JPH01310862A - バーニシング装置 - Google Patents
バーニシング装置Info
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- JPH01310862A JPH01310862A JP14300488A JP14300488A JPH01310862A JP H01310862 A JPH01310862 A JP H01310862A JP 14300488 A JP14300488 A JP 14300488A JP 14300488 A JP14300488 A JP 14300488A JP H01310862 A JPH01310862 A JP H01310862A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N cobalt nickel Chemical compound [Co].[Ni].[Ni].[Ni] ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
- B24B39/06—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを行う
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置。
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置。
（従来の技術）
従来より、磁気ヘッドを通して磁気記録媒体（以下媒体
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
ンプルディスク、ハードディスクなどが実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るたけ小さくすることが必要であり
、現時点てはハードディスク装置において０．２ミクロ
ンが最小である。
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
ンプルディスク、ハードディスクなどが実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るたけ小さくすることが必要であり
、現時点てはハードディスク装置において０．２ミクロ
ンが最小である。
（発明が解決しようとする問題点）
磁気ヘッドと媒体の間隔を小さくするため磁気テープ、
磁気カード、フレキンプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードディスクにおいて
は、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取り
付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮上す
るか、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を小
さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッドが接
触摩耗（ヘッドクラノンユ）したり、磁気ヘッドの浮上
安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因となる
。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて媒体上
の突起１５を除去すること（バーニシング）が行われて
きたか、磁気へ、ドがジンバルバネ１４を介して支持さ
れて動きの自由度があることあるいは回転する磁気ディ
スク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得られ
ないうえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清？争な
媒体表面に傷をつけることかみられた。
磁気カード、フレキンプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードディスクにおいて
は、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取り
付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮上す
るか、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を小
さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッドが接
触摩耗（ヘッドクラノンユ）したり、磁気ヘッドの浮上
安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因となる
。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて媒体上
の突起１５を除去すること（バーニシング）が行われて
きたか、磁気へ、ドがジンバルバネ１４を介して支持さ
れて動きの自由度があることあるいは回転する磁気ディ
スク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得られ
ないうえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清？争な
媒体表面に傷をつけることかみられた。
（問題点を解決するための手段）
本発明のバーニシング装置では媒体」二の突起を効果的
に除去するため、媒体と除去屑の排出装置をつけたバー
ニシングヘッド間の距離を変位センサーにより測定しつ
つ、該距離を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付け
たアクチュエータを駆動させて非接触あるいは極めて軽
荷重で媒体とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体
上の突起を除去することを特徴とする。
に除去するため、媒体と除去屑の排出装置をつけたバー
ニシングヘッド間の距離を変位センサーにより測定しつ
つ、該距離を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付け
たアクチュエータを駆動させて非接触あるいは極めて軽
荷重で媒体とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体
上の突起を除去することを特徴とする。
（実施例）
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の磁気記録装置の一実施例を示す図であ
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体とバーニ
シングヘッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出
た光か光ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の
戻り光の強度変化により測定される。バーニシングへ、
ド４は変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９に
より駆動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔
て媒体表面に追従する。ここで突起１５かあるとバーニ
シングヘッドは突起に追従できず突起とバーニシングヘ
ッドか衝突し突起か取り除かれる。トリ除かれた突起の
層は吸引管１６から排出され、バーニシングヘッドと媒
体３の間に屑か入り込み媒体に傷が付くことを防く。光
反射強度型変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属
を用いた時、４０Ａ程度の精度か得られる。ここでは磁
性媒体３にコバルト・ニッケル合金をスパンタリング法
によりアルミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３
の」二に被覆してバーニシング装置を作製した。本発明
のバーニシングヘッドは第１図のようなスクイズ角のあ
る形の他に先端か曲面状になった形でもよい。また吸引
管１６は２本以上であってもよい。
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体とバーニ
シングヘッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出
た光か光ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の
戻り光の強度変化により測定される。バーニシングへ、
ド４は変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９に
より駆動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔
て媒体表面に追従する。ここで突起１５かあるとバーニ
シングヘッドは突起に追従できず突起とバーニシングヘ
ッドか衝突し突起か取り除かれる。トリ除かれた突起の
層は吸引管１６から排出され、バーニシングヘッドと媒
体３の間に屑か入り込み媒体に傷が付くことを防く。光
反射強度型変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属
を用いた時、４０Ａ程度の精度か得られる。ここでは磁
性媒体３にコバルト・ニッケル合金をスパンタリング法
によりアルミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３
の」二に被覆してバーニシング装置を作製した。本発明
のバーニシングヘッドは第１図のようなスクイズ角のあ
る形の他に先端か曲面状になった形でもよい。また吸引
管１６は２本以上であってもよい。
また本発明に用いられる変位センサーには光干渉型、静
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流速計などを用いるこ
とができ、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることができる。バーニシングヘッドは硬い材料が望ま
しく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物が用いられる。
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流速計などを用いるこ
とができ、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることができる。バーニシングヘッドは硬い材料が望ま
しく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物が用いられる。
また比較として第２図に示すようなジンバルバネを用い
た磁気ヘッドを用いるバーニシング装置を用意した。
た磁気ヘッドを用いるバーニシング装置を用意した。
本発明のバーニシング装置とジンバルバネ支持磁気ヘッ
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（バーニシング）を行ったところ、ジンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングては０１ ミクロ
ンの浮上量で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したが本発明のバーニシングては０．１ ミクロン
のバーニシングヘッドと磁気ディスク表面の間隔におい
て突起数１４０個のうち全数か除去された。ジンバルバ
ネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは磁気ディス
ク上に数十水の引掻傷か生したか、本発明のバーニシン
グては傷は皆無であった。なおバーニシングにおける突
起の検出は磁気ヘッドまたはバーニシングヘッドに取り
付けたＡＥセンサー（突起の衝撃により生じる振動を圧
電素子により検知するセンサー）により行った。
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（バーニシング）を行ったところ、ジンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングては０１ ミクロ
ンの浮上量で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したが本発明のバーニシングては０．１ ミクロン
のバーニシングヘッドと磁気ディスク表面の間隔におい
て突起数１４０個のうち全数か除去された。ジンバルバ
ネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは磁気ディス
ク上に数十水の引掻傷か生したか、本発明のバーニシン
グては傷は皆無であった。なおバーニシングにおける突
起の検出は磁気ヘッドまたはバーニシングヘッドに取り
付けたＡＥセンサー（突起の衝撃により生じる振動を圧
電素子により検知するセンサー）により行った。
（発明の効果）
以上のように、本発明によれば磁性媒体上の突起を媒体
表面に傷を付けることなく除去することかできる。
表面に傷を付けることなく除去することかできる。
第１図は本発明のバーニシング装置の一実施例を示す図
、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバーニ
シング装置の概略を示す図である。 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．バーニシン
グヘッド、５．光ファイバ、６．光反射強度型変位計、
７．サーボアンプ、８．圧電アクチュエータ、９．アン
プ、１１．下地体、１２゜磁性媒体、１３．磁気ヘッド
、１４，７ンハ／ｌ／ ハネ、１５．突起、１６．吸引
管である。
、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバーニ
シング装置の概略を示す図である。 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．バーニシン
グヘッド、５．光ファイバ、６．光反射強度型変位計、
７．サーボアンプ、８．圧電アクチュエータ、９．アン
プ、１１．下地体、１２゜磁性媒体、１３．磁気ヘッド
、１４，７ンハ／ｌ／ ハネ、１５．突起、１６．吸引
管である。
Claims (1)
- 除去屑の排出装置を付けたバーニシングヘッドと、磁気
記録媒体と該バーニシングヘッド間の距離を測定する変
位センサーと、該距離を一定に保つためのバーニシング
ヘッドに取り付けたアクチュエータとを備えたことを特
徴とするバーニシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300488A JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300488A JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310862A true JPH01310862A (ja) | 1989-12-14 |
| JP2580718B2 JP2580718B2 (ja) | 1997-02-12 |
Family
ID=15328714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14300488A Expired - Lifetime JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2580718B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230320A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスクの表面突起除去方法 |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14300488A patent/JP2580718B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230320A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気ディスクの表面突起除去方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2580718B2 (ja) | 1997-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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