JPH01295129A

JPH01295129A - 差圧測定装置

Info

Publication number: JPH01295129A
Application number: JP12553888A
Authority: JP
Inventors: Saichiro Morita; 森田　佐一郎; Akio Fujita; 藤田　晃朗
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1988-05-23
Filing date: 1988-05-23
Publication date: 1989-11-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉第６図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明か解決しようとする課題〉しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管か必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
ダウンか図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
により、コストタウンが図れ、入力回路の切り換えか容
易確実な差圧測定装置を提供するにある。

く課題を解決するための手段〉この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を異面する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端かそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通するシール室を構成するシールタイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールタイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端
が外部に受圧接続口として開１」する２個の接続孔と、
前記ベースブロックに設けれ前記２個の接続孔を連通ず
る均圧孔と該均圧孔の途中に設けられた棒状の弁シャフ
トと該弁シャフトに設けられた２個の弁体と該弁体に対
向して前記均圧孔の途中に設けられた弁座とを備え通常
は前記接続孔の一方を連通しゼロ点調節時には前記弁シ
ャフトを該弁シャフトの軸方向に移動して前記一方の接
続孔の連通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側と前記
接続孔の他方とを連通する２ボー１へ弁とを具備してな
る差圧測定装置を構成したものである。

く作用〉以上の構成において、通常は、接続孔はそれぞれ連通さ
れているので、本体の左右から、測定圧力か加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する。測
定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定タイア
フラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、弁シャフトをシャフトの軸方向に移動して、弁体
と弁座との接離により一方の接続孔の連通を切り、一方
の接続孔の受圧室側と接続孔の他方とを連通してから、
装置のゼロ点を調整する以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図でである。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は第２図に示すごとく、金属よりなるブロック状の
本体である。

１２は本体１１に設けられた内部室である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分は移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１．１．３２は内部室１２の壁面に設けられセラミ
ックスのプラズマ溶射膜よりな本紀縁膜である。この場
合は、０２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３’３，１３４は絶縁膜１３］、、１３２の表面上に
、測定タイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそ
れぞれ設けられた固定電極である。

２は差圧センサ部１に一端かそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧管２と連通ずるシール室３２を構成するシール
タイアフラムである。

４は受圧ブロック３か取付けられシールタイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けられ受圧室４１に
一端が連通され他端が外部に受任接続口として開口する
２個の接続孔である。

この場合は、接続孔４３は測定流体の高圧側に、接続孔
４４は低圧側に接続されている。

５は２ポート弁で、第３図、第４図に示すごとく、ベー
スブロック４に設けられ接続孔４３と接続孔４４とを連
通する均圧孔５１と、均圧孔５１の途中に設けられた棒
状の弁シャフト５２と、弁シャフト５２に設けられた２
個の弁体５３と、弁体５３に対向してベースブロック４
に設けられた弁座５４とを備える。

２ポート弁５は通常は接続孔４４を連通しゼロ点調節時
には弁シャフト５２を弁シャフト５２の軸方向に移動し
て接続孔４４の連通を切り接続孔４４の受圧室側と接続
孔４３とを連通ずる。

６は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。

６１はカバー６に取付けられ、電子部品の取付けられた
プリント板ユニットである。

１０１．１０２は、測定室１４，１５、導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルか用いられている。

以上の構成において、通常は、接続孔４３．４４は、そ
れぞれ連通されているので、本体１１の左右から、測定
圧力か加わり、測定タイアフラム１３は測定圧力の差圧
によって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によっ
て、固定電極１３３゜１３４と測定タイアフラム１３と
の静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号
出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、第５図に示すごとく、弁シャフト５２を弁シャフ
ト５２の軸方向に移動して、接続孔４４の連通を切り、
接続孔４４の受圧室側と接続孔４３とを連通してから装
置のゼロ点を調整するこの結果、（１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケッ１−等
か不要となり、小型、軽量、コメ１〜タウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりヘ−スブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体か高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く、測定可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、弁シャフト５２を、移動す
れはよいので、ワンタッヂで出来る。

（５）入力回路の切り換えは、弁体５３と弁座５４とで
行なわれるので、代願性があり、かつ、確実に切替えら
れる。

（６）絶縁ｒ！Ａ１３１．１３２として、セラミックス
の溶射膜を用いているので、極めて薄くできるので、本
体１１を大きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上け
ることか出来るので、本体１１を小形化でき、装置全体
を小形化できる。

なお、前述の実施例においては、２ポート弁は、マニア
ル操作のものについて説明したが、電磁弁等を使用した
リモート式の弁でも良いことは勿論である。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明は、過大圧保護機ｉｔ具備
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端か
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ず
るシール室を構成するシールタイアフラムと、前記受圧
ブロックか取付けられ該シールタイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端か外部
に受圧接続口として開口する２個の＃読札と、前記ベー
スブロックに設けれ前記２個の接続孔を連通ずる均圧孔
と該均圧孔の途中に設けられた棒状の弁シャフトと該弁
シャフトに設けられた２個の弁体と該弁体に対向して前
記均圧孔の途中に設けられた弁座とを備え通常は前記接
続孔の一方を連通しゼロ点調節時には前記弁シャフトを
該弁シャフトの軸方向に移動して前記一方の接続孔の連
通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔の
他方とを連通ずる２ポート弁とを具備してなる差圧測定
装置を構成しな。

この結果、（１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストタウンが図れる。

（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置か得られる。

（４）入力回路の切換えは、ビス１〜ンを、摺動すれば
よいので、ワンタッチで出来る。

（５）入力回路の切り換えは、弁体と弁座とで行−１１
＝なわれるので、信頼性があり、かつ、確実に切替えられ
る。

従って、本発明によれは、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストタウンが図れ、入力回路の切り換
えの容易確実な差圧測定装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図、第５図は第１図の要部構成説明図、第
６図は従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図である。１・・・差圧センサ部、１０１．．１０２．・・・封入
液、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測
定ダイアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３
，１３４・・・固定電極、１４，１．５・・・測定室、
２・・・導圧管、３・・・受圧ブロック、３１・・・シ
ールタイアフラム、３２・・・シール室、４・・・ベー
スブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹部、４３
．４４・・・接続孔、５・・・２ポート弁、５１・・・
均圧孔、５２・・・弁シャフト、５３・・・弁体、５４
・・・弁座、６・・・カバー、６１・・・プリー　１２
　＝ント板ユニット。第３図第６図一θ（−へ鷺 ″″３１≧１１硬乱゛六、＃

Claims

【特許請求の範囲】

過大圧保護機構を具備する差圧センサ部と、該差圧セン
サ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管
と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
と、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロック
と前記導圧管と連通するシール室を構成するシールダイ
アフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダ
イアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロ
ックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端
が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個
の接続孔と、前記ベースブロックに設けれ前記２個の接
続孔を連通する均圧孔と該均圧孔の途中に設けられた棒
状の弁シャフトと該弁シャフトに設けられた２個の弁体
と該弁体に対向して前記均圧孔の途中に設けられた弁座
とを備え通常は前記接続孔の一方を連通しゼロ点調節時
には前記弁シャフトを該弁シャフトの軸方向に移動して
前記一方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前記受
圧室側と前記接続孔の他方とを連通する２ポート弁とを
具備してなる差圧測定装置。