JPH01307601A - Measuring instrument - Google Patents

Measuring instrument

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Publication number
JPH01307601A
JPH01307601A JP13724488A JP13724488A JPH01307601A JP H01307601 A JPH01307601 A JP H01307601A JP 13724488 A JP13724488 A JP 13724488A JP 13724488 A JP13724488 A JP 13724488A JP H01307601 A JPH01307601 A JP H01307601A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rail
axis
straightness
supporting
sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13724488A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Miura
三浦 信行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP13724488A priority Critical patent/JPH01307601A/en
Publication of JPH01307601A publication Critical patent/JPH01307601A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the working accuracy of a measuring instrument and to execute an assembly of a short delivery date by adjusting a straightness adjusting device in which a sliding rail for guiding a sliding body is provided on one of supporting members against the supporting member. CONSTITUTION:Supporting posts 5R, 5L are provided vertically on the rear side on both sides of a measuring table 3 in a measuring instrument 1, and on the upper part of the supporting posts 5R, 5L, supporting arms 9R, 9L which have been formed as one body toward the front are provided. On the supporting posts 5R, 5L and the supporting arms 9R, 9L, X axis use rails 13R, 13L being sliding rails which have been extended in the X axis direction are laid through supporting members 11R, 11L. On the inside and the outside of a ball being a cylindrical member interposed between the supporting member 11L and the X axis use rail 13L, straightness adjusting devices 57, 59 are provided, respectively, and by adjusting the devices 57, 59, straightness of the X axis use rail 13L is adjusted. In such a way, the working accuracy of the measuring instrument is improved and an assembly of a short delivery date can be executed.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は測定装置に係り、更に詳細には摺動体の真直
度を調整する真直度調整装置を備えた測定装置に関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a measuring device, and more particularly to a measuring device equipped with a straightness adjusting device for adjusting the straightness of a sliding body.

(従来の技術) 従来、測定装置として例えば3次元測定装置においては
、機械の真直度(直進性)精度は真直度を構成する摺動
レールの真直度によって決定される。すなわら、機械の
精度は虐動レールの部品加工精度に依存するとされてい
る。
(Prior Art) Conventionally, in a measuring device such as a three-dimensional measuring device, the straightness (straightness) accuracy of a machine is determined by the straightness of a sliding rail that constitutes the straightness. In other words, the accuracy of the machine is said to depend on the accuracy of machining the parts of the vibration rail.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、摺動レールを構成する部品の加工には限
度があり、より高精度の機械を製作するためには、作業
者の手作業によるレール摺動面の真直度修正が必要であ
った。したがって、真直度修正には作業者の経験と勘に
頼ると共に、相当の時間がかかると共に手間を要してい
た。
(Problem to be solved by the invention) However, there is a limit to the machining of the parts that make up the sliding rail, and in order to manufacture a machine with higher precision, it is necessary for the operator to manually straighten the rail sliding surface. A correction was necessary. Therefore, straightness correction relies on the experience and intuition of the operator, and requires considerable time and effort.

この発明の目的は、上記問題点を改善するため、部品の
真直度を機械組立調整の段階で向上させ、機械自体の真
直度精度を良好にした真直度調整装置を備えた測定装置
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a measuring device equipped with a straightness adjustment device that improves the straightness of parts at the stage of machine assembly adjustment and improves the straightness accuracy of the machine itself, in order to improve the above-mentioned problems. There is a particular thing.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明は、測定装置にお
けるベースの両側上に支持部材を設け、この各支持部材
上に円筒部材を介して摺動レールを設け、この摺動レー
ルに案内されて摺動レール、の長手方向へ移動自在な活
動体を震動レール上に設け、前記支持部材の一方におけ
る円筒部材の内側および外側に真直度を調整するための
真直度調整装置を設けて測定装置を構成した。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides support members on both sides of a base in a measuring device, and provides support members on each support member via a cylindrical member. A sliding rail is provided, and an active body that is guided by the sliding rail and is movable in the longitudinal direction of the sliding rail is provided on the vibration rail, and straightness is maintained on the inside and outside of the cylindrical member in one of the supporting members. A measuring device was constructed by providing a straightness adjustment device for adjustment.

(作用) この発明の測定装置を採用することにより、摺動体は濶
動レールの形状により、中門あるいは中凸の動きを示す
が、この中門あるいは中凸を測定し、動きが中口傾向な
らば、支持部材の一方における外側に設けた真直度調整
装置で摺動レールを押し付けることにより1習動レール
がフラットな状態に矯正されて摺動体はスムーズに移動
される。
(Function) By employing the measuring device of the present invention, the sliding body exhibits a middle gate or middle convex movement depending on the shape of the sliding rail. In this case, by pressing the slide rail with a straightness adjustment device provided on the outside of one of the supporting members, one of the driving rails is corrected to a flat state, and the slide body is smoothly moved.

また、摺動体の動きが中凸傾向ならば、支持部材の一方
における内側に設けた真直度調整装置で摺動レールを下
方へ引張ることにより活動レールがフラットな状態に矯
正されて摺動体はスムーズに移動される。
In addition, if the movement of the sliding body tends to be convex or convex, by pulling the sliding rail downward with a straightness adjustment device installed on the inside of one of the supporting members, the active rail is corrected to a flat state and the sliding body becomes smooth. will be moved to

(実施例) 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.

第6図、第7図および第8図を参照するに、測定装置と
しての例えば3次元測定装置1における測定用テーブル
3はX軸方向(第7図において上下方向、第8図におい
て左右方向)およびY軸方向(第6図および第7図にお
いて左右方向、)へ延伸した矩形形状を早している。こ
の測定用デープル3の両側における後側(第7図におい
て上側、第8図において左側)には、支持ボスト5R2
5Lが複数のボルト7で取付けられかつ立設されている
。この各支持ボスト5R,5Lの上部には前方へ向けて
一体化された支持アーム9R,9Lが設けられている。
Referring to FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8, the measurement table 3 in the three-dimensional measuring device 1 as a measuring device, for example, is in the X-axis direction (vertical direction in FIG. 7, horizontal direction in FIG. 8). and a rectangular shape extending in the Y-axis direction (left-right direction in FIGS. 6 and 7). On the rear side on both sides of this measuring table 3 (upper side in FIG. 7, left side in FIG. 8), there are support posts 5R2.
5L is attached with a plurality of bolts 7 and stands upright. At the top of each of the support posts 5R, 5L, support arms 9R, 9L are provided which are integrated toward the front.

各支持ボスト5R,5Lおよび支持アーム9R。Each support post 5R, 5L and support arm 9R.

9L上には、複数の支持部材11R,11Lを介してX
軸方向へ延伸した互いに平行な摺動レールとしてのX軸
周レール13R,,13Lが敷設されている。このX軸
周レール13R,13Lには、複数のエアベアリング1
5R,151を介して18動体としてのX軸キャレッジ
17R,17Lが活動自在に設けられている。また、X
軸用レール13Lの一側面にはX軸方向の距離を検出す
る距離センサが設けられている。
On 9L, X
X-axis circumferential rails 13R, 13L are laid as mutually parallel sliding rails extending in the axial direction. A plurality of air bearings 1 are provided on the X-axis peripheral rails 13R and 13L.
X-axis carriages 17R and 17L as 18 moving bodies are provided movably via 5R and 151. Also, X
A distance sensor for detecting the distance in the X-axis direction is provided on one side of the shaft rail 13L.

上記構成により、図示省略のX軸モータあるいは手動に
よって、X軸キャレッジ17R,17Lが複数のエアベ
アリング15R,15Lを介してX軸周レール13R,
13mに案内されてX軸方向へ移動されることになる。
With the above configuration, the X-axis carriages 17R, 17L are moved to the X-axis circumferential rail 13R,
13 m and will be moved in the X-axis direction.

前記X軸キャレッジ17R,17L上には、互いに隔離
して平行な複数のY軸方向へ延伸したY軸用レール19
F、19Bが取付けられている。
On the X-axis carriages 17R and 17L, there are a plurality of Y-axis rails 19 extending parallel to each other in the Y-axis direction and separated from each other.
F, 19B is installed.

このY軸用レール19F、19Bには複数のエアベアリ
ング21F、21Bを介してY軸キャレツジ23が設け
られている。また、Y軸用レール19Bの後部にはY軸
方向の距離を検出する距離センサが設けられている。
A Y-axis carriage 23 is provided on the Y-axis rails 19F, 19B via a plurality of air bearings 21F, 21B. Furthermore, a distance sensor for detecting the distance in the Y-axis direction is provided at the rear of the Y-axis rail 19B.

上記構成により、図示省略のY軸モータあるいは手動に
よって複数のエアベアリング21F、21Bを介してY
軸キャレッジ23がY軸用レール19F、19Bに案内
されて移動されることになる。
With the above configuration, the Y-axis motor (not shown) or manually moves the Y-axis
The shaft carriage 23 is moved guided by the Y-axis rails 19F and 19B.

前記Y軸キャレッジ23にはZ軸方向(第6図および第
8図においで上下方向)へ移動自在なZ軸方向へ延伸し
た垂直軸25が装着されている。
A vertical shaft 25 extending in the Z-axis direction is mounted on the Y-axis carriage 23 and is movable in the Z-axis direction (up and down in FIGS. 6 and 8).

この垂直軸25の先端部(第6図および第8図において
下部)にはプローブ27が装着されている。
A probe 27 is attached to the tip of this vertical shaft 25 (lower part in FIGS. 6 and 8).

しかも前記Y軸キャレッジ23には垂直軸25を案内す
るためのガイドレール29が設けられている。ガイドレ
ール29にはZ軸方向の距離を検出する距離センサが設
けられている。Y軸キャレッジ23の上方には垂直軸2
5をカバーした枠体31が取付けられている。
Furthermore, the Y-axis carriage 23 is provided with a guide rail 29 for guiding the vertical shaft 25. The guide rail 29 is provided with a distance sensor that detects the distance in the Z-axis direction. Above the Y-axis carriage 23 is a vertical axis 2.
A frame body 31 covering 5 is attached.

上記構成により、図示省略のZ軸モータあるいは手動に
よって、垂直軸25がガイドレール29に案内されてZ
軸方向へ移動されることになる。
With the above configuration, the vertical shaft 25 is guided to the guide rail 29 by the Z-axis motor (not shown) or manually, and the Z-axis
It will be moved in the axial direction.

而して、垂直軸25がX軸、Y軸およびZ軸方向へ移動
されることにより、垂直軸25の先端部に5A@された
ブ0−ブ27で測定用テーブル3上に載置された図示省
略の被測定物であるワークの測定が行なわれることとな
る。
As the vertical shaft 25 is moved in the X-, Y-, and Z-axis directions, the measuring table 3 is placed on the measurement table 3 with a probe 27 attached to the tip of the vertical shaft 25 by 5A. A workpiece, which is an object to be measured (not shown), will be measured.

前記支持ポスト5L、支持アーム9Lの上面に溶接など
で一体化された支持部材11L上には、X軸周レール1
3Lが支承されている。より詳細には、第5図に示され
ているように支持部材11Lにお番プる上部の左内側に
段差状の角部33が形成されており、この段差状の角部
33にX軸周レール13Lの左側下部を当接せしめて右
側から当て板35を介して複数のボルト37で締(Jけ
られている。したがって、X@用レール13 Lは支持
部材11mに正確に位置決めされて簡単かつ容易に組付
けることができる。
On the support member 11L that is integrated with the upper surfaces of the support post 5L and the support arm 9L by welding or the like, there is an X-axis circumferential rail 1.
3L is supported. More specifically, as shown in FIG. 5, a step-shaped corner 33 is formed on the left inner side of the upper part of the supporting member 11L, and the X-axis The lower left side of the circumferential rail 13L is brought into contact and tightened from the right side with a plurality of bolts 37 via the backing plate 35. Therefore, the X@ rail 13L is accurately positioned on the support member 11m. Can be assembled simply and easily.

なお、X軸用レール13Rが支持部材11Rに組付けら
れる構成は、X軸周レール13Lが支持部材11Lに組
付けられる構成とほぼ同じであるから詳細な説明を省略
する。
Note that the configuration in which the X-axis rail 13R is assembled to the support member 11R is almost the same as the configuration in which the X-axis peripheral rail 13L is assembled to the support member 11L, so a detailed explanation will be omitted.

X軸用レール131は支持部材11Lに対して高さ方向
へ調整自在かつ垂直調整自在に設けられている。より詳
細には、第2図、第3図および第4図に示されているよ
うに、例えば角パイプ形状の支持部材11LとX軸周レ
ール13Lにおける左側の間にはX軸周レール13Lの
長手方向に対して直交した方向へ互いに隔離した円筒部
材としての複数例えば2個のボール39が介在されてい
る。この各ボール39の下面に当接したV字状溝41V
を婦えた雄ねじ41が前記支持部材11Lに高さ方向へ
貫通して形成された雌ねじ部43に螺合されている。
The X-axis rail 131 is provided so as to be freely adjustable in the height direction and vertically with respect to the support member 11L. More specifically, as shown in FIG. 2, FIG. 3, and FIG. 4, for example, between the square pipe-shaped support member 11L and the left side of the X-axis circumferential rail 13L, there is a gap between the X-axis circumferential rail 13L. A plurality of, for example two, balls 39 are interposed as cylindrical members separated from each other in a direction perpendicular to the longitudinal direction. V-shaped groove 41V in contact with the lower surface of each ball 39
A male screw 41 with a cylindrical shape is screwed into a female screw portion 43 formed through the support member 11L in the height direction.

上記構成により、雄ねじ41を回転せしめることにより
、ボール39を介して支持部材131−の左側の高さが
調整されることになる。
With the above configuration, by rotating the male screw 41, the height of the left side of the support member 131- is adjusted via the ball 39.

前記各ボール39の外側(第2図において左側)におけ
る角バイブ形状の支持部材11mとX@用レール13L
に対向した畠さ方向の部分には、貫通した雌ねじ部45
と雌ねじ部47がそれぞれ形成されている。
A square vibe-shaped support member 11m and an X@ rail 13L on the outside of each ball 39 (on the left side in FIG. 2)
A penetrating female threaded portion 45 is provided in the part facing the field direction.
and a female threaded portion 47 are respectively formed.

この雌ねじ45部の下方から上方へ向けて雌ねじl’!
1145.47に雄ねじ49を螺合し、回転せしめるこ
とによって、X軸用レール131は支持部材11しに固
定されることになる。
From the bottom of this female thread 45 section upwards, the female thread l'!
The X-axis rail 131 is fixed to the support member 11 by screwing the male screw 49 into the X-axis rail 1145.47 and rotating it.

第1図、第3図および第4図に示されているように、支
持部材11 LとX軸周レール13Lにおける右側にあ
って、前記各ボール39のほぼ中間部に位置した間には
、円筒部材としての1個のボール51が介在されている
。このボール51の下面に当接したV字状溝53Vを備
えた雄ねじ53が前記支持部材11Lの高さ方向へ肖通
して形成された雌ねじ部55に螺合されている。
As shown in FIGS. 1, 3, and 4, between the support member 11L and the right side of the X-axis circumferential rail 13L, located approximately in the middle of each of the balls 39, One ball 51 as a cylindrical member is interposed. A male screw 53 having a V-shaped groove 53V that abuts the lower surface of the ball 51 is screwed into a female screw portion 55 formed to extend vertically through the support member 11L.

上記構成により、雄じ53を回転せしめることにより、
ボール51を介して支持部材13mの右側の高さが調整
されることになる。
With the above configuration, by rotating the male screw 53,
The height of the right side of the support member 13m is adjusted via the ball 51.

前記ボール51の内側および外側のそれぞれには第1、
第2の真直度調整装ff57.59が設けられている。
On the inside and outside of the ball 51, there are first,
A second straightness adjustment device ff57.59 is provided.

すなわら、第1の真直度調整装置57としては、ボール
51の内側(第1図において左側)における支持部材1
1LとX軸周レール13Lに対向した高さ方向の部分に
貫通した雌ねじ部61と雌ねじ部63がそれぞれ形成さ
れている。
In other words, the first straightness adjustment device 57 is the support member 1 on the inside of the ball 51 (on the left side in FIG. 1).
A female threaded portion 61 and a female threaded portion 63 are respectively formed in portions in the height direction opposite to the circumferential rail 1L and the X-axis circumferential rail 13L.

この雌ねじ部61の下方から上方へ向けて雌ねじ部61
.63に雄ねじ65を螺合し、回転せしめることによっ
てX軸周レール13しは支持部材11Lに固定される。
The female threaded portion 61 is
.. By screwing a male screw 65 into 63 and rotating it, the X-axis peripheral rail 13 is fixed to the support member 11L.

しかも、X@用レール13Lが中凸傾向にあると測定さ
れた場合には、ボール51を支点として、雄ねじ65を
さらに上方へ締付けることによってX軸周レール13L
のボール51の左側部分が下方へ引張られてX軸用レー
ル13mの垂直度が調整されることになる。
Moreover, if it is determined that the X@ rail 13L has a tendency to be convex, the X-axis peripheral rail 13L can be tightened further upward using the ball 51 as a fulcrum.
The left side portion of the ball 51 is pulled downward to adjust the verticality of the X-axis rail 13m.

第2の垂直度調整装置59としては、支持部材11Lの
第1図において右側面にはL字形状のブラケット67が
複数のボルト69で取付けられている。ブラケット67
におけるL字状部の先端部分67AがX軸周レール13
Lの中空部に挿入されており、前記先端部分67Aには
高さ方向へ日通した雌ねじ部71が形成されている。こ
の雌ねじ部71には雄ねじ73が螺合され、しかも雄ね
じ73の先端部にはV字状溝73が形成されている。こ
のV字状溝73VをX軸周レール13Lの内壁部との間
には円筒部材としてのボール75が介在されている。
As the second verticality adjustment device 59, an L-shaped bracket 67 is attached to the right side surface of the support member 11L in FIG. 1 with a plurality of bolts 69. bracket 67
The tip portion 67A of the L-shaped portion in is the X-axis circumferential rail 13.
It is inserted into the hollow part of L, and the tip part 67A is formed with a female screw part 71 that extends in the height direction. A male screw 73 is screwed into the female screw portion 71, and a V-shaped groove 73 is formed at the tip of the male screw 73. A ball 75 as a cylindrical member is interposed between the V-shaped groove 73V and the inner wall of the X-axis peripheral rail 13L.

上記構成により、X軸周レール13Lが中凹傾向にある
と測定された場合には、雄ねじ73を回転せしめること
によりボール75を介してX軸周。
With the above configuration, when it is determined that the X-axis circumferential rail 13L has a tendency to be concave, the male screw 73 is rotated to rotate the X-axis circumference via the ball 75.

レール13mが下方へ押付けられる。その結果、ボール
51を支点としてX信用レール13mの右側部分が下方
へ押し付けられてX軸周レール13Lの垂直度が調整さ
れることになる。
The rail 13m is pressed downward. As a result, the right side portion of the X-trusted rail 13m is pressed downward using the ball 51 as a fulcrum, and the verticality of the X-axis circumferential rail 13L is adjusted.

このように、摺動レールとしてのX軸周レール13Lは
支持部材11Lに対して第1、第2の直重度調整装置5
7.59を調整することによって簡単かつ容易に真直度
を調整することができる。 −而して、測定器としての
3次元測定装置1を組付け、組立てる場合には、回動レ
ールとしてのX軸出レール13Rの垂直度を追求し真直
度を出し摺動体としてのX軸キャレツジ17Rの直進性
を確保しながら調整でき、高精度を得ることができる。
In this way, the X-axis peripheral rail 13L as a sliding rail is connected to the first and second straightness adjustment devices 5 with respect to the support member 11L.
The straightness can be easily and easily adjusted by adjusting 7.59. -Thus, when assembling and assembling the three-dimensional measuring device 1 as a measuring instrument, the verticality of the X-axis output rail 13R as a rotating rail is pursued, straightness is achieved, and the X-axis carriage as a sliding body is used. It can be adjusted while ensuring the straightness of 17R, and high accuracy can be obtained.

さらに、3次元測定装置1のコストダウン、短納期組立
てが可能である。
Furthermore, it is possible to reduce the cost of the three-dimensional measuring device 1 and to assemble it in a short delivery time.

さらに、X軸出レール13Rが支持部材11Rに取付け
られている構成は、X軸周レール13Lが支持部材11
Lに取付けられている構成とほぼ同じであるから、X軸
出レール13Rの真直度調整は上述した要領と同じであ
るから、詳細な説明を省略する。
Furthermore, in the configuration in which the X-axis rail 13R is attached to the support member 11R, the X-axis peripheral rail 13L is attached to the support member 11R.
Since the configuration is almost the same as that attached to the X-axis rail 13R, the straightness adjustment of the X-axis output rail 13R is the same as described above, so detailed explanation will be omitted.

なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより。その他の態様で実施
し得るものである。本実施例ではX軸周レールの真直度
調整について説明したが、その他の軸の真直度調整につ
いても同様に対応することができる。
Note that the present invention is not limited to the embodiments described above, but may be modified as appropriate. It can be implemented in other ways. In this embodiment, straightness adjustment of the X-axis circumferential rail has been described, but straightness adjustment of other axes can be similarly handled.

[発明の効果] 以上のごとき実施例の説明により理解されるように、こ
の発明によれば、開動レールを支持部材に対して支持部
材の一方に設けた真直度調整装置を調整することにより
簡単かつ容易に調整することができる。したがって、測
定器にお番プる摺動レール上に設けた′Pi初体の直進
性を確認しながら、ffl動レールの真直度を調整すれ
ば測定器の加工精度は向上し、短納期の組立てが可能に
なる。
[Effects of the Invention] As understood from the above description of the embodiments, according to the present invention, the opening rail can be easily adjusted with respect to the support member by adjusting the straightness adjustment device provided on one side of the support member. and can be easily adjusted. Therefore, if you adjust the straightness of the ffl moving rail while checking the straightness of the 'Pi initial body installed on the sliding rail that is connected to the measuring instrument, the machining accuracy of the measuring instrument can be improved and the delivery time can be shortened. Assembly becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は第3図における工矢視部の拡大断面図、第2図
は第3図における■矢視部の拡大断面図、第3図は第8
図における■矢視部の拡大図、第4図は第3図における
平面図、第5図は第6図におけるV矢視部の拡大図、第
6図はこの発明を実施した一実施例の3次元測定装置の
正面図、第7図は第6図における平面図および第8図は
第6図における左側面図である。 1・・・3次元測定装置 9R,9L・・・支持ポスト(ベース)11R,11L
・・・支持部材 13R,13K・・・X軸周レール(摺動レール)17
R,17L・・・X軸キャレッジ(摺動体)39.51
.75・・・ボール(円筒部材)49.63.73・・
・雌ねじ 代理人 弁理士  三 好 保 男 第2図
Figure 1 is an enlarged cross-sectional view of the section viewed from the arrow in Figure 3, Figure 2 is an enlarged cross-sectional view of the section viewed from the ■ arrow in Figure 3, and Figure 3 is the
4 is a plan view of FIG. 3, FIG. 5 is an enlarged view of a section viewed from V in FIG. 6, and FIG. 7 is a front view of the three-dimensional measuring device, FIG. 7 is a plan view in FIG. 6, and FIG. 8 is a left side view in FIG. 6. 1... Three-dimensional measuring device 9R, 9L... Support post (base) 11R, 11L
...Supporting members 13R, 13K...X-axis circumferential rail (sliding rail) 17
R, 17L...X-axis carriage (sliding body) 39.51
.. 75... Ball (cylindrical member) 49.63.73...
・Female screw agent Yasuo Miyoshi, patent attorney Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 測定装置におけるベースの両側上に支持部材を設け、こ
の各支持部材上に円筒部材を介して摺動レールを設け、
この摺動レールに案内されて摺動レールの長手方向へ移
動自在な摺動体を摺動レール上に設け、前記支持部材の
一方における円筒部材の内側および外側に真直度を調整
するための真直度調整装置を設けてなることを特徴とす
る測定装置。
Support members are provided on both sides of the base in the measuring device, and a sliding rail is provided on each support member via a cylindrical member,
A sliding body that is guided by the sliding rail and is movable in the longitudinal direction of the sliding rail is provided on the sliding rail, and the straightness for adjusting the straightness of the inside and outside of the cylindrical member on one of the supporting members is provided. A measuring device characterized by being provided with an adjusting device.
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