JPH01296420A - 磁気記録または再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は磁気記録媒体に情報の磁気記録または再生を行
なう装置に関し、特に基板上に絶縁膜を介して磁性膜か
ら成る主磁極が設けられ、該主磁極の端面が磁気記録媒
体に対向する薄膜磁気ヘッドを記録媒体に対して相対的
に移動させて垂直磁気記録方式で情報の磁気記録または
再生を行なう磁気記録または再生装置に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来の一般的な磁気記録はリング型の磁気ヘッドにより
磁気記録媒体の面内方向に残留磁化を形成する面内方向
記録方式のものであったが、この方式では記録の高密度
化に伴ない記録媒体内の反磁界か大きくなり、高密度記
録に限界かあった。

この問題を解決すべく提案されたものが垂直磁気記録方
式であり、記録媒体の厚み方向すなわち記録面に垂直な
方向に交互に残留磁化を形成するもので、短波長特性等
に優れ高密度信号記録が可能であることが確認されてい
る。また更に高密度記録を達成するためには高速の情報
転送が必要であり、このために同時に多数の情報信号す
なわち情報データを同一の記録媒体上に記録しかつ再生
できるように信号記録方式をマルチチャンネル化するこ
とが重要な研究課題とされている。そのために最近では
マルチチャンネル型磁気ヘッドを用いた垂直磁気記録方
式の研究開発か進められている。

第１３図に従来提案されているマルチチンネル化の磁気
ヘッドを用いた垂直磁気記録の様子を示す。この磁気ヘ
ッドは補助磁極励磁型のヘッドであって、従来の単一ト
ラック用補助磁極励磁型のものをトラック幅方向に複数
個並設し、マルチチャンネル化を図ったものである。

図示のようにこの磁気ヘッドは磁気記録媒体である磁気
テープＴの上方にそのテープ幅方向に沿って一定間隔を
置いて平行に並設された複数の主磁極１ａ、ｌｂ、Ｉｃ
・・・と、下方に磁気テープＴを挟んで主磁極１ａ、Ｉ
ｂ、Ｉｃ・・・のそれぞれと対で対向するように並設さ
れた補助磁極２ａ。

２ｂ、２ｃ・・・から成る。補助磁極２ａ、２ｂ。

２ｃ・・・のそれぞれにはコイル３ａ、３ｂ、３”ｃ・
・・が巻回される。そしてコイル３ａ、３ｂ、３ｃ・・
・に外部から信号電流を印加し補助磁極２ａ。

２ｂ、２ｃ・・・を励磁することにより、各補助磁極の
上端面から信号電流に応じた磁束が漏れ、それぞれの磁
束は高透磁率磁性材から成る主磁極ｌａ、ｌｂ、ｌｃ・
・・のそれぞれに集中して流れ、その間で磁気テープＴ
の垂直磁化膜を膜面に垂直な方向に交互に反転して磁化
する。そしてそれぞれの磁化部分が記録トラック４ａ、
４ｂ、４ｃ・・・となる。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら第１３図のような従来の垂直磁気記録方式
によれば主磁極が磁気テープの幅方向に互いに平行に直
列に並設されているため、一定のテープ幅内に複数の記
録トラックを納めよう、とじた場合に、主磁極の幅を極
力狭くして磁気テープに記録された記録トラックの幅を
極力狭くしない限り高トラツク密度化を達成することは
できず、それによる記録の高密度化は図れかい。

これに対して高トラツク密度化を図るために薄膜形成技
術により主磁極を磁性膜から形成した薄膜磁気ヘッドを
用いる手法が考えられる。しかしこの薄膜磁気ヘッドを
用いる手法では、−船釣に記録トラック幅はフォトリソ
グラフィで加工される主磁極の磁性膜の幅により規定さ
れるため、更に高密度トラック化が進んでくるとフォト
リソグラフィによる加工では幅寸法に限界が生じてくる
という問題がある。

−１マルチチャンネル化のため磁気ヘッドをマルチチャ
ンネル化する場合には、従来の面内方向の磁気記録の例
から考えて再生ヘッドが正確に記録トラックの真上に位
置していても隣接する記録ｌ・ラッタの信号か混入し合
う、いわゆるトラック間クロストークか常に存在する。

ましてマルチチャンネル化されたことによって各トラッ
ク幅か数ミクロンオータまたはそれ以上の高密度トラッ
ク化されていることを考えると再生ヘッドと記録トラッ
クとの間の相対位置の誤差は必す生じているものと考え
なければなうなす、トラック間クロストークはかなり大
きな量になるものと考えられる。

これに対しクロストークを確実に防止しようとすれは第
１３図に符号Ｌ１．Ｌ２で示す記録トラック間のガード
ハンドの幅を十分に広く設定する必要かある。しかしそ
うすると高密度トラック化に十分に対処しえないという
問題かある。

更に高密度トラック化に伴なうた他の問題として記録ト
ラック幅を狭くするとＳ／Ｎ比か著しく低下し、良好な
記録再生が行なえなくなるという問題がある。また高密
度化に伴なって磁気ヘッドが微細化されるに伴ない、コ
イルパターンおよび配線も細線化され、コイルパターン
および配線の電気抵抗か高くなり、効率の良い記録再生
か難しくなるという問題がある。

そこで本発明の課題はこれらの問題を解決し、垂直磁気
記録方式において更に記録の高密度化を図ることにある
。

［課題を解決するための手段］ 上記の課題を解決するため本発明によれば、基板上に絶
縁膜を介して磁性膜からなる主磁極か設けられ、該主磁
極の端面が磁気記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドを該
記録媒体に対して相対的に移動させて垂直磁気記録方式
で情報の磁気記録または再生を行なう装置において、前
記薄膜磁気ヘッドの主磁極を構成する磁性膜の膜厚が記
録トラック幅となるように前記磁性膜の膜厚方向をトラ
ック幅方向に一致させた構造を採用した。

［作　用］ このような構造によれば薄膜磁気ヘッドの主磁極を構成
する磁性膜の膜厚が記録トラック幅となるので、薄膜磁
気ヘッドの製造工程における主磁極の磁性膜の成膜時に
膜厚の管理を正確に行なうことにより記録トラック幅を
高精度に極めて小さく設定することができる。

［実施例コ 以下、図を参照して本発明の実施例の詳細を説明する。

なお各図において共通もしくは相当する部分には同一符
号が付しである。

第１実施例 第１図及び第２図は本発明の第１実施例による垂直磁気
記録方式に係る薄膜磁気ヘッドの構造を説明する分解斜
視図及び記録動作時の斜視図である。

まず本実施例に係るヘッドの各部を製造工程に従って第
１図中の下から順に説明する。まず第１図において符号
５はフェライト等の高透磁率磁性材から成る基板である
。基板５上には５１０２等から成る絶縁膜６がスパッタ
リング等で堆積して形成される。

次に絶縁膜６上にはＣｕやＡｌ１等の良導体の導電膜か
ら成る引き出し電極を含むコイル７が蒸着やスパッタリ
ング等の薄膜堆積工程とフォトリソエツチング工程によ
り形成される。なおここでは図を簡単にするためコイル
７はほぼ１ターンとしであるが複数ターンの方が好まし
いのは勿論である。

次にコイル７上には再び５ｉ０２等から成る絶縁ＩＩ！
　８が堆積して形成される。絶縁膜６．８には磁束リタ
ーンバス用としてコンタクトホール６ａ、８ａかフォト
リソエツチングにより形成される。

次に絶縁膜８上には高透磁率、高飽和磁束密度の磁性膜
から成る主磁極９が薄膜堆積工程とフォトリソエツチン
グ工程により形成される。主磁極９の後端部はコンタク
トポール６ａ、８ａを介して基板５に接合される。

そして主磁極９上に更に保護板１０を接着して第２図の
薄膜磁気ヘッド１１が構成される。

この薄膜磁気ヘッド１１は主磁極励磁型であり、記録時
には第２図に示すように主磁極９の端面が臨む薄膜磁気
ヘッド１１の図中下面の媒体摺動面に対し磁気記録媒体
１２が矢印入方向またはその逆方向に摺動走行する。そ
してコイル７に記録信号電流が印加されることにより、
それに応じて主磁極９が励磁され、信号電流２に応じた
磁束が主磁極９の図中下端面から漏れ、磁気記録媒体１
２の磁性層を記録面の垂直方向に磁化し、記録トラック
４が形成される。また再生時には磁気記録媒体１２が薄
膜磁気ヘッド１１に対し矢印Ａ方向に摺動走行し記録ト
ラック４が主磁極９の端面を摺動することによりその磁
化による磁束が主磁極に導かれ、その磁束変化に応じた
信号電圧がコイル７に励起されて出力される。

ところで本実施例の垂直磁気記録再生装置において記録
再生時には第２図に示すように、薄膜磁気ヘッド１１の
主磁極９の幅方向が記録媒体１２の摺動方向のＡ方向に
一致して平行にされる。そして主磁極９の磁性膜の膜厚
方向か記録トラック４の幅方向と一致して平行にされる
。このようにすれば記録トラック４の幅は主磁極９の磁
性膜の膜厚に対応したものとなる。すなわち本実施例に
よれば主磁極９の磁性膜の膜厚３Ｔが記録トラック幅に
なる。

このように本実施例の垂直磁気記録再生装置によれば主
磁極９の磁性膜の膜厚がトラック記録幅になるため、従
来の薄膜磁気ヘッドでは不可能だったフォトリソグラフ
ィの加工の限界以下の記録トラック幅（数百ｎｍ程度）
の形成が主磁ｆｉ９の磁性膜の薄膜形成時の膜厚管理に
より可能となる。その磁性膜の成膜時の膜厚管理を正確
に行なうことにより記録トラック幅を高精度に均一化で
きる。そしてこのように記録トラック幅を高精度に小さ
く設定できることにより更に記録の高密度化が図れる。

第２〜第５実施例 次に第３図（Ａ）、（Ｂ）〜第６図（Ａ）。

（Ｂ）は第１実施例で示した薄膜磁気ヘッドの構造のマ
ルチトラック化への応用として２トラツクの場合の異な
る応用例を示している。各図において（Ａ）図はヘッド
の保護板を取り払った状態の上面図であり、（Ｂ）図は
媒体摺動面の正面図である。

まず第３図（Ａ）、（Ｂ）及び第４図（Ａ）。

（Ｂ）に示した本発明の第２及び第３実施例に係る薄膜
磁気ヘッドでは、基板５上に第１実施例に係るヘッドと
同様に絶縁膜６，８を介しコイル７と主磁極９を設けた
上に、絶縁膜６．８より厚い絶縁膜１３を介して第２の
コイル１４と主磁極１６を設け、その上に保護板１０を
接着して２チヤンネルのヘッドが構成されている。

そして第３図（Ａ）、（Ｂ）に示すヘッドの場合コイル
７．１４は平行に並設されるが、主磁極９．１６は媒体
摺動面Ｓに対し互いに逆向きに傾斜して設けられ、媒体
摺動面Ｓに臨む先端部が上下に重ねられる。

これに対し第４図（Ａ）、（Ｂ）のヘッドの場合はコイ
ル７．１４と主磁極９．１６は共に平行に並設され、媒
体摺動面Ｓにおいて主磁極９．１６の先端面は媒体摺動
方向のへ方向に前後してずれて配置される。

次に本発明の第４実施例に係る第５図（Ａ）。

（Ｂ）に示すヘッドでは基板５の上面において中央に段
差５ａが設けられており、段差５ａにより基板５の上面
の領域か媒体摺動方向のＡ方向に沿ってほぼ２等分に区
切られている。そして基板５上において段差５ａの左右
両側のそれぞれの領域において絶縁膜６．８を介してコ
イル７、主磁極９及びコイル１４、主磁極１６がそれぞ
れ設けられ、それぞれ記録再生チャンネルを構成してい
る。

また、本発明の第５実施例に係る第６図（Ａ）、（Ｂ）
に示すヘッドでは基板５の代りに絶縁膜６．８の少なく
ともいずれか一方の中央に段差ａが設けられ、この段差
ａにより基板５上の領域が媒体摺動方向のＡ方向に沿っ
てほぼ２等分して区切られ、そのそれぞれの領域にコイ
ル７、主磁極９及びコイル１４、主磁極１６が設けられ
それぞれ記録再生チャンネルを構成している。

以上の第３図（Ａ）、（Ｂ）〜第６図（Ａ）。

（Ｂ）にヘッド構成を示す各実施例においても主磁極９
．１６について第１実施例の場合と同様にその幅方向を
媒体摺動力向のＡ方向に一致させて同方向に平行にし、
主磁極９．１６の磁性膜の膜厚方向を記録トラックのト
ラック幅方向に一致させて平行にすることにより、主磁
極９．１６の磁性膜の膜厚か記録トラック幅となり、記
録トラツタ幅を極めて高精度に小さく設定てぎる。また
高精度に均一化てぎる。また記録トラック間のガートハ
ントの幅についても第３図（Ａ）、（Ｂ）と第４図（Ａ
）、（Ｂ）のヘッドの場合は絶縁膜１３の成膜時の膜厚
の管理により、第５図（Ａ）、（Ｂ）及び第６図（Ａ）
、（Ｂ）のヘッドの場合は基板５の段差５ａないし絶縁
＋１１Ａ６．８の段差ａの寸法により高精度に所定にか
つ小さく設定できる。従って極めて高いトラック密度で
マルチチャンネルで高密度記録を高速に行なえる。

なお以上の構造において基板５の段差５ａはエツチング
や研摩等により形成され、絶縁膜６．８の段差ａはエツ
チング等により形成される。

また以上の構造は３トラック以上の多トラツクヘッドに
も適用できるのは勿論である。

第６実施例 ところて第７図は前述した第４図（Ａ）３（Ｂ）の薄膜
磁気ヘトの媒体摺動面と同ヘッドを用いて記録された磁
気記録媒体上の記録の磁化パターンを示している。磁化
パターンの向きが斜線で示されている。

第７図中の磁気ヘッドにおいて主磁極９．１６の媒体摺
動面に臨む端部の媒体摺動方向のＡ方向に沿って媒体か
進入する側の端縁９ａ、１６ａはフォトリソエツチング
の加工によって基板５の上面に対してそれぞれ同方向に
鋭角の角度θ傾斜して形成される。すなわち第７図の左
側に示すトラック幅１ｗ方向に対して角度θに応じた角
度（９０°−θ）同方向に傾斜している。このため図示
のように記録媒体の記録トラック４ａ、４ｂの磁化パタ
ーンも斜線で示すようにトラック幅１ｗ方向に対し同様
に角度θに応じた角度傾斜して記録される。記録トラッ
ク４ａ、４ｂの磁化パターンはほぼ平行に記録される。

ところがトラック密度を上げるためにカートハンドＧｇ
の幅を極力小さくしていくと再生時において隣り合う記
録トラックからのクロストークやｌ・ラックキングずれ
による読み出しエラーか生じる。

そこでこのような問題を解決するために本発明の第６実
施例では第８図の右側に示すように、第７図のヘッドと
ほぼ同様の構造において主磁極９．１６の先端部の端縁
９ａ、１６ａが基板５の上面に対して互いに逆方向に鋭
角の角度θ傾斜し、トラック幅方向に対　して互いに逆
向きに角度θに応じた角度で傾斜して形成されたヘッド
を採用した。

このようなヘッド構造によれは第８図の左側に示すよう
に隣り合う記録トラック４ａ、４ｂにおいてそれぞれの
磁化パターンがトラック幅方向に対して互いに逆向きに
角度θに応じた角度傾斜して記録され、互いの間に２０
の交角をもって記録される。その結果再生時にある記録
トラックの再生について、悪影響を及ぼず隣接トラック
の再生感度をいわゆるアジマス損失により低く押えるこ
とができ、従来再生時に生していたトラック間り０スト
ークを低く抑えることが可能になる。そしてトラック間
クロストークの低減により記録トラック間に設けられる
カードバンドの幅Ｇｅ　　（第７図参照）を狭くするこ
とができ、更にトラック密度を高密度化できる。

なおここで本実施例に係るヘッドの製造方法を第９図（
Ａ）〜（Ｈ）により説明しておく。

まず第９図（Ａ）のように基板５上に絶縁膜６をスパッ
タリング等により堆積して形成した後、第９図（Ｂ）の
ように絶縁膜６上に引き出し電極を含むコイル７を良導
体の薄膜形成工程とフォトリソエツチング工程により形
成する。

次に第９図（Ｃ）のようにコイル７上に再び８１０２等
から成る絶縁膜８を堆積させて形成し、コンタクトホー
ル６ａ、８ａをエツチングにより形成する。

次に第９図ＣＤ）のように絶縁ｔｒｉ　Ｂ上に主磁極９
を高透磁率磁性材の薄膜形成工程とフォトリソエツチン
グ工程により形成する。この時主磁極９の前述した端縁
９ａ（図中斜線部）に角度θのテーパをつけるために例
えばイオンビームの入射角度を可変に制御できるイオン
ビームシーリング装置等を用いて加工する。

次に第９図（Ｅ）のように主磁極９上に絶縁膜１３を堆
積させて形成した後、第２チヤンネル用のコイル１４を
形成し、更に第９図（Ｆ）のようにコイル１４上に再び
絶縁膜１５を堆積して形成する。そして絶縁膜１５に第
２チヤンネル用の主磁極を設けるための凹部１５ａを形
成する。この場合凹部１５ａの周縁は第１チヤネンル用
の主磁極９の端縁９ａに対応する部分におて端縁９ａと
逆向きに角度θ傾斜したテーパを付けて形成する。更に
絶縁膜１５に対しコンタクトホール１５ｂをエツチング
により形成する。

次に第９図（Ｇ）のように第２チヤンネル用の主磁極１
６を磁性材の薄膜形成工程とホトリソエツチング工程に
より形成し、先に形成した凹部１５ａに埋め込むように
して形成する。

そして最後に第９図（Ｈ）のように主磁極１６上に５ｉ
０２などから成る保護膜１７を堆積させて形成し、その
上に第８図の保護板１０を接着して工程を終了する。

以上のようにして第８図の薄膜磁気ヘッドを製造するこ
とができる。なお以上の工程を繰り返すことにより３ト
ラック以上の多トラツクヘッドも製造することができる
。

第７実施例 ところで従来薄膜磁気ヘッドではコイルやその引き出し
電極はＡＪ２やＣｕ等の良導体から形成されていたが、
記録の高密度化に伴なうコイル形状の微細化及び薄膜化
に伴ないその電気抵抗が大きくなる。その結果記録時に
は記録電流の増大及びジュール熱により発熱が生じ効率
の低下を招くことになる。また再生時においては直流抵
抗値が大きくなるためインピーダンスノイズも大きくな
る。その結果Ｓ／Ｎ比の低下が生じるという問題がある
。そこで上記の問題を解決するために本発明の第７実施
例として上述した第１〜第６実施例のヘッドのそれぞれ
の構造において引き出し電極を含むコイルフないし１４
の少なくとも一部な超電導材から形成するものとする。

超電導材としては例えば組成式で示してＹＩＢａ２Ｃｕ
３０？−ｘ等が用いられる。

そしてこのようにコイルフないし１４の少なくとも一部
を超電導材から形成したヘッドについて前記の超電導材
が超電導状態にある温度に冷却して用いることにより超
電導材部分の電気抵抗が０になり上述した問題が解決で
き、記録を効率良く行なえるとともに、再生時にはノイ
ズを抑えて良好に再生を行なうことができる。

第８実施例 次に本発明の第８実施例による磁気記録再生装置では各
チャンネルの記録再生について記録は前述した主磁極と
コイルから成る話導型のヘッド素子により行ない、再生
はジョセフソン効果を応用した磁束センサで極めて高感
度で応答が早いＳＱＵＩＤ素子（超電導量子干渉デバイ
ス）により行なうものとする。周知のようにＳＱＵＩＤ
素子は超電導材のジョセフソン結合から構成されるが、
ここでは記録用のヘッド素子の引き出し電極を含むコイ
ルについても超電導材から構成するものとする。

第１０図に本実施例に係る薄膜磁気ヘッドの構造を示す
。このヘッドはこの場合２チヤネルヘツドとして構成さ
れており、上面に段差１８ａを形成されたフェライトか
ら成る基板１８上において段差１８ａの上側の領域と下
側の領域のそれぞれに前述した主磁極とコイルから成る
話導型のヘッド素子として記録用素子３５とＳＱＵ　Ｉ
　Ｄ素子としての再生用素子３６が隣り合って設けられ
る。

記録用素子３５は基板１８上に絶縁膜２２を介して形成
されたコイル２３と記録用の主磁極２７から成る。コイ
ル２３は例えば第７実施例で述べた超電導材から形成さ
れる。またコイル２３上には絶縁膜２４が形成される。

なおコイル２３の端部において符号３２で示すものは記
録信号電流をコイル２３に印加するための端子である。

一方再生用素子３６は基板１８に形成された溝２０に埋
め込まれた超電導材２１と、その上に絶縁膜２４を介し
て形成された磁束を導く再生用の主磁極２７と、不図示
の酸化絶縁膜によるジョセフソン結合３０を介し超電導
材２１に結合された超電導膜３１からなる。超電導膜３
１は主磁極２７上に形成された絶縁膜３４を介して主砲
４石２７をまたくようにして形成され、超電導材２１に
結合される。なお超電導材２１および超電導膜３１はコ
イル２３と同様の超電導材から構成される。

また符号３３て示すものはそれぞれ再生用素子３６から
出力信号を取り出すための端子である。

なおこれら全体の上に不図示の保護板か接合さ］］る。

このような構造のもとに記録時には外部から端子３２を
介してコイル２３に記録信号か印加され、第１実施例の
場合と同様に記録か行なわれる。この場合も主磁極２６
の磁性膜の膜厚方向か記録トラック幅方向に一致して平
行にされ、その膜厚が記録トラック幅となるように構成
されるのは勿論である。

一方再生時には再生用素子３６の主磁極２７か記録トラ
ックに摺接し、その磁化による磁束が主磁極２７を介し
超電導材２１、超電導膜３１間に導かれ、ジョセフソン
結合によりその磁束の変化に応じた電圧が超電導材２１
、超電導膜３１間に発生し、端子３３から再生出力信号
として出力される。

なお記録再生時に超電導材２１、コイル２３、超電導膜
３１が超電導状態になる温度にヘッド全体を冷却して記
録再生を行なうことは勿論である。

このような本実施例のヘッドによれは再生用素子３６と
して極めて高感度のＳＱＵ　Ｉ　Ｄ素子を用いているた
め極めて高感度に再生を行なえ、従来垂直磁気記録方式
の磁気ヘッドで問題とされていた再生時のＳ／Ｎ比の改
善を行なうことができる。またコイル２３を超電導材か
ら形成することにより記録時の効率の向」二も図ること
かてきる。

なおここて本実施例ヘッドの製造方法について第１１図
（Ａ）〜（Ｅ）および第１０図により説明しておく。

まず第１１図（Ａ）に示すように段差１８ａを設けた基
板１８を例えはＭｎ−Ｚｎフェライト等の磁性材から形
成する。なお段差１８ａの高さＨは記録トラック幅Ｔｗ
と等しいかそれ以上とする。なおこの場合２チヤンネル
として段差１８ａを１つしか設けていないかさらにチャ
ンネル数を増やすには段差１８ａを増やせはよい。

次に第１１図（Ｂ）のように基板１８に先述した超電導
材２１を埋設するための溝２ｏを研削などで加工する。

次に第１１図（Ｃ）に示すように溝２０に超電導材２１
を埋設し、基板１８と超電導材２１の上面を平坦化した
後に、基板１８の上面のみについて５ｉ０２などから絶
縁膜２２を成膜する。

次いで第１１図（Ｄ）に示すように前述した超電導材か
ら励磁用のコイル２３を形成し、更にその上に絶縁膜２
４を成膜する。尚この時に超電導材２１の上面において
前述した記録用の主磁極２６と再生用の主磁極２７か設
けられる部分にも絶縁膜２４を形成しておく。そして絶
縁膜２２及び２４に対し主磁極２６．２７が基板１８と
閉磁路を形成するためのコンタクトホール２５を形成す
る。

次に第１１図（Ｅ）に示すように絶縁膜２２゜２４上に
主１ｉｎｆｉ２６．２７を形成する。主磁極２６．２７
は先述のコンタクトホール２５を介して基板１８と接合
されるようにする。なお先述のように主砲ｆｉ２６，２
７の成膜時の膜厚か記録トラック幅Ｔｗとなる。また再
生用の主磁極２７の幅丁Ｐ１は再生分解能により、また
記録用の主磁極２６の幅ＴＰ２は記録時の記録効率が低
下しないようにそれぞれ適当に決められる。またこの場
合に第１チヤンネルの主磁極２６．２７の媒体進入側の
端縁２８と第２チヤンネルの主磁極２６゜２７の媒体進
入側の端縁２９について記録トラック幅方向に対して互
いに逆向きに適当なアジマス角をつけて傾斜させて形成
することか好ましい。

次に第１０図に示すように再生用の主磁極２７上に絶縁
膜３４を形成した後、超電導材２１上に掻く薄い不図示
の酸化絶縁膜を形成し、同絶縁膜によるジョセフソン結
合３０を介して超電導膜３１を主磁極２７上に絶縁膜３
４を介してまたがるように形成する。そしてこれら全体
の上に不図示の保護板を接合して工程を終了する。

以上のようにして本実施例の薄ｌＩＭ磁気ヘッドを製造
することがてきる。

第９実施例 次に第１２図は本発明の第９実施例に係る薄膜磁気ヘッ
ドの構造を示している。このヘッドでは基板１８上に絶
縁膜２２．２４を介して設けられた主磁極２６とコイル
２３からなる誘導型のヘッド素子としての記録用素子３
５が設けられ、同素子３５の主磁極２６上に絶縁膜３４
を介して５ＱＬＩＩＤ素子としての再生用素子３６′が
設けられる。

再生用素子３６′は主磁極２６上に絶縁膜３４を介して
またがるように形成された第１の超電導膜３１ａと、主
磁極２６上で超電導膜３１ａの中央部の上に設けられた
再生用の主磁極２７と、この主磁極２７にまたがりジョ
セフソン結合３０を介し第１の超電導膜３１ａに結合さ
れた第２の超電導膜３１ｂからなる。なお符号３２は記
録用素子３５のコイル２３に記録信号を印加するための
端子であり、符号３３は再生用素子３６′から再生出力
信号を取り出すための端子である。このような構造で第
８実施例の場合と同様に誘導型のヘッド素子としての記
録用素子３５により記録を行ないＳＱＵ　Ｉ　Ｄ素子か
らなる再生用素子３６′により再生を行なう。

このような本実施例によれば、第８実施例の場合と全く
同様の効果が得られる上に、薄膜磁気ヘッドの製造工程
においてマルチチャンネル化するために基板１８に第８
実施例と同様の段差を形成するための工程以外は全て成
膜工程で真空中で成されるため不純物による汚染を少な
くでき、歩留りを向上でき品質を向上できる。また記録
用素子３５上に再生用素子３６′が重なっているので第
８実施例の場合より１チャンネル分に要するスペースが
少なくて済み、コンパクト化できるというメリットがあ
る。

なお以上の実施例のヘッドはいずれも主磁極励磁型とし
たが、例えば従来例の第１３図で示した補助磁極励磁型
の薄膜磁気ヘッドについても同様に主磁極の磁性膜の膜
厚が記録トラック幅となる構造を採用することにより全
く同様の効果が期待できることは勿論である。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、基板上
に絶縁膜を介して磁性膜からなる主磁極が設けられ、該
主磁極の端面を磁気記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッド
を該磁気記録媒体に対して相対的に移動させて垂直磁気
記録方式で情報の磁気記録または再生を行なう装置にお
いて、前記主磁極を構成する磁性膜の膜厚が記録トラッ
ク幅となるように前記磁性膜の膜厚方向をトラック幅方
向に一致させた構造を採用したので、主磁極の磁性膜の
成膜時の膜厚の管理により記録トラック幅を極めて高精
度に小さく設定することができ、トラック密度を向上し
記録密度を向上できるという優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に係る薄膜磁気ヘッドの構
造を示す分解斜視図、第２図は同実施例による記録動作
時の斜視図、第３図（Ａ）。 （Ｂ）はそれぞれ第２実施例に係る薄膜磁気ヘッドの上
面図及び媒体摺動面の正面図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は
それぞれ第３実施例に係るヘッドの上面図及び媒体摺動
面の正面図、第５図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ第４実施
例に係るヘッドの上面図及び媒体摺動面の正面図、第６
図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ第５実施例に係るヘッドの
上面図及び媒体摺動面の正面図、第７図は第３実施例に
係るヘッドとそれによる記録の磁化パターンの傾斜との
関係を示す説明図、第８図は本発明の第６実施例による
ヘッドとそれによる記録の磁化パターンの傾斜との関係
を示す説明図、第９図（Ａ）〜（Ｈ）はそれぞれ第６実
施例に係るヘッドの製造工程の説明図、第１０図は本発
明の第８実施例に係る薄膜磁気ヘッドの構造を示す斜視
図、第１１図（Ａ）〜（Ｅ）は第１０図のベツ１〜の製
造工程の説明図、第１２図は第９実施例に係る薄膜社主
気ヘッドの構造を示す斜視図、第１３図は従来の補助磁
極励磁型のヘッドの構造およびこれを用いた磁気記録を
説明する斜視図である。 ５・・・基板 ６．８．１３，２２．２４．３４・・・絶縁膜７．１４
・・・コイル ９．１６，２６，２７・・・主磁極 １０・・・保護板　　　　１１・・・薄膜磁気ヘッド１
２・・・磁気記録媒体　２１・・・超電導材３１．３１
ａ、３１ｂ−超電導膜

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板上に絶縁膜を介して磁性膜からなる主磁極が設
   けられ、該主磁極の端面が磁気記録媒体に対向する薄膜
   磁気ヘッドを該記録媒体に対して相対的に移動させて垂
   直磁気記録方式で情報の磁気記録または再生を行なう装
   置において、前記薄膜磁気ヘッドの主磁極を構成する磁
   性膜の膜厚が記録トラック幅となるように前記磁性膜の
   膜厚方向をトラック幅方向に一致させたことを特徴とす
   る磁気記録または再生装置。 ２）前記薄膜磁気ヘッドは前記基板上に絶縁膜を介して
   それぞれ磁性膜からなる複数の主磁極が異なる高さに設
   けられてなり、各主磁極がそれぞれ記録または再生チャ
   ンネルを構成することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の磁気記録または再生装置。 ３）前記薄膜磁気ヘッドは前記基板または絶縁膜の上面
   において段差が設けられ該段差により区切られる領域の
   それぞれに前記主磁極が設けられており、該主磁極がそ
   れぞれ記録または再生チャンネルを構成することを特徴
   とする特許請求の範囲第２項に記載の磁気記録または再
   生装置。 ４）前記薄膜磁気ヘッドの前記複数の主磁極中、隣り合
   うチャンネルの主磁極どうしの磁気記録媒体に対向する
   端部の磁気記録媒体進入側の端縁が記録トラック幅方向
   に対して互いに逆向きに傾斜して形成されたことを特徴
   とする特許請求の範囲第２項または第３項に記載の磁気
   記録または再生装置。 ５）前記薄膜磁気ヘッドの前記基板上に絶縁膜を介して
   引き出し電極を含むコイルが導電膜から形成されて前記
   主磁極とともに設けられ、前記コイルの少なくとも一部
   が超電導材から形成されてなることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項から第４項までのいずれか一項に記載の
   磁気記録または再生装置。 ６）前記薄膜磁気ヘッドの前記基板上には前記主磁極と
   コイルからなる誘導型のヘッド素子とＳＱＵＩＤ素子が
   並設されており、前記ヘッド素子により記録を行ない、
   前記ＳＱＵＩＤ素子により再生を行なうことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか一項
   に記載の磁気記録または再生装置。