JPH01287408A - 姿勢センサ - Google Patents
姿勢センサInfo
- Publication number
- JPH01287408A JPH01287408A JP63116975A JP11697588A JPH01287408A JP H01287408 A JPH01287408 A JP H01287408A JP 63116975 A JP63116975 A JP 63116975A JP 11697588 A JP11697588 A JP 11697588A JP H01287408 A JPH01287408 A JP H01287408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- attitude
- gun
- spot
- incident
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- Granted
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- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
レーザビーム、イオンビーム等の高エネルギビームを用
い、材料の切断、溶接等の加工作業を行うには、第８図
に示すように、例えばレーザビームガン等の加工機ヘッ
ドの軸Ｚを被加工物表面Ｊに垂直に保つとともに、該加
工機ヘッドの先端と被加工物表面Ｊとの間隙ｄを一定に
保つことが必要である。本発明の姿勢センサは、該加工
機ヘッドに装備して加工機ヘッドの被加工物表面Ｊに対
する姿勢（傾斜および間隙）を自動検出し、正規の姿勢
に自動制御させるための制御情報を発生するものである
。
い、材料の切断、溶接等の加工作業を行うには、第８図
に示すように、例えばレーザビームガン等の加工機ヘッ
ドの軸Ｚを被加工物表面Ｊに垂直に保つとともに、該加
工機ヘッドの先端と被加工物表面Ｊとの間隙ｄを一定に
保つことが必要である。本発明の姿勢センサは、該加工
機ヘッドに装備して加工機ヘッドの被加工物表面Ｊに対
する姿勢（傾斜および間隙）を自動検出し、正規の姿勢
に自動制御させるための制御情報を発生するものである
。
（従来の技術）
代表的なレーザ加工機の加工機へラド（以下レーザガン
と呼ぶ）Ｇの姿勢検出に用いられている従来の技術を第
８図を用いて説明する。従来のレーザガンでは、レーザ
ガンＧの先端部に板状電極Ｃを装着し、板状電極Ｃと被
加工物表面Ｊとの間に静電容量を形成させ、板状電極Ｃ
と被加工物表面Ｊとの間の間隙ｄの変化による静電容量
の変化を、電圧または発振周波数等の電気的変化量とし
て検出する。この方法では、間隙ｄの平均値は求められ
るが、レーザガンＧの中心軸であるＺ軸と被加工物表面
Ｊとの傾きは不明である。
と呼ぶ）Ｇの姿勢検出に用いられている従来の技術を第
８図を用いて説明する。従来のレーザガンでは、レーザ
ガンＧの先端部に板状電極Ｃを装着し、板状電極Ｃと被
加工物表面Ｊとの間に静電容量を形成させ、板状電極Ｃ
と被加工物表面Ｊとの間の間隙ｄの変化による静電容量
の変化を、電圧または発振周波数等の電気的変化量とし
て検出する。この方法では、間隙ｄの平均値は求められ
るが、レーザガンＧの中心軸であるＺ軸と被加工物表面
Ｊとの傾きは不明である。
（発明が解決しようとしている問題点）本発明が解決し
ようとする問題点は （１） レーザガンＧの姿勢を自動検出できる姿勢検
出器を実現すること。例えば、第８図において、レーザ
ガンＧの中心軸Ｚを被加工物表面Ｊに対しどのような角
度で取付けるか（多くの場合垂直である）、ならびに間
隙ｄが加工上きめられている規定値に適合しているかど
うかを検出することである。
ようとする問題点は （１） レーザガンＧの姿勢を自動検出できる姿勢検
出器を実現すること。例えば、第８図において、レーザ
ガンＧの中心軸Ｚを被加工物表面Ｊに対しどのような角
度で取付けるか（多くの場合垂直である）、ならびに間
隙ｄが加工上きめられている規定値に適合しているかど
うかを検出することである。
（２）上記姿勢検出器はレーザガンＧの総重量および外
形寸法をあまり増加することなく装備できること。
形寸法をあまり増加することなく装備できること。
（問題を解決するための手段および実施例）本発明の姿
勢センサを装備したレーザガンＧの実施例を第１図に示
す。本姿勢センサはレーザガンＧの中心２のまわりに複
数個の測定ユニッ）Ｍｌ。
勢センサを装備したレーザガンＧの実施例を第１図に示
す。本姿勢センサはレーザガンＧの中心２のまわりに複
数個の測定ユニッ）Ｍｌ。
Ｍ２．・・・・、Ｍｌ、が配置されている。ｎは通常３
〜４で充分である。
〜４で充分である。
第１図に示すように、レーザガンＧの筐体を上下に分割
してＢ、、Ｂ、とじ、その間に環状の受光レンズ記、を
設ける。受光レンズＥ、の光軸はＺ軸と一致させである
。光源は筐体Ｂ、外周に母線に沿って設けられた光フア
イバコード■、により導かれ、ファイバ端から出る光を
微小集光レンズＬ、により細い平行ビームに集光する。
してＢ、、Ｂ、とじ、その間に環状の受光レンズ記、を
設ける。受光レンズＥ、の光軸はＺ軸と一致させである
。光源は筐体Ｂ、外周に母線に沿って設けられた光フア
イバコード■、により導かれ、ファイバ端から出る光を
微小集光レンズＬ、により細い平行ビームに集光する。
このように集光された光ビームは、第２図に示すように
Ｚ軸に対し９０°−αの角度方向から被加工物表面Ｊ上
に入射し、輝点ａｌを生せしめる。受光系はａ、からの
乱反射光をとらえる。受光レンズＬ。
Ｚ軸に対し９０°−αの角度方向から被加工物表面Ｊ上
に入射し、輝点ａｌを生せしめる。受光系はａ、からの
乱反射光をとらえる。受光レンズＬ。
で集光された光は筐体Ｂ１内に設けた受光素子Ｓ、上に
入射し、光信号から電気信号に変換され、電気的出力を
得る。受光素子Ｓｔは、レーザガンＧと被加工物表面Ｊ
との距離が規定値になっているときの輝点ａｉｏの像Ｂ
、。を含む結像面ＳまたはＳ′上に配置される。像Ｂ、
とレンズ中心面との距離す、はレンズの結像式 で求められる。Ｓ′は第２図に示すように、ｌ１ａｉに
対し、常に上記公式が満足される結像面である。
入射し、光信号から電気信号に変換され、電気的出力を
得る。受光素子Ｓｔは、レーザガンＧと被加工物表面Ｊ
との距離が規定値になっているときの輝点ａｉｏの像Ｂ
、。を含む結像面ＳまたはＳ′上に配置される。像Ｂ、
とレンズ中心面との距離す、はレンズの結像式 で求められる。Ｓ′は第２図に示すように、ｌ１ａｉに
対し、常に上記公式が満足される結像面である。
受光レンズＬ、と輝点ａ１との距離１．ｌが規定値から
ずれると、ａｔの位置が変わりａ、からの反射光が受光
素子Ｓ、へ入射する位置が変化する。
ずれると、ａｔの位置が変わりａ、からの反射光が受光
素子Ｓ、へ入射する位置が変化する。
このａｔ点の位置の変化は、通常の加工機ヘッドでは入
射角αが７０“〜８５°であり、ｉａｔの変化量もたか
だか数ｍ１１１であるので、ｌｌｌ１ａ１程度に過ぎな
い。
射角αが７０“〜８５°であり、ｉａｔの変化量もたか
だか数ｍ１１１であるので、ｌｌｌ１ａ１程度に過ぎな
い。
受光レンズＬ、は測定ユニッ）Ｍｔ （ｔ・１，２．
・・）に共用されており、構造の単純化、価格の低下に
役立っている。
・・）に共用されており、構造の単純化、価格の低下に
役立っている。
受光素子Ｓ１は直線状の細長い形をなし、光が入射する
と電気出力を生じ、その出力から光の入射位置を知るこ
とができるような素子である。例えば、市販されている
ＰＳＤ （ホトセンシングデバイス）、シリコンホトダ
イオードアレー等あるいは複数条の光ファイバの一端を
直線上に密に並べて配置して受光部とし、受光した信号
光を光ファイバで中継してレーザガンの外部へ導出し、
他端に受光用ホトダイオード列を設けたものを用いても
よい。
と電気出力を生じ、その出力から光の入射位置を知るこ
とができるような素子である。例えば、市販されている
ＰＳＤ （ホトセンシングデバイス）、シリコンホトダ
イオードアレー等あるいは複数条の光ファイバの一端を
直線上に密に並べて配置して受光部とし、受光した信号
光を光ファイバで中継してレーザガンの外部へ導出し、
他端に受光用ホトダイオード列を設けたものを用いても
よい。
次に１つの測定ユニッ）Ｍｌにつき光学的測定原理を第
２図〜第４図を用いて説明する。
２図〜第４図を用いて説明する。
第１図の構造では、下の筐体Ｂ２は輝点ａｉの乱反射光
が受光レンズ記、の反対側の部分に入射するのを遮り、
また、受光素子Ｓｌとして一次元ＰＳＤのような細い線
状のものを用いるので、測定ユニットＭｌにあける輝点
ａｉからの乱反射光が受光素子Ｓｔに入射する様子は、
近似的には、受光素子Ｓｔと受光レンズＬｌｌの光軸Ｚ
を含む面内の現象として取扱ってもよい。さらに、受光
素子ＳＬの取付は方向は、測定すべき物体に面して取付
けられればよいが、精度を上げるには、第２図に示した
ように、Ｚ軸に対する入射角が９０” −α度のとき、 ｔａｎβ＝Ｍ−ｔａｒ＋α ただし、Ｍはレンズの倍率（Ｍ＝ｆ／（１，。−ｆ））
を満足するよう受光素子ＳｉをＺ軸に対し９０°−βを
傾けて組み込む。
が受光レンズ記、の反対側の部分に入射するのを遮り、
また、受光素子Ｓｌとして一次元ＰＳＤのような細い線
状のものを用いるので、測定ユニットＭｌにあける輝点
ａｉからの乱反射光が受光素子Ｓｔに入射する様子は、
近似的には、受光素子Ｓｔと受光レンズＬｌｌの光軸Ｚ
を含む面内の現象として取扱ってもよい。さらに、受光
素子ＳＬの取付は方向は、測定すべき物体に面して取付
けられればよいが、精度を上げるには、第２図に示した
ように、Ｚ軸に対する入射角が９０” −α度のとき、 ｔａｎβ＝Ｍ−ｔａｒ＋α ただし、Ｍはレンズの倍率（Ｍ＝ｆ／（１，。−ｆ））
を満足するよう受光素子ＳｉをＺ軸に対し９０°−βを
傾けて組み込む。
環状受光レンズｆｚＪａの内縁の半径をｒ’ｌ＋外縁の
半径をｒ ２１ Ｚ軸と輝点ａｔとの距離をｒＬ＋受
光レンしＷ、の中心面と輝点ａ、との距離をｌａｌとす
ると、ｒＬ＋ β、ｉの変化にともなう受光素子Ｓ、
上の輝点反射光の変化の様子は次のようである。
半径をｒ ２１ Ｚ軸と輝点ａｔとの距離をｒＬ＋受
光レンしＷ、の中心面と輝点ａ、との距離をｌａｌとす
ると、ｒＬ＋ β、ｉの変化にともなう受光素子Ｓ、
上の輝点反射光の変化の様子は次のようである。
第３図および第４図において、ａｌｅは受光レンズＡｉ
からの規定位置にある輝点、ａｌｌは規定位置より遠方
にある輝点、ａｌ２は規定位置よりも近くにある輝点を
示し、それらの像をＢ ｌｏｐ Ｂ Ｉ ＩｎＢ、□
で示す。１４１Ｊ（ｊ＝ｏ、ｔ、２）はそれぞれ受光
レンズ２つの中心面と輝点ａ ＩＪ （ｊ ＝０．１．
２）との距離である。
からの規定位置にある輝点、ａｌｌは規定位置より遠方
にある輝点、ａｌ２は規定位置よりも近くにある輝点を
示し、それらの像をＢ ｌｏｐ Ｂ Ｉ ＩｎＢ、□
で示す。１４１Ｊ（ｊ＝ｏ、ｔ、２）はそれぞれ受光
レンズ２つの中心面と輝点ａ ＩＪ （ｊ ＝０．１．
２）との距離である。
ｒＬは加工点近傍にあることが望ましいが、ここでは実
用範囲と考えられるｒｌ＜ｒｔ＜ｒ２において、センサ
から物体までの距離が変化したときの結像点の動きを説
明する。
用範囲と考えられるｒｌ＜ｒｔ＜ｒ２において、センサ
から物体までの距離が変化したときの結像点の動きを説
明する。
第３図はｒｌ＜ｒＬ＜ｒ２の場合である。基準のワーク
面Ａ上の輝点ａ、。は像面Ｓ上の８１゜に結像している
。ワーク面がＡからＡ′の位置に遠のくと、第３図（ａ
）に示すように輝点はａｔｔに移り、受光した像はＢ１
１に結像するから、Ｓ上では多少ボケで広がりをもつ像
Ｂ′、１が形成される。この場合、像位置はＢｔａから
Ｂ′、１にＳ面上で右へ移動する。８面は受光素子列が
並んだものと考えてよいから受光した素子位置を、その
出力信号（Ｂ′、の平均値）から知れば、ワーク面まで
の距離の変化量が求まる。次に、ワーク面がＡからＡ′
の位置へ近づいた場合、第３図υに示すように、結像位
置はＳ面上を左へ動き、その移動量が距離変化量と対応
する。
面Ａ上の輝点ａ、。は像面Ｓ上の８１゜に結像している
。ワーク面がＡからＡ′の位置に遠のくと、第３図（ａ
）に示すように輝点はａｔｔに移り、受光した像はＢ１
１に結像するから、Ｓ上では多少ボケで広がりをもつ像
Ｂ′、１が形成される。この場合、像位置はＢｔａから
Ｂ′、１にＳ面上で右へ移動する。８面は受光素子列が
並んだものと考えてよいから受光した素子位置を、その
出力信号（Ｂ′、の平均値）から知れば、ワーク面まで
の距離の変化量が求まる。次に、ワーク面がＡからＡ′
の位置へ近づいた場合、第３図υに示すように、結像位
置はＳ面上を左へ動き、その移動量が距離変化量と対応
する。
第４図はａｌ。がｒＬ ＝ｒ、に生ずる場合の例である
。ワーク面が基準面ＡからＡ′へ遠のいたとき（第４図
（ａ））、像Ｂ１゜はＳ面上を右へ動いてＢ’ｌｌへ移
り、反対にＡからＡ′へ近づいたとき（第４図（ｂ））
、像ＢｔｏはＳ面上を左へ動いてＢｉ２となり、それぞ
れがワーク面との距離の変化を表すことは第３図と同じ
である。
。ワーク面が基準面ＡからＡ′へ遠のいたとき（第４図
（ａ））、像Ｂ１゜はＳ面上を右へ動いてＢ’ｌｌへ移
り、反対にＡからＡ′へ近づいたとき（第４図（ｂ））
、像ＢｔｏはＳ面上を左へ動いてＢｉ２となり、それぞ
れがワーク面との距離の変化を表すことは第３図と同じ
である。
第３図、第４図において、結像面ＳをＢ′のように、第
２図で説明したａ１０＊ ａ １１＋およびａ、。
２図で説明したａ１０＊ ａ １１＋およびａ、。
の結像点Ｂ、。＊ Ｂｔ＋＋ Ｂｉ２を結ぶ線上に、受
光素子Ｓ、を設けるとすれば、Ｂ ｉ Ｉｎ ８１１
はレンズ寸法ｒ１およびｒ２の影響を受けないから、Ｓ
面上で見る場合の像のボケがなく、距離の検出精度を著
しく向上させることができる。
光素子Ｓ、を設けるとすれば、Ｂ ｉ Ｉｎ ８１１
はレンズ寸法ｒ１およびｒ２の影響を受けないから、Ｓ
面上で見る場合の像のボケがなく、距離の検出精度を著
しく向上させることができる。
測定ユニットの受光特性例として、光源に光出力１ｍｗ
程度のレーザを使用し、光ビームを斜めに物体に入射し
た場合の実験結果を示す。α＝８０°。
程度のレーザを使用し、光ビームを斜めに物体に入射し
た場合の実験結果を示す。α＝８０°。
Ｉｔ 、。＝ ８０ ｍａｄ、レンズ倍率Ｍ＝１／６で
、受光素子にＰＳＤを用い、金属面を測定した。受光特
性は第６図に示すように、ワーク面までの距離の変化量
Ｚに対し、直線性の良い出力電圧かえられた。
、受光素子にＰＳＤを用い、金属面を測定した。受光特
性は第６図に示すように、ワーク面までの距離の変化量
Ｚに対し、直線性の良い出力電圧かえられた。
上記測定ユニッ）ＭｌをレーザガンＧの中心軸Ｚのまわ
りに一定角づつずらして、例えば９０゜づつずらして４
個（Ｍ、、Ｍ２．Ｍ、、Ｍ、）配置すれば、４個の輝点
ａｉ （ｉ・１〜４）と受光レンズＬ、との距離が、
測定値１．。からどのようにずれているかを知ることが
できるので、レーザガンＧの姿勢を矯正できる。この場
合、レーザガンＧの姿勢は、４個のユニットの距離デー
タを一致させるよう姿勢制御を行えば、レーザガンＧの
Ｚ軸が被加工物表面Ｊに垂直を保ち、また、４個のユニ
ットの距離ｉ。の基準値を適宜設定し、測定値との演算
により、レーザガンＧのＺ軸を被加工物表面Ｊに対して
一定の傾斜を保たせることができる。
りに一定角づつずらして、例えば９０゜づつずらして４
個（Ｍ、、Ｍ２．Ｍ、、Ｍ、）配置すれば、４個の輝点
ａｉ （ｉ・１〜４）と受光レンズＬ、との距離が、
測定値１．。からどのようにずれているかを知ることが
できるので、レーザガンＧの姿勢を矯正できる。この場
合、レーザガンＧの姿勢は、４個のユニットの距離デー
タを一致させるよう姿勢制御を行えば、レーザガンＧの
Ｚ軸が被加工物表面Ｊに垂直を保ち、また、４個のユニ
ットの距離ｉ。の基準値を適宜設定し、測定値との演算
により、レーザガンＧのＺ軸を被加工物表面Ｊに対して
一定の傾斜を保たせることができる。
次に雑音の検出について説明する。レーザ加工機では、
００２等加工レーザビームの加工点における反射、散乱
、工場内の各種光源等の雑音光による測定妨害、超音波
加工機や洗浄機などからの誘導、輻射等の妨害が無数に
存在する。しかし、これらの周波数域はたかだか１０〜
３０ ＫＨｚであるので、測定に使用する信号光ビーム
を３０に上辺上の高周波で変調しておけば、受光素子の
電気出力側で帯域フィルタまたは高域フィルタを用いて
、雑音成分を除去し、その測定妨害を除くことができる
。
００２等加工レーザビームの加工点における反射、散乱
、工場内の各種光源等の雑音光による測定妨害、超音波
加工機や洗浄機などからの誘導、輻射等の妨害が無数に
存在する。しかし、これらの周波数域はたかだか１０〜
３０ ＫＨｚであるので、測定に使用する信号光ビーム
を３０に上辺上の高周波で変調しておけば、受光素子の
電気出力側で帯域フィルタまたは高域フィルタを用いて
、雑音成分を除去し、その測定妨害を除くことができる
。
本発明による姿勢検出システムを第７図により説明する
。
。
ＯＰＳは高周波変調された信号光発生器で、光ファイバ
Ｉｔ （ｉ＝１．２．・・）を導路としてレーザガン
Ｇへ送る。レーザガンＧのセンサ組込みは前に説明した
通りであるが、光ビームの発光端部は中心から径の半径
方向に余弦的な屈折率分布をもつ円筒レンズ等を使用す
れば、光フアイバコード径と合わせて１〜２ｍｍの径で
構成できるから、レーデガンＧ外周上母線方向に溝を掘
り、ファイバとも一体に埋込むことができる。その構造
は第８図に示した通りである。
Ｉｔ （ｉ＝１．２．・・）を導路としてレーザガン
Ｇへ送る。レーザガンＧのセンサ組込みは前に説明した
通りであるが、光ビームの発光端部は中心から径の半径
方向に余弦的な屈折率分布をもつ円筒レンズ等を使用す
れば、光フアイバコード径と合わせて１〜２ｍｍの径で
構成できるから、レーデガンＧ外周上母線方向に溝を掘
り、ファイバとも一体に埋込むことができる。その構造
は第８図に示した通りである。
ＤＥＴ＋ （＋４．２．・・）は受光系の信号検出回
路である。
路である。
受光素子Ｓ１で光から電気出力Ｖ、に変換された信号は
増幅後、フィルタで雑音成分を除去し、デジタル信号と
して出力される。出力データ、すなわち輝点ａｉが受光
素子Ｓ１上で正規の位置に対して遠近何れの側にあるか
を示す符号と距離の変化量等の情報は、Ｒ３−２３２Ｃ
等のインタフェースを介して、センサ・コンピュータＳ
ＰＣへ送られる。
増幅後、フィルタで雑音成分を除去し、デジタル信号と
して出力される。出力データ、すなわち輝点ａｉが受光
素子Ｓ１上で正規の位置に対して遠近何れの側にあるか
を示す符号と距離の変化量等の情報は、Ｒ３−２３２Ｃ
等のインタフェースを介して、センサ・コンピュータＳ
ＰＣへ送られる。
センサ・コンピュータＳＰＣでは、４つの測定データの
計算処理をリアルタイムで行い、姿勢制御データを加工
機のコントローラＭＣＰへ渡す。この情報により、加工
機のコントローラＭＣＰは前記姿勢制御のための駆動動
力を発生し、レーザガンＧの姿勢を正しく矯正する。
計算処理をリアルタイムで行い、姿勢制御データを加工
機のコントローラＭＣＰへ渡す。この情報により、加工
機のコントローラＭＣＰは前記姿勢制御のための駆動動
力を発生し、レーザガンＧの姿勢を正しく矯正する。
（発明の効果）
以上説明したように本発明の姿勢センサを内蔵した加工
機ヘッドは小形・軽量・低価格であり、加工機ヘッドの
従来の作業空間を変更することなく、複雑に入りこんだ
凹所等の各種作業にも適用できる。また、本姿勢センサ
を使用することによって作業中の姿勢自動制御が可能に
なったことは、今後自動ならい等作業の自動化の推進に
大きく貢献する。特に、レーザ加工機におけるガンの姿
勢制御に有効である。
機ヘッドは小形・軽量・低価格であり、加工機ヘッドの
従来の作業空間を変更することなく、複雑に入りこんだ
凹所等の各種作業にも適用できる。また、本姿勢センサ
を使用することによって作業中の姿勢自動制御が可能に
なったことは、今後自動ならい等作業の自動化の推進に
大きく貢献する。特に、レーザ加工機におけるガンの姿
勢制御に有効である。
第１図は本発明の姿勢センサを装備したレーザ加工機ヘ
ッドを示す図。 第２図〜第４図は本発明の姿勢センサの光学系を示す図
。 第５図は本発明の検出特定を測定する測定回路。 第６図は本発明の受光系の検出特性を示す図。 第７図は本発明の姿勢検出システムを示す図。 第８図は本発明のレーザ加工機ヘッドの構造を示す図。
ッドを示す図。 第２図〜第４図は本発明の姿勢センサの光学系を示す図
。 第５図は本発明の検出特定を測定する測定回路。 第６図は本発明の受光系の検出特性を示す図。 第７図は本発明の姿勢検出システムを示す図。 第８図は本発明のレーザ加工機ヘッドの構造を示す図。
Claims (1)
- （１）１個の環状受光レンズと、該受光レンズの光軸の
まわりに配置され、かつ、該光軸に収束する方向に放射
される細い複数條の信号光ビームを発生する手段を有し
、該信号光ビームが被加工物表面につくるスポットと受
光レンズとが所定の距離になった時、該受光レンズによ
り結ばれるスポットの像の結像点に、受光位置を検知す
る手段をもった細長い線状受光素子列をそなえ、姿勢検
出の場合、受光素子に入射するスポットからの反射光の
入射区間が、前記の所定距離の場合のスポット結像点の
何れの側にあるかを判別する電気回路をそなえ、該電気
回路の複数個の出力から被加工物表面に対する加工機ヘ
ッドの姿勢を検出することを特徴とする姿勢センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63116975A JPH0625659B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 姿勢センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63116975A JPH0625659B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 姿勢センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01287408A true JPH01287408A (ja) | 1989-11-20 |
| JPH0625659B2 JPH0625659B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=14700391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63116975A Expired - Lifetime JPH0625659B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 姿勢センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625659B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019836A (ja) * | 2008-06-13 | 2010-01-28 | Katsura Opto Systems:Kk | 変位チルトセンサ |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP63116975A patent/JPH0625659B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019836A (ja) * | 2008-06-13 | 2010-01-28 | Katsura Opto Systems:Kk | 変位チルトセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625659B2 (ja) | 1994-04-06 |
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