JPH0128882B2 - - Google Patents

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JPH0128882B2
JPH0128882B2 JP8290581A JP8290581A JPH0128882B2 JP H0128882 B2 JPH0128882 B2 JP H0128882B2 JP 8290581 A JP8290581 A JP 8290581A JP 8290581 A JP8290581 A JP 8290581A JP H0128882 B2 JPH0128882 B2 JP H0128882B2
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JP
Japan
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light
optical path
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stereoscopic viewing
reflected
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JP8290581A
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English (en)
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JPS57197407A (en
Inventor
Hiroshi Mizutani
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
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Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
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Publication of JPS57197407A publication Critical patent/JPS57197407A/ja
Publication of JPH0128882B2 publication Critical patent/JPH0128882B2/ja
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2408Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は光学球面計の改良にかかり、特に重
像により目視判断できるように、2つ光径路を利
用して2つのスリツト等の指標を結像させるよう
にした光学球面計の改良に関する。
従来球面原器(ニユートン板)の曲率半径を求
める場合等に利用される光学球面計が知られてい
る。かかる光学球面計の1つとして、第1図に示
されるように、光源1からの光線をスリツト2、
半透明ミラー3、対物レンズ4を通して測定され
るべき球面5に照射する2つの光径路を一定角度
で配置し、前記球面5における反射光が各々他方
の前記光径路を逆進し、前記半透明ミラー3にお
いて反射され、さらにそれぞれの反射光の径路に
設けられたミラー6、半透明ミラー7によつて接
眼レンズ8を通る同一の光軸上に集められ、同一
個所に前記スリツト2を結像させ、その重像が一
致することによつて、被測定球面上に両入射光の
交点が存在し、かつ被測定球面の曲率中心が両入
射光線で作る平面上であつて両入射光線のなす角
の二等分線上に存在すること、が確認される。次
に被測定球面を曲率半径Rだけ移動させ(第1図
破線の曲面)、2つの入射光線の交点を被測定球
面の曲率中心に一致させる。このとき、各入射光
線の反射光は各々自己の光径路を逆進する。この
ことは、同様に重像が一致することによつて確認
される。前記球面5の曲率半径Rは、ベンチ上の
上述の移動距離として読取ることができる。
かかる従来の光学球面計は、測定レンジを変更
する場合は、半透明ミラー3と対物レンズを他の
種類のものにその都度交換しなければならず、累
積誤差を生じ易く、かつ煩雑であるとともに、測
定能率が低いという欠点があつた。また光源1か
らの光は前記半透明ミラー3を通過する時にその
半分近くが、第1図破線によつて示されるよう
に、無駄に反射され、従つて光の利用効率が低い
という欠点もある。
また上記従来の光学球面計は、例えば第2図に
示されるように、凸球面と凹球面との測定レンジ
を同一とした場合、凸球面5Aを測定する場合
と、凹球面5Bを測定する場合には対物レンズ4
から各々の球面までの距離が略1:2の比率にな
り、従つて測定のためのベンチは長大なものを要
するという不都合がある。すなわち、凸球面5A
の最大測定限界は、該凸球面5Aが対物レンズ4
に最も接近した位置であり、ここから曲率半径R
の位置までが、凸球面5Aの所要移動範囲となる
のに対して、凹球面5Bは凸対物レンズ4からの
距離R〜2Rの範囲が所要移動範囲となる。
本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたも
のであつて、半透明ミラー、対物レンズ等の交換
を必要とせず、しかも従来無駄にされていた光量
を有効に利用できるようにし、かつ測定レンジを
拡大することができ、また、半透明ミラー、対物
レンズ等を交換することなく測定レンジを拡大で
き、かつ、この場合でもベンチを長大にすること
なく測定できるようにした光学球面計を提供する
ことを目的とする。
また本発明は、光源からの光線をスリツト等の
指標、半透過反射手段および対物レンズを通して
測定すべき球面に立体視角をもつて照射し、前記
半透過反射手段を通つた光線が前記球面において
反射されて生じる反射光を、前記半透過反射手段
により反射させ、該反射光により同一の結像部に
前記指標の重像を形成させるようにする2つの光
径路を備えた光学球面計において、前記光源から
の光線が前記半透過反射手段を通る際に該半透過
反射手段により反射されて生じる反射光線を光源
光束として利用し、前記2つの光径路の立体視角
の対称軸線と同一の対称軸線を備え、かつ、前記
立体視角と異なる立体視角をもつて測定される球
面に照射されるとともに、該球面により反射さ
れ、前記結像部に前記指標の重像を形成する2つ
の第2の光径路と;前記第2の光径路の前記半透
過反射手段および対物レンズの間における少なく
とも対物レンズおよびこの対物レンズ直前の反射
手段の反射光の光径路を、該光径路を含む平面内
で前記立体視角の対称軸線と直交する軸を対称軸
として180度反転させ得る反転手段と;前記反転
手段により反転される光径路の先方に、該反転光
径路の光線が前記立体視角の対称軸線上に該立体
視角と同方向かつより大きい角度で照射させるよ
うに反射する反転光反射手段と;を設けることに
よつて前記目的を達成するものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
第3図は本発明にかかる光学球面計の実施例を
示す平面図、第4図は同実施例の正面図、第5図
は第3図の−視図である。
この実施例は、光源11からの光線をスリツト
12等の指標および半透過反射手段たるプリズム
13を通して測定すべき球面5に立体視角αをも
つて照射し、前記プリズム13を通つた光線が前
記球面5において反射されて生じる反射光を、前
記プリズム13により反射させ、該反射光により
結像部14に前記スリツト12の重像を形成させ
るようにする2つの光径路を備えた光学球面計に
おいて、前記光源11からの光線が前記プリズム
13を通る際に該プリズム13により反射されて
生じる反射光線を光源光束として利用し、前記2
つの光径路の立体視角の対称軸線15を共有しか
つ前記立体視角と異なる立体視角βをもつて測定
される球面5に照射されるとともに、該球面5に
より反射され、前記結像部14に前記スリツトの
重像を形成する2つの第2の光径路を設けたもの
である。
即ち光源11から相反する2方向に進む光線
は、2つの直角プリズム16により前記対称軸線
15と平行な方向に進む2つの光線とされ、レン
ズ17および前記スリツト12を通つて前記プリ
ズム13にそれぞれ入射される。
このプリズム13は2つの直角プリズムを向い
合わせて形成したものであり、合わせ面13Aが
半透過反射面とされている。従つてこの合わせ面
に45度の角度に入射された光線は、ほぼ半分がこ
れを透過するとともに残りの半分が直角横方向に
反射されることになる。
前記プリズム13を通過して直進した光線(実
線で示す)は反射プリズム18に入射され、ここ
で2回反射され、前記対称軸線15と直角な直線
19に対して角度α、即ち立体視角αをもつて対
称軸線15上の一点に照射されるようになつてい
る。図の符号20は対物レンズ群を示す。
また前記プリズム13の合わせ面において反射
された光線(一点鎖線で示す)は、プリズム21
に入射して、前記直進する光線と平行かつ反対方
向に反射され、さらにこれに接続する反射プリズ
ム22において2度反射され、前記直進する光線
と平行かつ同一の方向に進む光線とされる。
この光線は、さらに直角プリズム23において
反射され、前記対称軸線15と直交しかつ前記直
線19を含む平面内であつて、前記立体視角を含
む平面と平行な直線上で略対称軸線15の方向に
向うように反射される。
この反射光線は、前記対称軸線15と直交する
平面内で、前記対称軸線15から放射方向に進む
ように直角プリズム24によつて反射される。
この反射光線は、プリズム25に入射され、こ
こで前記対称軸線15と直交する面に対して角度
β、即ち立体視角βをもつて前記対称軸線15上
の一点に対物レンズ26を介して照射されるよう
になつている。
従つてこの実施例において、光源11からの光
線は、プリズム13を透過して立体視角αをもつ
て照射されるとともに、プリズム13において反
射された光線が、前記立体視角αを含む平面と直
交する平面内において、前記立体視角αの光線と
同一の対称軸線15上に異なる立体視角βをもつ
て照射されるものである。ここで角度βはαより
も大きくされ、従つて角度βの場合の焦点Bは角
度αの場合の焦点Aよりも遠方とされる。
前記測定すべき球面5に照射された第1の光径
路の光線は、凸球面5Aの場合は、対となる光路
を逆進してプリズム13に戻り、ここで反射され
(鎖線で示す)、レンズ28,29を通つてプリズ
ム30Aまたは30Bに入射され、ここで反射さ
れた後、さらにプリズム31および32によつて
反射され接眼レンズ群33を通つて結像されるこ
とになる。
また第2の光径路の場合は、プリズム13を通
過して、前記レンズ28,29、プリズム30A
もしくは30B、プリズム31,32および接眼
レンズ群33を通つて結像されることになる。
前記プリズム13によつて反射された光線の光
径路、即ち第2の光径路におけるプリズム25お
よび対物レンズ26は、立体視角βを含む平面内
にあつて、前記対称軸線15と直交する直線19
を中心として180度反転できるようにされている。
即ち第4図において二点鎖線で示されるよう
に、プリズム25において反射された光線が、第
3図の実線位置における光線と、直線19を対称
軸として対称方向に反射するように反転されるも
のである。
前記反転位置におけるプリズム25により反射
されかつ対物レンズ26を通つた光線は、前記光
源11方向に進み、前記対称軸線15と直交する
反斜面を備えた反射ミラー27により、反対方向
に反射されるようになつている。
反射ミラー27による反射光線は、前記焦点B
よりも、光源11に接近した位置の焦点B′で、
前記対称軸線15上の一点に照射されるようにな
つている。即ち焦点Bが引き戻されるように構成
されている。
従つて、焦点B′に照射する場合は、焦点Bに
照射する場合に比較して立体視角が大きくされ、
かつ第6図に示されるように、焦点B′の場合は、
焦点Bの場合よりも、遠方に相当することになる
ので、焦点B′によつて凹球面を測定するように
し、かつ焦点Bの場合は凸球面を測定するように
すれば、凹凸両球面を同一のベンチによつて測定
できることになる。
ここで前記第2の光径路のプリズム25および
対物レンズ26が反転しない状態の焦点Bおよび
第1の光径路における焦点Aの関係を、第1の光
径路による凹球面測定最大限と第2の光径路によ
る凸球面測定最大限とがほぼ一致するように設定
すると、第1の光径路および第2の光径路による
測定、即ち2レンジ測定でかつ測定のためのベン
チの長さを、第2の光径路による凸球面測定用の
ベンチの長さの範囲とすることができるので、ベ
ンチを共用できるという利点がある。
なお上記実施例において、光線は、主としてプ
リズムによつて反射されるようになつているが、
これは反射ミラーに置きかえてもよい。特に、プ
リズム13は、光源からの光線を一部透過し、一
部反射する半透過反射手段であればよく、従つて
半透明ミラーであつてもよい。
また、対物レンズ群26は、反転位置に、別に
一組設けておいて、プリズム25のみ反転させる
ようにしてもよい。
本発明は上記のように構成したので、従来無駄
とされていた光量を有効に利用して、測定できる
球面の曲率半径の範囲を複数のレンジとすること
ができるとともに、測定レンジの変更を容易迅速
にでき、しかも測定のためのベンチを各レンジに
おいて共通にすることができるという優れた効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光学球面計の原理を示す説明
図、第2図は光学球面計による凸球面および凹球
面の測定原理を示す説明図、第3図は本発明にか
かる光学球面計の実施例を示す平面図、第4図は
同実施例の正面図、第5図および第6図は第3図
の−視図および−視図である。 11……光源、12……スリツト、13……プ
リズム、14……結像部、15……対称軸線、1
8……反射プリズム、19……直線、20……対
物レンズ、26……対物レンズ、27……反射ミ
ラー。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光源からの光線をスリツト等の指標、半透過
    反射手段および対物レンズを通して測定すべき球
    面に立体視角をもつて照射し、前記半透過反射手
    段を通つた光線が前記球面において反射されて生
    じる反射光を、前記半透過反射手段により反射さ
    せ、該反射光により同一の結像部に前記指標の重
    像を形成させるようにする2つの光径路を備えた
    光学球面形において、前記光源からの光線が前記
    半透過反射手段を通る際に該半透過反射手段によ
    り反射されて生じる反射光線を光源光束として利
    用し、前記2つの光径路の立体視角の対称軸線と
    同一の対称軸線を備え、かつ、前記立体視角と異
    なる立体視角をもつて測定される球面に照射され
    るとともに、該球面により反射され、前記結像部
    に前記指標の重像を形成する2つの第2の光径路
    と;前記第2の光径路の前記半透過反射手段およ
    び対物レンズの間における少なくとも対物レンズ
    およびこの対物レンズ直前の反射手段の反射光の
    光径路を、該光径路を含む平面内で前記立体視角
    の対称軸線と直交する軸を対称軸として180度反
    転させ得る反転手段と;前記反転手段により反転
    される光径路の先方に、該反転光径路の光線が前
    記立体視角の対称軸線上に該立体視角と同方向か
    つより大きい角度で照射させるように反射する反
    転光反射手段と;を設けたことを特徴とする光学
    球面計。 2 前記第2の光径路の反転しない状態の立体視
    角および第1の光径路の立体視角は、第1の光径
    路による凹球面測定最大限と第2の光径路による
    凸球面測定最大限とが略一致するようにされた特
    許請求の範囲第1項記載の光学球面計。
JP8290581A 1981-05-29 1981-05-29 Optical spherometer Granted JPS57197407A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8290581A JPS57197407A (en) 1981-05-29 1981-05-29 Optical spherometer

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JP8290581A JPS57197407A (en) 1981-05-29 1981-05-29 Optical spherometer

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JPS57197407A JPS57197407A (en) 1982-12-03
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