JPH01294596A - 組立式バレル型サセプタ - Google Patents
組立式バレル型サセプタInfo
- Publication number
- JPH01294596A JPH01294596A JP12181688A JP12181688A JPH01294596A JP H01294596 A JPH01294596 A JP H01294596A JP 12181688 A JP12181688 A JP 12181688A JP 12181688 A JP12181688 A JP 12181688A JP H01294596 A JPH01294596 A JP H01294596A
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- Japan
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- susceptor
- edges
- regular polygon
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- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造におけるエピタキシャル成長処理
工程で用いるサセプタに関し、特にペルジャー内で使用
する知立式バレルをサセプタに関する。
工程で用いるサセプタに関し、特にペルジャー内で使用
する知立式バレルをサセプタに関する。
［従来の技術］
特公昭６１ ５５．７６６号公報の組を式バレル型サセ
プタは、１ク工ハー載置板状体がその製作時に反りや捩
れを持った場合、隣り合った接合側縁の間に生じる隙間
を排除することを目的として、当該接合Ｉｌｌ縁の側部
をカギ形に成形し、カギ形同志の係合で隙間の発生を防
止する。ここではバレル型サセプタを組み立てる時に用
いる所要板状部側オの相〃固定手段に触れず、接着剤は
不純物源となって使用できないために、第７図のように
、従前用いられた手段のビン係止Ｙまたは引掛は縁係＋
）−Ｚによる固定法が踏襲される。
プタは、１ク工ハー載置板状体がその製作時に反りや捩
れを持った場合、隣り合った接合側縁の間に生じる隙間
を排除することを目的として、当該接合Ｉｌｌ縁の側部
をカギ形に成形し、カギ形同志の係合で隙間の発生を防
止する。ここではバレル型サセプタを組み立てる時に用
いる所要板状部側オの相〃固定手段に触れず、接着剤は
不純物源となって使用できないために、第７図のように
、従前用いられた手段のビン係止Ｙまたは引掛は縁係＋
）−Ｚによる固定法が踏襲される。
ビン係止Ｙまたは引掛は綽係止Ｚ ｈＳ’ｉ−える結合
力は締付力に達しないからバレルの一体維持のために、
一体組立用の内部支柱構造Ｘが用いられる。
力は締付力に達しないからバレルの一体維持のために、
一体組立用の内部支柱構造Ｘが用いられる。
内部支柱構造Ｘの周囲に板状体を複数枚立て掛け、これ
らをビンＹで係止するかまたは予め上縁に形成した掛縁
同志を綽掛Ｚで係止する。
らをビンＹで係止するかまたは予め上縁に形成した掛縁
同志を綽掛Ｚで係止する。
これがペルジャー内で使用される時、回転ｖｊ８．軸と
共にエピタキシャルガス流を受けるので、ガス流と回転
力とによって傑出板状体は僅かに遊チｈを起こす。均一
エピタキシャル成長の出来る限度に止まるように、回転
もガス流速も抑えられるが、遊動は板状体同志、板状体
と内部支柱構造との接触により板状体のカケ、パーティ
クルの発生等を起こし、エピタキシャル成長層の品質に
悪影響を及ぼして歩留りを悪くするばかりでなく、板状
体のライフをこの時を以て終止しなけらばならなくなる
。
共にエピタキシャルガス流を受けるので、ガス流と回転
力とによって傑出板状体は僅かに遊チｈを起こす。均一
エピタキシャル成長の出来る限度に止まるように、回転
もガス流速も抑えられるが、遊動は板状体同志、板状体
と内部支柱構造との接触により板状体のカケ、パーティ
クルの発生等を起こし、エピタキシャル成長層の品質に
悪影響を及ぼして歩留りを悪くするばかりでなく、板状
体のライフをこの時を以て終止しなけらばならなくなる
。
［発明が解決しようとする問題点コ
紺立式は多数の板状部材の相互固定方法次第で、バレル
型サセプタの性能の優劣が決る。上記カギ形の紹介せて
隙間を無くそうとする目的も、相互固定方法によっては
十分な締め付けが出来ずにその目的も達成できない結果
となるから、多孔性と云う特殊な材質を持つ炭素質系部
材の局部的強度に弱い特質に対しては格別に優れた相互
固定方法を必要としている。現実に、エピタキシャル成
長をより均一ζこ正確に効率良く行う場合、大型の立体
炭素質物の中を制抜いて製作する非常に高価な一体にバ
レル型サセプタが使用され、これと比較された時紺立式
の弱点が明白となる。
型サセプタの性能の優劣が決る。上記カギ形の紹介せて
隙間を無くそうとする目的も、相互固定方法によっては
十分な締め付けが出来ずにその目的も達成できない結果
となるから、多孔性と云う特殊な材質を持つ炭素質系部
材の局部的強度に弱い特質に対しては格別に優れた相互
固定方法を必要としている。現実に、エピタキシャル成
長をより均一ζこ正確に効率良く行う場合、大型の立体
炭素質物の中を制抜いて製作する非常に高価な一体にバ
レル型サセプタが使用され、これと比較された時紺立式
の弱点が明白となる。
即ち、板状体サセプタの遊動をより効果的に抑えられな
ければ、板状体サセプタを交換自在とする組立バレル型
サセプタの長所を拡張できず、高価な９１抜バレル型サ
セプタに取って代わるものとならない。この壁を打破す
る為の固定方法が新たに１３１発されれば、従来止むを
得ず用いて来た内部支柱構造も不用になり、サセプタ同
様に同質系の高級炭素材料を使ったこの内部支柱構造を
割愛するコスト低下の効用もまた相当なものになる。
ければ、板状体サセプタを交換自在とする組立バレル型
サセプタの長所を拡張できず、高価な９１抜バレル型サ
セプタに取って代わるものとならない。この壁を打破す
る為の固定方法が新たに１３１発されれば、従来止むを
得ず用いて来た内部支柱構造も不用になり、サセプタ同
様に同質系の高級炭素材料を使ったこの内部支柱構造を
割愛するコスト低下の効用もまた相当なものになる。
このため、切抜バレル型サセプタに取って代り得ろ組立
式バレルをサセプタを製造する鍵か、固定手段の墳１発
にあることを認識して固定手段を鋭意追及した。
式バレルをサセプタを製造する鍵か、固定手段の墳１発
にあることを認識して固定手段を鋭意追及した。
［問題を解決するための手段］
本発明は、正多角形状を有する上支持体の該正多角側縁
にボルト孔を有し、前記正多角形状の相似正多角形状を
有する下支持体の該正多角９！４縁にボルト孔を有し、
前記正多角形側縁と前記相似正多角形ｍ縁とにそれぞれ
対応する上ＩＩｌ＆１及び下側縁を有しウェハー載置部
を備えるａ置板状体は左右接合側縁を有すると共に謹上
・下ｇＩ４縁にそれぞれ前記ボルト孔に対応する位置に
ボルト装着孔を有し、該ａｒｒｉ板状体の前記接合側縁
は隣のａ置板状体の前記接合ＩＩ！１縁と密接して衝合
される形状を有し、前記上支持体、下支持体、載置板状
体の形成に使用する炭素質材系と同質系の炭素質材で形
成したボルトを前記ボルト装着孔と前記ボルト孔に装着
して一体化することを特徴とし、ボルト形成する小径部
にネジ加工できる炭素質材料の１」発と平行して行った
本発明は、必要ならばウェハー萩置板、上・下支持体お
よびボルト表面にＳ ｉ Ｃ。
にボルト孔を有し、前記正多角形状の相似正多角形状を
有する下支持体の該正多角９！４縁にボルト孔を有し、
前記正多角形側縁と前記相似正多角形ｍ縁とにそれぞれ
対応する上ＩＩｌ＆１及び下側縁を有しウェハー載置部
を備えるａ置板状体は左右接合側縁を有すると共に謹上
・下ｇＩ４縁にそれぞれ前記ボルト孔に対応する位置に
ボルト装着孔を有し、該ａｒｒｉ板状体の前記接合側縁
は隣のａ置板状体の前記接合ＩＩ！１縁と密接して衝合
される形状を有し、前記上支持体、下支持体、載置板状
体の形成に使用する炭素質材系と同質系の炭素質材で形
成したボルトを前記ボルト装着孔と前記ボルト孔に装着
して一体化することを特徴とし、ボルト形成する小径部
にネジ加工できる炭素質材料の１」発と平行して行った
本発明は、必要ならばウェハー萩置板、上・下支持体お
よびボルト表面にＳ ｉ Ｃ。
ＳｉＮ等のコーティング処理を行っても良いが、敢えて
コーティングせずにこれらを全て同質系炭素質材で製作
することでエピタキシャル成長層が不純物で汚染される
のを防ぐことが出来る。
コーティングせずにこれらを全て同質系炭素質材で製作
することでエピタキシャル成長層が不純物で汚染される
のを防ぐことが出来る。
［作用及び実施例］
第５図の炭素質材製ポル）１は、例えば前記り支持体、
下支持体、載置板状体の形成に使用する炭素質材系の特
殊小型部品であって、次の範囲で使用できる。
下支持体、載置板状体の形成に使用する炭素質材系の特
殊小型部品であって、次の範囲で使用できる。
頭部径（Ｉｌｌｌ）＝８〜１２、好ましくは１０ｍ＋１
ネジ部（＋＋＋ｍ）：５〜９、好ましくは７ｉｎ＋ネジ
ピツチ（１１１１）：０１１７〜１．５、好ましくは１
．２５＋＋＋＋＋ 嵩比重１．７５〜１．９５（好ましくは１．８５〜ｌ
ｅ９５ ） 、また気孔率１−１５％（好ましくは１〜
５％）の炭素質材を使用し・、特に緻密化した高密度炭
素質材の気孔率は４〜１％にまで下げることが出来、ま
た高純度処理もできる高級材質である。これに対してネ
ジ加工法を変えながら試作を繰り返した結果、高速カス
流を受けて撮動せずに耐えるネジ締めを可能にするネジ
山と、これに対応するネジ満を作製することに成功した
。堰ネジｆ１Ｍ８ｍｉｗ、雄ネジ側７ ｒａｔｓでやや
緩い締め１−ｉけ］辰動の抑；１７３を達成する。頭部
に設けるドライバー用講も、マイナス沼に限らずプラス
γ：４も形成して、ドライバー等による締付が出来る。
ネジ部（＋＋＋ｍ）：５〜９、好ましくは７ｉｎ＋ネジ
ピツチ（１１１１）：０１１７〜１．５、好ましくは１
．２５＋＋＋＋＋ 嵩比重１．７５〜１．９５（好ましくは１．８５〜ｌ
ｅ９５ ） 、また気孔率１−１５％（好ましくは１〜
５％）の炭素質材を使用し・、特に緻密化した高密度炭
素質材の気孔率は４〜１％にまで下げることが出来、ま
た高純度処理もできる高級材質である。これに対してネ
ジ加工法を変えながら試作を繰り返した結果、高速カス
流を受けて撮動せずに耐えるネジ締めを可能にするネジ
山と、これに対応するネジ満を作製することに成功した
。堰ネジｆ１Ｍ８ｍｉｗ、雄ネジ側７ ｒａｔｓでやや
緩い締め１−ｉけ］辰動の抑；１７３を達成する。頭部
に設けるドライバー用講も、マイナス沼に限らずプラス
γ：４も形成して、ドライバー等による締付が出来る。
この炭り質材ポル）１を使って組み立てたのが、第１−
４図に示す組立式バレル型サセプタ２である。ｔ・下支
持体３．４の正多角形縁５に直接ウェハ−＋１置扱状体
６をポル）１で組Ｉ寸ける。ボルト孔１ｂはＬ・下支持
体３．４の正多角形縁５に、またボルトＨ着孔１ａは板
状体６のその対応部に形＋＋ｔされる。ウェハーは円形
凹部６ａ内に収められる。
４図に示す組立式バレル型サセプタ２である。ｔ・下支
持体３．４の正多角形縁５に直接ウェハ−＋１置扱状体
６をポル）１で組Ｉ寸ける。ボルト孔１ｂはＬ・下支持
体３．４の正多角形縁５に、またボルトＨ着孔１ａは板
状体６のその対応部に形＋＋ｔされる。ウェハーは円形
凹部６ａ内に収められる。
ヘルジャー内にセットされた組立式バレル型サセプタ２
にエピタキシャルｈ（援用カスを供給する時、先ず、ガ
ス流を乱す原因となる表面の凹凸が岸いはかりでなくボ
ルト締めは板状体６の遊動振動を完全に制止出来る為、
切抜式バレル型サセプタの場合ｉｒ能であった高速でエ
ピタキシャル・カスを供給出来、必要な回転を与えるこ
とが出来る。
にエピタキシャルｈ（援用カスを供給する時、先ず、ガ
ス流を乱す原因となる表面の凹凸が岸いはかりでなくボ
ルト締めは板状体６の遊動振動を完全に制止出来る為、
切抜式バレル型サセプタの場合ｉｒ能であった高速でエ
ピタキシャル・カスを供給出来、必要な回転を与えるこ
とが出来る。
カス流速は２５０リットル／分を可能にする。板状体６
等のカケ、パーティクルの発生等は未然に防止される。
等のカケ、パーティクルの発生等は未然に防止される。
交Ｉ９可能な板状体６のライフは従来の１０倍以１−に
出来、１ｉ＃られるエピタキシャル成長層の品質は従来
より不純物含何量を抑えた高品質の規格品を：１ｊ産て
きる。
出来、１ｉ＃られるエピタキシャル成長層の品質は従来
より不純物含何量を抑えた高品質の規格品を：１ｊ産て
きる。
カーボンポル）１による顕著な性能向上を確認して、−
層のガス高速流化に備え、隣り合う板状体６相互の！１
縁６ｂをカギ形６Ｃ〜６ｅについ゛Ｃテストされた。衝
合型６ｅは側縁６ｂの刻象接合面に相互に衝き当たるタ
イプで、カーボンボルトｌの締付力は全体に対象に働き
、全ての板状体６を同形で用意できる。重合型６ｄは一
方の側縁６ｂの裏側に他方の４１！４縁６ｂが重なるタ
イプで、カーボンボルトｌの締付力は全体に対して時計
方向ないしその反対方向に順に働いて全体を緊締し、左
ＧＰ縁６ｂの形を変えた板状体６の量産により交換自在
とする。これらは、即ち全体でカギ形接合効果を上げる
ようにカーボンポル）ｌが働き、緊締面は密接性を高め
て流通カスの周辺流通を良く規制する。
層のガス高速流化に備え、隣り合う板状体６相互の！１
縁６ｂをカギ形６Ｃ〜６ｅについ゛Ｃテストされた。衝
合型６ｅは側縁６ｂの刻象接合面に相互に衝き当たるタ
イプで、カーボンボルトｌの締付力は全体に対象に働き
、全ての板状体６を同形で用意できる。重合型６ｄは一
方の側縁６ｂの裏側に他方の４１！４縁６ｂが重なるタ
イプで、カーボンボルトｌの締付力は全体に対して時計
方向ないしその反対方向に順に働いて全体を緊締し、左
ＧＰ縁６ｂの形を変えた板状体６の量産により交換自在
とする。これらは、即ち全体でカギ形接合効果を上げる
ようにカーボンポル）ｌが働き、緊締面は密接性を高め
て流通カスの周辺流通を良く規制する。
カギ形６Ｃはその一側縁６ｂのカギ形を板状体の平面と
略平行な面を含むように形成し、これに対応するカギ形
面を隣の板状体Ｎ縁６ｂに形成する。−個の板状体６の
左右ｙ４縁６ｂにそれぞれのカギ形を備えて量産すれば
、交換自在となる。カーボンボルトｌの締付力は前記平
行面を介して接合カキ部から全体に働き全接合部の密着
性を高めてガス流規制を全うする。ガス流規制効果は、
従来の紺つ弐バレル型サセプタの接合面に起こったガス
の内外流通を防止してベルジャー内ガス流の乱れを回避
し、ｚす抜穴バレル型サセプタと同程度の性能を引出す
一要因となる。
略平行な面を含むように形成し、これに対応するカギ形
面を隣の板状体Ｎ縁６ｂに形成する。−個の板状体６の
左右ｙ４縁６ｂにそれぞれのカギ形を備えて量産すれば
、交換自在となる。カーボンボルトｌの締付力は前記平
行面を介して接合カキ部から全体に働き全接合部の密着
性を高めてガス流規制を全うする。ガス流規制効果は、
従来の紺つ弐バレル型サセプタの接合面に起こったガス
の内外流通を防止してベルジャー内ガス流の乱れを回避
し、ｚす抜穴バレル型サセプタと同程度の性能を引出す
一要因となる。
列後バレル型サセプタ、従来の組立式バレル型サセプタ
、本発明のボルド一体刊立弐バレル型サセプタに関して
行ったエピタキシャル成長処理におけるエピタキシャル
層の規定膜厚に対するユニフォーミティおよびサセプタ
のライフ（回数）を次表に示す。注１．２はサセプタの
板状部材が全部交換されるまでの使用回数の平均値であ
る。ユニフォーミティの％数値が狭いほど規格膜厚に近
いエピタキシャル成長がコントロールされる。
、本発明のボルド一体刊立弐バレル型サセプタに関して
行ったエピタキシャル成長処理におけるエピタキシャル
層の規定膜厚に対するユニフォーミティおよびサセプタ
のライフ（回数）を次表に示す。注１．２はサセプタの
板状部材が全部交換されるまでの使用回数の平均値であ
る。ユニフォーミティの％数値が狭いほど規格膜厚に近
いエピタキシャル成長がコントロールされる。
［発明の効果コ
本発明の組立式バレル型サセプタはボルトによって一体
的に構成されるから、板状体の遊動振動を完全に制止出
来る為、９１抜式バレル型サセプタの場合に許された高
速のエピタキシャル・カスを供給出来、また必要な回転
を与えることか出来ろと同時に、従来の組立式に不可欠
であった内部支柱構造用の高価な炭素質材を節約して製
造コストを引下げることが出来、更にガス流を乱す原因
となる表面の凹凸が無いばかりでなく接合面におけるガ
スの内外流通を防いているから、ペルジャー内における
エピタキシャル成長用ガスとむらの漸い均等な接触を行
って高品質のエピタキシャルＩ＋３ｊ長層な作ることが
出来、高価な別法式バレル型サセプタに取って代り得る
高性能の組立式バレル型サセプタである。
的に構成されるから、板状体の遊動振動を完全に制止出
来る為、９１抜式バレル型サセプタの場合に許された高
速のエピタキシャル・カスを供給出来、また必要な回転
を与えることか出来ろと同時に、従来の組立式に不可欠
であった内部支柱構造用の高価な炭素質材を節約して製
造コストを引下げることが出来、更にガス流を乱す原因
となる表面の凹凸が無いばかりでなく接合面におけるガ
スの内外流通を防いているから、ペルジャー内における
エピタキシャル成長用ガスとむらの漸い均等な接触を行
って高品質のエピタキシャルＩ＋３ｊ長層な作ることが
出来、高価な別法式バレル型サセプタに取って代り得る
高性能の組立式バレル型サセプタである。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図で、第２図はそ
の縦断面図、第３図はウェハー載置用円形凹部を省略し
たその平面図、第４図はその底面図、第５図はカーボン
ボルトの断面図、第６図はカギ形側縁の王制を示す用部
平面図、第７図は従来例を示す要部断面図である。 １：炭素質材ボルト ２：組立式バレル型サセプタ ３．４：上、下支持体 ５：正多角形縁 ６：板状体 ６ｂ二側縁 ６Ｃ：カギ形 出願人 東芝セラミックス株式会社
の縦断面図、第３図はウェハー載置用円形凹部を省略し
たその平面図、第４図はその底面図、第５図はカーボン
ボルトの断面図、第６図はカギ形側縁の王制を示す用部
平面図、第７図は従来例を示す要部断面図である。 １：炭素質材ボルト ２：組立式バレル型サセプタ ３．４：上、下支持体 ５：正多角形縁 ６：板状体 ６ｂ二側縁 ６Ｃ：カギ形 出願人 東芝セラミックス株式会社
Claims (1)
- 正多角形状を有する上支持体の該正多角側縁にボルト
孔を有し、前記正多角形状の相似正多角形状を有する下
支持体の該正多角側縁にボルト孔を有し、前記正多角形
側縁と前記相似正多角形側縁とにそれぞれ対応する上側
縁及び下側縁を有しウェハー載置部を備える載置板状体
は左右接合側縁を有すると共に該上・下側縁にそれぞれ
前記ボルト孔に対応する位置にボルト装着孔を有し、該
載置板状体の前記接合側縁は隣の載置板状体の前記接合
側縁と密接して衝合される形状を有し、ボルトを前記ボ
ルト装着孔と前記ボルト孔に装着して一体化することを
特徴とする組立式バレル型サセプタ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12181688A JPH01294596A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 組立式バレル型サセプタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12181688A JPH01294596A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 組立式バレル型サセプタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01294596A true JPH01294596A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14820642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12181688A Pending JPH01294596A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 組立式バレル型サセプタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01294596A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5637296A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Epitaxially growing apparatus |
| JPS6227399A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 組立式バレル型サセプタ |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP12181688A patent/JPH01294596A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5637296A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Epitaxially growing apparatus |
| JPS6227399A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 組立式バレル型サセプタ |
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