JPH01288772A - プローブガード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ウエハブローバ等に配置され、半導体デバイ
ス等の試験測定に利用されるプローブカードに関する。

（従来の技術） 一般に、半導体ウェハ表面に多数形成された集積回路は
、その製造工程において電気的な試験測定が行われる。

例えば半導体ウェハ上の集積回路と計測装置との電気的
な接続は、プローブカードと呼ばれるプローブ端子によ
って行われることが多い。

第２図は、従来のプローブカードの一例の構成を示すも
ので、プリント基板等によって構成されている基板１に
は開口部１ａが設けられており、この開口部１ａの周囲
に沿って支持体リング２が固着されている。この支持体
リング２は、下部に外周方向から内周方向に向けて傾斜
された傾斜面２ａを有しており、この傾斜面２ａに多数
の探針３が支持体リング２の中央方向に向かって突設す
るよう固定されている。また、探針３の一方の端部３ａ
は、基板１に形成された導電層４と電気的に接続されて
おり、この導電層４は基板１の端部に設けられている測
定機器接続用端子に接続されている。そして、探針３の
他方の端部３ｂを半導体ウェハ上の電極バットに接続さ
せることにより計測器との電気的接続が行われる。

ところで、近年、検査時間を短縮するために、ＩＣテス
ターのような計測器の測定信号を高周波化して高速化す
ることが試みられている。また、測定対象となる集積回
路も高周波を使用するものが増加しており、従ってプロ
ーブカードにおいても高周波信号に対する適合性が求め
られている。

そこで、高周波信号によるノイズの増加や信号の減衰を
防止するため、基板１に設けられた導電層４のインピー
ダンスマツチングを充分に行う等の方策がなされている
。

（発明が解決しようとする疎通） しかしながら、上記説明の従来のプローブカードでは、
支持体リング２が単に探針３の位置決め固定の役割しか
有していないため、探針３と基板１に形成された導電層
４との電気的接続は、探針３の端部３ａを導電層４に接
続することによって行われている。このため、探針３の
長さが例えば２５ｍｍ〜３５ｍｍ程度と長くなってしま
い、各探針３間での干渉が起こりやすく、ノイズやクロ
ストーク等が発生し、測定精度が低下する等の問題が生
じている。さらに特開昭５１−３２１８１号、特開昭５
８−１６２０４５号等がある。しかし実用されていない
。

本発明は、このような従来技術の課題に対処するべくな
されたもので、高周波信号による測定時において、ノイ
ズやクロストーク等の測定精度を低下させる要因を減少
させたプローブカードを提供することを目的としている
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本発明は、開口部を有し第１の印刷配線された
基板の上記開口部に沿って、複数の探針を上記開口部中
央方向に突設するよう固定する如く設けられた環状の探
針支持体を固着してなるプローブカードにおいて、上記
探針支持体上に上記第１の印刷配線に電気的に接続され
て設けられた第２の印刷配線された配線パターンと、こ
の配線パターンの上記探針支持体の内側に近い部分に接
続固定された探針とを具備してなることを特徴としてい
る。

（作　用） 本発明のプローブカードにおいては、基板の開口部に沿
って固着された探針支持体に配線パターンを形成し、こ
の配線パターンに探針を固定するとともに電気的な接続
を行っている。これによって、探針の長さを従来のプロ
ーブカードに比べて大幅に短くすることが可能になる。

従って、各探針間での干渉が低減され、高周波信号を使
用した際にもノイズやクロストーク等を大幅に減少させ
ることができる。

（実施例） 次に、本発明のプローブカードの実施例を図面を参照し
て説明する。

樹脂等からなるプリント基板によって構成された基板１
１には、直径数センチメートル程度の円形の開口部１１
ａが設けられており、この開口部１１ａの周囲に沿って
、アルミナのようなセラミックス等の絶縁物からなる支
持体リング１２が、その内側端部に形成された凸部１２
ａに固着されている。この支持体リング１２は下部に外
周側から内周側に向けて上り傾斜された傾斜面１２ｂを
有しており、この傾斜面１２ｂから側面１２ｃを介して
上面１２ｄに達し、後述する探針１４の本数に応じた配
線パターン１３が形成されている。

支持体リング１２の傾斜面１２ｂに形成されている配線
パターン１３の内周端部近傍部には、それぞれ探針１４
が電気的に接続されるとともに、開口部１１ａの中央方
向へ下側に傾斜して突設する如く固定支持されている。

この探針１４は、例えば直径２００μｍ〜２５０μ■程
度のＷ、Ｐｄ。

Ｂｅ−Ｃｕ合金等によって形成されたものであり、その
先端１４ａは下側へ向けて曲折され、先端部が例えば直
径５０μｍ程度の小径とされている。そして、この探針
１４の長さはこのように支持体リング１２上に形成され
た対応する配線パターンに接続固定することによって、
例えば５■程度の長さまで短くすることが可能となる。

この接続部は傾斜面１２ｂの内側端に近ければ近い程探
針１４の長さは短く形成できる。さらに探針１４も先端
の曲折部がない構造にすればさらに短くでき、垂直に立
てればさらに短く構成できる。

一方、支持体リング１２の上面１２ｄ上に位置する配線
パターン１３の端部は、基板１１に形成されている導電
層１５に電気的に接続されており、この導？ｌｉ層１５
は基板１１の端部に配列された測定機器接続用端子（図
示せず）にそれぞれ接続されている。

上記構成のこの実施例のプローブカードでは、開口１２
の下部に半導体ウェハを配置し、この半導体ウェハ上に
形成された、例えば１００μ腸×８０μｍ程度の大きさ
の電極バットに、探針１４の先端部を接触させ、基板１
１に設けられた接続用端子を測定機器に電極的に接続し
て半導体ウェハ上に形成された集積回路の試験測定を行
う。

この実施例によれば、探針を支持体リングに設けた配線
パターンに電気的に接続するとともに固定しているので
、従来のプローブカードに比べて探針の長さを大幅に短
くすることが可能になる。

例えば従来２５１１〜３５ｍｍの長さを有していたもの
を５１程度の長さの探針で同様な機能を発揮させること
ができる。従って、高周波信号を使用した際における各
探針間での干渉が大幅に減少し、この高周波信号による
ノイズやクロストーク等は、従来に比べて大幅に減少さ
せることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明のプローブカードでは、従来
に比べて高周波信号によるノイズやクロストーク等を大
幅に減少させることができるため、測定精度を大幅に向
上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプローブカードの要部の構
成を示す断面図、第２図は従来のプローブカードの要部
の構成を示す断面図である。 １１・・・・・・基板、ｌｌａ・・・・・・開口部、１
２・・・・・・支持体リング、１３・・・・・・配線パ
ターン、１４・・・・・・探針、１５・・・・・・導電
層 出願人　　　　東京エレクトロン株式会社代理人　弁理
士　　須　山　佐　−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　開口部を有し第１の印刷配線された基板の上記開口部
   に沿って、複数の探針を上記開口部中央方向に突設する
   よう固定する如く設けられた環状の探針支持体を固着し
   てなるプローブカードにおいて、 上記探針支持体上に上記第１の印刷配線に電気的に接続
   されて設けられた第２の印刷配線された配線パターンと
   、この配線パターンの上記探針支持体の内側に近い部分
   に接続固定された探針とを具備してなることを特徴とす
   るプローブカード。