JPH0129552Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、入力の圧力差を検出し、これを電気
信号として出力する差圧検出装置に関するもので
ある。

〔従来技術〕

この種の検出装置においては、入力および出力
の媒体を全く異にする関係上、接続の便利のため
に入力および出力の各端子をそれぞれ異なる方
向、特に反対方向に定めたいという要求がある。

しかしながら、このような要求は簡単な構成で
満足することは困難で、従来構成の簡素化を優先
するために、第１図に示したように圧力の入力、
電気出力ともに同一方向に定めざるを得なかつ
た。すなわち、図において１１は円板状の台座
で、この台座１１を貫通して設けられた通気孔１
２の開口を塞ぐように感圧半導体素子からなる圧
力センサ１３が気密固着されて圧力室１４を形成
するとともに、同じく台座１１を貫通して圧力セ
ンサ１３の出力を取り出す導体１５を有する気密
シール端子１６が設けられている。圧力センサ１
３を覆つて圧力容器１７が周辺の溶接部１８にお
いて溶接され、台座１１を貫通して設けられた他
の通気孔１９に通じる圧力室２０を構成してい
る。図から明らかなように、第１および第２の圧
力入力用の通気孔１９および１２ならびに電気信
号出力用の導体１５のいずれも、台座１１の同一
主面に配設されている。

〔考案の目的および構成〕

本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、簡単な構成で、しかも入
出力面をそれぞれ異なる方向に定めることが可能
な差圧検出装置を提供することにある。

このような目的を達成するために、本考案は、
感圧半導体素子を固着した台座に対し、この台座
を収容する凹部を有する圧力容器を備え、この凹
部に感圧半導体素子を内がわにして台座を嵌合さ
せて側面を電子ビーム溶接により固着したもので
ある。以下、図示する実施例を用いて本考案を詳
細に説明する。

〔実施例〕

第２図は、本考案の一実施例を示す断面図であ
る。図において、２１は円板状の台座で、内部を
通気孔２２が貫通し一端が主面に、他端が側面に
開口している。この主面がわ開口を塞ぐように、
感圧半導体素子からなる差圧形の圧力センサ２３
が台座２１の主面に気密固着してある。したがつ
て、通気孔２２の圧力センサ２３に面した開口付
近は、第１の圧力室２２ａを構成している。ま
た、圧力センサ２３の出力を取り出す導体２４を
有する気密シール端子２５が、台座２１の両主面
を貫通して設けてある。これに対し、凹部を有す
る圧力容器２６があり、上記台座２１は、圧力セ
ンサ２３を内がわにして上記凹部に嵌合してあ
る。この結果、凹部底部は圧力センサ２３の周囲
に第２の圧力室２７を形成する。また、圧力容器
２６は、凹部側面に、上記台座２１の通気孔２２
の側面がわ開口に対応して開口した通気孔２８を
有するとともに、圧力室２７に開口した通気孔２
９を有する。上記通気孔２２の側面がわ開口と通
気孔２８とが対応する部分は、第３図に示したよ
うに台座２１の側面に溝２１ａを設けるとともに
圧力容器２６の凹部側面にもこれに対応した溝２
６ａが設けてあり、通気孔２８と２２とは、これ
らの溝２１ａ，２６ａによつて全周に形成される
空間を介して連結する構成をとつている。したが
つて、圧力容器２６の凹部に台座２１を嵌合させ
る場合、周方向について通気孔２８と２２の開口
を合せる位置合せは不要である。

ここで、台座２１の側面と圧力容器２６の凹部
側面とは、電子ビーム溶接を用いて固着する。電
子ビーム溶接は、真空中、特に高真空中で電子銃
３０から発生される電子線を高速で境界面に衝撃
させ、その発熱によつて溶接する方法であるが、
幅が狭く深い溶込みが可能で、しかも溶接深さが
ビーム出力によつて自由に制御できる特長を有し
ている（ビーム幅が広がり、溶込みは減少する
が、大気中での溶接も可能である）。この電子ビ
ーム溶接を用いて、溝２１ａ，２６ａにより形成
される空間を挾んで上下の境界面ＡおよびＢを同
時に溶接することができる。

上記構成において、通気孔２８から第１の圧力
が入力されるとともに、通気孔２９から第２の圧
力が入力され、その差圧に応じて導体２４から電
気出力が取り出される。すなわち、入力および出
力の取り出し面ないし取り出し方向が全く反対方
向に設定されている。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案によれば、感圧半
導体素子を固着した台座に対し、この台座を収容
する凹部を有する圧力容器を備え、この凹部に感
圧半導体素子を内がわにして台座を嵌合し、側面
を電子ビーム溶接で固着したことにより、感圧半
導体素子の出力を取り出す導体を台座を貫通させ
て引き出すとともに、圧力容器を貫通する通気孔
を通して第１および第２の圧力を入力することに
よつて、簡単な構成で、しかも入出力を異なる方
向に分離することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の差圧検出装置の構成例を示す断
面図、第２図は本考案の一実施例を示す断面図、
第３図は台座部分の外観を示す斜視図である。 ２１……台座、２２……通気孔、２３……圧力
センサ（感圧半導体素子）、２４……導体、２５
……気密シール端子、２６……圧力容器、２７…
…圧力室、２８……第１の圧力入力用の通気孔、
２９……第２の圧力入力用の通気孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 円板状の台座と、この台座を貫通し一端が主面
   に、他端が側面に開口した通気孔と、この通気孔
   の上記主面がわの開口を塞ぐように台座の主面上
   に気密固着された感圧半導体素子と、台座の両主
   面を貫通して設けられた感圧半導体素子の出力を
   取り出す導体を有する気密シール端子と、台座を
   収容する凹部とを有し当該凹部に感圧半導体素子
   を内がわにして台座を嵌合して側面を電子ビーム
   溶接により固着してなる圧力容器とを備え、上記
   圧力容器は、上記凹部側面に上記台座の通気孔の
   側面がわ開口に対応して開口した第１の圧力入力
   用の通気孔を有するとともに凹部底部の感圧半導
   体素子の周囲に形成される圧力室に開口した第２
   の圧力入力用の通気孔を有することを特徴とする
   差圧検出装置。