JPH02269932A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉 第６図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
ダウンが図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
により、コストダウンが図れ、静圧スパン変動が少なく
、入力回路の切り換えの容易な差圧測定装置を提供する
にある。

、　　く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の金
属材よりなる本体と該本体内部に設けられ対向する球面
よりなる内部室と該内部室を測定圧が導入される２個の
測定室に分け移動電極として機能する測定ダイアフラム
と該測定ダイアフラムに対向して前記内部室の壁面に絶
縁体を介して設けられた固定電極とブロック状のハウジ
ングと該ハウジングに設けられ前記本体を隙間を保って
内蔵する内部空所と前記本体とハウジングに設けられ前
記測定室にそれぞれ一端が接続され一方の途中が前記内
部空所に連通され他端が該ハウジングの外部に開口する
連通孔とを備える差圧センサ部と、前記連通孔の他端に
一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該
導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該
受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記
導圧管と連通ずるシール室を構成するシールダイアフラ
ムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフ
ラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロックと
、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通
され他端が外部に受圧接続口として開口する２ｆｌｌの
接続孔と、前記ベースブロックに設けられロータリ弁本
体の周面に設けられな連通溝により通常は該接続孔の一
方を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を回動して該一
方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側
と前記接続孔の他方とを連通ずるロータリ形均圧弁とを
具備してなる差圧測定装置を構成したものである。

く作用〉 以上の構成において、通常は、接続孔はそれぞれ連通さ
れているので、本体の左右から、測定圧力が加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する。測
定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダイア
フラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、ロータリ弁本体の周面に設けられた連通溝を回動
して一方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の受圧室
側と接続孔の他方とを連通してから装置のゼロ点を調整
する また、本体はハウジングの内部空所に配置され、一方の
測定圧が本体の外側から加わるようにされている。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は第２図に示すごとく、ブロック状の金属よりなる
本体である。

１２は本体１１に設けられ対向する球面よりなる内部室
である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分け移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１．１３２は内部室１２の壁面に設けられセラミッ
クスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である、この場合
は、０，２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３３．１３４は絶縁膜１３１．１３２の表面上に、測
定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁面にそれ
ぞれ設けられた固定電極である。

１６は第１図に示すごとく、ブロック状のハウジングで
ある。

１６１はハウジング１６に設けられ本体１１を隙間を保
って内蔵する内部空所である。

１７は本体１１とハウジング１６に設けられ測定室１４
．１５にそれぞれ一端が接続され一方の途中が内部空所
に連通され曲端がハウジング１６の外部に開口する連通
孔である。

２は連通孔１７の他端に一端がそれぞれ接続され測定圧
を導圧する導圧管である。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧プロ・レ
フである。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロツク
３と導圧管２と連通するシール室３２を構成するシール
ダイアフラムである。

４は受圧ブロック３が収付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けられ受圧室４１に
一端が連通され曲端が外部に受圧接続口として開口する
２個の接続孔である。

この場合は、接続孔４３は高圧側に、接続孔４４は低圧
側に接続されている。

５は第４図に示すごとく、ベースブロック４に設けられ
、ロータリ弁本体５１の周面に設けられた連通溝５２に
より、通常は接続孔４４を連通し、ゼロ点調節時には、
連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を切り接続孔４
４の受圧室４２ｆＦＩと接続孔４３とを連通するロータ
リ形均圧弁である。

６は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。

６１はカバー６に取付けられ、電子部品の取付けられた
プリント板ユニットである。

１０１．１０２はミ測定室１４，１５、導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルか用いられている。

以上の構成において、通常は、接続孔４３．４４はそれ
ぞれ連通されているので、本体１１の左右から、測定圧
力が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧に
よって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によって
、固定電極１３３゜１３４と測定ダイアフラム１３との
静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出
力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、第５図に示すごとく、ロータリ弁本体５１の周面
に設けられた連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を
切り接続孔４４の受圧室４２１１！Ｉと接続孔４３とを
連通してから装置のゼロ点を調整する また、本体１１はハウジング１６の内部空所１６１に配
置され、一方の測定圧が本体１１の外側から加わるよう
にされている。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く測定可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、ロータリー弁の本体５１を
、回動すればよいので、ワンタッヂで出来る。

（５）絶縁膜１３１，１３２として、セラミックスの溶
射膜を用いれば、極めて薄くできるので、本体１１を大
きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げることが出
来るので、本体１１を小形化出来る。

（６）本体１１はハウジング１６の内部空所１６１に配
置され、一方の測定圧が本体１１の外側から加わるよう
にされているので、静圧スパン変動の少ないものが得ら
れる。

なお、前述の実施例においては、ロータリ形均圧弁５は
、マニアル操作のものについて説明したが、電磁弁等を
使用したリモート式の弁でも良いことは勿論である。

〈発明の効果〉 以上説明しなように、本発明は、ブロック状の金属材よ
りなる本体と該本体内部に設けられ対向する球面よりな
る内部室と該内部室を測定圧が導入される２個の測定室
に分け移動電極として機能する測定ダイアフラムと該測
定ダイアフラムに対向して前記内部室の壁面に絶縁体を
介して設けられた固定電極とブロック状のハウジングと
該ハウジングに設けられ前記本体を隙間を保って内蔵す
る内部空所と前記本体とハウジングに設けられ前記測定
室にそれぞれ一端が接続され一方の途中が前記内部空所
に連通され他端が該ハウジングの外部に開口する連通孔
とを備える差圧センサ部と、□　　前記連通孔の他端に
一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該
導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該
受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記
導圧管と連通ずるシール室を構成するシールダイアフラ
ムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフ
ラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロックと
、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通
され他端が外部に受圧接続口として開口する２個の接続
孔と、前記ベースブロックに設けられロータリ弁本体の
周面に設けられた連通溝により通常は該接続孔の一方を
連通しゼロ点調節時には前記連通溝を回動して該一方の
接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側と前
記接続孔の他方とを連通するロータリ形均圧弁とを具備
してなる差圧測定装置を構成した。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３〉差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら龍されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、ロータリー弁本体を回動す
ればよいので、ワンタッチで出来る。

（５）本体はハウジングの内部空所に配置され、一方の
測定圧が本体の外側から加わるようにされ・ているので
、静圧スパン変動の少ないものが得られる。

従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等により、コストダウンが図れ、静圧スパン変動
が少なく、入力回路の切り換えの容易な差圧測定装置を
実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図、第５図は第１図の要部構成説明図、第
６図は従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図である。 １・・・差圧センサ部、１０１，１０２．・・・封入液
、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定
ダイアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３．
１３４・・・固定電極、１４．１５・・・測定室、１６
・・・ハウジング、１６１・・・内部空所、１７・・・
連通孔、２・・・導圧管、３・・・受圧ブロック、３１
・・・シールダイアフラム、３２・・・シール室、４・
・・ベースブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹
部、４３．４４・・・接続孔、５・・・ロータリー均圧
弁、５１・・・ロータリー弁本体、５２・・・連通溝、
６・・・カバー、６１・・・プリント板ユニット。 第３図 差圧センサ部 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ブロック状の金属材よりなる本体と該本体内部に設けら
   れ対向する球面よりなる内部室と該内部室を測定圧が導
   入される２個の測定室に分け移動電極として機能する測
   定ダイアフラムと該測定ダイアフラムに対向して前記内
   部室の壁面に絶縁体を介して設けられた固定電極とブロ
   ック状のハウジングと該ハウジングに設けられ前記本体
   を隙間を保って内蔵する内部空所と前記本体とハウジン
   グに設けられ前記測定室にそれぞれ一端が接続され一方
   の途中が前記内部空所に連通され他端が該ハウジングの
   外部に開口する連通孔とを備える差圧センサ部と、前記
   連通孔の他端に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧す
   る導圧管と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧
   ブロックと、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧
   ブロックと前記導圧管と連通するシール室を構成するシ
   ールダイアフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該
   シールダイアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベ
   ースブロックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧
   室に一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口
   する２個の接続孔と、前記ベースブロックに設けられロ
   ータリ弁本体の周面に設けられた連通溝により通常は該
   接続孔の一方を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を回
   動して該一方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前
   記受圧室側と前記接続孔の他方とを連通するロータリ形
   均圧弁とを具備してなる差圧測定装置。