、温度制御器を前記した従来のものより小型化
したレーザ測長器を提供することを目的とするものであ
る。
波長が変動してもその正確な値が判れば正確な変位Ｍが
計算できることに着目し、波長の安定よりむしろ変動を
ある程度許容する。その方法は、上記の気体セルを透過
したビームの信号より、演算により刻々に変動する波長
をリアルタイムに求めるもので、同時に温度制御の精度
を大幅、例えば０．０１°Ｃオーダに低下することが可
能となり、温度制御器を前記した従来のものより小型化
したレーザ測長器を提供することを目的とするものであ
る。
［課題を解決するための手段コ
この発明は、％ｌ／、導体レーザ素子を光源とし、光源
のレーザビームを測定ビームと参照ビー１１に分割し、
測定対象物に設けられた測定ミラーよりの測定ビームの
反射ビームと参照ビームのなす干渉縞の個数をカウント
して測定対象物の変位ｆｌｔを計測する１渉計方式のレ
ーザ測長器であって、光源よりのレーザビームを分割す
る前置ビームスプリッタと、分割された一方のレーザビ
ームにより上記干渉計を構成し、他方のレーザビームを
波長選択して透過させる気体セルと、気体セルを透過し
た透過ビームを受光する受光器と、受光器の出力信号の
強度変化より、発振波長を求める演算回路とを具備し、
演算回路によりえられた発振波長のデータを、上記の干
渉計がカウントした干渉縞の個数に乗することにより、
測定対象物の変位量を出力する乗算器とにより構成され
たものである。
のレーザビームを測定ビームと参照ビー１１に分割し、
測定対象物に設けられた測定ミラーよりの測定ビームの
反射ビームと参照ビームのなす干渉縞の個数をカウント
して測定対象物の変位ｆｌｔを計測する１渉計方式のレ
ーザ測長器であって、光源よりのレーザビームを分割す
る前置ビームスプリッタと、分割された一方のレーザビ
ームにより上記干渉計を構成し、他方のレーザビームを
波長選択して透過させる気体セルと、気体セルを透過し
た透過ビームを受光する受光器と、受光器の出力信号の
強度変化より、発振波長を求める演算回路とを具備し、
演算回路によりえられた発振波長のデータを、上記の干
渉計がカウントした干渉縞の個数に乗することにより、
測定対象物の変位量を出力する乗算器とにより構成され
たものである。
」二記の演算回路は、光源に設けられた出力レベル検出
器の出力する光源レベル信号に対する受光器の出力信号
の比電圧Ｖを計算する除算器と、気体セルの選択特性直
線の中心の基準波長λｃにおける光源レベル信号と受光
器の出力信号の比電圧を基準比電圧ｖｃとして、変動す
る光源の発振波長λ（ｖ）に対して除算器の出力する比
電圧Ｖより基準比電圧ｖｃを減算する減算器と、減算器
の出力電圧（ｖ−ｖｃ）に気体セルの選択特性直線の傾
斜係数ｋを乗算する係数乗算器、および係数乗算器の出
力電圧ｋ（ｖ−ｖｃ）に基準波長λｃを加算する加算器
とにより構成されている。
器の出力する光源レベル信号に対する受光器の出力信号
の比電圧Ｖを計算する除算器と、気体セルの選択特性直
線の中心の基準波長λｃにおける光源レベル信号と受光
器の出力信号の比電圧を基準比電圧ｖｃとして、変動す
る光源の発振波長λ（ｖ）に対して除算器の出力する比
電圧Ｖより基準比電圧ｖｃを減算する減算器と、減算器
の出力電圧（ｖ−ｖｃ）に気体セルの選択特性直線の傾
斜係数ｋを乗算する係数乗算器、および係数乗算器の出
力電圧ｋ（ｖ−ｖｃ）に基準波長λｃを加算する加算器
とにより構成されている。
［作用］
上記の構成によるこの発明のレーザ測長器においては、
光源よりのレーザビームは気体セルを透過して、その選
択特性直線により波長変動に従って出力の強度が変化す
る。演算回路においてこの強度変化した信号により変動
する発振波長をリアルタイムで求め、これを干渉計がカ
ウントした干渉縞の個数に乗じて、測定対象物の正確な
変位量をうるちのである。
光源よりのレーザビームは気体セルを透過して、その選
択特性直線により波長変動に従って出力の強度が変化す
る。演算回路においてこの強度変化した信号により変動
する発振波長をリアルタイムで求め、これを干渉計がカ
ウントした干渉縞の個数に乗じて、測定対象物の正確な
変位量をうるちのである。
ここで、上記の演算回路による演算について第１図（ａ
）、（ｂ）により説明する。気体セルを透過したレーザ
ビームの強度は、図（ａ）に示す選択特性を有する。こ
の特性曲線のうちの例えば左側における受光電圧ｙａ、
ｙｂ間の直線部分りをとり、縦軸と横軸を交換して図（
ｂ）とする。図（ｂ）における直線りの傾斜係数をに１
直線の中心点の受光電圧をｖｃ、ｖｃに対する波長を基
準波長λｃとすると、受光電圧Ｖに対する発振波長λ（
ｖ）は次式で表される。
）、（ｂ）により説明する。気体セルを透過したレーザ
ビームの強度は、図（ａ）に示す選択特性を有する。こ
の特性曲線のうちの例えば左側における受光電圧ｙａ、
ｙｂ間の直線部分りをとり、縦軸と横軸を交換して図（
ｂ）とする。図（ｂ）における直線りの傾斜係数をに１
直線の中心点の受光電圧をｖｃ、ｖｃに対する波長を基
準波長λｃとすると、受光電圧Ｖに対する発振波長λ（
ｖ）は次式で表される。
λ（ｖ） ＝ｋ （ｖ−ｖｃ）＋λｃ・・・・・・（１
）ここで、 ｋ＝（λａ−λｂ）／（ｖａ −ｖｂ） ＝”（２）
ｖｃ ＝ （ｖａ ＋ ｖｂ）／ ２ ””
（３）λｃ＝（λａ＋λｂ）／２ ・・・・
・・（４）上記において、電圧Ｖは発振波長の変動のほ
か光源の出力レベルの変動によっても変化するので、除
算器により光源の出力レベルに対する比電圧をとってレ
ベル変動の影響を排除する。上記の各式における電圧Ｖ
はこの比電圧を意味するものとする。次に、気体セルの
選択特性より４二式のＶｃ＋λｃおよびｋは測定により
予め知ることができるもので、これらにより式（１）に
従って演算を行う。
）ここで、 ｋ＝（λａ−λｂ）／（ｖａ −ｖｂ） ＝”（２）
ｖｃ ＝ （ｖａ ＋ ｖｂ）／ ２ ””
（３）λｃ＝（λａ＋λｂ）／２ ・・・・
・・（４）上記において、電圧Ｖは発振波長の変動のほ
か光源の出力レベルの変動によっても変化するので、除
算器により光源の出力レベルに対する比電圧をとってレ
ベル変動の影響を排除する。上記の各式における電圧Ｖ
はこの比電圧を意味するものとする。次に、気体セルの
選択特性より４二式のＶｃ＋λｃおよびｋは測定により
予め知ることができるもので、これらにより式（１）に
従って演算を行う。
すなわち減算器により（ｖ−ｖｃ）かえられて係数乗算
器によりに倍され、加算器によりλｃが加算されてλ（
ｖ）が求められる。
器によりに倍され、加算器によりλｃが加算されてλ（
ｖ）が求められる。
以」−においては、第１図（ａ）の特性曲線の左側の直
線部を使用したが、右側の直線部によっても係数にの符
号を変えた同様の計算式が成σするので ｓｒ導体レし
ザ素ｒの発振波長の変動範囲を考慮していずれかにより
演算を行うものである。
線部を使用したが、右側の直線部によっても係数にの符
号を変えた同様の計算式が成σするので ｓｒ導体レし
ザ素ｒの発振波長の変動範囲を考慮していずれかにより
演算を行うものである。
［実施例］
第２図は、この発明によるレーザ測長器の実施例におけ
るブロック構成を示すものである。図において ％ｔｌ
、導体レーザ素子１は、温度制御器７を設けて温度の安
定化を計る。ただしこの場合は発振波長の変動をある程
度許容するので、例えば０゜０１°Ｃオーダの制御がで
きる小型なもので差し支えない。次に、レーザ素子より
のレーザビームはコリメータ１ａにより平行ビームとさ
れて前置ビームスプリッタ９により分割され、一方のビ
ームは、ビームスプリッタ２、参照ミラー３、測定ミラ
ー４および受光器６よりなる干渉計に人力する。
るブロック構成を示すものである。図において ％ｔｌ
、導体レーザ素子１は、温度制御器７を設けて温度の安
定化を計る。ただしこの場合は発振波長の変動をある程
度許容するので、例えば０゜０１°Ｃオーダの制御がで
きる小型なもので差し支えない。次に、レーザ素子より
のレーザビームはコリメータ１ａにより平行ビームとさ
れて前置ビームスプリッタ９により分割され、一方のビ
ームは、ビームスプリッタ２、参照ミラー３、測定ミラ
ー４および受光器６よりなる干渉計に人力する。
前置ビームスプリッタ９により分割された他方のビーム
は、気体セル８によりレーザ素子の波長変動に従って強
度変化して受光器１０に受光されて出力信号かえられる
。ここで、゛ト導体レーザ素子として近赤外領域の波長
のものを使用するとし、この波長領域内に吸収線を有す
るルビジウムの気体セルを使用する。次に、レーザ素子
にはレベル検出器が内蔵されており、これから出力され
る光源レベル信号と、受光器の出力信号はそれぞれ増幅
器１１−１．１！−２により適当にレベルが調整された
後除算器１２により比電圧Ｖが計算され、ついで、前記
の式： ％式％（１） による演算が行われる。すなわち、減算７Ｓｉ１３によ
り気体セルの選択特性直線の中心に対する基準比電圧Ｖ
Ｃが除算器の出力する比電圧Ｖより減算される。えられ
た（ｖ−ｖｃ）は基準比電圧ＶＣに対する比電圧Ｖの変
動量であるので、これを電流制御回路１４に人力して光
源の注入電流を制御して発振波長の一応の安定化が計ら
れる。ただし、この安定化には必ずしも高精度のものを
必要とせず、気体セルの選択直線の範囲内の変動が許さ
れるものでよい。ついでアナログデータ（ｖ−ｖｃ）は
、Ａ ／ Ｉ）変換器１５によりデジタル化され、係数
乗算器１６において選択特性直線の傾斜係数のに倍され
、さらに加算器ｚ７により基準波長λｃが加算されて発
振波長λ（ｖ）が求められる。一方、前記の干渉計の受
光器６より出力される測定対象物の変位ｍｘによるパル
ス信号は、パルスカウンタ１８においてカウントされて
乗算１１９に転送され、ここで適当なトリガパルスｐに
より発振波長λ（ｖ）の２分の１の値が乗算されて測定
対象物の変位ｍｘのデータが端子２０に出力される。
は、気体セル８によりレーザ素子の波長変動に従って強
度変化して受光器１０に受光されて出力信号かえられる
。ここで、゛ト導体レーザ素子として近赤外領域の波長
のものを使用するとし、この波長領域内に吸収線を有す
るルビジウムの気体セルを使用する。次に、レーザ素子
にはレベル検出器が内蔵されており、これから出力され
る光源レベル信号と、受光器の出力信号はそれぞれ増幅
器１１−１．１！−２により適当にレベルが調整された
後除算器１２により比電圧Ｖが計算され、ついで、前記
の式： ％式％（１） による演算が行われる。すなわち、減算７Ｓｉ１３によ
り気体セルの選択特性直線の中心に対する基準比電圧Ｖ
Ｃが除算器の出力する比電圧Ｖより減算される。えられ
た（ｖ−ｖｃ）は基準比電圧ＶＣに対する比電圧Ｖの変
動量であるので、これを電流制御回路１４に人力して光
源の注入電流を制御して発振波長の一応の安定化が計ら
れる。ただし、この安定化には必ずしも高精度のものを
必要とせず、気体セルの選択直線の範囲内の変動が許さ
れるものでよい。ついでアナログデータ（ｖ−ｖｃ）は
、Ａ ／ Ｉ）変換器１５によりデジタル化され、係数
乗算器１６において選択特性直線の傾斜係数のに倍され
、さらに加算器ｚ７により基準波長λｃが加算されて発
振波長λ（ｖ）が求められる。一方、前記の干渉計の受
光器６より出力される測定対象物の変位ｍｘによるパル
ス信号は、パルスカウンタ１８においてカウントされて
乗算１１９に転送され、ここで適当なトリガパルスｐに
より発振波長λ（ｖ）の２分の１の値が乗算されて測定
対象物の変位ｍｘのデータが端子２０に出力される。
以上においては、パルス信号の分解能をλ／２としたが
、干渉計の構成方法よってはλ／２をさらに細分してそ
の数分の１の分解能とするものがあり、これに対しては
相当するλの分数の乗算を好うものである。
、干渉計の構成方法よってはλ／２をさらに細分してそ
の数分の１の分解能とするものがあり、これに対しては
相当するλの分数の乗算を好うものである。
［発明の効果］
以上の説明により明らかなように、この発明によるレー
ザ測長器においては、発振波長が変動する半導体レーザ
素子のレーザビームに対して、気体セルにより変動を検
出して発振波長をリアルタイムで求め、干渉計による干
渉縞のパルス数にこの発振波長を乗じて変位量を正確に
計測できるもので、波長変動をある程度許容するので、
従来のｌＨ度および注入電流の制御により発振波長を一
定とする方式に比較して、波長変動に対して高速、高精
度に追従できる。また、温度制御器を従来よりさらに小
型にできるなど、半導体レーザ素子による測長器の測定
精度の向上と小型化に寄与する効果には大きいものがあ
る。
ザ測長器においては、発振波長が変動する半導体レーザ
素子のレーザビームに対して、気体セルにより変動を検
出して発振波長をリアルタイムで求め、干渉計による干
渉縞のパルス数にこの発振波長を乗じて変位量を正確に
計測できるもので、波長変動をある程度許容するので、
従来のｌＨ度および注入電流の制御により発振波長を一
定とする方式に比較して、波長変動に対して高速、高精
度に追従できる。また、温度制御器を従来よりさらに小
型にできるなど、半導体レーザ素子による測長器の測定
精度の向上と小型化に寄与する効果には大きいものがあ
る。
第１図（ａ）および（ｂ）はこの発明によるレーザ測長
器の演算回路において、気体セルの選択特性に対する演
算式を説明する図、第２図はこの発明によるレーザ測長
器の実施例におけるブロック構成図、第３図は半導体レ
ーザ素子を光源とするレーザ測長器の原理と発振波長の
変動およびその対策の説明図、第４図は気体セルの構造
と選択特性の説明〆１である。 ｌ・・・半導体レーザ素Ｆ、 ２・・・ビームスプリン
タ、３・・・参照ミラー、 ４・・・測定ミラー
、５・・・測定対象物、 ６・・・受光器、６ａ・
・・パルス信号、 ７・・・温度制御器、８・・・気
体セル、 ９・・・前置ビームスプリッタ、１０・
・・受光器、 Ｉ！・・・増幅器、１２・・・
除算器、 １３・・・減算器、１４・・・電流
制御回路、 Ｉ５・・・Ａ／Ｄ変換器、１６・・・係
数乗算器、ｔ ７・・・加算器、１８・・・パルスカウ
ンタ、！９・・・乗算器、２０・・・端子。
器の演算回路において、気体セルの選択特性に対する演
算式を説明する図、第２図はこの発明によるレーザ測長
器の実施例におけるブロック構成図、第３図は半導体レ
ーザ素子を光源とするレーザ測長器の原理と発振波長の
変動およびその対策の説明図、第４図は気体セルの構造
と選択特性の説明〆１である。 ｌ・・・半導体レーザ素Ｆ、 ２・・・ビームスプリン
タ、３・・・参照ミラー、 ４・・・測定ミラー
、５・・・測定対象物、 ６・・・受光器、６ａ・
・・パルス信号、 ７・・・温度制御器、８・・・気
体セル、 ９・・・前置ビームスプリッタ、１０・
・・受光器、 Ｉ！・・・増幅器、１２・・・
除算器、 １３・・・減算器、１４・・・電流
制御回路、 Ｉ５・・・Ａ／Ｄ変換器、１６・・・係
数乗算器、ｔ ７・・・加算器、１８・・・パルスカウ
ンタ、！９・・・乗算器、２０・・・端子。
Claims (2)
- （１）半導体レーザ素子を光源とし、該光源のレーザビ
ームを測定ビームと参照ビームに分割し、測定対象物に
設けられた測定ミラーよりの該測定ビームの反射ビーム
と該参照ビームのなす干渉縞の個数をカウントして該測
定対象物の変位量を計測する干渉計方式の測長器におい
て、上記光源よりのレーザビームを分割する前置ビーム
スプリッタと、該分割された一方のレーザビームにより
上記干渉計を構成し、該分割された他方のレーザビーム
を波長選択して透過させる気体セルと、該気体セルを透
過した透過ビームを受光する受光器と、該受光器の出力
信号の強度変化により上記発振波長を求める演算回路と
を具備し、該演算回路によりえられた発振波長のデータ
を、上記干渉計がカウントした干渉縞の個数に乗算して
上記測定対象物の変位量を出力する乗算器とにより構成
されたことを特徴とするとするレーザ測長器。 - （２）上記光源に設けられた出力レベル検出器の出力す
る光源レベル信号に対する上記受光器の出力信号の比電
圧ｖを計算する除算器と、上記気体セルの選択特性直線
の中心の基準波長λｃにおける上記光源レベル信号と上
記受光器の出力信号の比電圧を基準比電圧ｖｃとして、
上記光源の変動する発振波長λ（ｖ）に対して上記除算
器の出力する比電圧ｖより上記基準比電圧ｖｃを減算す
る減算器と、該減算器の出力電圧（ｖ−ｖｃ）に上記気
体セルの選択特性直線の傾斜係数ｋを乗算する係数乗算
器、および該係数乗算器の出力電圧ｋ（ｖ−ｖｃ）に上
記基準波長λｃを加算する加算器とにより上記演算回路
を構成する、請求項１記載のレーザ測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63102726A JPH01274002A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | レーザ測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63102726A JPH01274002A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | レーザ測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274002A true JPH01274002A (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=14335267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63102726A Pending JPH01274002A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | レーザ測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274002A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0498575A3 (en) * | 1991-02-08 | 1993-02-24 | Hughes Aircraft Company | Stabilized two color laser diode interferometer |
| US5875031A (en) * | 1994-09-13 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Distance measuring device based on laser interference with a baffle structure member |
| US9175876B2 (en) | 2009-03-09 | 2015-11-03 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
| US9598186B2 (en) | 2009-03-09 | 2017-03-21 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
| US9603483B2 (en) | 2007-09-26 | 2017-03-28 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP63102726A patent/JPH01274002A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0498575A3 (en) * | 1991-02-08 | 1993-02-24 | Hughes Aircraft Company | Stabilized two color laser diode interferometer |
| US5875031A (en) * | 1994-09-13 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Distance measuring device based on laser interference with a baffle structure member |
| US9603483B2 (en) | 2007-09-26 | 2017-03-28 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
| US9175876B2 (en) | 2009-03-09 | 2015-11-03 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
| US9598186B2 (en) | 2009-03-09 | 2017-03-21 | Heat Wave Technologies, Llc | Self-heating systems and methods for rapidly heating a comestible substance |
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