JPH01298510A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特に磁性材より
なるコアに形成された磁性膜を良好にして、磁気ヘッド
の磁性特性を向上させ得る磁気ヘッドの製造方法に関す
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

８ミリビデオテープレコーダ、Ｒ−ＤＡＴ等の録音装置
には、記録媒体としてメタルテープが使用され、そのメ
タルテープ対応の磁気ヘッドとしてフェライト等の磁性
材からなるコアのギャップ部にＦｅ−Ａ　Ｉｔ　−５ｉ
　　（登録商標センダスト）等の高磁束密度の磁性膜を
配した、いわゆるメタル・イン・ギャップと呼ばれるも
のがある。

上記磁気ヘッドは、まず一対のフェライトからなるコア
ブロックにトラック加工を施こし、次に加工面にＦｅ−
Ａ　１−５ｉ等の磁性膜をスパッタリング等の方法で形
成し、次に夫々のコアブロックの磁性膜面を突き合わせ
ガラス接合して磁気へラドコアロックを形成し、その後
磁気ヘッドコアブロックを切断し、コイル巻線を施こし
て形成される。

しかし、フェライトコアブロックと磁性膜の境界面には
、■コア加工面の加工歪、■磁性膜形成初期の結晶欠陥
層、及び■フェライトコアと磁性膜とを接して加熱する
さいに、磁性膜中のＡｆｆｉがコア中の酸素を奪う反応
が起こって、酸素の移動等が発生する等の原因で歪が発
生し易く、その部分での磁気特性を低下させ、ヘッド効
率を落とすと共にいわゆる擬似ギャップ効果を増大させ
てしまう等の問題点がある。

そこで、本発明では、コアブロックの磁性膜形成面を予
め表面が−様な磁性薄膜を形成することにより、上記問
題点を解決した磁気ヘッドの製造方法にすることを目的
とする。

ｒ問題点を解決するための手段及び作用〕上記問題点を
解決するために本発明では、フェライトコアブロックの
磁性膜形成面に予め下地用の磁性薄膜を形成し、その磁
性薄膜面に所望の磁性膜を形成する製造方法にした。

磁気ヘッドの製造方法を上記のようにすることにより、
フェライトコアブロック面に形成される磁性膜がフェラ
イトコアブロックに生じる歪の影響を受けることなく良
好に形成されて磁気ヘッド特性を向上させる。

〔実施例］ 第１図〜第８図は本発明になる磁気ヘッドの製造方法の
実施例を示す図である。磁気ヘッドの製造行程について
説明する。まず、第２図の如くフェライト材等の磁性材
からなるコアブロック１を用意する０次に、コアブロッ
ク１を表面研摩した後、Ｃ溝（ｓｖＡ窓）４、補強溝５
、捲線ガイド６、クシ加エフの順に機械加工を行って、
第３図の如くＣコアのブロック２を形成する。同様に、
コアブロック１を表面研摩した後、Ｃ溝（巻線窓）４、
巻線ガイド６、クシ加エフの順に機械加工を行って、第
４図の如くＩコアのブロック３を形成する０次に、Ｃコ
アのブロック２及びＩコアのコアブロック３０表面に夫
々第５図及び第６図の点線で示す領域（梨地模様）に、
両コアブロック２゜３の磁性材より高い飽和磁束密度を
有するＰｅ−Ａｌｔ−５ｔ等の磁性膜１１．１２を形成
する。磁性膜１１．１２の形成について、第１図（Ａ）
、（Ｂ）、（Ｃ）で詳述する。第１図はＣコアのブロッ
ク２の一部を拡大したものである。まず、同図（Ａ）の
如く、ブロック２の表面に、Ｆｅ−Ａ　１−５ｉ磁性材
をターゲツト材とし、不活性ガスであるＡｒに活性ガス
である酸素ガス（０８）を添加した雰囲気でスパッタリ
ングして膜厚が約１μ■の第１の磁性１１１０を形成す
る０次に、熱処理した後、Ａｒ雰囲気でスパッタエツチ
ングして、同図（Ｂ）の如く、膜厚が約０．１〜０．５
μ−の磁性１１１１０’を形成する。ここで、磁性１１
１１０，１０”はＡｒに酸素ガスを添加した雰囲気でス
パッタリングされるのでブロック２上に表面が−様な下
地用の薄膜が形成され、ブロック２に生じる歪が覆われ
、表面に出゛な（なる０次に、Ｆｅ−Ａ　Ｉｔ　−５ｔ
　磁性材をターゲツト材として、Ａｒに活性ガスである
チッ素ガス（Ｎｆ）を添加した雰囲気でスバタリングし
て膜厚が４〜５μｍの第２の磁性膜１１を形成する。

ここで、磁性ＷＡ１１は表面の−様な磁性ＩｌＩ　Ｏ’
上に形成されるので、同様に−様な膜が形成され、しか
もＡｒにチッ素ガスを添加した雰囲気でスパッタリング
され磁気特性の良い膜が形成される。

■コアのブロック３もＣコアのブロック２と同様の方法
で、Ｆｅ−Ａ　ｊ！−５ｔ磁性膜１２が形成される。

次に、いずれかのコアブロックの磁性膜上にギャップと
なる非磁性絶縁膜（ＳｉＪ、　Ｔａｇ’ｓ等で図省略）
を膜厚０．２　ｐ−程度スパッタリングして形成した後
、第７図の如く向き合った両ブロック２゜３を互いのト
ラック幅Ｔｍ　（第５図、第６図参照）を合せるように
つき合せ、Ｃコアのブロック２のＣ溝４、補強溝５にそ
れぞれ納めたガラス棒１３゜１４を溶融して両ブロック
２．３を固着し、第８図の如く磁気ヘッドコアブロック
１５を形成する。

第８図において符号１３’、１４’は、それぞれ第７図
におけるガラス棒１３，１４が溶融されたものである０
次に、磁気°コアブロック１５の摺動。

面側１６に円筒研摩によりＲをつけた後、点線Ｘ。

Ｙに沿って切断する三七により、第９図の如く磁気へラ
ドコア１７が形成される。符号１８はギャップである。

磁気ヘッドコア１７の巻線窓４と巻線ガイド６にかけて
コイル巻線（図省略）を施こして磁気ヘッドを形成する
。

上記磁気ヘッドの製造方法においては、フェライトコア
ブロック２．３に予め下地用の磁性薄膜を形成し、その
磁性１ｕｌｌ上に磁性膜を形成しているため、膜がコア
ブロック２．３の表面に生じる歪の影響を受けず、また
磁性薄膜が下地膜の役目をしているため、フェライトコ
アブロック２．３と磁性膜との反応を防止している。

なお、上記説明中、磁性薄膜や磁性膜としてＦＩｅ−Ａ
　Ｑ　−Ｓｔ　　（センダスト）磁性材料を使用したが
、これに限ることなくアモルファス合金等の高飽和磁束
密度の磁性材を用いてもよい。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明の磁気ヘッドの製造方法では、磁性
材よりなる一対のコアブロックに夫々該コアより高い飽
和磁束密度を有する磁性膜を形成し、次に該コアブロッ
クを磁性膜が突き合わされるように接合して磁気ヘッド
コアブロックを形成し、該磁気ヘッドコアブロックを切
断して磁気ヘッドを形成する磁気ヘッドの製造方法にお
いて、該コアブロックの磁性膜形成面に予め下地用の磁
性薄膜を形成したため、良好な磁性膜が形成でき、コア
の歪による磁気特性の劣化を防止した磁気ヘッドを得る
ことができる等の効果が生じる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
第１実施例を示し、第１図（Ａ）（Ｂ）は夫々コアブロ
ックに磁性薄膜を形成する様子を示す拡大図、第１図（
Ｃ）はコアブロックに磁性膜を形成する様子を示す拡大
図、第２図はコアブロックの要部斜視図、第３図はＣコ
アのブロックの要部斜視図、第４図は■コアのブロック
の要部斜視図、第５図はＣコアのブロックに磁性膜を形
成した要部斜視図、第６図はＩコアのブロックに磁性膜
を形成した要部斜視図、第７図はＣコアのブロックと■
コアのブロックが向い合った図、第８図は磁気ヘッドコ
アブロックの要部斜視図、第９図は磁気へラドコアの斜
視図である。 １・・・コアブロック　１０°・・・磁性薄膜１１．１
２・・・磁性膜、 １３°、１４″・・・ガラス、 １５・・・磁気ヘッドコアブロック 特許出願人　　ミツミ電機株式会社 第１図 第６図　　　　第７図 第８図　　　　第９図 ３１４°　２ 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁性材よりなる一対のコアブロックに夫々該コアブロッ
   クより高い飽和磁束密度を有する磁性膜を形成し、次に
   該コアブロックを磁性膜が突き合わされるように接合し
   て磁気ヘッドコアブロックを形成し、該磁気ヘッドコア
   ブロックを切断して磁気ヘッドを形成する磁気ヘッドの
   製造方法において、該コアブロックの磁性膜形成面に予
   め下地用の磁性薄膜を形成したことを特徴とする磁気ヘ
   ッドの製造方法。