JPH01280702A

JPH01280702A - 屈折率分布型光学素子およびその製造方法

Info

Publication number: JPH01280702A
Application number: JP1018001A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Aragaki; 新垣　誠一; Kohei Nakada; 耕平中田; Takashi Serizawa; 芹沢　高; Kazumi Nagao; 長尾　和美; Haruo Tomono; 晴夫友野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1988-01-29
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1989-11-10
Also published as: US5032000A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は透明誘電体を屈折率分布に寄与するイオンを含
む溶融塩に浸漬または接触させ、透明誘電体中のイオン
と溶融塩中のイオンとを交換させ透明誘電体中に屈折率
分布を形成するイオン交換法により作製される屈折率分
布型光学素子及びその製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

透明誘電体を屈折率分布に寄与するイオンを含む溶融塩
に浸漬または接触させ、透明誘電体中のイオンと溶融塩
中のイオンとを交換させ透明誘電体中に屈折率分布を形
成させるイオン交換性屈折率分布型光学素子の製造法は
良く知られている。

例えば第１１図に示すように、Ｌｉ＋、Ｔ１！”。

Ｃｓなどの陽イオン（図中ではΔ＋）を含むカラスロッ
ド１を硝酸ナトリウムや硝酸カリウムなどの溶融塩２中
に浸漬し、カラス中のイオン（Ａ“）と溶融塩中の陽イ
オン（図中ではＢ’）を交換させることにより第１２図
に示されるような屈折率分布を有するロッドレンズを得
ることができる。

この屈折率分布の形状は、カラスロット１の組成や、イ
オン交換の温度・時間および溶融塩２中の不純物など様
々の要因により変化し、それぞれの条件で作製したロッ
ドレンズの光学性能は大きく異なる。このため通常光学
性能の良いレンズを得るためには上記様々の要因を変え
て最適条件を見い出していた。然し乍ら、実際には屈折
率分布定数（以下ｇとする）は大きいが収差も大きいと
か、逆に収差は小さいけれどもｇが小さいなどというよ
うに収差が全んどゼロでかつｇが最大であるような理想
的なロッドレンズを得ることは殆ど困難であった。

さらに、」１記イオン交換法によるロッドレンズ作製に
おいて、例えばＩｌ　ｉ＋を含むガラスロッドを硝酸ナ
トリウム溶融塩中でイオン交換したような場合第１３図
に示すようにレンズ周辺部で熱膨張係数が大きくなると
いう欠点があった。このように熱膨張係数が分布してい
るロッドは応力的にもろい性質を持つので使用中にクラ
ックが発生したり割れたりすることがしばしば起る。

〔発明が解決しようとしている問題点〕本発明は−Ｆ記
の問題点を解決すべくなされたもので、屈折率分布調整
部分と透明誘電体部分を融着一体化した後にイオン交換
することにより、内部と外周部との間の熱膨張係数の差
に起因するもろさを解消でき、特に透明誘電体部分の光
学性能、例えばｇの最大値と結像時の像面湾曲の最小値
がほぼ一致させることができる屈折率分布型光学素子と
その全く新規な製造法を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段（及び作用）〕すなわち
本発明はイオン交換法により製造される屈折率分布型光
学素子において、交換可能なイオンを含む屈折率分布調
整部分が屈折率分布を有する透明誘電体部分の表面の少
なくとも一部に存在することを特徴とする屈折率分布型
光学素子である。

また他の発明は、イオン交換法による屈折率分布型光学
素子の製造方法において、交換可能なイオンを有する透
明誘電体の表面の少なくとも一部に交換可能なイオンを
含む屈折率分布調整部分を設け、次いで屈折率分布に寄
与するイオンを含む溶融塩に浸漬または接触させてイオ
ン交換させることを特徴とする屈折率分布型光学素子の
製造方法である。

ここで本発明における屈折率分布調整部分の働きについ
て説明する。

一般にイオン交換法によって製造される屈折率分布型光
学素子の屈折率分布を形成するファクターとしては、イ
オン交換温度・時間、ガラスなどの透明誘電体の組成、
拡散するイオンの種類、溶融塩の組成などがあげられる
。即ち通常のイオン交換法によるロッドレンズ作製を例
にとると、カラスロッド及び溶融塩の組成が決まり、イ
オン交換処理温度が決まれば屈折率分布は処理時間に対
して一義的に決まってくる。これはガラス組成によりガ
ラス構造が決定され、この構造内を通過する屈折率分布
を形成するイオンの拡散速度が一義的に決まるためによ
る。即ち本発明の屈折率分布調整部分の働きは、ガラス
ロッドの表面の一部に組成の異なるガラスを設け、この
部分におけるイオンの拡散速度をカラスロッド内の拡散
速度に対して変化さぜることによりガラスロッド内に形
成される屈折率分布の形状を微妙にコントロールするこ
とである。

本発明において透明誘電体とは交換可能なイオンを持つ
透明誘電体であり、その材料としては光学ガラス或いは
Ｌ　１Ｎｂｏｓ　、Ｌ　１Ｔａｏｓの結晶などが用いら
れるが一般に種々のカラスが好適に用いられる。この透
明誘電体の表面に密着して存在する屈折率分布調整部分
は交換可能なイオンを有し、イオン交換反応はこの部分
を通して行われ透明誘電体に屈折率分布が形成される。

交換可能なイオンとしてはＬ　ｉ＋、Ｎａ”　、Ｋ”　
。

Ｒｂ′、Ｃｓ”　、Ｔｌ”　、Ａｇ４などの１価の陽イ
オンが好ましく、溶融塩中の交換可能なイオンを含めて
少なくとも１種の交換可能なイオンが存在する。屈折率
分布調整部分に含まれる交換可能なイオンと透明誘電体
に含まれる交換可能なイオンとは同一であっても異なっ
ていてもがまゎない。但し、前記交換可能なイオンが同
一でかつ量も同じ場合には、屈折率分布調整部分及び透
明誘電体に含まれる他のイオンの量を適当に調整するこ
とにより好適な結果が得られる。

また本発明による屈折率分布型光学素子の良好な光学特
性としては、ｇの最大値における最大像面湾曲量がｏ、
１ｍｍ以下、特には０．０５ｍｍ以下の範囲である。

また、屈折率分布型光学素子を構成する透明誘電体と屈
折率分布調整部分は、透明誘電体の厚さを１としたとき
、屈折率分布調整部分の厚さが次に本発明を図を参照し
ながら説明する。第１図及び第３図は本発明の実施の１
例を示すものであるが、第３図は屈折率分布調整部分を
有するロッドレンズ、第１図はその製造方法の１例を示
している。

第１図において、交換可能なイオンを有するロンド状コ
アガラス３の外周部に交換可能なイオンを有する円筒状
屈折率分布調整用ガラス４を配置し、電気炉５で加熱し
、引張りローラー６で引くことによりコアガラス３と屈
折率分布調整用ガラス４とを接触融着一体化させて２重
カラスロッド７が得られる。この２重ガラスロッドを適
当な長さに切断して交換可能なイオンを含む溶融塩に浸
漬し、この２重ガラスロッド中の交換可能なイオンと溶
融塩中の交換可能なイオンとの交換を行う。イオン交換
後の２重ロッドは第３図に示すように屈折率分布調整部
分９により屈折率分布を好適に調整された透明コア部８
を有するロッドレンズとなる。

本発明による透明誘電体と屈折率分布調整部分を融着一
体化させる工程を経てイオン交換を行い、製造される屈
折率分布型ロッドレンズの屈折率分布と熱膨張係数の分
布をそれぞれ第４図及び第５図に示す。

この時透明コア部と屈折率分布調整部分の屈折率分布は
イオン交換前のコアガラスおよび屈折率分布調整用ガラ
スの交換可能なイオンを含む他のイオンの量などを好適
に選ぶことにより第４図のように連続にすることができ
る。

また、イオン交換処理後の屈折率分布型光学素子の熱膨
張係数に関して、屈折率分布型光学素子の表面方向に向
って透明誘電体部分の熱膨張係数が増大傾向になってお
り、透明誘電体部分と屈折率分布調整部分との境界にお
いて、その増大傾向がなくなっているか、又は減少傾向
に移行しているようにすることによって、機械的強度も
改善される。例えば、第３図に示されるロッドレンズの
また同時に、外周部の屈折率分布調整部分の熱膨張係数
を第５図に示すように透明コア部と屈折率分布調整部と
の界面のそれより小さくすることで機械的強度も改善さ
れ、屈折率と熱膨張係数についてこのような分布を有す
るロッドレンズは、光学的特性ならびに機械的強度にお
いて従来法によるロッドレンズに比べて極めてすぐれて
いる。

すなわち、屈折率分布調整用ガラス中の交換可能なイオ
ンの種類、量をコアガラスに対して様々に変化させるこ
とにより、コア部と屈折率分布調整用ガラスの間の交換
可能なイオンの拡散速度を大幅に変化させることが可能
となり、ｇ値が大きく収差が小さいレンズを容易に得る
ことが可能となる。

また、第５図に示すように得られたロッドレンズの屈折
率分布調整部分とコア部の界面で、ロッド周辺部に圧縮
応力が発生することにより機械的強度もすぐれたレンズ
を得ることが可能となる。

さらにロッドレンズの外径は、本発明によるコアガラス
と屈折率分布調整用ガラスの融着一体化の工程で一定の
精度が保たれるため、ロッドレンズの外径精度も容易に
得られる。

また本発明による透明誘電体と屈折率分布調整部分とを
加熱融着させる工程では、第２図に示すようにそれぞれ
を二重坩堝１６で加熱溶融して内側坩堝より透明誘電体
３′を、外側坩堝より屈折率分布調整部分４′を下部ノ
ズルから引き出し、引張りローラー６により引いて両者
を融着一体化することも可能である。

さらに、イオン交換による熱的な応力の発生が余り太き
（なければ、本発明方法による屈折率分布調整部分をイ
オン交換完了後、研削或いはエツチングにより除去して
クラット部を有さない通常の形状を持つ高性能ロッドレ
ンズとして使用することもできる。

また、第７図は本発明による屈折率分布調整部分の形状
が平板状である場合の屈折率分布型レンズを示す。

実施例１第１図に示すようにＩ−１２０を１５モル％含む硼珪酸
ガラスの直径３０ｍｍのコアガラス３の周囲にＬ１２０
を１５モル％、ＺｒＯ２を５モル％含む硼珪酸カラスの
］、、Ｏｍｍ厚さの環状屈折率分布調整用ガラス４を配
列固定し、電気炉５中で６８０℃に加熱し、引張りロー
ラー６で延伸することによりコアガラスと屈折率分布調
整用ガラスが融着一体化し、直径１．２ｍｍの２重ガラ
スロッド７が得られた。

また、別途に上記コアカラスと同一組成のガラスで直径
３２ｍｍのものも同様に電気炉中で加熱し、引張りロー
ラーで延伸して直径１．２ｍｍのクラット部を持たない
通常のガラスロッドを得た。上記クラッドを持つカラス
ロッド及びクラッドを持たないガラスロットそれぞれを
１ｍの長さに切断し、５００℃に保った硝酸ナトリウム
溶融塩中に各７本浸漬し、ガラスロッド中のＬ　ｉイオ
ンと溶融塩中のＮａ＋イオンとの交換を行った。

なお、イオン交換開始より１０時間毎にザンプリングを
行い、７０時間浸漬したサンプルまでの計１４種のサン
プルについてそれぞれのｇ値及び像面湾曲の変化を測定
した。屈折率分布調整用ガラスをクラッドしたレンズの
結果を第９図に、クラッドのない通常のレンズの結果を
第１０図に示す。

屈折率分布調整用ガラスをクラッドしていないレンズは
２０時間付近でｇ値は最大になるが像面湾曲はかなりマ
イナス側へずれており、湾曲が無くなる６０時間付近で
はｇ値は０６１６程度に低下していた。

一方、本発明による屈折率分布調整用カラスをクラット
したレンズはｇ値が最大になる２０時間付近で像面湾曲
もほぼセロになり、ｇ値が０．２６の高性能なロッドレ
ンズを得ることがてきた。これは、屈折率分布調整部分
であるクラットが、コアカラス表面近傍からのＬｉイオ
ンの過度のイオン交換を抑えることができ、光学素子の
厚さ方向の屈折率分布が理想分布に近づけることができ
たことによるものと考えられる。また、クラットのカラ
スのＬ　ｉイオンはコアガラスのＬ　ｉイオンよりもイ
オン交換され易さの程度が低いものと考えられる。

また、このロッドレンズは屈折率分布調整用カラスの熱
膨張係数がコアカラスより小さいため、得られたロッド
レンズはかしめ作用により機械的強度が向上した。

実施例２第６図に示すように、実施例１のコアカラスと同様の組
成を持つ平板状の透明ガラス部１０と、同し〈実施例１
と同様の組成を持つ平板状の屈折率分布調整用カラス１
１を熱融着により一体化し、次いて屈折率分布調整用カ
ラス１１を通してＮ　ａ　Ｎ　Ｏｓ溶融塩１２中てイオ
ン交換を行った。

また同時に平板状カラスのみのイオン交換も同条件で行
った。

イオン交換後得られたアキシャルレンズから第７図に示
すように測定用ガラス片１５を切り出し、両面研磨して
屈折率分布の測定を行った。

得られた結果を第８図に示す。平板状ガラスのみの場合
の屈折率分布１６は変曲点を持つ多次曲線となるが、屈
折率分布調整部分を設けた場合はほぼ直線的な分布１７
を示し、レンズ設計上好適なアキシャルレンズが得られ
た。

実施例３第１図のコアガラスとしてＬ　１２０を２０モル％含む
直径３０ｍｍの硼珪酸ガラスを、環状屈折率分布調整用
ガラスとしてＬｉ２Ｏを２０モル％、Ａｌ２Ｏ３を２モ
ル％含む１．０ｍｍ厚さの硼珪酸ガラスを用いて他は実
施例１と同様の条件でガラスを延伸し直径１．２ｍｍの
２重カラスロッドを得た。

また別途に比較用として上記コアガラスと同一組成のガ
ラスロッドでクラッド部を持たない直径１．２ｍｍの通
常のガラスロッドも実施例１と同様な条件で作製した。

」１記クラッドを持つカラスロッド及びクラッドを持た
ないガラスロットそれぞれを１ｍの長さに切断し、５１
０℃に保った硝酸カリウム溶融塩中に各２０本浸漬し、
カラスロット中のＬｉイオンと溶融塩中のにイオンとの
交換を行なった。なおイオン交換開始より１００時間毎
にザンプリングを行ない２０００時間浸漬したサンプル
までの計２０種のサンプルについて、それぞれのｇ値及
び像面弯曲の値を測定した。

像面弯曲がほぼゼロになるイオン交換時間は、屈折率分
布調整用ガラスをクラッドしていないレンズでは１１０
０時間であり、この時のｇ値は０．１９であった。また
屈折率分布調整用ガラスをクラットしたレンズでは４０
０時間付近で像面弯曲はほぼセロとなりｇ値は０．３３
であった。

次に上記クラット部を持つガラスロッド及びクラッド部
を持たないガラスロッドそれぞれ１ｍ長のものを前述し
た５１０°Ｃに保った硝酸カリウム溶融塩中に各１００
本浸漬し、それぞれを像面弯曲がほぼゼロになる時間４
００時間と１１００時間で引き上げた。得られたレンズ
のｇ値をそれぞれ２０本ずつ選んで測定したところ、前
述した０、３３及び０．１９に対して±２％の範囲に入
っていた。

また各１００本のレンズの全数について形態検査を行な
ったところ、屈折率分布調整部分をクラッドしていない
レンズでは１００本中８？本について欠けや割れが観察
されたが、屈折率分布調整部分をクラッドしたレンズで
は１００本全てについて欠け、割れは認められなかった
。

このように、欠け、割れの発生率に大きな差を生じる理
由は、Ｌｉイオンと１（イオンの交換によりロッドの中
心部から表面部に向って熱膨張係数が増大し、イオン交
換後の冷却時に欠けや割れを生じやすくなる現象が、熱
膨張係数がコアガラスより比較的小さい屈折率分布調整
部分がクラッドしであるレンズでは、冷却時のかしめ効
果により防止できるためであると思われる。

実施例４第１図のコアガラスとしてＬｉ２Ｏを１５モル％含む直
径４０ｍｍの硼珪酸ガラスを、環状屈折率分布調整用ガ
ラスとしてＮａ２Ｏを１５モル％、Ａｌ２Ｏ，を４モル
％含む１．０ｍｍ厚さの硼珪酸ガラスを用いて他は実施
例１と同様の条件でガラスを延伸し直径１．５ｍｍの２
重ガラスロッドを得た。

また別途に比較用として上記コアガラスと同一組成のガ
ラスロッドてクラッド部を持たない直径１、．５ｍｍの
通常のガラスロッドも実施例１と同様な条件で作製した
。

上記クラットを持つカラスロッド及びクラッドを持たな
いカラスロッドそれぞれを１ｍの長さに切断し、５００
℃に保った硝酸ナトリウム溶融塩中に各２０本浸漬し、
カラスロッド中のＬ１イオンと溶融塩中のＮａイオンと
の交換を行なった。

なおイオン交換開始より１０時間毎にサンプリングを行
ない２００時間浸漬したサンプルまでの計４０種のサン
プルについて、それぞれのｇ値及び像面弯曲の値を測定
した。

像面弯曲がほぼゼロになるイオン交換時間は、屈折率分
布調整用ガラスをクラッドしていないレンズでは１００
時間であり、この時のｇ値は０．１３であった。また屈
折率分布調整用ガラスをクラッドしたレンズでは４０時
間付近で像面弯曲はほぼゼロとなりｇ値は０．２７であ
った。

実施例５第１図のコアガラスとしてＬｉ２Ｏを１５モル％含む直
径６０ｍｍの硼珪酸ガラスを、環状屈折率分布調整用ガ
ラスとしてに２０を１２モル％、Ａｌ２Ｏ３を３モル％
含む１．０ｍｍ厚さの硼珪酸ガラスを用いて他は実施例
１と同様な方法でガラスを延伸し直径１．２ｍｍの２重
ガラスロッドを得た。

また比較用として」１記コアカラスと同一組成のガラス
ロッドでクラッド部を持たない直径１．２ｍｍの通常の
ガラスロッドも実施例１と同様な条件で作製した。

上記クラッドを持つカラスロッド及びクラッドを持たな
いカラスロッドそれぞれを１ｍの長さに切断し、５１０
℃に保った硝酸カリウム溶融塩中に各１５本浸漬し、ガ
ラスロッド中のＬ１イオンと溶融塩中のにイオンとの交
換を行なった。なおイオン交換開始より１００時間毎に
サンプリングを行ない１５００時間浸漬したサンプルま
での計３０種のサンプルについて、それぞれのｇ値及び
像面弯曲の値を測定した。

像面弯曲がほぼゼロになるイオン交換時間は、屈折率分
布調整用ガラスをクラッドしていないレンズでは１００
０時間であり、この時のｇ値は０．１８であった。また
屈折率分布調整用ガラスをクラッドしたレンズでは５０
０時間付近で像面弯曲はほぼセロとなりｇ値は０．３０
であった。

実施例６第１図のコアガラスとしてＬ１□０を１５モル％含む直
径４４ｍｍの硼珪酸ガラスを、環状屈折率分布調整用ガ
ラスとしてＬｉｚＯを１５モル％、Ｚ　ｒ　Ｏ２を５モ
ル％含む１．０ｍｍ厚さの硼珪酸カラスを用いて他は実
施例１と同様の方法でガラスを延伸し直径１．１５ｍｍ
の２重ガラスロッドを得た。

また別途に比較用として上記コアガラスと同一組成のガ
ラスロッドでクラッド部を持たない直径１．１ｍｍの通
常のガラスロッドも実施例１と同様な条件で作製した。

上記クラッドを持つカラスロッド及びクラッドを持たな
いガラスロッドそれぞれを１ｍの長さに切断し、５００
℃に保った硝酸ナトリウム溶融塩中に各２０本浸漬し、
ガラス中のＬ１イオンと溶融塩中のＮａイオンとの交換
を行なった。なおイオン交換開始より５時間毎にサンプ
リングを行ない１００時間浸漬したサンプルまでの計４
０種のサンプルについて、それぞれのｇ値及び像面弯曲
の値を測定した。

像面弯曲がほぼゼロになるイオン交換時間は、屈折率分
布調整用ガラスをクラッドしていないレンズでは５５時
間であり、この時のｇ値は０．１５であった。また屈折
率分布調整用ガラスをクラッドしたレンズでは２０時間
付近で像面弯曲はほぼゼロとなりｇ値は０．２４であっ
た。

次に上記クラッド部を持つカラスロッド及びクラッド部
を持たないガラスロッドそれぞれ１ｍ長のものを前述し
た５００℃に保った硝酸ナトリウム溶融塩中に各５０本
浸漬し、それぞれを像面弯曲がほぼセロになる時間２０
時間と５５時間で引き上げた。得られたレンズのｇ値を
それぞれ２０本ずつ選んで測定したところ、前述した０
、２４及び０．１５に対して±２％の範囲に入っていた
。

次に上記クラット部を持つレンズの残りの３０本につい
て、水で３０分間洗浄して溶融塩を取り除いた後、室温
２０ｗｔ％のフッ酸水溶液中で２５分間エツチングを行
ないクラッド部分のガラスを除去して直径１．．１０ｍ
ｍのレンズを得た。

次にクラッド部をエツチングして得たレンズ（Ａ）及び
クラッド部を持たないガラスロッドて作製したレンズ（
Ｂ）のそれぞれについて、レンズ外周部の光吸収性塗料
の塗布を行なった後、これらを束ねて等倍結像用のレン
ズが２列配列したレンズアレイを作製した。

作製したレンズアレイのＭＴＦ値は（Ａ）レンズで作製
したもので８５％を示したが（Ｂ）レンズで作製したも
のは６０％であった。また（Ａ）レンズで作製したレン
ズアレイは（Ｂ）レンズで作製したレンズアレイに比べ
て高開口であり、等倍像を得るために必要な距離（共役
長）も短く有用であった。

［発明の効果］本発明により、交換可能なイオンを含む屈折率分布調整
部分と透明誘電体部分を溶着一体化し、屈折率分布調整
部分を通してイオン交換を行うことにより、光学的特性
にすぐれ、機械的強度の大きな各種の屈折率分布型光学
素子を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例１の加熱延伸の工程を示す構成図、第２図は実施例１の変形の２重坩堝法を示す断面図、第３図は実施例１の２重ロッドレンズの断面図、第４図は実施例１のロッドレンズの屈折率分布を示すグ
ラフ、第５図は実施例１のロッドレンズの熱膨張係数の分布を
示すグラフ、第６図は実施例２のアキシャルレンズの製造法を示ず断
面図、第７図は実施例２のアキシャルレンズの断面図、第８図は実施例２のアキシャルレンズの厚さ方向の屈折
率分布を示すグラフ、第９図及び第１０図は実施例１の２種のロッドレンズの
イオン交換時間に対するｇ値および像面弯曲の変化を示
すグラフである。第１１図はイオン交換処理の説明図である。第１２図および第１３図はイオン交換されたカラスロッ
トの、それぞれ屈折率分布および熱膨張係数分布を表わ
すグラフである。１・・カラスロット２および１２・・・溶融塩３・・・コアガラス３′及び１０・・・透明誘電体４．４′及び１１・・・屈折率分布調整用カラス５・・
・電気炉６・・・引っ張りローラー７・・・２重ガラスロッド８・・・透明コア部（ラジアルレンズ）９および１４・
・・屈折率分布調整部分１３・・・アキシャルレンズ１５・・・屈折率分布測定用ガラス片１６・・・屈折率分布調整部分を設けない場合のレンズ
厚さ方向の屈折率分布１７・・・屈折率分布調整部分を設けた場合のレンズ厚
さ方向の屈折率分布

Claims

【特許請求の範囲】

（１）イオン交換法により製造される屈折率分布型光学
素子において、交換可能なイオンを含む屈折率分布調整
部分が、屈折率分布を有する透明誘電体の表面の少なく
とも一部に存在することを特徴とする屈折率分布型光学
素子。
（２）屈折率分布型光学素子の表面方向に向って透明誘
電体部分の熱膨張係数が増大傾向になっており、透明誘
電体部分と屈折率分布調整部分との境界において、該増
大傾向がなくなっているか又は減少傾向に移行している
特許請求の範囲第１項記載の屈折率分布型光学素子。
（３）交換可能なイオンがＬｉ＾＋、Ｎａ＾＋、Ｋ＾＋
、Ｒｂ＾＋、Ｃｓ＾＋、Ｔｌ＾＋、Ａｇ＾＋などの１価
の陽イオンのうち少なくとも１つである特許請求の範囲
第１項記載の屈折率分布型光学素子。
（４）交換可能なイオンを含む屈折率分布調整部分の交
換可能なイオンと屈折率分布を有する透明誘電体の交換
可能なイオンとが同一である特許請求の範囲第１項ない
し第３項記載の屈折率分布型光学素子。
（５）交換可能なイオンを含む屈折率分布調整部分の交
換可能なイオンと屈折率分布を有する透明誘電体の交換
可能なイオンとが異なる特許請求の範囲第１項ないし第
３項記載の屈折率分布型光学素子。
（６）イオン交換法による屈折率分布型光学素子の製造
方法において、交換可能なイオンを有する透明誘電体の
表面の少なくとも一部に交換可能なイオンを含む屈折率
分布調整部分を設け、ついで屈折率分布に寄与するイオ
ンを含む溶融塩に浸漬または接触させてイオン交換させ
ることを特徴とする屈折率分布型光学素子の製造方法。
（７）交換可能なイオンがＬｉ＾＋、Ｎａ＾＋、Ｋ＾＋
、Ｒｂ＾＋、Ｃｓ＾＋、Ｔｌ＾＋、Ａｇ＾＋などの１価
の陽イオンのうち少なくとも１つである特許請求の範囲
第６項記載の屈折率分布型光学素子の製造方法。
（８）交換可能なイオンを含む屈折率分布調整部分の交
換可能なイオンと屈折率分布を有する透明誘電体の交換
可能なイオンとが同一である特許請求の範囲第６項また
は第７項記載の屈折率分布型光学素子の製造方法。
（９）交換可能なイオンを含む屈折率分布調整部分の交
換可能なイオンと屈折率分布を有する透明誘電体の交換
可能なイオンとが異なる特許請求の範囲第６項または第
７項記載の屈折率分布型光学素子の製造方法。
（１０）交換可能なイオンを有する透明誘電体の表面の
少なくとも一部に設けられた屈折率分布調整部分を、イ
オン交換完了後除去することを特徴とする特許請求の範
囲第６項ないし第９項記載の屈折率分布型光学素子の製
造方法。