JPH01274005A - 膜厚測定方法 - Google Patents
膜厚測定方法Info
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- JPH01274005A JPH01274005A JP63104719A JP10471988A JPH01274005A JP H01274005 A JPH01274005 A JP H01274005A JP 63104719 A JP63104719 A JP 63104719A JP 10471988 A JP10471988 A JP 10471988A JP H01274005 A JPH01274005 A JP H01274005A
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- rotating shaft
- sheet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば磁気テープなどのようなシートの厚
みを測定する膜厚測定方法に関するものである。
みを測定する膜厚測定方法に関するものである。
第４図は例えば特開昭６０−１７４６．０９号公報に示
された従来の膜厚測定装置を示す構成図である。
された従来の膜厚測定装置を示す構成図である。
図において、（１）は所定の速度で回転される回転軸、
（２）は回転軸（１）の面から所定の距離あけて回転軸
（１）と平行に設けられた遮光板、（３）は回転軸（１
）と密着して回転軸（１）の速度と同じ速度で走行する
被測定シー） 、（４） （５）は所定の角度をなして
配置され、それぞれレーザ光（４ａ） （５ａ）を発生
するレーザ光発生器、（６）は反射ミラーで、レーザ光
（４ａ）を受けて回転軸（１）の表面と遮光板（２）と
の間を走査し、レーザ光（５ａ）を受けて被測定部材（
３）と遮光板（２）との間を走査するように制御される
。（７バ８）は反射ミラー（６）で、反射した各レーザ
光（４ａ）（５ａ）を集光するレンズ、（９）α０は走
査した各レーザ光（４ａ）（５ａ）を集光するレンズ、
α１）（ロ）は受光器、（１３Ｈはカウンタ、（至）は
演算器、Ｃ（１９は表示器である。
（２）は回転軸（１）の面から所定の距離あけて回転軸
（１）と平行に設けられた遮光板、（３）は回転軸（１
）と密着して回転軸（１）の速度と同じ速度で走行する
被測定シー） 、（４） （５）は所定の角度をなして
配置され、それぞれレーザ光（４ａ） （５ａ）を発生
するレーザ光発生器、（６）は反射ミラーで、レーザ光
（４ａ）を受けて回転軸（１）の表面と遮光板（２）と
の間を走査し、レーザ光（５ａ）を受けて被測定部材（
３）と遮光板（２）との間を走査するように制御される
。（７バ８）は反射ミラー（６）で、反射した各レーザ
光（４ａ）（５ａ）を集光するレンズ、（９）α０は走
査した各レーザ光（４ａ）（５ａ）を集光するレンズ、
α１）（ロ）は受光器、（１３Ｈはカウンタ、（至）は
演算器、Ｃ（１９は表示器である。
次に動作について説明する０レ一ザ光発生器（４）（５
）から発射された各レーザ光（４ａ）（５ａ）は反射ミ
ラー（６）に入射され、いずれも同一の角速度で走査さ
れる。反射した各レーザ光（４ａ） （５ａ）はそれぞ
れレンズ（７）（８）で集光されて、第５図に示すよう
にそれぞれギャップＡ、Ｂの位置でそのビーム径が最小
になって、回転軸（１）に垂直な方向つまりギャップの
方向に一定の速度で走査される。この時、各受光器αυ
（６）には各ギャップＡ、Ｂを各レーザ光（４ａ）（５
ａ）が通過している間だけ入射される。
）から発射された各レーザ光（４ａ）（５ａ）は反射ミ
ラー（６）に入射され、いずれも同一の角速度で走査さ
れる。反射した各レーザ光（４ａ） （５ａ）はそれぞ
れレンズ（７）（８）で集光されて、第５図に示すよう
にそれぞれギャップＡ、Ｂの位置でそのビーム径が最小
になって、回転軸（１）に垂直な方向つまりギャップの
方向に一定の速度で走査される。この時、各受光器αυ
（６）には各ギャップＡ、Ｂを各レーザ光（４ａ）（５
ａ）が通過している間だけ入射される。
したがって、受光器Ｑη＠の出力信号はギャップＡ、Ｂ
の大きさに比例した幅のパルス波形となる。
の大きさに比例した幅のパルス波形となる。
これをカウンタα３Ｑ→でパルスカウントして、パルス
幅に相当したカウント数が得られる。演算機α谷ではこ
れらのカウント数から厚みを計算して表示器αＱに表示
する。カウンタ０のカウント数をａ１カウンタａ→のカ
ウント数をｂとすると、被測定シー）（３）の厚みｔｘ
は（１）式で求められる。
幅に相当したカウント数が得られる。演算機α谷ではこ
れらのカウント数から厚みを計算して表示器αＱに表示
する。カウンタ０のカウント数をａ１カウンタａ→のカ
ウント数をｂとすると、被測定シー）（３）の厚みｔｘ
は（１）式で求められる。
ｔｘ ＝ ｊｏ （１） ”””（１）〔発明が解
決しようとする課題〕 従来の膜厚測定方法は以とのように構成されているので
、被測定シートの幅方向の膜厚分布を測定する事ができ
ないという欠点があった。
決しようとする課題〕 従来の膜厚測定方法は以とのように構成されているので
、被測定シートの幅方向の膜厚分布を測定する事ができ
ないという欠点があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、被測定シートの幅方向、流れ方向の膜厚の分布
を精度よく測定のできる膜厚測定方法を得ることを目的
とする。
もので、被測定シートの幅方向、流れ方向の膜厚の分布
を精度よく測定のできる膜厚測定方法を得ることを目的
とする。
この発明に係る膜厚測定方法は、回転軸端部に軸径の異
なる部分を設け、通常の回転軸部分の回転軸表面と遮光
板の間のレーザ光透過時間と、軸径の異なる回転軸部分
の回転軸表面部分と遮光板の間のレーザ光透過時間の差
を用いて、被測定シート表面と、遮光板との間のレーザ
光透過時間を補正しながら、膜厚の測定点を回転軸の軸
方向に移動させて膜厚測定を行う。
なる部分を設け、通常の回転軸部分の回転軸表面と遮光
板の間のレーザ光透過時間と、軸径の異なる回転軸部分
の回転軸表面部分と遮光板の間のレーザ光透過時間の差
を用いて、被測定シート表面と、遮光板との間のレーザ
光透過時間を補正しながら、膜厚の測定点を回転軸の軸
方向に移動させて膜厚測定を行う。
この発明における膜厚測定方法は、回転軸端部に軸径の
異なる部分を設け、軸径の異なる部分に隣接する通常の
軸径の回転軸部分の回転軸表面と遮光板の間のレーザ光
透過時間と、軸径の異なる回転軸部分の回転軸表面部分
と遮光板の間のレーザ光透過時間の差を用いて、被測定
シート表面と、遮光板との間のレーザ光透過時間を補正
しながら、膜厚の測定点を回転軸の軸方向に移動させて
膜厚測定を行うことによって、被測定シートの幅方向、
流れ方向の膜厚分布を測定する。
異なる部分を設け、軸径の異なる部分に隣接する通常の
軸径の回転軸部分の回転軸表面と遮光板の間のレーザ光
透過時間と、軸径の異なる回転軸部分の回転軸表面部分
と遮光板の間のレーザ光透過時間の差を用いて、被測定
シート表面と、遮光板との間のレーザ光透過時間を補正
しながら、膜厚の測定点を回転軸の軸方向に移動させて
膜厚測定を行うことによって、被測定シートの幅方向、
流れ方向の膜厚分布を測定する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図（こおいて、（１）〜（４） ＃、 （４ａ） ＃
（６） 〜αＱは従来のものと同様である。αηはレー
ザ光の走査幅の変動分を検知するための基準リング、（
ト）は回転軸の軸方向に往復移動するヘッド部、αりは
コントローラｅηからの制御信号によって定められる速
度で回転軸（１）を回転させる第１のサーボモータ、（
ホ）はコントローラなυの制御信号によって、定められ
る速度でヘッド部（ト）を駆動する第２のサーボモータ
、ｅυはサーボモータαす（イ）を同期して動かすため
の制御信号及び演算器α９に対してヘッド部（ト）の回
転軸（１）の軸方向に関する位置情報を与えるコントロ
ーラである。
図（こおいて、（１）〜（４） ＃、 （４ａ） ＃
（６） 〜αＱは従来のものと同様である。αηはレー
ザ光の走査幅の変動分を検知するための基準リング、（
ト）は回転軸の軸方向に往復移動するヘッド部、αりは
コントローラｅηからの制御信号によって定められる速
度で回転軸（１）を回転させる第１のサーボモータ、（
ホ）はコントローラなυの制御信号によって、定められ
る速度でヘッド部（ト）を駆動する第２のサーボモータ
、ｅυはサーボモータαす（イ）を同期して動かすため
の制御信号及び演算器α９に対してヘッド部（ト）の回
転軸（１）の軸方向に関する位置情報を与えるコントロ
ーラである。
次に動作について説明する。レーザ光源（４）から出射
されたレーザ光（４ａ）は走査機構の反射ミラー（６）
に入射され、遮光板（２）と被測定シート（３）の間隔
を走査し、この間をレーザ光（４ａ）が通過している間
だけ、受光器αη（こ光が受光される。したがって、受
光器（ロ）の出力信号はギャップの大きさに比例した幅
のパルス波形となり、これをカウンタα１でパルスカウ
ントしてパルス幅に相当したカウント数が得られる。演
算器αＱではこのカウント数から厚みを計算して表示器
ａＱに表示する。
されたレーザ光（４ａ）は走査機構の反射ミラー（６）
に入射され、遮光板（２）と被測定シート（３）の間隔
を走査し、この間をレーザ光（４ａ）が通過している間
だけ、受光器αη（こ光が受光される。したがって、受
光器（ロ）の出力信号はギャップの大きさに比例した幅
のパルス波形となり、これをカウンタα１でパルスカウ
ントしてパルス幅に相当したカウント数が得られる。演
算器αＱではこのカウント数から厚みを計算して表示器
ａＱに表示する。
被測定シート（３）の膜厚測定に入る前に、回転軸（１
）上に被測定シート（３）のない状態で、回転軸（１）
を被測定シート（３）の流れ速度と同期した速度で回転
させ、ヘッド部（ト）を回転軸（１）の端部と端部の間
で一往復させる。この−往復の間に、第２図に示すよう
に基準リング部（位ｔｃ）での、リング表面と遮光板（
２）のギャップ幅を表わすカウント数ａ０、（位置Ｄ）
での回転軸表面と遮光板（２）のギャップ幅を表わすカ
ウント数す、、回転軸（１）の軸方向（こ関する位置Ｘ
における遮光板（２）と回転軸（１）のギャップ幅を表
わすカウント数Ｃ（Ｘ）を測定して、演算部αＱに記憶
させる作業を行う。第１のサーボモータαりはコントロ
ーラｅυにより発せられる制御信号に応じた速度で回転
軸（１）を駆動し、また第２のサーボモータ（イ）もコ
ントローラ１２１）からの制御信号を受けて、回転軸（
１）に同期した速度でヘッド部（ト）を駆動する。この
時のヘッド部（至）の回転軸（１）の軸方向に関する位
置Ｘは、コントローラ翰より演算部Ｑυに送られ、演算
部Ｑ５は位置Ｘとその位置での遮光板（２）と回転軸（
１）の間隔を表わすカウント数を対応づけて、Ｃ（Ｘ）
として記憶する。
）上に被測定シート（３）のない状態で、回転軸（１）
を被測定シート（３）の流れ速度と同期した速度で回転
させ、ヘッド部（ト）を回転軸（１）の端部と端部の間
で一往復させる。この−往復の間に、第２図に示すよう
に基準リング部（位ｔｃ）での、リング表面と遮光板（
２）のギャップ幅を表わすカウント数ａ０、（位置Ｄ）
での回転軸表面と遮光板（２）のギャップ幅を表わすカ
ウント数す、、回転軸（１）の軸方向（こ関する位置Ｘ
における遮光板（２）と回転軸（１）のギャップ幅を表
わすカウント数Ｃ（Ｘ）を測定して、演算部αＱに記憶
させる作業を行う。第１のサーボモータαりはコントロ
ーラｅυにより発せられる制御信号に応じた速度で回転
軸（１）を駆動し、また第２のサーボモータ（イ）もコ
ントローラ１２１）からの制御信号を受けて、回転軸（
１）に同期した速度でヘッド部（ト）を駆動する。この
時のヘッド部（至）の回転軸（１）の軸方向に関する位
置Ｘは、コントローラ翰より演算部Ｑυに送られ、演算
部Ｑ５は位置Ｘとその位置での遮光板（２）と回転軸（
１）の間隔を表わすカウント数を対応づけて、Ｃ（Ｘ）
として記憶する。
つづいて、被測定シート（３）を回転軸（１）に密着走
行させ、ヘッド部αカを回転軸（１）の軸方向に往復移
動させなから膜厚測定を行う。位置Ａにおけるリング表
面と遮光板（２）のギャップ幅を表わすカウント数をａ
ｎｓ位置Ｂでの回転軸表面と遮光のギャップ幅を表わす
カウント数をｂｆｌｓヘッド部αカの位置Ｘにおける、
遮光板（２）と被測定シート（３）のギヤツブ幅を表わ
すカウント数Ｃｎ（Ｘ）、を演算部αυへ送る。この時
演算部ａυにあらかじめ記憶されている、位置Ａ９位置
Ｂでのパルスカウント数の差ｂｏ ａ。
行させ、ヘッド部αカを回転軸（１）の軸方向に往復移
動させなから膜厚測定を行う。位置Ａにおけるリング表
面と遮光板（２）のギャップ幅を表わすカウント数をａ
ｎｓ位置Ｂでの回転軸表面と遮光のギャップ幅を表わす
カウント数をｂｆｌｓヘッド部αカの位置Ｘにおける、
遮光板（２）と被測定シート（３）のギヤツブ幅を表わ
すカウント数Ｃｎ（Ｘ）、を演算部αυへ送る。この時
演算部ａυにあらかじめ記憶されている、位置Ａ９位置
Ｂでのパルスカウント数の差ｂｏ ａ。
と、上記ｂｎ−ａｎの比をとって（２）式を、レーザ光
走査速度の変動を補正するための補正係数とする。さら
に演算部（至）であらかじめ記憶されているＸにおける
遮光板と回転軸の間隔を表わすカウント数Ｃｏ （Ｘ）
とＣｎ（Ｘ） 、ｋｎを演算処理する事によって、ｎ回
目の走査でのこのポイントにおける膜厚値Ｆｎを算出す
る事ができる。演算式は（３）式に示す通りである。
走査速度の変動を補正するための補正係数とする。さら
に演算部（至）であらかじめ記憶されているＸにおける
遮光板と回転軸の間隔を表わすカウント数Ｃｏ （Ｘ）
とＣｎ（Ｘ） 、ｋｎを演算処理する事によって、ｎ回
目の走査でのこのポイントにおける膜厚値Ｆｎを算出す
る事ができる。演算式は（３）式に示す通りである。
Ｆｎ ＝ Ｌ ｋｒ、（Ｃｏ（Ｘ） −Ｃｎ（Ｘ） ）
−−−−−・−（３）但し、Ｌはカウント数と膜厚値の
関係を示す比例係数である。
−−−−−・−（３）但し、Ｌはカウント数と膜厚値の
関係を示す比例係数である。
このようにして、レーザ光の走査速度の変動の影響を受
ける事なく、被測定シートの幅方向及び流れ方向の膜厚
分布を精度よく測定する事ができる。
ける事なく、被測定シートの幅方向及び流れ方向の膜厚
分布を精度よく測定する事ができる。
次にこの発明の他の実施例を図について説明する。第３
図において（ホ）は反射ミラー駆動電流制御装置である
。測定開始前の、位置Ａ２位置Ｂでのパルスカウント数
の差す、−ａｏと、ｔ）ｎ ａｌの比ｋｎが１になるよ
うに反射ミラー駆動電流を制御する。
図において（ホ）は反射ミラー駆動電流制御装置である
。測定開始前の、位置Ａ２位置Ｂでのパルスカウント数
の差す、−ａｏと、ｔ）ｎ ａｌの比ｋｎが１になるよ
うに反射ミラー駆動電流を制御する。
このようにして、レーザ光の走査速度の影響を受ける事
なく、被測定シートの幅方向及び流れ方向の膜厚分布を
精度よく測定する事のできる、膜厚測定装置を得る事が
できる。
なく、被測定シートの幅方向及び流れ方向の膜厚分布を
精度よく測定する事のできる、膜厚測定装置を得る事が
できる。
このようにこの発明によれば、回転軸端部に軸径の異な
る箇所を設け、通常の軸径の部分を走査する場合と、軸
径の異なる部分を走査する場合のカウント数の差をモニ
ターして、レーザ走査速度の変動を補正する事によって
、レーザ走査速度の変動の影響を受ける事なく、被測定
シートの幅方向及び流れ方向の膜厚分布を精度よく測定
する事ができる。
る箇所を設け、通常の軸径の部分を走査する場合と、軸
径の異なる部分を走査する場合のカウント数の差をモニ
ターして、レーザ走査速度の変動を補正する事によって
、レーザ走査速度の変動の影響を受ける事なく、被測定
シートの幅方向及び流れ方向の膜厚分布を精度よく測定
する事ができる。
第１図はこの発明の一実施例を適用した装置の構成図、
第２図は第１図の要部を示す説明図、第３図は発明の他
の実施例を適用した装置の構成図、第４図は従来の膜厚
測定装置の構成図、第５図は第４図の要部を示す説明図
である。図において、（１）は回転軸、（２）は遮光板
、（４ａ）はレーザ光、（６）は反射ミラーである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分をさす。
第２図は第１図の要部を示す説明図、第３図は発明の他
の実施例を適用した装置の構成図、第４図は従来の膜厚
測定装置の構成図、第５図は第４図の要部を示す説明図
である。図において、（１）は回転軸、（２）は遮光板
、（４ａ）はレーザ光、（６）は反射ミラーである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分をさす。
Claims (1)
- （１）被測定シートを回転軸で密着支持しながら走行さ
せ、上記回転軸の面から所定の距離をあけて上記回転軸
の回転中心と平行に遮光板を設けて、上記被測定シート
の表面と上記遮光板との間をレーザ光を使つて反射ミラ
ーで走査し、レーザ光の透過時間を測定する事によつて
、上記被測定シートの膜厚を測定する方法において、上
記回転軸の軸端部に軸径の異なる部分を設け、この部分
でのレーザ光の透過時間と、上記軸径の異なる部分に隣
接し、上記被測定シートの走行していない回転軸部分で
のレーザ光透過時間の差を演算し、この差を用いて上記
被測定シートの表面と遮光板との間のレーザ光透過時間
を補正する事によつて被測定シートの厚みを得る事を特
徴とする膜厚測定装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63104719A JPH0726814B2 (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 膜厚測定方法 |
| CA000597537A CA1313757C (en) | 1988-04-26 | 1989-04-24 | Method for measuring film thickness |
| US07/342,852 US4991969A (en) | 1988-04-26 | 1989-04-25 | Method for measuring film thickness |
| DE89304179T DE68907119T2 (de) | 1988-04-26 | 1989-04-26 | Verfahren zum Messen der Dicke eines Films. |
| EP89304179A EP0339985B1 (en) | 1988-04-26 | 1989-04-26 | Method for measuring film thickness |
| KR1019890005520A KR920007628B1 (ko) | 1988-04-26 | 1989-04-26 | 막두께 측정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63104719A JPH0726814B2 (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 膜厚測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274005A true JPH01274005A (ja) | 1989-11-01 |
| JPH0726814B2 JPH0726814B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=14388295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63104719A Expired - Lifetime JPH0726814B2 (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 膜厚測定方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0726814B2 (ja) |
| KR (1) | KR920007628B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011059000A (ja) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Toshiba Corp | 放射線厚さ計 |
-
1988
- 1988-04-26 JP JP63104719A patent/JPH0726814B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-04-26 KR KR1019890005520A patent/KR920007628B1/ko not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920007628B1 (ko) | 1992-09-09 |
| KR890016362A (ko) | 1989-11-28 |
| JPH0726814B2 (ja) | 1995-03-29 |
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