JPH01286376A - ガスレーザ装置用放電管 - Google Patents
ガスレーザ装置用放電管Info
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- JPH01286376A JPH01286376A JP11517188A JP11517188A JPH01286376A JP H01286376 A JPH01286376 A JP H01286376A JP 11517188 A JP11517188 A JP 11517188A JP 11517188 A JP11517188 A JP 11517188A JP H01286376 A JPH01286376 A JP H01286376A
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- discharge tube
- metal electrode
- gas
- laser device
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明は、高周波放電を利用した高速ガス軸流型放電励
起型のガスレーザ装置用放電管に関し、特に放電管電極
部の構成形状に関する。
起型のガスレーザ装置用放電管に関し、特に放電管電極
部の構成形状に関する。
第３図に従来技術による放電管部周辺の概念図を示す。
図において、１は放電管であり、石英製の角形ガラスパ
イプで構成されており、その外周部に２ａ及び２ｂの金
属電極を備えている。３は高周波電源であり、金属電極
２ａ及び２ｂを介して高周波電力を、放電管１の内部を
高速で通過する４のレーザガス流に供給する。５は放電
管ホルダー、６は固定フランジ、７ａ、７ｂ、７ｃはネ
オブレンまたはパイトン等のゴム製の０リングであり、
これらによって放電管１を固定している。
イプで構成されており、その外周部に２ａ及び２ｂの金
属電極を備えている。３は高周波電源であり、金属電極
２ａ及び２ｂを介して高周波電力を、放電管１の内部を
高速で通過する４のレーザガス流に供給する。５は放電
管ホルダー、６は固定フランジ、７ａ、７ｂ、７ｃはネ
オブレンまたはパイトン等のゴム製の０リングであり、
これらによって放電管１を固定している。
８は水冷式のラジェータユニットであり、９の冷却風を
送風して放電管１を冷却する。なお、レーザ光を発生す
る為に必要なレーザ共振器を構成する光学部品、及びレ
ーザガス４を循環させるルーツプロワ等は省略しである
。
送風して放電管１を冷却する。なお、レーザ光を発生す
る為に必要なレーザ共振器を構成する光学部品、及びレ
ーザガス４を循環させるルーツプロワ等は省略しである
。
第２図は放電管１の金属電極部の構成図である。
ここで、放電管１は冷却風９により冷却され、内部の熱
は主に金属電極２ａ及び２ｂを通して外部に排出される
。しかし、この電極部分のみでは放熱面積が小さく冷却
効果が不十分な為、放電管１を通過するレーザガス４の
温度が上昇し１、放電管自体の温度も、その下流側で約
３５０ ’Ｃにまで上昇する。
は主に金属電極２ａ及び２ｂを通して外部に排出される
。しかし、この電極部分のみでは放熱面積が小さく冷却
効果が不十分な為、放電管１を通過するレーザガス４の
温度が上昇し１、放電管自体の温度も、その下流側で約
３５０ ’Ｃにまで上昇する。
この結果、レーザ発振効率（入力電気エネルギーに対す
るレーザ出力の比率）が低下する。また、この高温度に
より固定用０リング７ａ、７ｂ、７Ｃが劣化してレーザ
ガス４のリークを起こし、レーザ発振動作を維持できな
くなる状態が発生する場合がある。 本発明はこのよう
な点に鑑みてなされたものであり、金属電極部に集中し
て冷却媒体が通過できるように金属電極の形状を構成す
ることにより、放電管の温度上昇を抑制して、レーザ発
振効率を向上させたガスレーザ装置用放電管を提供する
ことを目的とする。
るレーザ出力の比率）が低下する。また、この高温度に
より固定用０リング７ａ、７ｂ、７Ｃが劣化してレーザ
ガス４のリークを起こし、レーザ発振動作を維持できな
くなる状態が発生する場合がある。 本発明はこのよう
な点に鑑みてなされたものであり、金属電極部に集中し
て冷却媒体が通過できるように金属電極の形状を構成す
ることにより、放電管の温度上昇を抑制して、レーザ発
振効率を向上させたガスレーザ装置用放電管を提供する
ことを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、レーザガス流軸
とレーザ発振光軸とが同軸で、かつ高周波放電励起用の
放電方向が、該レーザガス流軸及び該レーザ発振光軸と
直交するように構成された高速ガス軸流型放電励起ガス
レーザ装置に用いられるガスレーザ装置用放電管におい
て、金属電極部に集中して冷却媒体が通過できるように
該金属電極の形状を構成し、 放電管内部で発生する熱を前記金属電極を通して効率的
に外部に排出することを特徴とするガスレーザ装置用放
電管を提供することを目的とする。
とレーザ発振光軸とが同軸で、かつ高周波放電励起用の
放電方向が、該レーザガス流軸及び該レーザ発振光軸と
直交するように構成された高速ガス軸流型放電励起ガス
レーザ装置に用いられるガスレーザ装置用放電管におい
て、金属電極部に集中して冷却媒体が通過できるように
該金属電極の形状を構成し、 放電管内部で発生する熱を前記金属電極を通して効率的
に外部に排出することを特徴とするガスレーザ装置用放
電管を提供することを目的とする。
〔作用］
金属電極を冷却媒体により集中的に冷却することにより
、放電管内部で発生する熱を効率良く外部に排出するこ
とができ、放電管の温度上昇が抑制される。
、放電管内部で発生する熱を効率良く外部に排出するこ
とができ、放電管の温度上昇が抑制される。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ装置用放電管の
構成図である。図において、１は放電管であり、石英製
のガラスパイプで構成されている。
構成図である。図において、１は放電管であり、石英製
のガラスパイプで構成されている。
２ａ及び２ｂは金属電極であり、電気抵抗ならびに熱抵
抗の小さいアルミニウム、または銅等で構成されている
。そして、放電管１との間のエアギャップをなくす為に
、銀ペーストを電極面全体に均一に塗布して、放電管１
の外壁に接着されている。金属電極２ａ及び２ｂの内部
には１３の冷却水が循環するｅ １０ａ、１０ｂ１１
１ａ、ｌｌｂは真鍮製の継手であり、電極部本体にロー
付けされている。１０ａ及び１０ｂは給水口、ｌｌａ及
びｌｌｂは排水口である。これらの間は１２のナイロン
製の配管チューブにより接続されている。
抗の小さいアルミニウム、または銅等で構成されている
。そして、放電管１との間のエアギャップをなくす為に
、銀ペーストを電極面全体に均一に塗布して、放電管１
の外壁に接着されている。金属電極２ａ及び２ｂの内部
には１３の冷却水が循環するｅ １０ａ、１０ｂ１１
１ａ、ｌｌｂは真鍮製の継手であり、電極部本体にロー
付けされている。１０ａ及び１０ｂは給水口、ｌｌａ及
びｌｌｂは排水口である。これらの間は１２のナイロン
製の配管チューブにより接続されている。
複数個ある他の放電管への配管ならびにレーザ装置に設
けられる冷却水供給、排水口への配管も同種の配管チュ
ーブを用いている。
けられる冷却水供給、排水口への配管も同種の配管チュ
ーブを用いている。
そして、外部に設けられた図示されていない高周波電源
から金属電極２ａ及び２ｂを介して２ＭＨｚの高周波電
力が供給され、ガス流４を放電、励起してレーザビーム
を発振、増幅させる。なお、ミラー等の光学部品は省略
しである。
から金属電極２ａ及び２ｂを介して２ＭＨｚの高周波電
力が供給され、ガス流４を放電、励起してレーザビーム
を発振、増幅させる。なお、ミラー等の光学部品は省略
しである。
金属電極をこのような構成にすることにより、金属電極
が集中的に冷却される。従って、放電管内部で発生する
熱は、熱抵抗の小さい金属電極を通して効率良く外部に
排出することができ、従来３５０℃にまで上昇していた
レーザガス下流側に当たる金属電極周辺部の温度は１８
０°Ｃまで低下する。その結果、放電管１の内部のレー
ザガス流４の温度が低下しレーザ発振効率が向上すると
同時に、放電管を保持するＯリング７ａ、７ｂ、７Ｃの
温度も低下してその信頼性が向上する。
が集中的に冷却される。従って、放電管内部で発生する
熱は、熱抵抗の小さい金属電極を通して効率良く外部に
排出することができ、従来３５０℃にまで上昇していた
レーザガス下流側に当たる金属電極周辺部の温度は１８
０°Ｃまで低下する。その結果、放電管１の内部のレー
ザガス流４の温度が低下しレーザ発振効率が向上すると
同時に、放電管を保持するＯリング７ａ、７ｂ、７Ｃの
温度も低下してその信頼性が向上する。
なお、上記の説明では金属電極内部を冷却する冷却媒体
として水を使用したが、絶縁性があれば他の冷却媒体で
あっても良く、例えばフレオン等の気体でも良い。
として水を使用したが、絶縁性があれば他の冷却媒体で
あっても良く、例えばフレオン等の気体でも良い。
また、金属電極の構造を、外部に設けた送風ファンによ
り冷却できるように空冷式に適した放熱フィン構造の構
成としても、同様の効果が得られる。
り冷却できるように空冷式に適した放熱フィン構造の構
成としても、同様の効果が得られる。
以上説明したように本発明では、金属電極部を集中的に
冷却できるようにしたので、放電管内部で発生する熱が
効率良く外部に排出することができ、レーザガス温度が
低下し、レーザ発振効率が向上する。また、放電管の温
度が低下することにより、これを支持する放電管ホルダ
ーの固定用０リングの信頼性が向上する。
冷却できるようにしたので、放電管内部で発生する熱が
効率良く外部に排出することができ、レーザガス温度が
低下し、レーザ発振効率が向上する。また、放電管の温
度が低下することにより、これを支持する放電管ホルダ
ーの固定用０リングの信頼性が向上する。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ装置用放電管の
金属電極部の構成図、 第２図は従来のガスレーザ装置用放電管の金属電極部の
構成図、 第３図は従来の放電管部周辺の概念図である。 ニー・−・・・−・・−放電管 ２ａ、２ ｂ 、−−−−−−−−−・−・−金属電極
３−−−−−・・−・・−高周波電源 ４−・・−−−一−・−・−・レーザガス流５−・・−
・−・・・・−・−放電管ホルダー６〜−一−−−−−
−−−−・−固定フランシフ ａ 、 ７ ｂ 、 ７
ｃ−−−−−−−−−−−−一固定用Ｏリング１０
ａ 、 １０ ｂ−＝−−−−−−−−一給水口１１
ａ 、 １ ｌ ｂ−−−−−−−−−−−一排水口
１２−−−−−−−−−−−−−−一配管チューブ１３
−・−−−−−−ｍ−・・・−冷却水特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
金属電極部の構成図、 第２図は従来のガスレーザ装置用放電管の金属電極部の
構成図、 第３図は従来の放電管部周辺の概念図である。 ニー・−・・・−・・−放電管 ２ａ、２ ｂ 、−−−−−−−−−・−・−金属電極
３−−−−−・・−・・−高周波電源 ４−・・−−−一−・−・−・レーザガス流５−・・−
・−・・・・−・−放電管ホルダー６〜−一−−−−−
−−−−・−固定フランシフ ａ 、 ７ ｂ 、 ７
ｃ−−−−−−−−−−−−一固定用Ｏリング１０
ａ 、 １０ ｂ−＝−−−−−−−−一給水口１１
ａ 、 １ ｌ ｂ−−−−−−−−−−−一排水口
１２−−−−−−−−−−−−−−一配管チューブ１３
−・−−−−−−ｍ−・・・−冷却水特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） レーザガス流軸とレーザ発振光軸とが同軸で、
かつ高周波放電励起用の放電方向が、該レーザガス流軸
及び該レーザ発振光軸と直交するように構成された高速
ガス軸流型放電励起ガスレーザ装置に用いられるガスレ
ーザ装置用放電管において、 金属電極部に集中して冷却媒体が通過できるように該金
属電極の形状を構成し、 放電管内部で発生する熱を前記金属電極を通して効率的
に外部に排出することを特徴とするガスレーザ装置用放
電管。 （２） 前記金属電極の構造は該金属電極の内部に液体
または気体等の冷却媒体が通過できるように構成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス
レーザ装置用放電管。 （３） 前記金属電極の構造は外部に設けた送風ファン
により冷却できるよう空冷式に適した放熱フィン構造を
備えていることを特長とする特許請求の範囲第１項記載
のガスレーザ装置用放電管。（４） 前記金属電極は、
対向する各電極の構成形状が同一であることを特長とす
る特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置用放電管
。 （５） 前記金属電極の構成材料は電気抵抗ならびに熱
抵抗の小さいアルミニウム、または銅等であることを特
長とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置用
放電管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11517188A JPH01286376A (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | ガスレーザ装置用放電管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11517188A JPH01286376A (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | ガスレーザ装置用放電管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01286376A true JPH01286376A (ja) | 1989-11-17 |
Family
ID=14656103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11517188A Pending JPH01286376A (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | ガスレーザ装置用放電管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01286376A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017075736A1 (zh) * | 2015-11-03 | 2017-05-11 | 徐海军 | 带有通水阀块的射频激光器 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943583A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-10 | レロイ・ヴイ・サツタ−・ジユニア | ガスレ−ザ− |
| JPS6239083A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6263482A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6288384A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1988
- 1988-05-12 JP JP11517188A patent/JPH01286376A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943583A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-10 | レロイ・ヴイ・サツタ−・ジユニア | ガスレ−ザ− |
| JPS6239083A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6263482A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6288384A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017075736A1 (zh) * | 2015-11-03 | 2017-05-11 | 徐海军 | 带有通水阀块的射频激光器 |
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