JPH01314908A - 細物線条体の外径測定機および外径測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、外径寸法が例えば０．１ｒｎｔ＋以下といっ
た極めて細い線条体の外径を効率よく測定し得る外径測
定機およびそれを用いた外径測定方法に関するものであ
る。

［従来の技術］ 近年エレクトロニクス機器類の小型精密化が大巾に進展
し、これに使用するエナメル線等も例えば５０μｍ以下
といった超極細線が使用されるようになった。それに伴
い、このような超極細線の外径を精度よく測定する手段
が新たな課題として浮上してきた。

この種の極細線の外径を測定するには、レーザ光を線条
体に直角に照射して線径を非接触的に測定する光学的外
径測定機を用いるのが適当である。

この場合、被測定線条体をレーザ光の測定域内に直角に
真直ぐにセットする必要がある。

第３図は、上記外径測定のために線条体１０をレーザ外
径測定機６の測定域２０内にガイドプーリ７．７を用い
てセットする従来方法を、そして第４図は両面テープ９
．９を貼り付けたホルダ８に線条体１０を貼着させ、Ｘ
−Ｙステージを用いて前記測定域内にセットする従来方
法をそれぞれ示すものである。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来方法により被測定試料をセットする場合、いず
れの方法によるにしても、線条体１０に加わる張力は不
安定であって一定しない、とくに、線径が５０μｍ以下
といった超極細線ともなると、張力の影響が非常に大き
く、測定値のバラツキの大きな要因となる。

また、線条体を測定域に導くためにプーリあるいはホル
ダに固定しているなめ、線条体の外径は一方向のみから
しか測定できず、同一断面における外径変動ずなわち偏
心状況を知ることはできない。

本発明の目的は、上記したような従来技術の問題点を解
消し、線条体をセットする際の張力を一定に保持し得る
と共に線条体の真円度についても測定可能な線条体の外
径測定機ならびに測定方法を提供しようとするものであ
る。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、第１に線条体をセットする際に真空吸引チャ
ックを用いたことにあり、これにより吸引されるエアの
クツション作用に依存して線条体に無理な張力を付加す
るおそれがなくつねに安定した張力をもって真直ぐに被
測定試料をセットすることができるものである。第２の
特徴は、前記チャックに支持した状態で線条体に相対的
な回転を与え得るようにしたことにあり、それにより線
条体を同一断面において回転させ３６０°にわたる線径
の変動を測定可能として、被測定線条体の真円度をも適
確に検知可能としたものである。

［実施例］ 以下に、本発明について実施例図面を参照し説明する。

第１図は、本発明に係る外径測定機の実施例を示す説明
図である６図において、１は真空吸引チャック、２はノ
ズル、３はエア吸引口、４はチャック１に吸引した線条
体１０をその状態で固定する固定用ツマミ、５はチャッ
ク１．１に保持された＆！柴棒体１０回転を与える回転
装置、６はレーザ外径測定機、２０は当該レーザ外径測
定機のレーザ光により外径測定を行ない得る測定域であ
る。

ノズル２は、例えば第２図に断面図を示したような構成
よりなる。エア吸引口３は図示してない真空ポンプに接
続され、図中矢印で示したようにエア引きがされる。こ
のエア引きの速度については、被測定線条体１０の線径
に応じ適当に選択すればよい。これによって線条体１０
に所望の張力を与えることができるものであり１、本発
明の有する固有の作用効果ということができる。

上記エア引きされているノズル２の吸引孔２ａに線条体
１０の端末を近付けると、当該端末は第２図中白抜き矢
印のように吸引され、当該吸引力による張力が付加され
る。しかし、この張力は線条体１０の周囲のエアの流動
摩擦によるものであって、いわばエアク・ｙシゴンをも
って張力が与えられるから、線条体１０を真直ぐに吸引
したのちに異常張力が付加されるおそれはない、その状
態で固定用ツマミ４を廻し線条体１０をノズル２の吸引
孔２ａ内に固定する。上記動作を上下両チャック１．１
において行なうことで線条体１０は測定域２０に適確に
セットされる。

以上のようにして外径測定を行なえば、試料に付加され
る張力を一定の所望張力に安定して保持し得るから、超
極細線であっても前記従来例におけるように張力による
測定値のバラツキは生じない。

本発明は、上記機構にさらに線条体１０と測定機とを相
対的に回転せしめ得る回転装置５が設けられている。線
条体１０は前記真空吸引チャック１．１に保持されたま
ま前記回転装置５により回転され、回転されなからレー
ザ外径測定ｆｉ６によりその外径が連続的に測定され、
その結果を図示してない表示装置により表示あるいは記
録させる。

このようにすれば、線条体１０の一つの断面における３
６０°方向の外径を検知することができ、偏心状態に伸
線されたりあるいは皮膜形成の外形不良があれば、それ
を適切に確認することができる。従って、単なる外径寸
法の測定のみでなく、線条体の品質管理上の役割をも果
すことができる。

なお、上記実施例は線条体１０を回転させる場合を示し
たか、両者は相対的に回転量（系にあればよいのであり
、測定機６側を回転させ線条体１０を固定としても差支
えない。

また、光学的測定機はレーザ光を用いるのが適当ではあ
るが、限定的意味を有するものではなく、他の光学的測
定機であってもよいのであり、非接触的に外径測定がで
きさえすればよいのである。

［発明の効果］ 以上の通り、本発明に係る測定装置および測定方法によ
れば、つぎのようなすぐれた効果を奏することができる
。

（１）真空ポンプにより真空圧を調整し、線条体に加わ
る張力を調整できるため、線条体に付加される張力を一
定に維持し、張力による測定値のバラツキを解消できる
。

（２）線条体を測定機に対し相対回転させることにより
、円周方向の外径のバラツキを測定できるから、線条体
の真円度を検知し品質管理に資するところが大きい。

（３）線条体の円周上を辺定することにより測定か１次
元から２次元になり、測定値を視覚的にとらえることか
できる。

（４）線条体を真空式エアチャックを用いて測定機にセ
ットするため、操作か容易であり、測定者による測定値
のバラツキがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る測定機の実施例を示す説明図、
第２図はノズルの断面図、第３および４図は従来の線条
体の支持固定方法を示す説明図である。 １：真空吸引チャック、 ２：ノズル、 ２ａ：吸引孔、 ４：固定用ツマミ、 ５：回転装置、 ６：レーザ外径測定機、 １０：線条体。 代理人　　弁理士　　佐　藤　不二雄 第１図 ＩＱ　　夢μ灸体 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）線条体の一端を真空吸引力によりチャック孔内に
   導き固定し得る真空吸引チャックと、該チャックにより
   保持された線条体を回転させ得る線条体回転装置と、光
   学的外径測定機とを有してなる細物線条体の外径測定機
   。
2. （２）被測定線条体を真空吸引チャックにより吸引固定
   し、その状態で線条体と測定機とを相対的に回転させつ
   つ光学的外径測定機によって線条体の外径を測定し、そ
   れによって同一断面における線条体の外径変動を検知し
   これを表示あるいは記録させる細物線条体の外径測定方
   法。