JPH01281762A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH01281762A JPH01281762A JP63111244A JP11124488A JPH01281762A JP H01281762 A JPH01281762 A JP H01281762A JP 63111244 A JP63111244 A JP 63111244A JP 11124488 A JP11124488 A JP 11124488A JP H01281762 A JPH01281762 A JP H01281762A
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- JP
- Japan
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- diode
- speed
- internal
- transistor
- lead wire
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、多段ダーリントン・トランジスタを含む半
導体チップと、多段ダーリントン・トランジスタの応答
速度を上げるために半導体チップのそれぞれのベース間
に同方向かつ順次に接続されたスピードアップ用ダイオ
ードチップとを備えた半導体装置に関するものである。
導体チップと、多段ダーリントン・トランジスタの応答
速度を上げるために半導体チップのそれぞれのベース間
に同方向かつ順次に接続されたスピードアップ用ダイオ
ードチップとを備えた半導体装置に関するものである。
第3図は、この種の半導体装置の従来例の1つである電
力用トランジスタ・モジュールの内部結線構造を示す平
面図であり、第4図はその電力用トランジスタ・モジュ
ールの等価回路を示す回路図である。第3図において、
絶縁基板1は図示しない放熱ベース板上に接合されてい
て、その絶縁基板1上には半導体チップ2と、モジュー
ルの外部に向けて延設される主電流用電極端子3および
信号用電極端子4と、モジュール内に限られる内部結線
端子5,6とが接合されている。半導体チップ2の詳細
内部構造は図示していないが、この半導体チップ2によ
って、第4図に示す4つのトランジスタQ1.Q2.Q
3.Q4からなる4段ダーリントン・トランジスタが形
成されている。
力用トランジスタ・モジュールの内部結線構造を示す平
面図であり、第4図はその電力用トランジスタ・モジュ
ールの等価回路を示す回路図である。第3図において、
絶縁基板1は図示しない放熱ベース板上に接合されてい
て、その絶縁基板1上には半導体チップ2と、モジュー
ルの外部に向けて延設される主電流用電極端子3および
信号用電極端子4と、モジュール内に限られる内部結線
端子5,6とが接合されている。半導体チップ2の詳細
内部構造は図示していないが、この半導体チップ2によ
って、第4図に示す4つのトランジスタQ1.Q2.Q
3.Q4からなる4段ダーリントン・トランジスタが形
成されている。
また、隣り合う各トランジスタのベース間に接続され、
4段ダーリントン・トランジスタの応答速度を上げるの
に用いられる3つのスピードアップ用ダイオードチップ
[)1.02.D3が、各々のカソード側を信号用電極
端子4.内部結線端子5a、5bにそれぞれ半田付けし
て接続されている。
4段ダーリントン・トランジスタの応答速度を上げるの
に用いられる3つのスピードアップ用ダイオードチップ
[)1.02.D3が、各々のカソード側を信号用電極
端子4.内部結線端子5a、5bにそれぞれ半田付けし
て接続されている。
半導体チップ2上には各トランジスタQ1〜Q4のベー
スB1.B2.83.84に対応する4つのパッド領域
b1.b2.b3.b4が形成され、パッド領域b1は
アルミワイヤからなる内部リード線7aによって信号用
電極端子4に、パッド領域b2は内部リード線7bによ
ってスピードアップ用ダイオードD1のアノード側に、
パッド領域b3は内部リード線7cによってスピードア
ップ用ダイオードD2のアノード側に、パッド領域b4
は内部リード線7dによってスピードアップ用ダイオー
ドD3のアノード側にそれぞれ接続され、さらにスピー
ドアップ用ダイオードD1のアノードは内部リード線7
eによって内部リード線5に、スピードアップ用ダイオ
ードD2のアノードは内部リード線7fによって内部リ
ード[16に接続されている。また、半導体チップ2上
の一部分8は第4図におけるトランジスタQ4のエミッ
タEに相当しており、この部分8に形成されたパッド領
域eは内部リード線7gによって主電流用電極端子3に
接続されている。第4図における各トランジスタQ1〜
Q4のコレクタCに相当する半導体チップ2の一部も、
別の図示しない主電流用電極端子に電気的に接続されて
いる。
スB1.B2.83.84に対応する4つのパッド領域
b1.b2.b3.b4が形成され、パッド領域b1は
アルミワイヤからなる内部リード線7aによって信号用
電極端子4に、パッド領域b2は内部リード線7bによ
ってスピードアップ用ダイオードD1のアノード側に、
パッド領域b3は内部リード線7cによってスピードア
ップ用ダイオードD2のアノード側に、パッド領域b4
は内部リード線7dによってスピードアップ用ダイオー
ドD3のアノード側にそれぞれ接続され、さらにスピー
ドアップ用ダイオードD1のアノードは内部リード線7
eによって内部リード線5に、スピードアップ用ダイオ
ードD2のアノードは内部リード線7fによって内部リ
ード[16に接続されている。また、半導体チップ2上
の一部分8は第4図におけるトランジスタQ4のエミッ
タEに相当しており、この部分8に形成されたパッド領
域eは内部リード線7gによって主電流用電極端子3に
接続されている。第4図における各トランジスタQ1〜
Q4のコレクタCに相当する半導体チップ2の一部も、
別の図示しない主電流用電極端子に電気的に接続されて
いる。
放熱ベース板上に設けられた以上の各部材は、放熱ベー
ス板上に別に設けられる図示しない樹脂ケースによって
全体を囲まれ、その樹脂ケース内にエポキシ系樹脂を注
入固形化して封止され電力用トランジスタ・モジュール
とされる。
ス板上に別に設けられる図示しない樹脂ケースによって
全体を囲まれ、その樹脂ケース内にエポキシ系樹脂を注
入固形化して封止され電力用トランジスタ・モジュール
とされる。
上記した電力用トランジスタ・モジュールの内部結線構
造において、パッド領域b4は内部リード線7dを介し
てスピードアップ用ダイオードD3のアノードに接続さ
れ、そのダイオードD3のカソードは内部結線端子6.
内部リード線7f。
造において、パッド領域b4は内部リード線7dを介し
てスピードアップ用ダイオードD3のアノードに接続さ
れ、そのダイオードD3のカソードは内部結線端子6.
内部リード線7f。
7Cを介してパッド領域b3に接続されるため、第4図
に示すようにトランジスタQ4.Q3のベース84.B
3fllにスピードアップ用ダイオードDが介挿された
ことになる。またパッド領域b3は内部リード線7Cを
介してスピードアップ用ダイオードD2のアノードに接
続され、そのダイオードD2のカソードは内部結線端子
5.内部リード線7e、7bを介してパッド領域b2に
接続されるため、第4図に示すようにトランジスタQ3
゜Q2のベース83.82間にスピードアップ用ダイオ
ードD2が介挿されたことになる。さらにパッド領域b
2は内部リード線7bを介してスピードアップ用ダイオ
ードD1のアノードに接続され、そのダイオードD1の
カソードは信号用電極端子4、内部リード線7aを介し
てパッド領域b1に接続されるため、第4図に示すよう
にトランジスタQ2.Qlのベース82.81間にスピ
ードアップ用ダイオードD1が介挿されたことになる。
に示すようにトランジスタQ4.Q3のベース84.B
3fllにスピードアップ用ダイオードDが介挿された
ことになる。またパッド領域b3は内部リード線7Cを
介してスピードアップ用ダイオードD2のアノードに接
続され、そのダイオードD2のカソードは内部結線端子
5.内部リード線7e、7bを介してパッド領域b2に
接続されるため、第4図に示すようにトランジスタQ3
゜Q2のベース83.82間にスピードアップ用ダイオ
ードD2が介挿されたことになる。さらにパッド領域b
2は内部リード線7bを介してスピードアップ用ダイオ
ードD1のアノードに接続され、そのダイオードD1の
カソードは信号用電極端子4、内部リード線7aを介し
てパッド領域b1に接続されるため、第4図に示すよう
にトランジスタQ2.Qlのベース82.81間にスピ
ードアップ用ダイオードD1が介挿されたことになる。
一方、スピードアップ用ダイオードD3のカソードは内
部結線端子6.内部リード線7fを介してスピードアッ
プ用ダイオードD2のアノードに接続され、またダイオ
ードD2のカソードは内部結線端子5.内部リード線7
eを介してスピードアップ用ダイオードD1のアノード
に接続されるため、第4図に示すように3つのスピード
アップ用ダイオードD1〜D3は互いに同方向に直列に
接続されたことにもなる。
部結線端子6.内部リード線7fを介してスピードアッ
プ用ダイオードD2のアノードに接続され、またダイオ
ードD2のカソードは内部結線端子5.内部リード線7
eを介してスピードアップ用ダイオードD1のアノード
に接続されるため、第4図に示すように3つのスピード
アップ用ダイオードD1〜D3は互いに同方向に直列に
接続されたことにもなる。
したがって、第4図に示す4段ダーリントン・トランジ
スタでは、各トランジスタ01〜Q4のオフ動作におい
て、トランジスタQ4のベースB4に蓄積された電荷は
スピードアップ用ダイオードD3を通じて′ri流i流
上3て、トランジスタQ3のベースB3に蓄積された電
荷はスピードアップ用ダイオードD2を通じて電流12
として、トランジスタQ2のベースB2に蓄積された電
荷はスピードアップ用ダイオードD1を通じて電流11
としてそれぞれ信号用電極端子4へと引き扱かれ、応答
速度が早められる。
スタでは、各トランジスタ01〜Q4のオフ動作におい
て、トランジスタQ4のベースB4に蓄積された電荷は
スピードアップ用ダイオードD3を通じて′ri流i流
上3て、トランジスタQ3のベースB3に蓄積された電
荷はスピードアップ用ダイオードD2を通じて電流12
として、トランジスタQ2のベースB2に蓄積された電
荷はスピードアップ用ダイオードD1を通じて電流11
としてそれぞれ信号用電極端子4へと引き扱かれ、応答
速度が早められる。
しかしながら、上記構成の半導体装置では、4段ダーリ
ントン・トランジスタに3つのスピードアップ用ダイオ
ードD1〜D3を接続するために、信号用電極端子4の
ほかに2つの内部結線端子5゜6が必要で、H置が大形
化するという問題点があった。
ントン・トランジスタに3つのスピードアップ用ダイオ
ードD1〜D3を接続するために、信号用電極端子4の
ほかに2つの内部結線端子5゜6が必要で、H置が大形
化するという問題点があった。
この発明は、このような問題点を解消するためになされ
たもので、多段ダーリントン・トランジスタにスピード
アップ用等のダイオードを接続するための内部結線端子
の数を少なくして装置を小形化できる半導体装置を得る
ことを目的とする。
たもので、多段ダーリントン・トランジスタにスピード
アップ用等のダイオードを接続するための内部結線端子
の数を少なくして装置を小形化できる半導体装置を得る
ことを目的とする。
この発明に係る半導体装置は、段数が3段以上の多段ダ
ーリントン・トランジスタを含む半導体チップと、前記
多段ダーリントン・トランジスタのそれぞれのベース電
極間に同方向かつ順次に接続された複数のダイオードと
を備えた半導体装置であって、前記複数のダイオードチ
ップのうち、前記順次の接続において互いに隣接するダ
イオードチップ対を、それらのアノードとカソードとの
関係を互いに逆向きとしつつ共通の内部結線端子上に設
けることにより、前記ダイオードチップ対の間の電気的
接続が行なわれている。
ーリントン・トランジスタを含む半導体チップと、前記
多段ダーリントン・トランジスタのそれぞれのベース電
極間に同方向かつ順次に接続された複数のダイオードと
を備えた半導体装置であって、前記複数のダイオードチ
ップのうち、前記順次の接続において互いに隣接するダ
イオードチップ対を、それらのアノードとカソードとの
関係を互いに逆向きとしつつ共通の内部結線端子上に設
けることにより、前記ダイオードチップ対の間の電気的
接続が行なわれている。
この発明においては、順次の接続において互いに隣接す
るダイオードチップ間の相互接続が共通の内部結線単位
を介してなされることにより、内部結線端子の必要個数
が少なくなる。
るダイオードチップ間の相互接続が共通の内部結線単位
を介してなされることにより、内部結線端子の必要個数
が少なくなる。
(実施例)
第1図はこの発明による半導体装置の一実施例である電
力用トランジスタ・モジュールの内部結線構造を示す平
面図であり、第2図はその電力用トランジスタ・モジュ
ールの等価回路を示す回路図である。第1図において、
1〜5.7Q、8゜b1〜b3.eは上記従来装置と全
く同一のものであり、半導体チップ2に形成されている
4段ダーリントン・トランジスタも第2図に示すように
従来装置と全く同一である。
力用トランジスタ・モジュールの内部結線構造を示す平
面図であり、第2図はその電力用トランジスタ・モジュ
ールの等価回路を示す回路図である。第1図において、
1〜5.7Q、8゜b1〜b3.eは上記従来装置と全
く同一のものであり、半導体チップ2に形成されている
4段ダーリントン・トランジスタも第2図に示すように
従来装置と全く同一である。
このモジュールでは、4段ダーリントンφトランジスタ
の隣り合う各トランジスタのベース間に接続され、その
応答速度を上げるのに用いられる3つのスピードアップ
用ダイオードチップD1゜D2.D3のうち、ダイオー
ドD1はそのカソード側を信号用電極端子4に、ダイオ
ードD2はそのアノード側を内部結線端子5に、またダ
イオードD3はそのカソード側を内部結線端子5上にそ
れぞれ半田付けして接続されている。すなわち、内部結
線端子5は2つのダイオードD2.D3の結線端子に共
用されており、このダイオードチップ対D2.D3のそ
れぞれにおけるアノードとカソードとの上下関係は互い
に逆向きとなっている。
の隣り合う各トランジスタのベース間に接続され、その
応答速度を上げるのに用いられる3つのスピードアップ
用ダイオードチップD1゜D2.D3のうち、ダイオー
ドD1はそのカソード側を信号用電極端子4に、ダイオ
ードD2はそのアノード側を内部結線端子5に、またダ
イオードD3はそのカソード側を内部結線端子5上にそ
れぞれ半田付けして接続されている。すなわち、内部結
線端子5は2つのダイオードD2.D3の結線端子に共
用されており、このダイオードチップ対D2.D3のそ
れぞれにおけるアノードとカソードとの上下関係は互い
に逆向きとなっている。
換言すれば、ダイオードチップD2.D3は、それらの
配置状態において、互いに逆特性となっている。したが
って、内部結線端子5は1つで足りることになる。
配置状態において、互いに逆特性となっている。したが
って、内部結線端子5は1つで足りることになる。
そして、4段ダーリントン・トランジスタの4つのトラ
ンジスタQ1.Q2.Q3.Q4のベース81.82.
83.B4に対応する半導体チップ2上の各々のパッド
領域b1.b2.b3.b4のうち、パッド領域b1は
アルミワイヤからなる内部リード線9aによって信号用
電極端子4に、パッド領域b2は内部リード線9bによ
ってスピードアップ用ダイオードD1のアノード側に、
パッド領域b3は内部リード線9Cによって内部結線端
子5に、パッド領域b4は内部リード線9dによってス
ピードアップ用ダイオードD3のアノード側にそれぞれ
接続されている。さらにスピードアップ用ダイオードD
1のアノードは内部リード線9eによってスピードアッ
プ用ダイオードD2のカソードに接続されている。その
他の構成は従来装置の場合と同様であり、ここではその
説明を省略する。
ンジスタQ1.Q2.Q3.Q4のベース81.82.
83.B4に対応する半導体チップ2上の各々のパッド
領域b1.b2.b3.b4のうち、パッド領域b1は
アルミワイヤからなる内部リード線9aによって信号用
電極端子4に、パッド領域b2は内部リード線9bによ
ってスピードアップ用ダイオードD1のアノード側に、
パッド領域b3は内部リード線9Cによって内部結線端
子5に、パッド領域b4は内部リード線9dによってス
ピードアップ用ダイオードD3のアノード側にそれぞれ
接続されている。さらにスピードアップ用ダイオードD
1のアノードは内部リード線9eによってスピードアッ
プ用ダイオードD2のカソードに接続されている。その
他の構成は従来装置の場合と同様であり、ここではその
説明を省略する。
上記した電力用トランジスタ・モジュールの内部結線構
造において、パッド領域b4は内部リード線9dを介し
てスピードアップ用ダイオードD3のアノードに接続さ
れ、そのダイオードD3のカソードは内部結線端子5.
内部リード線9Cを介してパッド領域b3に接続される
ため、第2図に示すように、トランジスタQ4.Q3の
ベース84.83間にスピードアップ用ダイオードD3
が介挿されたことになる。またパッド領域b3は内部リ
ード線9G、内部結線端子5を介してスピードアップ用
ダイオードD2のアノードに接続され、そのダイオード
D2のカソードは内部リード線9e、9bを介してパッ
ド領域b2に接続されるため、第2図に示すようにトラ
ンジスタQ3゜Q2のベース83,82間にスピードア
ップ用ダイオードD2が介挿されたことになる。さらに
パッド領域b2は内部リード線9bを介してスピードア
ップ用ダイオードD1のアノードに接続され、そのダイ
オードD1のカソードは信号用電極端子4.内部リード
線9aを介してパッド領域b1に接続されるため、第2
図に示すようにトランジスタQ2.Q1のベースB2.
81間にスピードアップ用ダイオードD1が介挿された
ことになる。
造において、パッド領域b4は内部リード線9dを介し
てスピードアップ用ダイオードD3のアノードに接続さ
れ、そのダイオードD3のカソードは内部結線端子5.
内部リード線9Cを介してパッド領域b3に接続される
ため、第2図に示すように、トランジスタQ4.Q3の
ベース84.83間にスピードアップ用ダイオードD3
が介挿されたことになる。またパッド領域b3は内部リ
ード線9G、内部結線端子5を介してスピードアップ用
ダイオードD2のアノードに接続され、そのダイオード
D2のカソードは内部リード線9e、9bを介してパッ
ド領域b2に接続されるため、第2図に示すようにトラ
ンジスタQ3゜Q2のベース83,82間にスピードア
ップ用ダイオードD2が介挿されたことになる。さらに
パッド領域b2は内部リード線9bを介してスピードア
ップ用ダイオードD1のアノードに接続され、そのダイ
オードD1のカソードは信号用電極端子4.内部リード
線9aを介してパッド領域b1に接続されるため、第2
図に示すようにトランジスタQ2.Q1のベースB2.
81間にスピードアップ用ダイオードD1が介挿された
ことになる。
一方、スピードアップ用ダイオードD3のカソードは内
部結線端子5を介してスピードアップ用ダイオードD2
のアノードに接続され、またダイオードD2のカソード
は内部リード線9eを介してスピードアップ用ダイオー
ドD1のアノードに接続されるため、第2図に示すよう
に3つのスピードアップ用ダイオードD1〜D3は互い
に同方向かつ直列に接続されたことにもなる。
部結線端子5を介してスピードアップ用ダイオードD2
のアノードに接続され、またダイオードD2のカソード
は内部リード線9eを介してスピードアップ用ダイオー
ドD1のアノードに接続されるため、第2図に示すよう
に3つのスピードアップ用ダイオードD1〜D3は互い
に同方向かつ直列に接続されたことにもなる。
したがって、第2図に示す4段ダーリントン・トランジ
スタでは、各トランジスタ01〜Q4のオフ動作におい
て、従来装置の場合と同様にして、トランジスタQ4の
ベースB4に蓄積された電荷がダイオードD3を通じて
電流i3として、トランジスタQ3のベースB3に蓄積
された電荷はダイオードD2を通じて電流12として、
トランジスタQ2のベースB2に蓄積された電荷はダイ
オードD1を通じて電流11としてそれぞれ信号用電極
端子4へと引き抜かれ、応答速度が早められる。トラン
ジスタQ1のベースB1に蓄積された電荷は第1図に示
す内部リード線9aを流れる電!ioとして信号用電極
端子4側へ引き抜かれる。
スタでは、各トランジスタ01〜Q4のオフ動作におい
て、従来装置の場合と同様にして、トランジスタQ4の
ベースB4に蓄積された電荷がダイオードD3を通じて
電流i3として、トランジスタQ3のベースB3に蓄積
された電荷はダイオードD2を通じて電流12として、
トランジスタQ2のベースB2に蓄積された電荷はダイ
オードD1を通じて電流11としてそれぞれ信号用電極
端子4へと引き抜かれ、応答速度が早められる。トラン
ジスタQ1のベースB1に蓄積された電荷は第1図に示
す内部リード線9aを流れる電!ioとして信号用電極
端子4側へ引き抜かれる。
つまり、動作としては第3図の従来例と同様の動作を維
持しつつ、内部結線端子の数を減少させたことになる。
持しつつ、内部結線端子の数を減少させたことになる。
以上のように、この発明によれば、同方向かつ順次の接
続において互いに隣接するダイオードチップ対につき、
それぞれのアノードとカソードとの関係を互いに逆向き
としつつそれらを共通の内部結線端子上に設けているた
め、内部結線端子の必要個数が少なくなり、半導体装置
を小形化できる。
続において互いに隣接するダイオードチップ対につき、
それぞれのアノードとカソードとの関係を互いに逆向き
としつつそれらを共通の内部結線端子上に設けているた
め、内部結線端子の必要個数が少なくなり、半導体装置
を小形化できる。
第1図はこの発明による半導体装置の一実施例の内部結
線構造を示す平面図、第2図はその半導体装置の等価回
路を示す回路図、第3図は従来の半導体装置の内部結線
構造を示す平面図、第4図はその半導体装置の等価回路
を示す回路図である。 図において、2は半導体チップ、4は信号用電極端子、
5,6は内部結線端子、9a〜9eは内部リード線、D
1〜D3はスピードアップ用ダイオード(ダイオードチ
ップ)、01〜Q4は4段ダーリントン・トランジスタ
の各段のトランジスタである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第1図 第2図
線構造を示す平面図、第2図はその半導体装置の等価回
路を示す回路図、第3図は従来の半導体装置の内部結線
構造を示す平面図、第4図はその半導体装置の等価回路
を示す回路図である。 図において、2は半導体チップ、4は信号用電極端子、
5,6は内部結線端子、9a〜9eは内部リード線、D
1〜D3はスピードアップ用ダイオード(ダイオードチ
ップ)、01〜Q4は4段ダーリントン・トランジスタ
の各段のトランジスタである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第1図 第2図
Claims (1)
- (1)段数が3段以上の多段ダーリントン・トランジス
タを含む半導体チップと、前記多段ダーリントン・トラ
ンジスタのそれぞれのベース電極間に同方向かつ順次に
接続された複数のダイオードとを備えた半導体装置にお
いて、 前記複数のダイオードチップのうち、前記順次の接続に
おいて互いに隣接するダイオードチップ対を、それらの
アノードとカソードとの関係を互いに逆向きとしつつ共
通の内部結線端子上に設けることにより、前記ダイオー
ドチップ対の間の電気的接続が行なわれていることを特
徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111244A JPH07120712B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111244A JPH07120712B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01281762A true JPH01281762A (ja) | 1989-11-13 |
| JPH07120712B2 JPH07120712B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=14556239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63111244A Expired - Lifetime JPH07120712B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120712B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152071A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Toshiba Corp | 多段ダ−リントン半導体装置 |
-
1988
- 1988-05-06 JP JP63111244A patent/JPH07120712B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152071A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Toshiba Corp | 多段ダ−リントン半導体装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120712B2 (ja) | 1995-12-20 |
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