JPH0128438Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は多量生産の非耐圧気密部品の多連形
リークテスト装置の改良に関するものである。

一般にリークテスト装置として非耐圧気密部品
たとえば魔法瓶の真空槽などを能率よくリークテ
ストする多連形リークテスト装置は内部をあらか
じめ真空装置によつて真空排気した複数個たとえ
ば１ロツト12個の気密部品（以下ワークと記す）
をそれぞれ開閉バルブを備えた接続口に接続し、
ロツト全部（ロツトごとのばあいもある）のワー
クを覆うフード内に収容し、大気圧のヘリウムガ
スなどの試験ガスを吹付け、一定時間ののち、ま
づ全体のリークテストを行つた後、全体として漏
れを検出すれば一たん上記開閉バルブを全部閉
じ、つぎに各開閉バルブを順次切換え的に開いて
真空吸引装置を有するたとえばヘリウムリークデ
テクタなどの試験ガス検出器に連通せしめ、個々
のワーク内部に流入した上記試験ガスを上記リー
クデテクタにて検出し、リークテストするように
構成されている。しかしながら従来の多連形リー
クテスト装置において多数のワークを順次テスト
するため時間が経過し、テストの順序が後になる
につれてワーク内部の真空度が低下する。これは
ワークを形成する材料の材質・純度・内壁の表面
状態およびその表面積により異るがどのようなな
材料であつても大気中から真空にした直後には放
出ガスが多く、たとえばガラスのばあにおいても
８×10^-4mTorr・ｌ／sec・cm²の速度で上記ガス
が放出されるものである。この放出ガスがワーク
につながる開閉バルブを閉じているすなわちテス
ト待ちの時間にワーク内圧を上昇せしめバルブを
開いてリークデテクタにてリークテストする際の
リークデテクタは上記放出ガスを検知してリーク
有りと判定する。この放出ガス量が特に多いとき
はリークデテクタのバツクグラウンド保護回路が
働いてリークデテクタを停止させ、これを復帰さ
せるには可成りの時間がかかり、検査作業の能率
が低下する欠点がある。

この考案は上記の現況に鑑みてなされたもので
あり、内部に被数個の被検物体を収容し、その内
部が大気圧の試験ガスふん囲気とされるフード
と、前記各被検物体とそれぞれ開閉バルブを介在
して流路接続される集合配管と、この集合配管か
ら分岐されたテスト配管および排気配管と、真空
吸引装置を内在し、前記テスト配管に開閉バルブ
を介在して流路接続された試験ガス検出器と、前
記排気配管に排気バルブを介在して流路接続され
た真空装置とを備えてなり、前記真空装置によつ
て前記被数個の被検物体の各内部を真空排気し、
前記フード内を大気圧の試験ガスふん囲気とした
後、前記各被検物体の内部をその各開閉バルブを
順次切換え的に開いて前記試験ガス検出器に連通
させて、その試験ガス検出器により各被検物体内
部への流入試験ガスの量を検出して各被検物体の
リークテストを行なうようにした多連形リークテ
スト装置において、前記試験ガス検出器により前
記各被検物体のリークテストを行なうに際し、前
記各開閉バルブを開く前に前記排気バルブを開い
て所定時間前記真空装置を各被検物体内部にそれ
ぞれ接続するよう制御する制御回路を設けたこと
を特徴とする多連形リークテスト装置にかかるも
のである。

以下図面によつてこの考案の実施例を説明す
る。図はこの考案の実施例の12連形リークテスト
装置のブロツク図である。図においてワーク１は
１−１〜１−１２の12個を急速継手（カプラとも
いう）２の２−１〜２−１２（以下ポートと記
す）を接続口として装置に接続される。これらの
ワーク１は個々の開閉バルブ（以下ポートバルブ
と記す）３−１〜３−１２によつて集合配管７に
並列に連通されている。この集合配管７は配管
７′を介してテスト配管６ならびに排気配管８に
分岐され、テテスト配管６には開閉バルブ（以下
テストバルブと記す）５および質量分析形ヘリウ
ムリークデテクタ１７に連通され、リークデテク
タ１７内にはリークデテクタ検出部１７Ｔならび
に開閉バルブ１８を介して油回転真空ポンプ１９
が設けてある。上記排気配管８には排気バルブ
４、メカニカルブースタポンプ９ならびに油回転
真空ポンプ１１が直列に設けてあり、これがこの
考案の要部であるワーク内部をあらかじめ真空排
気する真空装置である。上記集合配管７，７′の
内圧（真空圧）を検出するたとえばピラニ真空計
１０が上記配管に設けられている。先づ上記ポー
トバルブ３を全部および排気バルブ４を開き、排
気ポンプ９，１１によつてワーク１全数の内部を
真空排気し、真空計１０に設定したたとえば２×
10^-2Torrに達したとき、排気バルブ４を閉じ切
換的にテストバルブ５ならびにポンプバルブ１８
を開いて、ポンプ１９でワーク１全部の内部を真
空吸引しつつ、フードベース２０Ｂにフードカバ
ー２０Ｃをかぶせ、大気圧のヘリウムガスHeを
その供給源２１からワーク１に吹付けリークデテ
クタ検出部１７Ｔによつてその漏れヘリウム量を
検出する。これがワーク１のロツト全数リークテ
ストである。このリークテストの前段においてた
とえば0.2Torr程度の設定圧に到達する時間を定
めてグロースリークテストを全数および個別に行
うのであるが、この考案に直接関係しないので詳
説を省く。上記ロツト全数リークテストによつて
12個中のどれかにフアインリーク有りと判定され
ると、この考案の要部である個別リークテストに
自動的に移り、まづポートバルブ３を一斉に閉じ
る。このときテストバルブ５は開いており、リー
クデテクタ１７への真空吸引は続いている。つぎ
に排気バルブ４を開いてポンプ９，１０の排気を
開始し、つづいてポートバルブ３−１から順次１
個づつ開く。この作動は図示しないタイマによつ
てたとえば5secの時間行われ、この間にワーク１
−１内部はたとえば２×10^-2Torrの設定真空圧
に到達し、前述したワーク内部への放出ガスまた
は流入したヘリウムガスが排気される。上記5sec
ののち排気バルブ４が閉じ、リークデテクタ１７
への真空吸引がつづき同じく図示しないタイマに
よつて所定時間たとえば5secの間デテクタ検出部
１７Ｔによつてリークテストが行われる。テスト
の結果検出部１７Ｔに漏れヘリウムガスが検出さ
れなければワーク１−１は合格と判定するが、
Heが検出されると直ちにリーク有りの表示灯ま
たはブザーで作業者に警報する。以上の操作が終
るとポートバルブ３−１を閉じ、つぎの３−２を
開いて上記の順序で次々とワーク１を全部個別に
リークテストするのである。

以上がこの考案の実施例装置の構成とその作動
であるが、この考案は図示や説明に限定されるも
のではない。たとえば試験ガスはヘリウムガスに
限らず、さらに試験ガス検出器も質量分析形に限
らない。

この考案は以上のように構成されているので被
検物体内の放出ガスによつてその内圧が上昇した
状態で試験ガス検出器によるリークテストすると
いうおそれがなくなり、リークの有無の判定が正
確となるだけでなく試験ガス検出器が多量のガス
を吸引して停止し、その復帰に要するムダ時間を
全くなくし作業能率の高い便宜な装置を提供しえ
たものである。

【図面の簡単な説明】

図はこの考案の実施例多連形リークテスト装置
の構成ブロツク図である。 １……複数個の被検物体、He……試験ガス
（この例ではヘリウムガス）、３……複数個の被検
物体対応の開閉バルブ（ポートバルブ）、１７…
…試験ガス検出器、１７Ｔ……上記１７の検出
部、１８，１９……試験ガス検出器内の真空吸引
装置、４，９，１１……装置の真空装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部に被数個の被検物体を収容し、その内部が
   大気圧の試験ガスふん囲気とされるフードと、前
   記各被検物体とそれぞれ開閉バルブを介在して流
   路接続される集合配管と、この集合配管から分岐
   されたテスト配管および排気配管と、真空吸引装
   置を内在し、前記テスト配管に開閉バルブを介在
   して流路接続された試験ガス検出器と、前記排気
   配管に排気バルブを介在して流路接続された真空
   装置とを備えてなり、前記真空装置によつて前記
   被数個の被検物体の各内部を真空排気し、前記フ
   ード内を大気圧の試験ガスふん囲気とした後、前
   記各被検物体の内部をその各開閉バルブを順次切
   換え的に開いて前記試験ガス検出器に連通させ
   て、その試験ガス検出器により各被検物体内部へ
   の流入試験ガスの量を検出して各被検物体のリー
   クテストを行なうようにした多連形リークテスト
   装置において、前記試験ガス検出器により前記各
   被検物体のリークテストを行なうに際し、前記各
   開閉バルブを開く前に前記排気バルブを開いて所
   定時間前記真空装置を各被検物体内部にそれぞれ
   接続するよう制御する制御回路を設けたことを特
   徴とする多連形リークテスト装置。