JPH01301596A - Production of silicon nitride whisker - Google Patents

Production of silicon nitride whisker

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JPH01301596A
JPH01301596A JP13147088A JP13147088A JPH01301596A JP H01301596 A JPH01301596 A JP H01301596A JP 13147088 A JP13147088 A JP 13147088A JP 13147088 A JP13147088 A JP 13147088A JP H01301596 A JPH01301596 A JP H01301596A
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JP
Japan
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silicon nitride
transition metal
silicon
whiskers
carbon
Prior art date
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Application number
JP13147088A
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Japanese (ja)
Inventor
Takamasa Kawakami
川上 殷正
Riako Nakano
里愛子 中野
Kouichi Yakiyou
八京 孝一
Hiromasa Isaki
寛正 伊崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Original Assignee
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、窒化ケイ素ウィスカーの製造方法に関し、詳
しくは高品質、高収率に窒化ケイ素ウィスカーを製造す
る方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for producing silicon nitride whiskers, and more particularly to a method for producing silicon nitride whiskers with high quality and high yield.

(従来技術およびその問題点) 窒化ケイ素ウィスカーは、比強度、比弾性、耐熱性、耐
酸化性、化学的安定性などの特性面で他の複合材料用繊
維にない優れた性能を有しており、各種金属との濡れ性
も良好であることから、セラミックス、金属、プラスチ
ックスなどの複合材料強化材として注目されている。
(Prior art and its problems) Silicon nitride whiskers have excellent performance that other composite material fibers do not have in terms of specific strength, specific elasticity, heat resistance, oxidation resistance, and chemical stability. Because it has good wettability with various metals, it is attracting attention as a reinforcing material for composite materials such as ceramics, metals, and plastics.

しかし、窒化ケイ素ウィスカーが複合強化材として優れ
た性能を発揮するためには、ウィスカーの直径、長さな
どの形状特性以外にウィスカー中に含まれる金属不純物
の含有量や未反応シリカ分、粉状分の少ないことが要求
される。
However, in order for silicon nitride whiskers to exhibit excellent performance as a composite reinforcing material, in addition to the shape characteristics such as whisker diameter and length, the content of metal impurities contained in the whiskers, unreacted silica content, and powder Less is required.

一般に窒化ケイ素ウィスカーの製造方法は、炭素を含む
原料及びケイ素を含む原料との混合物をガス状として高
温で反応させる気相合成法と、炭素を含む原料及びケイ
素を含む原料として共に固体を用いる固相合成法とに大
別される。
In general, methods for producing silicon nitride whiskers include a gas-phase synthesis method in which a mixture of a carbon-containing raw material and a silicon-containing raw material is reacted in a gaseous state at high temperature, and a solid-state synthesis method in which a solid is used as both the carbon-containing raw material and the silicon-containing raw material. It is broadly divided into phase synthesis method.

しかし従来知られている気相合成法は、原料が高純度で
あること、アスペクト比の高いウィスカーが得られ易い
という長所はあるが、反応装置の設計や生成物の回収が
やっかいで収率も低く、工業的な製造方法として適当で
ないという欠点がある。これに対して固相合成法は、シ
リカと炭素を混合しこれを加熱して、おもに粉末間にウ
ィスカーを生成させるので生成物の回収や連続化が容易
であるが、ウィスカーの形状が不揃いで粉状や屈曲状の
窒化ケイ素が生成し易く、また未反応シリカの除去が困
難な欠点を有している。
However, conventionally known gas phase synthesis methods have the advantages of high purity raw materials and the ease with which whiskers with high aspect ratios can be obtained, but the design of reactors and product recovery are complicated and yields are low. It has the disadvantage that it is low and is not suitable as an industrial manufacturing method. On the other hand, in the solid-phase synthesis method, silica and carbon are mixed and heated to generate whiskers mainly between the powders, making it easy to recover and serialize the product, but the shape of the whiskers is irregular. It has the drawback that powdery or curved silicon nitride is likely to be produced, and unreacted silica is difficult to remove.

このため、高収率で高品質の窒化ケイ素ウィスカーを得
るために多様の製造技術が提案されている。
Therefore, various manufacturing techniques have been proposed to obtain high-yield and high-quality silicon nitride whiskers.

例えば、特開昭57−17500.特開昭58−172
298の様に、原料物質(ケイ素源)を選定したり、特
開昭61−205699.特開昭59−147000の
様に、触媒(遷移金属)や第三成分を添加したものに各
種反応条件を組み合わせたものが多い。
For example, JP-A-57-17500. Japanese Patent Publication No. 58-172
298, the raw material (silicon source) is selected, or JP-A-61-205699. As in JP-A-59-147000, there are many methods in which a catalyst (transition metal) and a third component are added and various reaction conditions are combined.

しかしながら、これらの製法は原料事情の制約や作業性
および反応の操作性の点、あるいは第三成分の添加量が
多いため後処理が必要である点など工業的に有利な方法
になり得ていない。
However, these production methods have not been industrially advantageous due to limitations in raw materials, workability and reaction operability, and the need for post-treatment due to the large amount of third components added. .

(問題点を解決するための手段及び作用)本発明者は、
従来の窒化ケイ素ウィスカーの製造における上記した問
題点を解決するために鋭意研究した結果、ケイ素のアル
コキシドに遷移金属およびその化合物を添加して加水分
解し、得られた遷移金属元素含有加水分解生成物を原料
として用いることにより、粉状や屈曲状の窒化ケイ素ウ
ィスカーを高で得ることができることを見出し本発明に
至った。
(Means and effects for solving the problem) The present inventor:
As a result of intensive research to solve the above-mentioned problems in the production of conventional silicon nitride whiskers, a transition metal element-containing hydrolysis product was obtained by adding transition metals and their compounds to silicon alkoxide and hydrolyzing it. The present invention was based on the discovery that powdery or curved silicon nitride whiskers can be obtained at high yields by using as a raw material.

すなわち、ケイ素のアルコキシドを微量の遷移金属また
はその化合物の共存下に加水分解し、得られた微量の遷
移金属またはその化合物を含有する加水分解生成物と炭
素源とを混合後、水素濃度O〜50χである窒素雰囲気
中において1300〜1600°Cの温度で加熱するこ
とを特徴するものである。
That is, a silicon alkoxide is hydrolyzed in the coexistence of a trace amount of a transition metal or its compound, and the obtained hydrolysis product containing a trace amount of a transition metal or its compound is mixed with a carbon source, and then the hydrogen concentration is O~ It is characterized by heating at a temperature of 1,300 to 1,600°C in a nitrogen atmosphere of 50χ.

本発明における上記した微量の遷移金属元素を均一に含
有するケイ素のアルコキシドを加水分解した生成物は、
ケイ素のアルコキシドを加水分解する際に微量の遷移金
属またはその化合物を混合して加水分解を行うことによ
り達成される。
In the present invention, the product obtained by hydrolyzing a silicon alkoxide uniformly containing trace amounts of the above-mentioned transition metal elements is
This is achieved by mixing a trace amount of a transition metal or its compound when hydrolyzing a silicon alkoxide.

この様な方法で得られた加水分解生成物は、結晶化の際
の触媒となる遷移金属元素が微細で均一にケイ素化合物
内に分散しており、単なる含浸操作に比較し微量の触媒
量で窒化ケイ素ウィスカーの結晶成長の促進化と収率の
向上に有効に作用する。しかも結晶化反応を水素含有雰
囲気下で行なうことにより更に効果が助長され、粒状分
も少なく形状も直線性に優れ揃ったものになる。
In the hydrolyzed product obtained by this method, the transition metal element that serves as a catalyst during crystallization is finely and uniformly dispersed in the silicon compound, and the amount of catalyst is small compared to a simple impregnation operation. Effectively promotes crystal growth of silicon nitride whiskers and improves yield. Moreover, by carrying out the crystallization reaction in a hydrogen-containing atmosphere, the effect is further enhanced, and the grain content is reduced and the shape becomes uniform with excellent linearity.

ウィスカーの生成は、VLS機構によって進行するもの
と推測されるが、ケイ素化合物の内部や表面に微細な状
態で均一に分散している触媒成分が加熱によってSiO
□に固溶しやすく、やがて局部的にSi、 C、および
触媒成分からなる液適を生じこの液適にSiOやCH4
、GOなどのガス状のケイ素化合物や炭素化合物が溶解
して行き、飽和濃度を超えると5iJ4ウイスカーとし
て析出するものと考えられる。
The generation of whiskers is presumed to proceed by the VLS mechanism, and the catalyst component, which is uniformly dispersed in a fine state inside and on the surface of the silicon compound, becomes SiO2 when heated.
It is easy to form a solid solution in
It is thought that gaseous silicon compounds and carbon compounds such as , GO, etc. are dissolved, and when the saturation concentration is exceeded, they are precipitated as 5iJ4 whiskers.

本発明のような触媒成分の添加方法が、VLS機構にお
ける極めて効果的な成長活性点(液滴)を作りやすいこ
とと、水素の共存がガス状のケイ素化合物や炭素化合物
の生成を促進する作用と相乗し、性状の優れた窒化ケイ
素ウィスカーの生成を著しく促進するものと考えられる
The method of adding catalyst components as in the present invention facilitates the creation of extremely effective growth active points (droplets) in the VLS mechanism, and the coexistence of hydrogen promotes the production of gaseous silicon compounds and carbon compounds. It is thought that this synergistic effect significantly promotes the production of silicon nitride whiskers with excellent properties.

この様な方法で得られたウィスカーは、添加触媒量が少
ないため製品中に残留する量も少なく、また収率が高く
未反応のSiO□をほとんど含まない。
The whiskers obtained by such a method have a small amount of added catalyst, so the amount remaining in the product is small, and the yield is high, so it contains almost no unreacted SiO□.

形状的にも粒状分をほとんど含まず直線状で揃っている
ため、分離分級操作を必要とせず、高品質の製品となり
得るものである。
In terms of shape, it contains almost no particulate matter and is uniform in a straight line, so it does not require separation and classification operations and can be a high-quality product.

本発明に使用されるアルコキシドは、通常容易に人手で
きるものならば特に限定されないが、−般には脂肪族ア
ルコキシドであり、好ましくは01〜C4のアルコキシ
ドでたとえば メトキシド、エトキシド、プロポキシド
、ブトキシドなどである。
The alkoxide used in the present invention is not particularly limited as long as it can be easily produced by hand, but it is generally an aliphatic alkoxide, preferably a 01-C4 alkoxide such as methoxide, ethoxide, propoxide, butoxide, etc. It is.

具体的にはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシランな
どが挙げられる。これらのアルコキシドは単独または二
種類以上の混合物として使用できる。そのほかに、これ
らアルコキシドのダイマー、トリマー、テトラマーなど
のオリゴマーも好適に使用できる。
Specific examples include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and tetrabutoxysilane. These alkoxides can be used alone or as a mixture of two or more. In addition, oligomers such as dimers, trimers, and tetramers of these alkoxides can also be suitably used.

本発明の方法は、このアルコキシド類を結晶化反応にお
ける触媒成分であるFe、 Co、 Ni、あるいはC
rの遷移金属またはその化合物の共存下で加水分解する
のであるが、遷移金属化合物としては上記金属の酸化物
、塩化物、硝酸塩、炭酸塩、硫酸塩などが用いられる。
In the method of the present invention, the alkoxides are treated with Fe, Co, Ni, or C, which is a catalyst component in the crystallization reaction.
The hydrolysis is carried out in the coexistence of the transition metal r or its compound, and the transition metal compounds used include oxides, chlorides, nitrates, carbonates, and sulfates of the above metals.

これらの化合物のうち、触媒成分が均一に分散して反応
条件下でより効果的に作用するためにはFe1Co +
 N iの塩化物や硝酸塩などの水溶性化合物がより好
ましい。
Among these compounds, Fe1Co +
Water-soluble compounds such as Ni chlorides and nitrates are more preferred.

加水分解の方法は、ケイ素のアルコキシ化合物を加水分
解するに要する量の水に触媒成分を溶解あるいは均一に
分散させた後、ケイ素のアルコキシド化合物と混合すれ
ばよい。均一な加水分解反応を進行させるためには水量
を最小量に抑え、2層に分離しない様に必要に応じてア
ルコール類を添加して均一溶液状態で行うのがよい。
The hydrolysis may be carried out by dissolving or uniformly dispersing the catalyst component in the amount of water required to hydrolyze the silicon alkoxy compound, and then mixing the catalyst component with the silicon alkoxide compound. In order to proceed with a homogeneous hydrolysis reaction, it is preferable to suppress the amount of water to a minimum, and add alcohols as necessary to prevent separation into two layers, so as to conduct the reaction in a homogeneous solution state.

また、反応速度を制御するために、揮散性の塩基や酸類
を添加したり、加熱しながら加水分解反応を進行させる
こともできるが、局部的な反応が起こらない様に配慮す
る必要がある。
Furthermore, in order to control the reaction rate, volatile bases or acids can be added or the hydrolysis reaction can be allowed to proceed while heating, but care must be taken to prevent local reactions from occurring.

反応終了後、得られた加水分解生成物は乾燥し150メ
ツシユ以下に微粉砕する。
After the reaction is completed, the resulting hydrolyzed product is dried and pulverized to 150 mesh or less.

本発明を実施するに際して触媒量は、加水分解生成物中
のケイ素分に対して、金属元素量として0.002〜0
.5重量%の割合になるように調製されるがこの含有量
が0.002重量%以下では効果は少なく、0.5重量
%を越えてももはや好ましい効果は得られず、製品の純
度を低下させることになり好ましくない。
When carrying out the present invention, the amount of catalyst is 0.002 to 0 as the amount of metal element relative to the silicon content in the hydrolysis product.
.. It is prepared to have a proportion of 5% by weight, but if this content is less than 0.002% by weight, the effect will be small, and if it exceeds 0.5% by weight, the desired effect will no longer be obtained and the purity of the product will decrease. This is not desirable.

次にこの様にして得られた遷移金属元素を含有する加水
分解生成物と炭素源とを混合する。
Next, the hydrolysis product containing the transition metal element obtained in this manner and a carbon source are mixed.

この炭素源としては、この種の反応に通常使用されるカ
ーボンブラックや粉末活性炭などの炭素等が使用できる
が、アセチレンブラックやファーネスブラックなどのカ
ーボンブラックが好ましい。
As this carbon source, carbon such as carbon black or powdered activated carbon that is commonly used in this type of reaction can be used, but carbon black such as acetylene black or furnace black is preferable.

炭素源の配合は、加水分解生成物中のケイ素分に対し炭
素としC/5i=2〜4の比率とし、混練機やミキサー
で混合されるが、混合物の嵩密度を0゜02〜0.2g
/ccとなるように調製するのが好ましい。
The carbon source is mixed in a kneader or mixer at a ratio of carbon to silicon content in the hydrolysis product, C/5i = 2 to 4, and the bulk density of the mixture is 0.02 to 0.02. 2g
It is preferable to prepare it so that it becomes /cc.

嵩密度が低い方が針状結晶を発達させるのに有効な成長
空間を形成し、直線的なウィスカーの成長を助長する。
A lower bulk density forms an effective growth space for developing needle-like crystals and promotes linear whisker growth.

炭素量が少ない場合は未反応のケイ素酸化物が残存し、
また多い場合は後処理の負担が増え経済的でない。
If the amount of carbon is small, unreacted silicon oxide remains,
Moreover, if there is a large amount, the burden of post-processing increases and it is not economical.

炭素源を混合した混合物は、低嵩密度の状態で炭素製容
器に充填し、水素を含む窒素雰囲気下で1300〜16
00°Cの温度で加熱反応させる。この際、水素濃度は
50%以下で使用される。また、加熱温度は1300°
Cより低いとこの反応が実質的に進行せず、1600°
Cより高い七ウィスカーの径が太くなりウィスカー同士
の融着も起こすようになるため好・   ましくない。
The mixture of carbon sources was packed in a carbon container in a low bulk density state, and heated to 1300 to 16 ml under a nitrogen atmosphere containing hydrogen.
The reaction is carried out by heating at a temperature of 00°C. At this time, hydrogen concentration is used at 50% or less. Also, the heating temperature is 1300°
If the temperature is lower than 1600°C, this reaction will not substantially proceed.
This is undesirable and undesirable because the diameter of the whiskers higher than C becomes thicker and fusion of the whiskers occurs.

反応後に過剰の炭素が残留する場合は、空気中において
600〜800°Cで燃焼除去すればよい。
If excess carbon remains after the reaction, it may be burned off in air at 600 to 800°C.

このようにして得られた窒化ケイ素ウィスカーは未反応
のSiO2をほとんど含まず重金属量も少ない高純度の
ものである。また、アスペクト比が20〜200範囲、
直径0.2〜2.0 umの直線状のウィスカーであり
粒状の窒化ケイ素をほとんど含まない高品質なものであ
る。
The silicon nitride whiskers thus obtained are of high purity, containing almost no unreacted SiO2 and a small amount of heavy metals. In addition, the aspect ratio is in the range of 20 to 200,
It is a straight whisker with a diameter of 0.2 to 2.0 um and is of high quality containing almost no particulate silicon nitride.

(発明の効果) 本発明は上述したように微量の触媒成分を均一に含有し
たケイ素のアルコキシドの加水分解生成物を炭素源と混
合し、水素含有雰囲気下で加熱することにより、高収率
で高品質の窒化ケイ素ウィスカーを得ることが出来る。
(Effects of the Invention) As described above, the present invention achieves a high yield by mixing a silicon alkoxide hydrolysis product uniformly containing a trace amount of a catalyst component with a carbon source and heating the mixture in a hydrogen-containing atmosphere. High quality silicon nitride whiskers can be obtained.

さらに本発明による生成物は、粒状の窒化ケイ素や未反
応5iOz分、重金属類の除去などの厄介な後処理をせ
ずとも高性能の複合強化材として使用できるものである
Moreover, the products according to the invention can be used as high-performance composite reinforcements without the need for cumbersome post-treatments such as the removal of particulate silicon nitride, unreacted 5iOz, and heavy metals.

以下に本発明の実施例を示す。Examples of the present invention are shown below.

実施例 1゜ テトラメトキシシラン152gとメタノール64g と
を混合した溶液に塩化コバル) (COCl2 ) 0
.015gを溶解した水72gを投入し反応させ、透明
な加水分解生成物を得た。
Example 1 Cobal chloride (COCl2) 0 was added to a solution of 152 g of tetramethoxysilane and 64 g of methanol.
.. 72 g of water in which 0.015 g of 0.015 g was dissolved was added to react, and a transparent hydrolysis product was obtained.

得られた加水分解生成物を乾燥し150 メツシュ以下
に粉砕後、0.03g/ccのカーボンブラック40g
を加え、再度混合して嵩密度0.07g/ccの混合原
料とした。混合原料を炭素製容器に充填した後、水素ガ
ス濃度10χの窒素ガス雰囲気下に1450″Cで4h
r反応させた。次いで残留したカーボンブラックを70
0℃でlhr燃焼除去した。
After drying the obtained hydrolysis product and pulverizing it to less than 150 mesh, 40g of carbon black of 0.03g/cc was added.
was added and mixed again to obtain a mixed raw material with a bulk density of 0.07 g/cc. After filling the mixed raw material into a carbon container, it was heated at 1450″C for 4 hours in a nitrogen gas atmosphere with a hydrogen gas concentration of 10χ.
r reacted. Next, the remaining carbon black was heated to 70%
It was burnt off for lhr at 0°C.

得られた窒化ケイ素ウィスカーは、直径1.0 μm。The obtained silicon nitride whiskers had a diameter of 1.0 μm.

アスペクト比100程度の直線状のウィスカーであり、
粒粉秋分は3%以下であった。
It is a straight whisker with an aspect ratio of about 100,
Grain powder equinox was less than 3%.

また、酸素濃度1.0χ、 Co 80ppm、 Fe
、 Ni+ Cr+Caなどの他の重金属不純物型は5
0ppm以下であった。
In addition, oxygen concentration 1.0χ, Co 80ppm, Fe
, other heavy metal impurity types such as Ni+ Cr+Ca are 5
It was 0 ppm or less.

実施例 2゜ 塩化コバルトの代わりに塩化鉄(FeC1s ) 0.
019gを用いる以外は実施例1と同様の方法で窒化ケ
イ素ウィスカーを合成した。
Example 2: Iron chloride (FeCls) 0.0 instead of cobalt chloride.
Silicon nitride whiskers were synthesized in the same manner as in Example 1 except that 019g was used.

得られた窒化ケイ素ウィスカーは、直径1.0 μm。The obtained silicon nitride whiskers had a diameter of 1.0 μm.

アスペクト比100程度の直線状のウィスカーであり、
粒粉秋分は5%以下であった。
It is a straight whisker with an aspect ratio of about 100,
Grain powder equinox was less than 5%.

また、酸素濃度1.2χ+ Fe 1100pp 、 
Co、 Ni+ Cr。
In addition, oxygen concentration 1.2χ + Fe 1100pp,
Co, Ni+Cr.

Caなどの他の重金属不純物量は50ppm以下であっ
た。
The amount of other heavy metal impurities such as Ca was 50 ppm or less.

比較例 1゜ 150メツシ1以下のシリカゲル60gを塩化コバルト
(CoC1z ) 0.1gを含む水溶液に浸漬し、充
分に浸透したのち加熱乾燥し、ケイ素分に対するCo元
素量0.24重量2のシリカゲルを調製した。
Comparative Example 60 g of silica gel with a weight of 1°150 mesh or less was immersed in an aqueous solution containing 0.1 g of cobalt chloride (CoC1z), and after it had penetrated sufficiently, it was heated and dried to obtain a silica gel with a Co element content of 0.24 weight 2 based on the silicon content. Prepared.

上記シリカゲルに実施例1で使用したカーボンブランク
40gを混合し、これを実施例1と同様の結晶化条件で
窒化ケイ素ウィスカーの製造を行なった。
40 g of the carbon blank used in Example 1 was mixed with the silica gel, and silicon nitride whiskers were produced under the same crystallization conditions as in Example 1.

得られた窒化ケイ素ウィスカー中には、未反応のSiO
2が10χもあり、粒状分の窒化ケイ素も30χと多か
った。
The resulting silicon nitride whiskers contain unreacted SiO
2 was as high as 10χ, and the granular silicon nitride was also as large as 30χ.

手続補正書(自発) 昭和63年7月25日Procedural amendment (voluntary) July 25, 1986

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ケイ素のアルコキシドに遷移金属またはその化合
物を添加して加水分解し、得られた遷移金属元素含有加
水分解生成物と炭素源とを混合後、水素を含む窒素雰囲
気中において加熱処理することを特徴とする窒化ケイ素
ウィスカーの製造方法。
(1) Adding a transition metal or its compound to silicon alkoxide and hydrolyzing it, mixing the resulting transition metal element-containing hydrolysis product with a carbon source, and then heat-treating in a nitrogen atmosphere containing hydrogen. A method for producing silicon nitride whiskers characterized by:
(2)遷移金属またはその化合物が、Fe、Co、Ni
、Crの金属またはそれらの化合物から選択され、加水
分解生成物中のケイ素分に対し遷移金属元素の量として
0.002〜0.5重量%になるように調製する請求項
第1項記載の窒化ケイ素ウィスカーの製造法。
(2) The transition metal or its compound is Fe, Co, Ni
, Cr, or their compounds, and the amount of the transition metal element is adjusted to 0.002 to 0.5% by weight based on the silicon content in the hydrolysis product. Method of manufacturing silicon nitride whiskers.
(3)水素を含む窒素雰囲気が、水素50%以下を含む
窒素ガスと水素ガスの混合気流である請求項第1項記載
の窒化ケイ素ウィスカーの製造法。
(3) The method for producing silicon nitride whiskers according to claim 1, wherein the nitrogen atmosphere containing hydrogen is a mixed flow of nitrogen gas and hydrogen gas containing 50% or less hydrogen.
JP13147088A 1988-05-31 1988-05-31 Production of silicon nitride whisker Pending JPH01301596A (en)

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