JPH01307601A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は測定装置に係り、更に詳細には摺動体の真直
度を調整する真直度調整装置を備えた測定装置に関する
。

（従来の技術） 従来、測定装置として例えば３次元測定装置においては
、機械の真直度（直進性）精度は真直度を構成する摺動
レールの真直度によって決定される。すなわら、機械の
精度は虐動レールの部品加工精度に依存するとされてい
る。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、摺動レールを構成する部品の加工には限
度があり、より高精度の機械を製作するためには、作業
者の手作業によるレール摺動面の真直度修正が必要であ
った。したがって、真直度修正には作業者の経験と勘に
頼ると共に、相当の時間がかかると共に手間を要してい
た。

この発明の目的は、上記問題点を改善するため、部品の
真直度を機械組立調整の段階で向上させ、機械自体の真
直度精度を良好にした真直度調整装置を備えた測定装置
を提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は、測定装置にお
けるベースの両側上に支持部材を設け、この各支持部材
上に円筒部材を介して摺動レールを設け、この摺動レー
ルに案内されて摺動レール、の長手方向へ移動自在な活
動体を震動レール上に設け、前記支持部材の一方におけ
る円筒部材の内側および外側に真直度を調整するための
真直度調整装置を設けて測定装置を構成した。

（作用） この発明の測定装置を採用することにより、摺動体は濶
動レールの形状により、中門あるいは中凸の動きを示す
が、この中門あるいは中凸を測定し、動きが中口傾向な
らば、支持部材の一方における外側に設けた真直度調整
装置で摺動レールを押し付けることにより１習動レール
がフラットな状態に矯正されて摺動体はスムーズに移動
される。

また、摺動体の動きが中凸傾向ならば、支持部材の一方
における内側に設けた真直度調整装置で摺動レールを下
方へ引張ることにより活動レールがフラットな状態に矯
正されて摺動体はスムーズに移動される。

（実施例） 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第６図、第７図および第８図を参照するに、測定装置と
しての例えば３次元測定装置１における測定用テーブル
３はＸ軸方向（第７図において上下方向、第８図におい
て左右方向）およびＹ軸方向（第６図および第７図にお
いて左右方向、）へ延伸した矩形形状を早している。こ
の測定用デープル３の両側における後側（第７図におい
て上側、第８図において左側）には、支持ボスト５Ｒ２
５Ｌが複数のボルト７で取付けられかつ立設されている
。この各支持ボスト５Ｒ，５Ｌの上部には前方へ向けて
一体化された支持アーム９Ｒ，９Ｌが設けられている。

各支持ボスト５Ｒ，５Ｌおよび支持アーム９Ｒ。

９Ｌ上には、複数の支持部材１１Ｒ，１１Ｌを介してＸ
軸方向へ延伸した互いに平行な摺動レールとしてのＸ軸
周レール１３Ｒ，，１３Ｌが敷設されている。このＸ軸
周レール１３Ｒ，１３Ｌには、複数のエアベアリング１
５Ｒ，１５１を介して１８動体としてのＸ軸キャレッジ
１７Ｒ，１７Ｌが活動自在に設けられている。また、Ｘ
軸用レール１３Ｌの一側面にはＸ軸方向の距離を検出す
る距離センサが設けられている。

上記構成により、図示省略のＸ軸モータあるいは手動に
よって、Ｘ軸キャレッジ１７Ｒ，１７Ｌが複数のエアベ
アリング１５Ｒ，１５Ｌを介してＸ軸周レール１３Ｒ，
１３ｍに案内されてＸ軸方向へ移動されることになる。

前記Ｘ軸キャレッジ１７Ｒ，１７Ｌ上には、互いに隔離
して平行な複数のＹ軸方向へ延伸したＹ軸用レール１９
Ｆ、１９Ｂが取付けられている。

このＹ軸用レール１９Ｆ、１９Ｂには複数のエアベアリ
ング２１Ｆ、２１Ｂを介してＹ軸キャレツジ２３が設け
られている。また、Ｙ軸用レール１９Ｂの後部にはＹ軸
方向の距離を検出する距離センサが設けられている。

上記構成により、図示省略のＹ軸モータあるいは手動に
よって複数のエアベアリング２１Ｆ、２１Ｂを介してＹ
軸キャレッジ２３がＹ軸用レール１９Ｆ、１９Ｂに案内
されて移動されることになる。

前記Ｙ軸キャレッジ２３にはＺ軸方向（第６図および第
８図においで上下方向）へ移動自在なＺ軸方向へ延伸し
た垂直軸２５が装着されている。

この垂直軸２５の先端部（第６図および第８図において
下部）にはプローブ２７が装着されている。

しかも前記Ｙ軸キャレッジ２３には垂直軸２５を案内す
るためのガイドレール２９が設けられている。ガイドレ
ール２９にはＺ軸方向の距離を検出する距離センサが設
けられている。Ｙ軸キャレッジ２３の上方には垂直軸２
５をカバーした枠体３１が取付けられている。

上記構成により、図示省略のＺ軸モータあるいは手動に
よって、垂直軸２５がガイドレール２９に案内されてＺ
軸方向へ移動されることになる。

而して、垂直軸２５がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向へ移動
されることにより、垂直軸２５の先端部に５Ａ＠された
ブ０−ブ２７で測定用テーブル３上に載置された図示省
略の被測定物であるワークの測定が行なわれることとな
る。

前記支持ポスト５Ｌ、支持アーム９Ｌの上面に溶接など
で一体化された支持部材１１Ｌ上には、Ｘ軸周レール１
３Ｌが支承されている。より詳細には、第５図に示され
ているように支持部材１１Ｌにお番プる上部の左内側に
段差状の角部３３が形成されており、この段差状の角部
３３にＸ軸周レール１３Ｌの左側下部を当接せしめて右
側から当て板３５を介して複数のボルト３７で締（Ｊけ
られている。したがって、Ｘ＠用レール１３　Ｌは支持
部材１１ｍに正確に位置決めされて簡単かつ容易に組付
けることができる。

なお、Ｘ軸用レール１３Ｒが支持部材１１Ｒに組付けら
れる構成は、Ｘ軸周レール１３Ｌが支持部材１１Ｌに組
付けられる構成とほぼ同じであるから詳細な説明を省略
する。

Ｘ軸用レール１３１は支持部材１１Ｌに対して高さ方向
へ調整自在かつ垂直調整自在に設けられている。より詳
細には、第２図、第３図および第４図に示されているよ
うに、例えば角パイプ形状の支持部材１１ＬとＸ軸周レ
ール１３Ｌにおける左側の間にはＸ軸周レール１３Ｌの
長手方向に対して直交した方向へ互いに隔離した円筒部
材としての複数例えば２個のボール３９が介在されてい
る。この各ボール３９の下面に当接したＶ字状溝４１Ｖ
を婦えた雄ねじ４１が前記支持部材１１Ｌに高さ方向へ
貫通して形成された雌ねじ部４３に螺合されている。

上記構成により、雄ねじ４１を回転せしめることにより
、ボール３９を介して支持部材１３１−の左側の高さが
調整されることになる。

前記各ボール３９の外側（第２図において左側）におけ
る角バイブ形状の支持部材１１ｍとＸ＠用レール１３Ｌ
に対向した畠さ方向の部分には、貫通した雌ねじ部４５
と雌ねじ部４７がそれぞれ形成されている。

この雌ねじ４５部の下方から上方へ向けて雌ねじｌ’！
１１４５．４７に雄ねじ４９を螺合し、回転せしめるこ
とによって、Ｘ軸用レール１３１は支持部材１１しに固
定されることになる。

第１図、第３図および第４図に示されているように、支
持部材１１　ＬとＸ軸周レール１３Ｌにおける右側にあ
って、前記各ボール３９のほぼ中間部に位置した間には
、円筒部材としての１個のボール５１が介在されている
。このボール５１の下面に当接したＶ字状溝５３Ｖを備
えた雄ねじ５３が前記支持部材１１Ｌの高さ方向へ肖通
して形成された雌ねじ部５５に螺合されている。

上記構成により、雄じ５３を回転せしめることにより、
ボール５１を介して支持部材１３ｍの右側の高さが調整
されることになる。

前記ボール５１の内側および外側のそれぞれには第１、
第２の真直度調整装ｆｆ５７．５９が設けられている。

すなわら、第１の真直度調整装置５７としては、ボール
５１の内側（第１図において左側）における支持部材１
１ＬとＸ軸周レール１３Ｌに対向した高さ方向の部分に
貫通した雌ねじ部６１と雌ねじ部６３がそれぞれ形成さ
れている。

この雌ねじ部６１の下方から上方へ向けて雌ねじ部６１
．６３に雄ねじ６５を螺合し、回転せしめることによっ
てＸ軸周レール１３しは支持部材１１Ｌに固定される。

しかも、Ｘ＠用レール１３Ｌが中凸傾向にあると測定さ
れた場合には、ボール５１を支点として、雄ねじ６５を
さらに上方へ締付けることによってＸ軸周レール１３Ｌ
のボール５１の左側部分が下方へ引張られてＸ軸用レー
ル１３ｍの垂直度が調整されることになる。

第２の垂直度調整装置５９としては、支持部材１１Ｌの
第１図において右側面にはＬ字形状のブラケット６７が
複数のボルト６９で取付けられている。ブラケット６７
におけるＬ字状部の先端部分６７ＡがＸ軸周レール１３
Ｌの中空部に挿入されており、前記先端部分６７Ａには
高さ方向へ日通した雌ねじ部７１が形成されている。こ
の雌ねじ部７１には雄ねじ７３が螺合され、しかも雄ね
じ７３の先端部にはＶ字状溝７３が形成されている。こ
のＶ字状溝７３ＶをＸ軸周レール１３Ｌの内壁部との間
には円筒部材としてのボール７５が介在されている。

上記構成により、Ｘ軸周レール１３Ｌが中凹傾向にある
と測定された場合には、雄ねじ７３を回転せしめること
によりボール７５を介してＸ軸周。

レール１３ｍが下方へ押付けられる。その結果、ボール
５１を支点としてＸ信用レール１３ｍの右側部分が下方
へ押し付けられてＸ軸周レール１３Ｌの垂直度が調整さ
れることになる。

このように、摺動レールとしてのＸ軸周レール１３Ｌは
支持部材１１Ｌに対して第１、第２の直重度調整装置５
７．５９を調整することによって簡単かつ容易に真直度
を調整することができる。　−而して、測定器としての
３次元測定装置１を組付け、組立てる場合には、回動レ
ールとしてのＸ軸出レール１３Ｒの垂直度を追求し真直
度を出し摺動体としてのＸ軸キャレツジ１７Ｒの直進性
を確保しながら調整でき、高精度を得ることができる。

さらに、３次元測定装置１のコストダウン、短納期組立
てが可能である。

さらに、Ｘ軸出レール１３Ｒが支持部材１１Ｒに取付け
られている構成は、Ｘ軸周レール１３Ｌが支持部材１１
Ｌに取付けられている構成とほぼ同じであるから、Ｘ軸
出レール１３Ｒの真直度調整は上述した要領と同じであ
るから、詳細な説明を省略する。

なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより。その他の態様で実施
し得るものである。本実施例ではＸ軸周レールの真直度
調整について説明したが、その他の軸の真直度調整につ
いても同様に対応することができる。

［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明により理解されるように、こ
の発明によれば、開動レールを支持部材に対して支持部
材の一方に設けた真直度調整装置を調整することにより
簡単かつ容易に調整することができる。したがって、測
定器にお番プる摺動レール上に設けた′Ｐｉ初体の直進
性を確認しながら、ｆｆｌ動レールの真直度を調整すれ
ば測定器の加工精度は向上し、短納期の組立てが可能に
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第３図における工矢視部の拡大断面図、第２図
は第３図における■矢視部の拡大断面図、第３図は第８
図における■矢視部の拡大図、第４図は第３図における
平面図、第５図は第６図におけるＶ矢視部の拡大図、第
６図はこの発明を実施した一実施例の３次元測定装置の
正面図、第７図は第６図における平面図および第８図は
第６図における左側面図である。 １・・・３次元測定装置 ９Ｒ，９Ｌ・・・支持ポスト（ベース）１１Ｒ，１１Ｌ
・・・支持部材 １３Ｒ，１３Ｋ・・・Ｘ軸周レール（摺動レール）１７
Ｒ，１７Ｌ・・・Ｘ軸キャレッジ（摺動体）３９．５１
．７５・・・ボール（円筒部材）４９．６３．７３・・
・雌ねじ 代理人　弁理士　　三　好　保　男 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 測定装置におけるベースの両側上に支持部材を設け、こ
   の各支持部材上に円筒部材を介して摺動レールを設け、
   この摺動レールに案内されて摺動レールの長手方向へ移
   動自在な摺動体を摺動レール上に設け、前記支持部材の
   一方における円筒部材の内側および外側に真直度を調整
   するための真直度調整装置を設けてなることを特徴とす
   る測定装置。