JPH01296421A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH01296421A JPH01296421A JP12786688A JP12786688A JPH01296421A JP H01296421 A JPH01296421 A JP H01296421A JP 12786688 A JP12786688 A JP 12786688A JP 12786688 A JP12786688 A JP 12786688A JP H01296421 A JPH01296421 A JP H01296421A
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- JP
- Japan
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- layer
- magnetic pole
- gap
- thin film
- magnetic
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に用いられ
る再生用磁気抵抗効果素子を組込んだ記録・再生用の薄
膜磁気へノドに関し、 第一磁極層と第二磁極層磁極先端部で直接挟まれたギャ
ップ層におけるギャップ深さｏｇと該ギャップ層中のＭ
Ｒ素子の高さＬとの関係を適正化することにより、再生
出力波形の基線変動の発生を防止し、記録・再生特性の
向」−を図ることを目的とし、 第−磁極層と第二磁極層間に非磁性のギャップ層と薄膜
コイルが配設され、かつ該ギャップ層中に平坦な磁気抵
抗効果素子を有してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記
ギャップ層中の磁気抵抗効果素子の素子高さを、該ギャ
ップ層による第一、第二磁極層の先端部で直接挟まれた
ギャップ層におけるギャップ深さより低くした構成とす
る。
る再生用磁気抵抗効果素子を組込んだ記録・再生用の薄
膜磁気へノドに関し、 第一磁極層と第二磁極層磁極先端部で直接挟まれたギャ
ップ層におけるギャップ深さｏｇと該ギャップ層中のＭ
Ｒ素子の高さＬとの関係を適正化することにより、再生
出力波形の基線変動の発生を防止し、記録・再生特性の
向」−を図ることを目的とし、 第−磁極層と第二磁極層間に非磁性のギャップ層と薄膜
コイルが配設され、かつ該ギャップ層中に平坦な磁気抵
抗効果素子を有してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記
ギャップ層中の磁気抵抗効果素子の素子高さを、該ギャ
ップ層による第一、第二磁極層の先端部で直接挟まれた
ギャップ層におけるギャップ深さより低くした構成とす
る。
〔産業上の利用分野］
本発明は磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に
用いられる薄膜磁気ヘッドに係り、特に再生用の磁気抵
抗効果素子を絹込んだ記録・再生用の薄膜磁気へノドに
関するものである。
用いられる薄膜磁気ヘッドに係り、特に再生用の磁気抵
抗効果素子を絹込んだ記録・再生用の薄膜磁気へノドに
関するものである。
記録用のインダクティブ磁気ヘッドと再生用の磁気抵抗
効果素子とを一体に構成した記録・再生用薄膜磁気ヘッ
ドは、特開昭５９−３０２２３号公報、特開昭６１−１
９４６２０号公報等により既に提案されており、再生出
力が媒体速度に依存せず比較的大きな出力が得られるこ
とから高記録トランクの情報再生に極めて有利であるた
め、従来からの記録・再生用のインダクティブ磁気ヘッ
ドに取って代わるヘッドとして期待されている。
効果素子とを一体に構成した記録・再生用薄膜磁気ヘッ
ドは、特開昭５９−３０２２３号公報、特開昭６１−１
９４６２０号公報等により既に提案されており、再生出
力が媒体速度に依存せず比較的大きな出力が得られるこ
とから高記録トランクの情報再生に極めて有利であるた
め、従来からの記録・再生用のインダクティブ磁気ヘッ
ドに取って代わるヘッドとして期待されている。
このような構成の磁気ヘットでは再生出力波形に基線変
動（ヘースラインシフト）が発生し易く、その結果、記
録密度特性が低下する傾向にある。
動（ヘースラインシフト）が発生し易く、その結果、記
録密度特性が低下する傾向にある。
このため、そのような不都合を排除したヘッド構成が必
要とされている。
要とされている。
［従来の技術］
従来の再生用の磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と略称
する）を組込んだ記録・再生用薄膜磁気ヘッドは第３図
の要部断面図に示すように、例えば非磁性基板］１上に
第一磁極層１２と、ギャップ層１３及び層間絶縁層１４
で挾まれた薄膜コイル１５、第二磁極層１６、保護層１
７が順に積層され、かつ該ギャップ層１３内にＭＲ素子
１８が配設されている。
する）を組込んだ記録・再生用薄膜磁気ヘッドは第３図
の要部断面図に示すように、例えば非磁性基板］１上に
第一磁極層１２と、ギャップ層１３及び層間絶縁層１４
で挾まれた薄膜コイル１５、第二磁極層１６、保護層１
７が順に積層され、かつ該ギャップ層１３内にＭＲ素子
１８が配設されている。
該ＭＲ素子１８及びギャップ層１３を挟んで直接対向す
る第一磁極層１２と第二磁極層１６及びＭＲ素子１８の
各先端部は、該第−磁極層１２が配設された基板１１面
に対して直交する面に露出され、この面を磁気記録媒体
２０と対向する、所謂媒体対向面１９としている。
る第一磁極層１２と第二磁極層１６及びＭＲ素子１８の
各先端部は、該第−磁極層１２が配設された基板１１面
に対して直交する面に露出され、この面を磁気記録媒体
２０と対向する、所謂媒体対向面１９としている。
そして第一、第二磁極層１２．１６及び薄膜コイル１５
とからなる構成部と、該第−１第二磁極層１２゜１６を
シールド磁性体としたＭＲ素子１８とによって対向する
磁気記録媒体２０に対して情報の書込みと読取りを分担
している。
とからなる構成部と、該第−１第二磁極層１２゜１６を
シールド磁性体としたＭＲ素子１８とによって対向する
磁気記録媒体２０に対して情報の書込みと読取りを分担
している。
ところで上記したような構成の従来の記録・再生用薄膜
磁気ヘッドでは、対向する磁気記録媒体２０の情報の再
生時における再生出力波形に基線変動（ヘースラインシ
フト）が発生し、そのために該波形の歪の増大や記録密
度特性の低下を招くといった欠点があった。
磁気ヘッドでは、対向する磁気記録媒体２０の情報の再
生時における再生出力波形に基線変動（ヘースラインシ
フト）が発生し、そのために該波形の歪の増大や記録密
度特性の低下を招くといった欠点があった。
このような欠点は、ギャップ層１３中傍の第一、第二磁
極層１２．１６の磁極先端部の形状とＭＲ素子１８の高
さに関係している。即ち、第３図に示すように第一磁極
層１２と第二磁極層１６の磁極先端部で直接挟まれたギ
ャップ層１３のギャップ深さＤｇに対して該ギャップ層
１３中に配設された前記ＭＲ素子１８の高さＬが大きい
場合には、第４回の部分拡大図に示すように再生時に磁
気記録媒体２０からＭＲ素子１Ｂの先端に磁束が流入す
ると同時に、例えば第二磁極層１６の先端へ流入した磁
束２１は、本来、第一磁極層１２を経由して媒体側へ帰
還すべきものであるが、矢印で示すように第一、第二磁
極層１２゜１６間が広くなっている領域におけるＭＲ素
子１８の後部を経由して第一磁極層１２へ流れて行くた
め、このＭＲ素子１８を経由して流れる磁束２１により
再生出力波形の基線変動が引き起こされる。
極層１２．１６の磁極先端部の形状とＭＲ素子１８の高
さに関係している。即ち、第３図に示すように第一磁極
層１２と第二磁極層１６の磁極先端部で直接挟まれたギ
ャップ層１３のギャップ深さＤｇに対して該ギャップ層
１３中に配設された前記ＭＲ素子１８の高さＬが大きい
場合には、第４回の部分拡大図に示すように再生時に磁
気記録媒体２０からＭＲ素子１Ｂの先端に磁束が流入す
ると同時に、例えば第二磁極層１６の先端へ流入した磁
束２１は、本来、第一磁極層１２を経由して媒体側へ帰
還すべきものであるが、矢印で示すように第一、第二磁
極層１２゜１６間が広くなっている領域におけるＭＲ素
子１８の後部を経由して第一磁極層１２へ流れて行くた
め、このＭＲ素子１８を経由して流れる磁束２１により
再生出力波形の基線変動が引き起こされる。
第５図はギャップ深さＤｇが２μｍ、ＭＲ素子の高さＬ
が５μｍである場合の従来の記録・再生用薄膜磁気ヘッ
ドの計算機シミュレーションによる再生出力波形の一例
を示したもので、非常に大きな基線変動が現れているこ
とが確認できる。また図には、極性の異なる二つの磁化
反転に対する応答を示している。
が５μｍである場合の従来の記録・再生用薄膜磁気ヘッ
ドの計算機シミュレーションによる再生出力波形の一例
を示したもので、非常に大きな基線変動が現れているこ
とが確認できる。また図には、極性の異なる二つの磁化
反転に対する応答を示している。
本発明は上記した従来の欠点に鑑み、第一磁極層と第二
磁極層磁極先端部で直接挾まれたギャップ層におけるギ
ャップ深さＤｇと該ギャップ層中のＭＲ素子の高さＬと
の関係を適正化することにより、再生出力波形の基線変
動の発生を防止し、再生特性の向−ヒを図った新規な曹
膜磁気ヘッドを提供することを目的とするものである。
磁極層磁極先端部で直接挾まれたギャップ層におけるギ
ャップ深さＤｇと該ギャップ層中のＭＲ素子の高さＬと
の関係を適正化することにより、再生出力波形の基線変
動の発生を防止し、再生特性の向−ヒを図った新規な曹
膜磁気ヘッドを提供することを目的とするものである。
本発明は上記した目的を達成するため、第一磁極層と第
二磁極層間に非磁性のギャップ層と薄膜コイルが配設さ
れ、かつ該ギャップ層中に平坦な磁気抵抗効果素子を有
してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記ギャップ層中の
ＭＲ素子の素子高ざＬを、第一、第二磁極層の先端部で
直接挟まれたギャップ層におけるギャップ深さｎｇより
低くした６一 構成とする。
二磁極層間に非磁性のギャップ層と薄膜コイルが配設さ
れ、かつ該ギャップ層中に平坦な磁気抵抗効果素子を有
してなる薄膜磁気ヘッドであって、前記ギャップ層中の
ＭＲ素子の素子高ざＬを、第一、第二磁極層の先端部で
直接挟まれたギャップ層におけるギャップ深さｎｇより
低くした６一 構成とする。
（作 用〕
本発明の薄膜磁気へ二７トでは、第一磁極層と第一、磁
極層磁極先端部で直接挟まれたギヤ、プ層中に、そのギ
ャップ深さより素子高さの低いＭＲ素Ｙ−が配設されて
いるため、再生時の該ＭＲ素子を取り巻く構成が公知の
シールド型Ｍ Ｒへ、・トと同様な構成となり、第一、
第二、磁極層がソールＩ・磁性体として完全に機能する
。この結果、再生出力波形のノ１（綿変動の発生が防止
される。
極層磁極先端部で直接挟まれたギヤ、プ層中に、そのギ
ャップ深さより素子高さの低いＭＲ素Ｙ−が配設されて
いるため、再生時の該ＭＲ素子を取り巻く構成が公知の
シールド型Ｍ Ｒへ、・トと同様な構成となり、第一、
第二、磁極層がソールＩ・磁性体として完全に機能する
。この結果、再生出力波形のノ１（綿変動の発生が防止
される。
［実施例〕
以−１Ｖ面を用いて本発明の実施例について詳細に説明
する。
する。
第１目し１木発明に係る記録・再生用薄膜磁気ヘットの
一実施例を示す要部断面図であり第３図と同等部分には
同一・符号を付している。
一実施例を示す要部断面図であり第３図と同等部分には
同一・符号を付している。
本実施例においては、例えば非磁性基板１１上に第一磁
極層１２と、ギャップ層１３、層間絶縁層１４で挟まれ
た薄膜コイル１５、第二磁極層１６及び保護層１７が順
に積層された構成におしＪる前記ギャップ層１３内に、
そのギャップ深さｔ）ｇ以下の高さＬを有する背丈の低
いＭＲ素子３１が配設されている。
極層１２と、ギャップ層１３、層間絶縁層１４で挟まれ
た薄膜コイル１５、第二磁極層１６及び保護層１７が順
に積層された構成におしＪる前記ギャップ層１３内に、
そのギャップ深さｔ）ｇ以下の高さＬを有する背丈の低
いＭＲ素子３１が配設されている。
従って、該ＭＲ素子３１を取り巻く構成が公知のシール
ド型ＭＲヘンＩ・と同様に第一、第二磁極層１２、１６
が再生時にシールド磁性体として完全に機能する構成と
されており、該ＭＲ素子３１が従来のような第二磁極層
１６がら第一磁極層１２へ流入する磁束２１の経路とな
らないため、再生出力波形の基線変動の発生が防止され
、波形歪の増大や記録密度特性の低下等の問題が解消さ
れる。
ド型ＭＲヘンＩ・と同様に第一、第二磁極層１２、１６
が再生時にシールド磁性体として完全に機能する構成と
されており、該ＭＲ素子３１が従来のような第二磁極層
１６がら第一磁極層１２へ流入する磁束２１の経路とな
らないため、再生出力波形の基線変動の発生が防止され
、波形歪の増大や記録密度特性の低下等の問題が解消さ
れる。
第２図は計算機のシミュレーションによる本発明の記録
・再生用薄膜磁気ヘッドの再生出力波形の一例を示した
もので、例えばギャップ深さＤｇが７μｍであるのに対
して、ＭＲ素子３１の高さＬを５μｍとした場合、再生
出力波形における基線変動が容易に解消でき、また確認
することができた。
・再生用薄膜磁気ヘッドの再生出力波形の一例を示した
もので、例えばギャップ深さＤｇが７μｍであるのに対
して、ＭＲ素子３１の高さＬを５μｍとした場合、再生
出力波形における基線変動が容易に解消でき、また確認
することができた。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明に係る薄膜磁気
ヘットによれば、再生出力波形の基線変動の発生が容易
に解消される優れた利点を存し、再生特性が著しく向上
する等、実用上の効果は大きく、この種の記録・再生用
薄膜磁気ヘッドに適用して極めて有利である。
ヘットによれば、再生出力波形の基線変動の発生が容易
に解消される優れた利点を存し、再生特性が著しく向上
する等、実用上の効果は大きく、この種の記録・再生用
薄膜磁気ヘッドに適用して極めて有利である。
第１図し土木発明に係る薄膜磁気へンドの一実施例を示
す要部断面図、 第２図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの再生出力波形を
説明するだめの図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの一例を説明するための
要部断面し、 第４図は従来の薄膜磁気ベントのギャップ近傍を示す部
分拡大断面図、 第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの再生出力波形の基線変
動を説明するためのＭである。 第１図において、 １１は非磁性基板、１２は第一磁極層、】３はギャップ
層、１４ば層間絶縁層、１５は薄膜コイル、１６は第二
磁極層、１７は保護層、３１はＭＲ素子をそれぞれ示す
。 一１〇− −加、０−１５０−１０．０−５．０ ０．０ ５，０
１００１５．０２０−０酸化反転徨Ｌ（如す １７１０月み瀉−辱１ヒカ４祷多を酬するし］第２ 図 第４図
す要部断面図、 第２図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの再生出力波形を
説明するだめの図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの一例を説明するための
要部断面し、 第４図は従来の薄膜磁気ベントのギャップ近傍を示す部
分拡大断面図、 第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの再生出力波形の基線変
動を説明するためのＭである。 第１図において、 １１は非磁性基板、１２は第一磁極層、】３はギャップ
層、１４ば層間絶縁層、１５は薄膜コイル、１６は第二
磁極層、１７は保護層、３１はＭＲ素子をそれぞれ示す
。 一１〇− −加、０−１５０−１０．０−５．０ ０．０ ５，０
１００１５．０２０−０酸化反転徨Ｌ（如す １７１０月み瀉−辱１ヒカ４祷多を酬するし］第２ 図 第４図
Claims (1)
- 第一磁極層（１２）と第二磁極層（１６）間に非磁性の
ギャップ層（１３）と薄膜コイル（１５）が配設され、
かつ該ギャップ層（１３）中に平坦な磁気抵抗効果素子
（３１）を有してなる薄膜磁気ヘッドであって、上記ギ
ャップ層（１３）中の磁気抵抗効果素子（３１）の素子
高さを、第一、第二磁極層（１２、１６）の先端部で直
接挟まれたギャップ層（１３）におけるギャップ深さよ
り低くしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12786688A JPH01296421A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12786688A JPH01296421A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01296421A true JPH01296421A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14970590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12786688A Pending JPH01296421A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01296421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5850326A (en) * | 1990-04-16 | 1998-12-15 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6047224A (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘツド |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP12786688A patent/JPH01296421A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6047224A (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘツド |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5850326A (en) * | 1990-04-16 | 1998-12-15 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
| US6111723A (en) * | 1990-04-16 | 2000-08-29 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
| US6278578B1 (en) | 1990-04-16 | 2001-08-21 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film head having a focused ion beam etched air bearing surface |
| US6307707B1 (en) | 1990-04-16 | 2001-10-23 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film head including magnetic poles machined by focused ion beam etching |
| US6538844B2 (en) | 1990-04-16 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Method of fabricating a magnetic head by focused ion beam etching |
| US6665141B2 (en) | 1990-04-16 | 2003-12-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head having track width defined by trench portions filled with magnetic shield material |
| US6839200B2 (en) | 1990-04-16 | 2005-01-04 | Hitachi, Ltd. | Combination perpendicular magnetic head having shield material formed at both ends of an upper pole of a write element |
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