JPH01298510A - Production of magnetic head - Google Patents
Production of magnetic headInfo
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- JPH01298510A JPH01298510A JP63128739A JP12873988A JPH01298510A JP H01298510 A JPH01298510 A JP H01298510A JP 63128739 A JP63128739 A JP 63128739A JP 12873988 A JP12873988 A JP 12873988A JP H01298510 A JPH01298510 A JP H01298510A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特に磁性材より
なるコアに形成された磁性膜を良好にして、磁気ヘッド
の磁性特性を向上させ得る磁気ヘッドの製造方法に関す
る。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head, and in particular to a method for improving the magnetic properties of the magnetic head by improving the magnetic film formed on the core made of a magnetic material. The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head.
8ミリビデオテープレコーダ、R−DAT等の録音装置
には、記録媒体としてメタルテープが使用され、そのメ
タルテープ対応の磁気ヘッドとしてフェライト等の磁性
材からなるコアのギャップ部にFe−A It −5i
(登録商標センダスト)等の高磁束密度の磁性膜を
配した、いわゆるメタル・イン・ギャップと呼ばれるも
のがある。Metal tapes are used as recording media in recording devices such as 8mm video tape recorders and R-DATs, and Fe-A It - is used as a magnetic head compatible with the metal tapes in the gap of a core made of a magnetic material such as ferrite. 5i
There is a so-called metal-in-gap device in which a magnetic film with a high magnetic flux density such as Sendust (registered trademark) is arranged.
上記磁気ヘッドは、まず一対のフェライトからなるコア
ブロックにトラック加工を施こし、次に加工面にFe−
A 1−5i等の磁性膜をスパッタリング等の方法で形
成し、次に夫々のコアブロックの磁性膜面を突き合わせ
ガラス接合して磁気へラドコアロックを形成し、その後
磁気ヘッドコアブロックを切断し、コイル巻線を施こし
て形成される。The magnetic head described above first processes a core block made of a pair of ferrites, and then processes Fe-
A magnetic film such as A1-5i is formed by a method such as sputtering, and then the magnetic film surfaces of each core block are butted and glass-bonded to form a magnetic helad core lock.Then, the magnetic head core block is cut, and the coil is assembled. It is formed by winding.
しかし、フェライトコアブロックと磁性膜の境界面には
、■コア加工面の加工歪、■磁性膜形成初期の結晶欠陥
層、及び■フェライトコアと磁性膜とを接して加熱する
さいに、磁性膜中のAffiがコア中の酸素を奪う反応
が起こって、酸素の移動等が発生する等の原因で歪が発
生し易く、その部分での磁気特性を低下させ、ヘッド効
率を落とすと共にいわゆる擬似ギャップ効果を増大させ
てしまう等の問題点がある。However, at the interface between the ferrite core block and the magnetic film, there are: ■ machining strain on the core processed surface, ■ a crystal defect layer at the initial stage of magnetic film formation, and ■ the magnetic film when the ferrite core and the magnetic film are brought into contact and heated. A reaction occurs in which the Affi in the core takes away oxygen from the core, and distortion is likely to occur due to oxygen movement, etc., which deteriorates the magnetic properties in that area, reduces head efficiency, and creates a so-called pseudo gap. There are problems such as increasing the effect.
そこで、本発明では、コアブロックの磁性膜形成面を予
め表面が−様な磁性薄膜を形成することにより、上記問
題点を解決した磁気ヘッドの製造方法にすることを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic head that solves the above-mentioned problems by forming a magnetic thin film having a -like surface in advance on the magnetic film forming surface of the core block.
r問題点を解決するための手段及び作用〕上記問題点を
解決するために本発明では、フェライトコアブロックの
磁性膜形成面に予め下地用の磁性薄膜を形成し、その磁
性薄膜面に所望の磁性膜を形成する製造方法にした。Means and operation for solving the r problem] In order to solve the above problems, in the present invention, a magnetic thin film as a base is formed in advance on the magnetic film forming surface of the ferrite core block, and a desired magnetic thin film is formed on the magnetic thin film surface. The manufacturing method was adopted to form a magnetic film.
磁気ヘッドの製造方法を上記のようにすることにより、
フェライトコアブロック面に形成される磁性膜がフェラ
イトコアブロックに生じる歪の影響を受けることなく良
好に形成されて磁気ヘッド特性を向上させる。By manufacturing the magnetic head as described above,
The magnetic film formed on the surface of the ferrite core block is well formed without being affected by the strain generated in the ferrite core block, improving the magnetic head characteristics.
〔実施例]
第1図〜第8図は本発明になる磁気ヘッドの製造方法の
実施例を示す図である。磁気ヘッドの製造行程について
説明する。まず、第2図の如くフェライト材等の磁性材
からなるコアブロック1を用意する0次に、コアブロッ
ク1を表面研摩した後、C溝(svA窓)4、補強溝5
、捲線ガイド6、クシ加エフの順に機械加工を行って、
第3図の如くCコアのブロック2を形成する。同様に、
コアブロック1を表面研摩した後、C溝(巻線窓)4、
巻線ガイド6、クシ加エフの順に機械加工を行って、第
4図の如くIコアのブロック3を形成する0次に、Cコ
アのブロック2及びIコアのコアブロック30表面に夫
々第5図及び第6図の点線で示す領域(梨地模様)に、
両コアブロック2゜3の磁性材より高い飽和磁束密度を
有するPe−Alt−5t等の磁性膜11.12を形成
する。磁性膜11.12の形成について、第1図(A)
、(B)、(C)で詳述する。第1図はCコアのブロッ
ク2の一部を拡大したものである。まず、同図(A)の
如く、ブロック2の表面に、Fe−A 1−5i磁性材
をターゲツト材とし、不活性ガスであるArに活性ガス
である酸素ガス(08)を添加した雰囲気でスパッタリ
ングして膜厚が約1μ■の第1の磁性1110を形成す
る0次に、熱処理した後、Ar雰囲気でスパッタエツチ
ングして、同図(B)の如く、膜厚が約0.1〜0.5
μ−の磁性11110’を形成する。ここで、磁性11
110,10”はArに酸素ガスを添加した雰囲気でス
パッタリングされるのでブロック2上に表面が−様な下
地用の薄膜が形成され、ブロック2に生じる歪が覆われ
、表面に出゛な(なる0次に、Fe−A It −5t
磁性材をターゲツト材として、Arに活性ガスである
チッ素ガス(Nf)を添加した雰囲気でスバタリングし
て膜厚が4〜5μmの第2の磁性膜11を形成する。[Example] FIGS. 1 to 8 are diagrams showing an example of a method for manufacturing a magnetic head according to the present invention. The manufacturing process of the magnetic head will be explained. First, as shown in Fig. 2, a core block 1 made of a magnetic material such as ferrite material is prepared.Next, after the surface of the core block 1 is polished, C grooves (svA windows) 4 and reinforcing grooves 5 are prepared.
, winding guide 6, and machining in this order.
A C core block 2 is formed as shown in FIG. Similarly,
After surface polishing the core block 1, C groove (winding window) 4,
The winding guide 6 and the comb are machined in this order to form the block 3 of the I core as shown in FIG. In the area shown by the dotted line in the figure and Figure 6 (Nashiji pattern),
A magnetic film 11, 12 made of Pe-Alt-5t or the like having a higher saturation magnetic flux density than the magnetic material of both core blocks 2.3 is formed. Regarding the formation of magnetic films 11 and 12, FIG. 1(A)
, (B), and (C). FIG. 1 is an enlarged view of a portion of block 2 of the C core. First, as shown in Figure (A), the surface of block 2 was coated with Fe-A 1-5i magnetic material as a target material in an atmosphere in which oxygen gas (08), an active gas, was added to Ar, an inert gas. A first magnetic film 1110 having a thickness of about 1 μm is formed by sputtering. After heat treatment, sputter etching is performed in an Ar atmosphere to form a first magnetic film 1110 with a thickness of about 0.1 μm as shown in FIG. 0.5
μ-magnetism 11110' is formed. Here, magnetic 11
110,10'' is sputtered in an atmosphere containing Ar and oxygen gas, so a thin film for the base with a --like surface is formed on the block 2, covering the strain that occurs on the block 2 and removing the ( The 0th order becomes Fe-A It -5t
Using a magnetic material as a target material, a second magnetic film 11 having a thickness of 4 to 5 μm is formed by sputtering in an atmosphere containing Ar and nitrogen gas (Nf), which is an active gas.
ここで、磁性WA11は表面の−様な磁性IlI O’
上に形成されるので、同様に−様な膜が形成され、しか
もArにチッ素ガスを添加した雰囲気でスパッタリング
され磁気特性の良い膜が形成される。Here, the magnetic WA11 has a −-like magnetic IlI O′ on the surface.
Since it is formed on top of the magnetic field, a --like film is similarly formed, and it is sputtered in an atmosphere containing Ar and nitrogen gas to form a film with good magnetic properties.
■コアのブロック3もCコアのブロック2と同様の方法
で、Fe−A j!−5t磁性膜12が形成される。■Core block 3 is also set to Fe-A j! in the same way as C core block 2. -5t magnetic film 12 is formed.
次に、いずれかのコアブロックの磁性膜上にギャップと
なる非磁性絶縁膜(SiJ、 Tag’s等で図省略)
を膜厚0.2 p−程度スパッタリングして形成した後
、第7図の如く向き合った両ブロック2゜3を互いのト
ラック幅Tm (第5図、第6図参照)を合せるように
つき合せ、Cコアのブロック2のC溝4、補強溝5にそ
れぞれ納めたガラス棒13゜14を溶融して両ブロック
2.3を固着し、第8図の如く磁気ヘッドコアブロック
15を形成する。Next, add a non-magnetic insulating film (SiJ, Tag's, etc., not shown) to form a gap on the magnetic film of one of the core blocks.
After sputtering to a film thickness of about 0.2 p-, both blocks 2.3 facing each other as shown in FIG. The glass rods 13 and 14 respectively placed in the C groove 4 and reinforcing groove 5 of the C core block 2 are melted to fix both blocks 2.3 to form a magnetic head core block 15 as shown in FIG. 8.
第8図において符号13’、14’は、それぞれ第7図
におけるガラス棒13,14が溶融されたものである0
次に、磁気°コアブロック15の摺動。In FIG. 8, numerals 13' and 14' indicate melted glass rods 13 and 14 in FIG. 7, respectively.
Next, the magnetic core block 15 slides.
面側16に円筒研摩によりRをつけた後、点線X。After making an R on the surface side 16 by cylindrical polishing, dotted line X.
Yに沿って切断する三七により、第9図の如く磁気へラ
ドコア17が形成される。符号18はギャップである。By cutting 37 along Y, a magnetic rad core 17 is formed as shown in FIG. Reference numeral 18 is a gap.
磁気ヘッドコア17の巻線窓4と巻線ガイド6にかけて
コイル巻線(図省略)を施こして磁気ヘッドを形成する
。A magnetic head is formed by winding a coil (not shown) over the winding window 4 of the magnetic head core 17 and the winding guide 6.
上記磁気ヘッドの製造方法においては、フェライトコア
ブロック2.3に予め下地用の磁性薄膜を形成し、その
磁性1ull上に磁性膜を形成しているため、膜がコア
ブロック2.3の表面に生じる歪の影響を受けず、また
磁性薄膜が下地膜の役目をしているため、フェライトコ
アブロック2.3と磁性膜との反応を防止している。In the method for manufacturing the magnetic head described above, a magnetic thin film for the base is formed on the ferrite core block 2.3 in advance, and a magnetic film is formed on the magnetic layer, so that the film is not attached to the surface of the core block 2.3. Since it is not affected by the generated strain and the magnetic thin film serves as a base film, reaction between the ferrite core block 2.3 and the magnetic film is prevented.
なお、上記説明中、磁性薄膜や磁性膜としてFIe−A
Q −St (センダスト)磁性材料を使用したが
、これに限ることなくアモルファス合金等の高飽和磁束
密度の磁性材を用いてもよい。In addition, in the above explanation, FIe-A is used as the magnetic thin film or magnetic film.
Although Q-St (Sendust) magnetic material is used, the present invention is not limited to this, and a magnetic material with a high saturation magnetic flux density such as an amorphous alloy may be used.
上述の如く、本発明の磁気ヘッドの製造方法では、磁性
材よりなる一対のコアブロックに夫々該コアより高い飽
和磁束密度を有する磁性膜を形成し、次に該コアブロッ
クを磁性膜が突き合わされるように接合して磁気ヘッド
コアブロックを形成し、該磁気ヘッドコアブロックを切
断して磁気ヘッドを形成する磁気ヘッドの製造方法にお
いて、該コアブロックの磁性膜形成面に予め下地用の磁
性薄膜を形成したため、良好な磁性膜が形成でき、コア
の歪による磁気特性の劣化を防止した磁気ヘッドを得る
ことができる等の効果が生じる。As described above, in the method for manufacturing a magnetic head of the present invention, a magnetic film having a saturation magnetic flux density higher than that of the core is formed on each of a pair of core blocks made of a magnetic material, and then the magnetic films are butted against the core blocks. In a method for manufacturing a magnetic head, in which a magnetic head core block is formed by bonding the magnetic head core block to form a magnetic head core block, and a magnetic head is formed by cutting the magnetic head core block, a magnetic thin film for an underlayer is preliminarily applied to the magnetic film forming surface of the core block. As a result, a good magnetic film can be formed and a magnetic head can be obtained in which deterioration of magnetic properties due to core distortion can be prevented.
第1図〜第9図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
第1実施例を示し、第1図(A)(B)は夫々コアブロ
ックに磁性薄膜を形成する様子を示す拡大図、第1図(
C)はコアブロックに磁性膜を形成する様子を示す拡大
図、第2図はコアブロックの要部斜視図、第3図はCコ
アのブロックの要部斜視図、第4図は■コアのブロック
の要部斜視図、第5図はCコアのブロックに磁性膜を形
成した要部斜視図、第6図はIコアのブロックに磁性膜
を形成した要部斜視図、第7図はCコアのブロックと■
コアのブロックが向い合った図、第8図は磁気ヘッドコ
アブロックの要部斜視図、第9図は磁気へラドコアの斜
視図である。
1・・・コアブロック 10°・・・磁性薄膜11.1
2・・・磁性膜、
13°、14″・・・ガラス、
15・・・磁気ヘッドコアブロック
特許出願人 ミツミ電機株式会社
第1図
第6図 第7図
第8図 第9図
314° 2
第2図
第3図1 to 9 show a first embodiment of the method for manufacturing a magnetic head according to the present invention, and FIGS. 1(A) and 1(B) are enlarged views showing how a magnetic thin film is formed on a core block, respectively. Figure 1 (
C) is an enlarged view showing how the magnetic film is formed on the core block, Fig. 2 is a perspective view of the main part of the core block, Fig. 3 is a perspective view of the main part of the C core block, and Fig. 4 is the main part of the core block. Fig. 5 is a perspective view of the main part of the block with a magnetic film formed on the C core block, Fig. 6 is a perspective view of the main part with the magnetic film formed on the I core block, and Fig. 7 is a perspective view of the main part with the magnetic film formed on the C core block. Core block and■
FIG. 8 is a perspective view of the main part of the magnetic head core block, and FIG. 9 is a perspective view of the magnetic head core. 1...Core block 10°...Magnetic thin film 11.1
2...Magnetic film, 13°, 14''...Glass, 15...Magnetic head core block Patent applicant Mitsumi Electric Co., Ltd. Fig. 1 Fig. 6 Fig. 7 Fig. 8 Fig. 9 Fig. 9 314° 2 Figure 2 Figure 3
Claims (1)
クより高い飽和磁束密度を有する磁性膜を形成し、次に
該コアブロックを磁性膜が突き合わされるように接合し
て磁気ヘッドコアブロックを形成し、該磁気ヘッドコア
ブロックを切断して磁気ヘッドを形成する磁気ヘッドの
製造方法において、該コアブロックの磁性膜形成面に予
め下地用の磁性薄膜を形成したことを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。A magnetic head core block is formed by forming a magnetic film having a higher saturation magnetic flux density than that of each core block on a pair of core blocks made of a magnetic material, and then joining the core blocks so that the magnetic films are butted against each other. , a method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic head is formed by cutting the magnetic head core block, the method comprising forming a magnetic thin film as a base in advance on the magnetic film forming surface of the core block. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128739A JPH01298510A (en) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | Production of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128739A JPH01298510A (en) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | Production of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298510A true JPH01298510A (en) | 1989-12-01 |
Family
ID=14992261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63128739A Pending JPH01298510A (en) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | Production of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298510A (en) |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP63128739A patent/JPH01298510A/en active Pending
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