JPH01311377A - 長尺シートの欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） この発明は、繰り返しパターンが印刷されて連続して送
り出されるシート状の被検査体を検査する長尺シートの
欠陥検査装置に関する。

（発明の概要） この発明は、繰り返しイメージパターンが形成されてい
る長尺シート状被検査体を、イメージセンサカメラで撮
像して得られる画像データより、欠陥部を光学的に連続
検出する欠陥検査装置において、撮像して得られた被検
査体上の繰り返しイメージパターンをあられす画像デー
タに基づいてマスクパターンを自動的に学習し、同時に
画像データ中の図柄の操り返しピッチをその都度学習し
ながらマスク処理する機能を備えたことにより、マスク
パターンの初期設定に伴うピッチ誤差の累積が解消され
て欠陥検査の精度を向上させたものである。

（従来技術とその問題点） 繰り返しパターンが印刷されて送り出される長尺シート
の検査ラインでは、印刷パターンの不良や、汚れゴミ付
着、シート材そのものの欠陥等をＣＣＤカメラで層形し
、得られた画像データと、予め学習しておいた繰り返し
パターンとを重ね合わせて、被検査体から得られた画像
データ中の繰り返しパターンを取り除く、いわゆるマス
ク処理をして残った画像データに基づいて欠陥部を検出
する方法が取られていた。

しかしながらこれらの検査装置では、マスク処理に用い
るマスクパターンを予め画像データから取り込んで作成
し、同時にマスクパターンによるマスク処理をするピッ
チ、つまり繰り返しパターンのピッチを、掻作員がスケ
ール等で計測して設定していた。検査時はこのピッチご
とにマスク処理をおこなわれる。そのため設定ピッチを
可能な限り正確におこなっても、誤差が累積される。ま
た被検出体の温度等の生産条件がピッチ設定時より変動
すると被検査体の伸縮が発生し、やはり累積誤差の原因
となる。

このような累積誤差の悪影響を除くためには、マスクパ
ターンを移動方向にふくらませて作成する方法が取られ
ていた。

その結果、図柄近辺、取り分は図柄の移動方向近傍に発
生した欠陥については見逃されていた。

これはマスク処理方法を採用している欠陥検査装置の大
きな欠点であった。

（発明の目的） この発明は上記の点に鑑み堤案されたものでその目的と
するところは、未検査領域を最小限にすることにより、
欠陥の見逃しを減らして検査精度を増した長尺シートの
欠陥検査装置を提供することにある。

（発明の構成と効果） この発明は、上記目的を達成するために、長手方向に連
続して移動するとともに表面に繰り返しイメージパター
ンが形成されている長尺シート状被検査体を、移動方向
と直交する方向に走査・撮像するイメージセンサカメラ
から得られた画像データに基づいて、被検査体の欠陥を
光学的に検出する長尺シートの欠陥検査装置において、
（８）上記画像データから、全ての画素が白である走査
区間の有無を判別し、無しの場合は上記画像データを流
れ方向にＡＮＤ加算して、イメージパターン中の移動方
向に形成されているストライブを検出する検出手段と、 （ｂ）この検出手段で検出されたストライブイメージに
基づいて作成されたストライブマスクを用い、上記画像
データ中のストライブをマスク処理により削除する削除
手段と、 （ｅ）この削除手段によりストライブデータが削除され
た上記画像データから、全ての画素が白である走査区間
、およびそれ以外の黒の画素を含む走査区間をそれぞれ
計数し、その中で白い走査区間が連続する部分のうちの
最多連続部を検出し、検出された１以上の最多連続部の
うち、最初の連続部の次に位置する黒い画素を含む走査
区間連続部の先頭走査区間を繰り返しイメージパターン
の基準位置に特定する基準位置特定手段と、 （ｄｌこの基準位置特定手段で特定された基準位置から
始まる黒い画素を含む走査区間の連続部について、各走
査区間に含まれる黒い画素を移動方向にＯＲ加算し、図
柄に対応して白と黒の画素からなる一次元の基準ビット
パターンを取り出す基準図柄特定手段と、 ｌｅｔ上記基準位置特定手段で特定された基準位置以降
の最初に位置し、同手段により検出された白い走査区間
の最多連続部の次に続く黒い画素の走査区間連続部が、
同手段により既に特定された黒い画素を含む走査区間の
連続長と同一であることを確認した後、上記基準図柄特
定手段と同様手順でこの黒い画素を含む走査区間のビッ
トパターンを取り出し、既に取り出されている基準ビッ
トパターンと比較し、同一ならば次の繰り返しイメージ
パターン先頭部候補として選択する次イメージパターン
候補選択手段と、 （「）この次イメージパターン候補選択手段で選択され
たビットパターンと、上記基準図柄特定手段により選択
された基準ビットパターンとに、互いに対応してそれぞ
れ含まれる中央より特定図柄を平面データとして取り出
し、その図形に中空部がある場合は塗りつぶし処理をし
た後、両者の重心および面積を比較し、一致した場合は
選択された次イメージパターン候補を、次に繰り返され
るイメージパターンに決定する次イメージパターン決定
手段と、 （沿上記基準位置特定手段で特定された基準位置と、上
記次イメージパターン決定手段により順次決定された少
なくとも３個の次イメージパターンの先頭部の走査区間
位置とから算出され、イメージパターン１単位の移動方
向全長を走査数であられしたそれぞれのピッチを比較し
、全てが一致した場合はその走査数を基準ピッチとして
決定し、不一致の場合は多数決により決められる走査数
を基準ピッチとして決定する基準ピッチ決定手段と、（
ｈｌこの基準ピッチ決定手段で得られた基準ピッチごと
に、上記画像データを少な（とも３ピッチ分、重ね合わ
せて黒をあらわす画素を加算処理するとともに、縦およ
び横方向にそれぞれ所定のマスクオフセット値を加算し
てマスクパターンを作成するマスクパターン作成手段と
、 を備えたことにより、検査に先立ち上記各手段によりマ
スクパターンを作成し、検査の際は被検出体から得られ
る画像データ中の繰り返しパターンを上記手段により特
定した後、作成されたマスクパターンに基づき、マスク
処理をして欠陥画像データを得るようにしたことを特徴
とする。

この発明は、以上のように構成したことにより、撮像し
て得られた画像データから被検査体上の繰り返しイメー
ジパターン基づいてマスクパターンを自動的に学習し、
同時に画像データ中の図柄の繰り返しピッチをその都度
学習しながらマスク処理する機能を備えたことにより、
マスクパターンの初期設定等からなるピッチ誤差の累積
が解消されることにより、マスクパターンの移動方向の
長さを必要最小限に設定可能となり、その分未検査領域
が減少して、欠陥の見逃しが少なくなり検査精度が増す
効果が得られる。

（実施例の説明） 第１図はこの発明にかかる実施例の電気的構成を示すブ
ロック図である。

図において、ＣＯＤカメラ１は、連続して移動する長尺
状のシートＳの上方に配置されている。

このＣＯＤカメラ１はシートＳを移動方向と直交する方
向に連続して走査・撮像する。シートＳ上に形成されて
いる印刷マーク等の繰り返しパターン画像を、その明暗
の度合いに応じた電圧からなるビデオ信号としてビデオ
Ａｍｐ２に送る。

ビデオＡｍｐ２は入力されたビデオ信号を増幅し、地合
レベルとのＳ／Ｎ比を上げた後、アナログコンパレータ
３へ送る。

アナログコンパレータ３は、入力されたビデオ信号をＤ
／Ａコンバータ４から入力された設定値と比較し、設定
値よりも高レベルの信号については黒をあらわす１に画
素単位で変換する。低レベルの信号については白をあら
れすＯに画素単位で変換する。１とＯに変換された２値
化信号は画像フィルタ５１に送られる。

画像フィルタ５１は、入力された２値化信号に基づいて
、幅方向、設定ビットごとにサンプリングし、得られた
データが黒の場合は、次のサンプリングまでその黒の状
態を引き延ばして画像を強調する。同時に得られた黒点
のうち特に小さいものは図柄の誤認識を防ぐために除去
した後、同期ＯＲ回路５２へ送る。

同期ＯＲ回路５２は、入力されたビデオ信号を走査区間
の画素ごとにＯＲ加算し、分周回路９から入力されるラ
インパルスと同期して取り込む。

その結果、シートの移動と同期した走査データが得られ
、その走査データをストライプマスク回路５３へ送る。

ストライブマスク回路５３は、入力された走査データ中
に含まれ、移動方向に形成されている黒い図形、すなわ
ちストライプをマスク処理により除去した後、得られた
データを次の画像データ作成回路６１へ送る。

これら画像フィルタ５１、同期ＯＲ回路５２およびスト
ライブマスク回路５３により、図柄フィルタ回路５が構
成されている。

画像データ作成回路６１は、入力されたデータを画像デ
ータとして書込むために、ＤＭＡ書込回路６２へ送る。

Ｄ　Ｍ　へＢ込み回路６２は、入力された画像データを
次のバスアーとり７３へ送る。

これら画像データ作成回路６１およびＤＭＡ書込み回路
６２により、画像データ書込み回路６が構成されている
。

バスアーとり７３は、入力された画像データを指定され
る被検査画像メモリ７４、マスク画像メモリ７５に書込
み、あるいは指定されたデータの読出しをおこなう、読
出した画像データについてはハード演算回路７６へ送る
。なおバスアービタ７３は、これらのデータの仲介の際
にＤＭＡ書込み回路６２からのデータ転送を優先処理す
るように設定されている。

これらバス７−とり７３、画像メモリ７４．７５、ハー
ド演算回路７６はＣＰＵ回路７に含まれている。

ｃｐｕ回路７は、他にＣＰＵ７７、プログラムメモリ７
８、ワークメモリ７９およびこれらを接続する内部バス
等から構成されたことによりマイクロコンピュータが形
成されている。さらにこのマイクロコンピュータには、
出力回路７１、出力回路７２が接続されている。

マイクロコンピュータでは、被検査画像メモリ７４に書
き込まれている画像データから図柄を認識し、図柄ピッ
チの基準となるマークおよびピッチ長を検出する。

また学習動作をおこない、ハード演算回路７６を用いて
、学習した図柄からマスクパターンを作成しマスク画像
メモリ７５に書き込む。

欠陥検出をするには、被検査画像メモリ７４から被検査
画像データを読出し、そのなかから図柄基準ピッチマー
クを検出する。同時に、マスク画像メモリ７５からマス
クパターンを読出す。このマスクパターンデータと、被
検査画像データとをハード演算回路７６で比較し、被検
査画像データのなかからマスクパターンを取り外す処理
をおこなう。残った画像データから欠陥の有無の判別を
する。

出力回路７１は、図柄フィルタ回路５およびＤ／Ａコン
バータ４へ設定したパラメータを送る。

出力回路７２は、検出された欠陥情報等を外部へ送出す
る。

ラインパルス発生器８は、発振器を内蔵し、分周回路９
へ基準クロックを送っている。

なお図中、図柄フィルタ回路５、画像データ書込み回路
６およびＣＰＵ回路７中のハード演算回路は、ハード構
成の専用回路にしたことにより、マイクロコンピュータ
との処理内容を分担し、連続して入力される画像データ
のリアルタイムの処理を可能にしたものである。

また図中のＬは、シートＳを背面より照らす光源である
。

第２図は、シートＳの上方に配置されているＣＣＤカメ
ラ１と、シートＳとの配置を示す斜視図である９図に示
されるようにＣＣＤカメラ１は、シー）Ｓの移動方向と
直交する方向に走査・描像している。

以下、図面に沿って実施例の動作について説明する。

第３図は、実施例の装置の動作を示すゼネラルフローチ
ャートである。

図に示されるように、運転開始とともにシート等の被検
査体の供給が開始されると、最初にＣＣＤカメラ１から
得られるビデオ信号を２値化した後、検査装置本体に取
り込む（ステップ３０１）。

次に取り込んだ画像データから繰り返し図柄を認識し、
認識できた図柄についての繰り返しピッチを算出し、そ
の結果、繰り返し図柄に基づくマスターデータを作成す
る（ステップ３０２）。

次いで、得られたマスターデータと順次入力される画像
データとを比較処理して欠点を検出する（ステップ３０
３）。

第４図は、ＣＣＤカメラ１によりシートＳを走査して得
られたビデオ信号が、２値化データに変換される過程を
示す説明図である。

図ａにおいて、シートＳを移動方向と直交する方向に走
査した場合、走査線上に存在するリング状の図柄は図す
のカメラデータに示される３＆Ｉｌの縞模様として描像
される。撮像されたビデオ信号は、図すのビデオレベル
に示されるように明暗の度合いに応じた２段のレベルか
らなるアナログ信号となる。

このアナログ信号を、アナログコンパレータ３において
、図すの暗方向軽レベルの電圧によりコンパレートする
と、図示される２（７！化データが得られる。２値化デ
ータ中の１は黒い画素を、０は白い画素をそれぞれあら
れしている。

第５図は、同期ＯＲ回路５２における２値化データの合
成を説明する信号波形図である。

ラインパルス発生器８、分周回路９から得られるライン
パルスは、シートの移動速度に比例して発生されるもの
である。すなわちＣＯＤカメラｌにおける走査・描像の
周期は固定されているため、通常はシートの移動速度と
非同期である。一方、被検査体の送り速度は様々に設定
される。そこでＣＯＤカメラｌから取り込まれた画像デ
ータを、同期ＯＲ回路５２によりシートの移動と同期さ
せて取り込むことにより、被検査体の移動速度の変化に
対応させたものである。　　　　　。

図ａは、被検査体の移動速度が比較的に遅い場合を示す
、ラインパルス１周期の間に、ＣＣＤカメラ１の走査回
数を６回ＯＲ加算している。規定のＯＲ加算による黒い
画素の加算が完了するとラインパルスと同期したタイミ
ングで処理データの取り込みがおこなわれる。

図すは、被検査体の移動速度が比較的に速い場合を示す
、ラインパルス１周期の間に、ＣＣＤカメラ１の走査回
数を２回ＯＲ加算している。規定のＯＲ加算による黒い
画素の加算が完了するとラインパルスと同期したタイミ
ングで処理データの取り込みがおこなわれる。

なお、被検査体の移動速度が特に高速になって、ＣＣＤ
カメラ１の走査周期に対して、ラインパルスの周期の方
が短くなると、１走査期間に重複してデータ取り込みが
おこなわれてしまうから、ラインパルスの周期はＣＣＤ
カメラ１の走査周期よりも長く設定しておく。

第６図は、ストライブマスク回路５３におけるストライ
ブ図柄の検出と、その消去についての説明図である。

この発明では、後述するように走査区間ごとにその中に
含まれる黒い画素をＯＲ加算処理した結果が白か、ある
いは黒かにより繰り返し図柄を認識するものである。そ
のため画像データ中にストライブが含まれると、全ての
走査区間が黒となりその認識ができなくなる。そこでス
トライブが発見された場合は、そのストライブを消去し
なければならない０例えば図では、移動する非検査体か
ら得られたデータ中に、移動方向に連続したストライブ
が２本形成されている。そこで走査区間ごとに黒の画素
をＯＲ加算処理すると、結果は図中右側に示されるよう
に、シートの移動と同期した走査データの全ての区間に
黒が含まれる。

次にこのストライブのみを抽出するために、全ての走査
データを移動方向にＡＮＤ加算をする。

すると、全ての走査データにおいて黒の画素である部分
のみが、図中下側に示されるようにストライブとして取
り出すことができる。

次いで、得られたストライブからストライプマスクを作
成する。このストライブマスクを用いて、入力された走
査区間ごとのデータにマスク処理をおこない、ストライ
ブを除去する。このマスク処理はマスクレジスタを用い
ておこなわれる。

第７図は、入力された画像データ中から繰り返し図柄の
基準位置を特定する説明図である。

シートの移動と同期した走査データ全てについて、走査
区間ごとに黒の画素のＯＲ加算をおこなう、その結果は
、図中右側に示されるように、画像データ中に図柄が含
まれる走査部分は黒く、そうでない走査部分は白くあら
れされる。またこのＯＲ加算結果は図柄に対応すること
から、加算結果を同一とした走査区間がそれぞれ連続し
てあられされる。そこでこの白い部分、または黒い部分
の連続する走査区間を計数すると、それぞれ図示される
数字になる。この連続数のうち、白をあられす最も大き
な数字の次に続く黒の連続数を、基準図柄と決定する。

なお、ここで白をあられす最も大きな数字が複数計数さ
れた場合は、そのうちの最初の区間を採用する。

図では、白の区間の連続数４０が４箇所あるので、その
うちの最初の区間が採用され、その次の連続数１０の黒
い区間が基準図柄の先頭位置に特定される。さらに特定
された基準位置から、前方に向かってそれぞれの白、黒
の連続数に、若干の許容値を加算し、ピッチ候補データ
とする。

第８図は、特定された基準図柄の走査方向の図柄比率を
測定する説明図である。

第７図で特定された基準図柄を含む走査区間を取り出し
、その連続数１０の走査区間について移動方向にＯＲ加
算する。その結果、図柄を含む部分については幅方向の
黒い区間に、そうでない部分については白い区間として
あられされる０図では、図柄部分の黒い画素数がいずれ
も１０ビア）になり、白い画素数は左から６０．５０．
５０．５０ビツトになっている。

第９図は、同様にして第７図でピッチ候補データとされ
たそれぞれの黒い区間について、幅方向の図柄比率を測
定する説明図である。

図では、順番に図柄比率を測定した結果、基準図柄と一
致したのは、候補２の区間であることが示されている。

この候補２の区間が次ピッチ候補に選ばれる。

第１０図は、第９図で選ばれた次ピッチ候補について、
さらに図柄単体での照合する説明図である。

第９図における基準図柄の視野中央に位置する図柄と、
次ピッチ候補のなかの対応する中央の図瞥丙をそれぞれ
取り出す。図ａが取り出した図柄である。図すでは内部
の中空部を塗りつぶし処理した後、塗りつぶされた黒い
画素を計数して、図柄面積を求めると８０となる。

図ｄは、取り出した別の図柄を示し、中空部がないので
塗りつぶし処理をしないで黒い画素を計数すると、図ｅ
に示すように図柄面積が６０となる。そこで図すの図柄
面積８０と、図ｅの図柄面積６０を比較すると、両者は
一致しない。一致しない場合は、次ピッチ候補は失格と
なる。ここでかりに両者の図柄面積が一致した場合は、
さらに図Ｃのように両者の重心を求める０次いで、求め
られた重心を一致させて図柄を重ね合わせる。ここで図
柄が一致すれば、次ピッチ候補は次に繰り返される図柄
と認定され、同時に基準図柄からのピッチも算出される
。

またここで図柄が不一致の場合、または図柄面積が不一
致であった場合はさらに別な候補の認定作呈を開始する
。

なおここで視野中央の図柄について比較したのは、ＣＣ
Ｄカメラにより図柄を撮影する場合、レンズ収差等を考
慮すると中央部の画像が最も鮮明なためである。

第１１図は、第１θ図で認定され、次に繰り返される図
柄までの繰り返しピッチを説明する図である。

通常は基準図柄の次に、３個以上の同一の図柄を認定し
た後、それぞれの繰り返しピッチを走査区間の数により
算出する。

図では、基準図柄から次に認定された図柄までを繰り返
しピッチＯとし、次の認定図柄までを繰り返しピッチｌ
とし、さらに次の認定図柄までを繰り返しピッチ２とし
てあられしている。これらの繰り返しピッチを比較し、
全てが同一であればその値を繰り返しピッチと決定し、
不一致である場合はその値のなかから多数決により決定
する。

第１２図は、決定された繰り返しピッチに基づいて、マ
スクパターンを作成する説明図である。

図は文字図柄の場合を示し、図ａでは４ピッチ分の図柄
を重ね合わせた場合を示し、文字図柄を構成する画素レ
ベルでは若干のａ［ＩＭが見られる。

図すは図ａで形成されたパターンにさらに幅方向のオフ
セント値を加算してマスクパターンを形成した場合を示
す。

図Ｃは図ａで形成されたパターンにさらに移動方向のオ
フセット値を加算してマスクパターンを形成した場合を
示す。

なお、これらのマスクパターンの作成にあたっては、文
字図柄以外に画像データ中に存在する微小黒点を無視し
除去してしまう。

図ｄは以上の処理により形成されたマスクパターンの−
、部拡大図を示す０作成されたマスクパターンの上端の
ピッチ開始位置よりもはみ出した部分については、カン
トされる。しかしながらこれらのカット部分はピッチ後
端部に付加されることになる。そりにより実際の処理動
作については何ら支障がおきない。

第１３図は、上記の処理により形成されたマスクパター
ンを用いたマスク処理の説明図である。

＝ｉの作動時は、上記の処理によりマスクパターンが形
成された後、ＣＣＤカメラから人力される画像データが
、逐次、バッファに貯えられる。

バッファ内の画像データをあられす２値化データから、
上記のマスクパターン学習と同様にして、白の区間の連
続数の最大値をさがしてみつけだす。

次いで、同様に該当する区間の図柄についての照合をし
て、同一であることを確認する。

確認できた位置を基準にして、上記学習により得られた
繰り返しピッチの位置に次の該当する図柄があるか否か
を確認する。

ここで図に示すように、バッファ内の画像データをあら
れす被検査パターンに、マスクパターンを順に重ね合わ
せる。マスクパターンのマスク図柄に含まれる全ての画
素が除去されて、同右側に示される検査結果パターンが
得られる。この検査結果パターン中に残った黒い画素で
示される部分が、被検査体から検出された欠点である。

この欠点の大きさがそれぞれ許容値を越えるか否かを判
別し、許容値を越え不良と判定されたものについては、
その発生位置情報とともに外部へ出力される。

以上の実施例では、シートＳの移動速度に関係なく、検
査開始時の学習によりマスクパターンの作成ができる。

さらに検査時にも、連続して入力されてくる画像データ
の中からリアルタイムで、マスクパターンに対応する基
準位置の検出ができ、得られた基準位置に基づいて、マ
スクパターンを用いたマスク処理がおこなわれる。

このように連続する画像データの中からその都度、基準
位置を検出するため、マスクパターンと画像データとの
間に従来のような累積誤差を生しることがな（なる、そ
のため学習により作成するマスクパターンの移動方向に
、従来設けていた余分なふくらましが不要になる。その
結果、マスクパターンの移動方向に発生していた未検査
領域を最小限に設定することができて、欠陥の見逃しを
減らすことができる。

また、マスクパターンの作成時と、漫査開始以後とで、
被検査体の移動速度等の検査条件が多少変更された場合
でも、検査装置は充分対応できる。

またこれ以外にも、従来厳格であった移動する被検査体
のパターンについての位相管理が全く不要となり、装置
の使い勝手が向上する。

なお、実施例では白地に黒の図柄が形成される場合につ
いての画像処理について説明したが、同様に黒地に白の
図柄が形成される場合についての処理も可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる実施例の電気的構成を示すブ
ロック図、第２図はＣＣＤカメラｌとシートＳとの配置
を示す斜視図、第３図は実施例のＶｔＷの動作を示すゼ
ネラルフローチャート、　第４図はビデオ信号を２値化
データに変換する過程を示す説明図、第５図は同期ＯＲ
回路５２における２値化データの合成を説明する信号波
形図、第６図はストライブマスク回路５３におけるスト
ライブ図柄の検出およびその消去についての説明図、第
７図は入力された画像データ中から繰り返し図柄の基準
位置を特定する説明図、第８図は特定された基準図柄の
走査方向の図柄比率を測定する説明図、第９図は黒い区
間についての幅方向の図柄比率を測定する説明図、第１
０図は次ピッチ候補について図柄単体で照合する説明図
、第１１図は繰り返しピッチを説明する図、第１２図は
マスクパターンを作成する説明図、第１３図はマスク処
理の説明図である。 １・・・・・・ＣＣＤカメラ ２・・・・・・ビデオ／ｋｍｐ ３・・・・・・アナログコンパレータ ４・・・・・・Ｄ／Ａコンバータ ５・・・・・・図柄フィルタ回路 ５１・・・・・・画像フィルタ ５２・・・・・・同期ＯＲ回路 ５３・・・・・・ストライブマスク回路６・・・・・・
画像データ書込み回路 ６１・・・・・・画像データ作成回路 ６２・・・・・・ＤＭＡ書込み回路 ７・・・・・・ＣＰＵ回路 ７１・・・・・・出力回路 ７２・・・・・・出力回路 ７３・・・・・・バスアービタ ７４・・・・・・被検査画像メモリ ７５・・・・・・マスク画像メモリ ７６・・・・・・ハード演算回路 ７７・・・・・・ＣＰＵ ７８・・・・・・プログラムメモリ ７９・・・・・・ワークメモリ ８・・・・・・ラインパルス発生器 ９・・・・・・分周回路

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、長手方向に連続して移動するとともに表面に繰り返
   しイメージパターンが形成されている長尺シート状被検
   査体を、移動方向と直交する方向に走査・撮像するイメ
   ージセンサカメラから得られた画像データに基づいて、
   被検査体の欠陥を光学的に検出する長尺シートの欠陥検
   査装置において、 （ａ）上記画像データから、全ての画素が白である走査
   区間の有無を判別し、無しの場合は上記画像データを流
   れ方向にＡＮＤ加算して、イメージパターン中の移動方
   向に形成されているストライプを検出する検出手段と、 （ｂ）この検出手段で検出されたストライプイメージに
   基づいて作成されたストライプマスクを用い、上記画像
   データ中のストライプをマスク処理により削除する削除
   手段と、 （ｃ）この削除手段によりストライプデータが削除され
   た上記画像データから、全ての画素が白である走査区間
   、およびそれ以外の黒の画素を含む走査区間をそれぞれ
   計数し、その中で白い走査区間が連続する部分のうちの
   最多連続部を検出し、検出された１以上の最多連続部の
   うち、最初の連続部の次に位置する黒い画素を含む走査
   区間連続部の先頭走査区間を繰り返しイメージパターン
   の基準位置に特定する基準位置特定手段と、 （ｄ）この基準位置特定手段で特定された基準位置から
   始まる黒い画素を含む走査区間の連続部について、各走
   査区間に含まれる黒い画素を移動方向にＯＲ加算し、図
   柄に対応して白と黒の画素からなる一次元の基準ビット
   パターンを取り出す基準図柄特定手段と、 （ｅ）上記基準位置特定手段で特定された基準位置以降
   の最初に位置し、同手段により検出された白い走査区間
   の最多連続部の次に続く黒い画素の走査区間連続部が、
   同手段により既に特定された黒い画素を含む走査区間の
   連続長と同一であることを確認した後、上記基準図柄特
   定手段と同様手順でこの黒い画素を含む走査区間のビッ
   トパターンを取り出し、既に取り出されている基準ビッ
   トパターンと比較し、同一ならば次の繰り返しイメージ
   パターン先頭部候補として選択する次イメージパターン
   候補選択手段と、 （ｆ）この次イメージパターン候補選択手段で選択され
   たビットパターンと、上記基準図柄特定手段により選択
   された基準ビットパターンとに、互いに対応してそれぞ
   れ含まれる中央より特定図柄を平面データとして取り出
   し、その図形に中空部がある場合は塗りつぶし処理をし
   た後、両者の重心および面積を比較し、一致した場合は
   選択された次イメージパターン候補を、次に繰り返され
   るイメージパターンに決定する次イメージパターン決定
   手段と、 （ｇ）上記基準位置特定手段で特定された基準位置と、
   上記次イメージパターン決定手段により順次決定された
   少なくとも３個の次イメージパターンの先頭部の走査区
   間位置とから算出され、イメージパターン１単位の移動
   方向全長を走査数であらわしたそれぞれのピッチを比較
   し、全てが一致した場合はその走査数を基準ピッチとし
   て決定し、不一致の場合は多数決により決められる走査
   数を基準ピッチとして決定する基準ピッチ決定手段と、
   （ｈ）この基準ピッチ決定手段で得られた基準ピッチご
   とに、上記画像データを少なくとも３ピッチ分、重ね合
   わせて黒をあらわす画素を加算処理するとともに、縦お
   よび横方向にそれぞれ所定のマスクオフセット値を加算
   してマスクパターンを作成するマスクパターン作成手段
   と、 を備えたことにより、検査に先立ち上記各手段によりマ
   スクパターンを作成し、検査の際は被検出体から得られ
   る画像データ中の繰り返しパターンを上記手段により特
   定した後、作成されたマスクパターンに基づき、マスク
   処理をして欠陥画像データを得るようにしたことを特徴
   とする長尺シートの欠陥検査装置。