JPH01307609A - 膜厚測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、磁気テープのようなシートの厚みを測定す
るための膜厚測定方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の膜厚測定方法を、例えば特開昭６０−１７４６０
９号公報に記載された第２図を参照して説明する。

図において、所定の速度で回転される回転軸（１）の面
から所定の距離をあけて回転軸（１）と平行に遮光板（
２）が設けられている、被測定シート（３）は回転軸（
１）と密着して、回転軸（１）の速度と同じ速度で走行
する。レーザ光発生器（４）はレーザ光（４ａ）を発生
する。ハーフミラ−（５）はレーザ光（４ａ）をレーザ
光（４ｂ）と（４ｃ）に分割する。第１の反射ミラー（
６）はＶ−ザ光（４ｃ）の光路な変える。第２の反射ミ
ラー（７）はレーザ光（４ｂ）を受けて回転軸（１）の
表面と遮光板（２）との間を走査し、レーザ光（４ｃ）
を受けて被測定シート（３）と遮光板（２）との間を走
査するように制御される。レンズ（８１、（９１は反射
ミラー（７）で反射した各レーザ光（４ｂ　）＋　（４
ｃ　）をそれぞれ集光する。レンズ（１（Ｎ、（１１”
）は走査した各レーザ光（４ｂ）、（４ｃ）を受光器（
１２）、（１３）にそれぞれ集光する。受光器（１２”
ｌ、（１３）の出力はそれぞれピークホールド回路（１
４Ｌ（１５）に入力され、さらにコンパレータ（１６）
、（１７）、カウンタ（１８）、（Ｉｎから演算器（２
０）、表示器（２１）へ順次信号が流れる。

次に測定手順は、まず、レーザ光発生器（４）から出射
されたレーザ光（４ａ）は、ハーフミラ−（５）Ｋよっ
てレーザ光（４ｂ）、（４ｃｌに分割され、レーザ光（
４ｂ）は第１の反射ミラー（６）によって反射され、レ
ーザ光（４ｂ）、（４Ｃ）ともに第２の反射ミラー（７
）に入射され、いずれも同一の角速度で走査される。反
射したレーザ光（４ｂ）、（４ｃｌはそれぞれレンズ（
ｓｌ　＃　（９）で集光されて、第３図に示すように、
それぞれギャップＡ、Ｂの位置でそのビーム径が最小に
なって回転軸（１）に垂直な方向、つまりギャップの方
向に一定の速度で走査される。このとき、各受光器（１
２）、（１３）には各ギャップＡ、Ｂを各レーザ光（４
ｂ）＋（４ｃ）が通過している間だけ入射される。

したがって受光器（１２）（１３）の出力信号はギャッ
プＡ、Ｈの大きさに比例した幅の出力波形となる。この
それぞれのパルス波形のピーク値をピークホールド回路
（１４Ｌ（１５）でそれぞれホールドして、ホールド値
の１／２を１７きい値として、コンパレータ（１６）、
（１７）で波形整形を行うことＫより、ギャップＡ、Ｈ
の大きさに応じた幅のパルス波形を得る。このパルス波
形のパルス幅をカウンタ（Ｉ８）、（１９）でそわぞれ
パルスカウントし、器 これらのカウント数から演算＠　（２０）で厚みを計算
して表示器（２１）に表示する。カウンタ（１８）のカ
ウント数をａ、カウンタ（１９）のカウント数をｂとす
ると、被測定シートの厚みｔｘは（１）式で求められる
。

ｔｘ＝ｔｏ（１−−’ｌ　　　　　・・・（１）ただし
、ｔｏはギャップＡの犬ぎさである。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上のような従来の膜厚測定方法では、ピークホールド
回路の特性およびコンパレータの特性が膜厚測定値に影
響を及ぼすとともに、信号処理回路部が複雑になるとい
う欠点があった。

この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、回路構成が簡単で、精度のよい膜厚測定方法を
得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る膜厚測定方法は、レーザ光を点滅させ、
受光器に受信されるパルスの数をカウントすることによ
って、遮光板と被測定シート表面の距離を検知し、被測
定シートの膜厚を算出する。

〔作　用〕

この発明における膜厚測定方法は、簡単な回路構成で、
精度のよい膜厚測定を可能にする。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図を参照して説明する
。第１図において、符号（１）〜（１３）、（１８）〜
（２１）は第２図におけると同一の部分である。

レーザ光源駆動装置（２２）は、レーザ光（４ａ）を一
定の周期で点滅させるものである。測定の手順は、まず
レーザ光源（４）は、レーザ光源駆動装置（２２）によ
って駆動され、レーザ光（４ａ）は一定の周期で点滅し
ている。レーザ光（４ａ）はハーフミラ−（５）によっ
てレーザ光（４ｂＬ（４ｃ）に分割され、レーザ光（４
ｂ）は反射ミラー（６）Ｋよって反射され、それぞれ走
査機構の反射ミラー（７）に入射され、遮光板（２）と
回転軸（１）の表面の間および、遮光板（２）と被測定
シート（３）の表面の間隔を走査し、この間をレーザ光
（４ｂＬ（４ｃ）が通過している間だけ、受光器（１２
）、（１３）に光が受光される。レーザ光（４ｂ）、（
４ｃ）は点滅しているため、受光器（１２）、（１３’
）に受光される光のパルスの数は、それぞれ遮光板（２
）と回転軸（１）の表面の間隔、遮光板（２）と被測定
シート（３）の表面の間隔に比例したものとなる。この
パルス数をそれぞれカウンタ（ｉｓ）＋（１９）でパル
スカウントし、演算器（２０）ではこれらのカウント数
から厚みを計算して表示器（２１）に表示する。カウン
タ（１８）のカウント数をａ、カウンタ（１９）のカウ
ント数をｂとすると、被測定シート（３）の厚みｔｘは
、従来例の場合と同様に、紡記の（１）式で求められる
。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、レーザ光を点滅させ
ながら走査を行い、受光器に受光される光のパルス数を
カウントして０、カウント数から被測定シートの膜厚を
算出することによって、簡単な信号処理回路で被測定シ
ートの膜厚を精度よく測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を説明するための装置の斜
視図、第２図は従来の膜厚測定方法を説明するための装
置の斜視図、第３図は第２図の要部を示す説明図である
。 （１）・・回転軸、（２）・・遮光板、（３）・・被測
定シート、（４ａ）、（４ｂ）、（４Ｃ）・・レーザ光
、（７）−・反射ミラー、（１２）、（１３）・・受光
器、（１８）。 （１９）・串カウンタ、（２０）・９演算器、（２１）
ｅ拳表示器、（２２）−・レーザ光源駆動装置。 なお、各図中、同一符号は圏−または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定シートを回転軸で密着支持しながら走行させ、上
   記回転軸の面から所定の距離をあけて上記回転軸の回転
   中心と平行に遮光板を設けて、上記被測定シートの表面
   と上記遮光板の間をレーザ光を使つて反射ミラーで走査
   し、上記遮光板と上記被測定シートの間を透過する上記
   レーザ光を受光器で受光し、この受光時間から上記被測
   定シートの膜厚を測定する膜厚測定方法において、上記
   レーザ光を点滅させ、上記受光器に受光される上記レー
   ザ光のパルス数をカウントすることによつて上記被測定
   シートの膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法
   。