JPS6035249A - 露点計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の分野 この発明は、ミラーを用いた光学式の露点計に関するも
のである。

（２）従来技術 従来、光学式の露点計は、光源からの光をミラーに照射
し、このミラーを冷却手段で冷却してミラー表面を結露
させ、ミラーの反射光量変化を検出器で検出し、このと
きのミラーの温度から露点を検出していた。

しかしながら、ミラーの表面が汚れると、検出誤差を招
き、ミラーの汚れの除去に多くの手間を要するものであ
った。

（３）発明の目的 この発明の目的は２以上の点に鑑み、２色測定により、
ミラーの汚れの影響を受けない露点計を提供することで
ある。

（４）発明の実施例 第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。

図において、１は光源、２は光源１からの光を反射する
ミラー、３はミラー２からの光を分割するハーフミラ−
のような光分岐手段、　４１　、４２は光分岐手段３に
より分離された光を受ける互いに異なった波長の光を透
過させるフィルタ、　５１　、５２はフィルタ４１　、
４２よりの光を入射し２波長に対応した信号を発生する
検出器、６は検出器５１　、５２の２つの信号の比率を
演算し、温度制御手段７を介しでミラー２の温度を制御
する演算手段、８はミ２−７の温度を測定し露点を検出
する温度センナである。

つまり、ミラー２が結露していない場合、光源ｌからの
光はミ２−２を反射し、光分岐手段３゜フィルタ４１　
、４２を介し検出器５１　、５２に入射し、２波長に対
応した信号Ｅｌ、　Ｅｚを発生させる。この２つの信号
の比率Ｅｏ　＝　Ｅｌ　／　Ｅｚを演算手段６でとり。

温度制御手段７を介してミラー２を冷却し、ミ２を検出
する。

ところで、ミラー２が汚れ、検出器５１　、５２の出力
がそれぞれｋＥｌ、ｋＥ２（ｋは汚れ等に起因する係数
）となったとする。演算手段６はこれらの比率をとるた
め、その出力はＥｏ　＝　ｋＥｔ　／ｋＥｚ　＝Ｅ１　
／Ｅ２で一定なものとなり、汚れの影響は除去され、汚
れによる露点変動を補正し常に正しい露点を計測また。

検出器５１　、５２の少くとも一方の出力ｋＥ１゜ｋＥ
２の変化から、ミラー２の汚れに関する情報を得て外部
に出力することもできる。

第２図（ａ）　、　（ｂ）は、ミラー２の一実施例を示
す構成説明図で、ミラー２の表面に白金等の温度センサ
膜２１を形成し、裏面にニクロム等のヒータ膜２２を形
成して小型化を図す、ミラー２の上下面における温度分
布をより少なくシ、精密な露点測定を可能としている。

なお、温度センサ膜２１の上面に透明なＳｉＯ等の保護
膜２３を形成してもよく、温度センサ膜２１のパターン
は、棒状、＜シ形状、らせん形状等積々の形状が考えら
れる。

（５）発明の要約 以上述べたように、この発明は、ミラーからの光源光を
検出器により受光して２波長に対応した信号を発生し、
演算手段によりその比率をとるようにした露点計である
。

（６）発明の効果 ２色比率演算を行っているので、ミラーの汚れ等による
影響は除去され、常に安定した測定が可能となる。また
ミラーにセンサＸ、ヒータ膜を形成して小型化を図れば
、より高精度な露点測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 １・・・光源、２・・・ミラー、３・・・光分岐手段、
４１゜４２・・・フィルタ、５１．５２・・・検出器、
６・・・演算手段。 ７・・・温度制御手段、８・・・温度センサ特許出願人
　株式会社　千野製作所

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 工、　光源からの光を反射するミラーと、このミラーか
   らの光を受光し２波長に対応した信号を発生する検出器
   と、この検出器の２つの信号の比率を演算しミラーの温
   度を制御する演算手段とを備えたことを特徴とする露点
   計。 ２　前記ミラーとして１表面に温度上ンサ膜を形成し裏
   面にヒータ膜を形成したものを用いたことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の露点計。