JPH0129962Y2

JPH0129962Y2 -

Info

Publication number: JPH0129962Y2
Application number: JP1983067722U
Authority: JP
Priority date: 1983-05-09
Filing date: 1983-05-09
Publication date: 1989-09-12
Also published as: JPS59173955U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は真空機器の改良に関する。

従来、真空機器としての例えば真空スイツチバ
ルブ（以下単にバルブという）は短時間で脱ガス
を行うための改良や相対向する可動電極と固定電
極との軸心ずれの改良など種々の改良が行われて
いる。この一例としてのバルブを第１図に基づい
て説明する。

第１図は従来のバルブを構成する部品を真空炉
内に組み立てた状態を示す側断面図である。

第１図において、真空炉１でバルブのロー付け
を行う場合にはまず、炉内でバルブの組み立てが
行われる。すなわち、治具（図示せず）の上にド
ーナツ形状の下蓋２が備えられる。下蓋２の内周
部分にはロー材３を介してベローズ４が乗せられ
る。その上にドーナツ形状のベローズカバー５と
ロー材３が乗せられる。更にその上に、可動電極
棒６ａに接点６ｂを固着した可動電極６が接点６
ｂを上側にして垂れ下つた状態で乗せられる。

次に、下蓋２の外周部分にロー材３を介して、
外筒としての絶縁筒７が備えられる。絶縁筒７の
上側にはロー材３を介してシールド８を固着した
上蓋９が備えられる。更に、上蓋９には固定電極
棒１０ａに接点１０ｂを固着した固定電極１０が
接点１０ｂを下側にして垂れ下つた状態で乗せら
れる。

次に、排気ポンプ１１によつて真空炉１内の脱
ガスが行われる。このとき、バルブ内のガスは絶
縁筒７と上蓋９との隙間、上蓋９と固定電極１０
との隙間などわずかの隙間を経て排気せしめられ
る。かくして、炉内の真空度が所定の値に達する
と、真空炉１の内周に備えられている加熱ヒータ
１２の電源が投入される。

炉内の温度が上昇するとともにバルブに附着さ
れたガスは更に排気せしめられ、所定の真空度、
例えば10^-4Torr以下に達したとき更に加熱ヒー
タ１２の電流を増して炉内の温度を上昇させる。
そして、炉内が所定の温度に達したときロー材３
は溶解する。所定時間のロー付け後加熱ヒータ１
２を断とし、炉内を冷却して高真空のバルブを得
ることができる。

かくのごとくして高真空のバルブを得る場合に
は脱ガスの通路がわずかな隙間を経て排気される
ために、脱ガス時間が非常に長くかかつた。

このような欠点を改良するためには脱ガス時は
隙間を大きくとり、脱ガス完了後に密着せしめて
ロー付する方法がある。そのために真空炉１内に
仮組立てされた固定電極１０を真空炉１の外部に
設けられた外部操作機構によつて吊り下げられる
ことがある。（図示せず）このことは上蓋９と固
定電極１０との間に隙間が形成されるので、各構
成部品を重ねた不均一な隙間部分の排気面積に対
し、より大きな面積が確保でき脱ガスが容易にな
る。しかしながら固定電極１０と上蓋９とを密着
するように所定の位置に戻すとき余程外部操作機
構を慎重に操作しないと可動電極６と戻された固
定電極１０との軸心に偏心が生じ易すくなる欠点
があつた。

このような欠点を取り除くために考案されたバ
ルブを第２図に基づいて説明する。

第２図は第１図で説明した欠点を改良したバル
ブの一例を示す側断面図である。なお、図中、第
１図と同符号のものは同じ機能を有する部分を示
す。また、第２図の説明においては第１図に示し
たバルブと異なる部分のみの説明にとどめ、他の
部分に関しては直接関係しないため説明を省略し
た。

第２図において、第１図に示した下蓋２のかわ
りに、２分割した内側下蓋２ａと外側下蓋２ｂと
が形成され、内側下蓋２ａが外側下蓋２ｂの内面
に摺動可能なように挿入されている。また、内側
下蓋２ａには脱ガス用の孔Ｐが複数個穿設されて
いる。

そして、あらかじめ内側下蓋２ａ、絶縁筒７、
シールド８、上蓋９および固定電極１０は一体形
成されている。また、外側下蓋２ｂ、ベローズ
４、ベローズカバー５および可動電極６も一体形
成されている。

さて、バルブを製作する場合には、可動電極６
と固定電極１０との軸心がずれないように、可動
電極６を押し上げる操作棒１３によつて、外側下
蓋２ｂが固定せしめられる。すなわち、この外側
下蓋２ｂの内側に内側下蓋２ａが挿入され、脱ガ
ス用の孔Ｐが閉鎖されない深さの位置で静止され
るよう内側下蓋２ａが治具（図示せず）によつて
固定される。

この状態で、排気ポンプ１１によつて脱ガスが
行われる。このとき脱ガスは短時間で十分排気で
きる大きさの孔Ｐが内側下蓋２ａに複数個穿設さ
れているので、従来のものより一層短時間で排気
が行われる。かくして、炉内の真空度が所定の値
に達すると、加熱ヒータ１２の電源が投入され
る。そして、十分脱ガスが行われ、真空度が
10^-4Torr以下に達したとき、加熱ヒータ１２を
断とする。次に、内側下蓋２ａと外側下蓋２ｂと
をロー付けする加熱ヒータ１４の電源が投入され
る。そして、外側下蓋２ｂの上側に乗せられてい
たＯリング状のロー材３が溶解したころに操作棒
１３を押し上げて孔Ｐを閉鎖し、外側下蓋２ｂと
内側下蓋２ａとを固着せしめる。

このとき、ロー材３の溶け具合によつて溶解し
たロー材３′が外側下蓋２ｂの内部底面に溶出し
たり、また、この底面を経てベローズ４の凹凸部
分に融着せしめることがある。

このことは、伸縮性が要求されるベローズ４の
作用を阻害させ、凹部または凸部にクラツクが生
じて真空漏れとなる。このために、バルブの寿命
が短かくなつて交換回数が増し、保守上からも非
常に手間がかかつた。

本考案は、上述したような欠点を取り除くため
に創案されたもので、その目的とするところは、
真空機器を密封するための端蓋に、真空機器の外
筒内面に摺動可能で且つ脱ガス用の孔を穿設した
案内器具を備えることにより、 (イ) 脱ガス用の孔により短時間で脱ガスを行うこ
とができるので生産効率を高めることができ
る。

(ロ) 案内器具により可動電極と固定電極との軸心
がずれず、また案内器具の外周に外筒を設けた
ことにより溶解したロー材がバルブ内に溶出す
ることがなく、信頼性の向上につながる。

という真空機器を提供することにある。以下、本
考案を第３図に基づいて説明する。

第３図ａ，ｂは本考案にかかる真空機器の一例
であり、第３図ａは可動電極を押し上げる前の状
態を示す側断面図、第３図ｂは可動電極を押し上
げたときの状態を示す側断面図である。図中、第
１図、第２図と同符号のものは同じ機能を有する
部分を示す。

第３図ａ，ｂにおいて、真空機器としてのバル
ブの両端に備えられた端蓋、例えば図示のごとく
下側に備えられた下蓋２′には可動電極６と固定
電極１０との軸心を一致させるための円筒状の案
内器具１５が絶縁筒７の内面に摺動可能となるよ
うな位置に固着されている。なお、案内器具１５
の形状は、下蓋２′が操作棒１３によつて押し上
げられたとき、可動電極６と固定電極１０との軸
心位置がずれないように絶縁筒７の内面を摺動で
きるようなものであれば如何ようものであつても
よい。

また、案内器具１５の側面には短時間で十分排
気できる大きさの孔Ｐが複数個設けられている。

さて、バルブを製作する場合には、前もつて案
内器具１５と下蓋２′とベローズ４とベローズカ
バー５と可動電極６とをそれぞれ固着して一体形
成したものを操作棒１３上に備える。その上に、
前もつて外筒としての絶縁筒７と、シールド８を
固着した上蓋９と、固定電極１０とをそれぞれ固
着して一体形成したものが乗せられる。

このとき、絶縁筒７が案内器具１５の孔Ｐを閉
鎖しない深さまで挿入され、治具（図示せず）に
よつて固定される。

次に、排気ポンプ１１によつてバルブ内の脱ガ
スが行われる。すなわち、真空炉１内の真空度が
所定の値に達すると、加熱ヒータ１２の電源が投
入される。時間の経過とともに炉内が昇温され、
また同時に案内器具１５の孔Ｐから脱ガスが行わ
れ、真空度が10^-4Torr以下に達したとき、操作
棒１３が押し上げられる。加熱ヒータ１２を断と
してから加熱ヒータ１４の電源が投入される。そ
して、下蓋２′の上側に乗せられていたＯリング
状のロー材３が溶解したころに操作棒１３がさら
に押し上げられる。このとき、案内器具１５をガ
イドとして絶縁筒７の内面を摺動して下蓋２′が
押し上げられ、脱ガス用の孔が閉鎖されてバルブ
内部が密閉状態となる。また、絶縁筒７の内面を
案内器具１５が摺動しながら可動電極６を押し上
げるので、固定電極１０との軸心がずれることが
ない。そして、下蓋２′と絶縁筒７とが固着され
る。ここで、ロー材３の溶け具合によつて溶解し
たロー材３が下蓋２′の表面から溶出してもバル
ブ内に溶出することはない。

ロー付けが完了すると、加熱ヒータ１４を断と
し、炉内を冷却して高真空のバルブを得ることが
できる。

以上説明したように本考案によれば、案内器具
の外周に外筒を設けたことによつて、溶解したロ
ー材がバルブ内に溶出することがない。また、ロ
ー付け前のバルブ組み立て時に、外筒を案内器具
の所定深さまで挿入させておき、ロー付け時に可
動電極を押し上げるので相対向する固定電極との
軸心がずれることがない。更にまた、案内器具の
側面に脱ガス用の複数個の孔を設け、可動電極を
押し上げるロー付け時まで孔を閉鎖せず脱ガスを
行うために、短時間で脱ガスを行うことができ
る。

よつて、本考案にかかる真空機器は簡素な構造
で且つ優れた効果を発揮できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のバルブを構成する部品を真空炉
内に組み立てた状態を示す側断面図、第２図は第
１図で説明した欠点を改良したバルブの一例を示
す側断面図、第３図ａ，ｂは本考案にかかる真空
機器の一例であり、第３図ａは可動電極を押し上
げる前の状態を示す側断面図、第３図ｂは可動電
極を押し上げたときの状態を示す側断面図であ
る。１……真空炉、２，２′……下蓋、２ａ……内
側下蓋、２ｂ……外側下蓋、３……ロー材、６…
…可動電極、７……絶縁筒、９……上蓋、１０…
…固定電極、１２，１４……加熱ヒータ、１５…
…案内器具、Ｐ……孔。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

相対向する固定電極並びに可動電極と、これら
を覆うシールドと、固定電極およびシールドを固
定する端蓋と、一方は可動電極に固着し他方はも
う一方の端蓋に固着するベローズと、これらを内
部に構築して収納する外筒からなり、それぞれの
端蓋によつて外筒内を密封する真空機器におい
て、前記端蓋に前記外筒の内面に摺動可能で、且
つ孔を穿設した円筒状の案内器具を形成して一体
構成したことを特徴とする真空機器。