JPH01316610A - 光電的角度測定装置 - Google Patents
光電的角度測定装置Info
- Publication number
- JPH01316610A JPH01316610A JP1092029A JP9202989A JPH01316610A JP H01316610 A JPH01316610 A JP H01316610A JP 1092029 A JP1092029 A JP 1092029A JP 9202989 A JP9202989 A JP 9202989A JP H01316610 A JPH01316610 A JP H01316610A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graduation
- scanning
- scale
- carrier
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は相互に回転可能な２つの対象物の相対位置の測
定のための光電的角度測定装置にして、その際一方の対
象物に結合した、走査目盛を備えた走査ユニットは、他
方の対象物と結合した目盛担体の角度目盛を走査しそし
て走査目盛と角度目盛の符合した目盛線は相互に平行に
経過している、前記光電的角度測定装置に関する。
定のための光電的角度測定装置にして、その際一方の対
象物に結合した、走査目盛を備えた走査ユニットは、他
方の対象物と結合した目盛担体の角度目盛を走査しそし
て走査目盛と角度目盛の符合した目盛線は相互に平行に
経過している、前記光電的角度測定装置に関する。
（産業上の利用分野）
この種のアブソリュート又はインクリメンタル角度測定
装置は特に工作機械で加工されるべき工作物に関する工
具の相対位置の測定のために使用される。
装置は特に工作機械で加工されるべき工作物に関する工
具の相対位置の測定のために使用される。
角度測定装置では回転可能な対象物と結合している回転
可能な目盛担体の角度目盛は静止の対象物に固定された
走査ユニットによって静止の対象物に対する回転可能な
対象物の相対的角度位置の測定値の生成のために走査さ
れる。
可能な目盛担体の角度目盛は静止の対象物に固定された
走査ユニットによって静止の対象物に対する回転可能な
対象物の相対的角度位置の測定値の生成のために走査さ
れる。
この種の角度目盛は２種の方法で形成されることができ
る。その１つは角度目盛が円形の目盛円板の表面上にそ
の周囲にラジアル目盛線の形に形成され、他の方法は角
度目盛が平行な目盛線の形で円筒状の目盛担体の表面上
に形成されるものである。
る。その１つは角度目盛が円形の目盛円板の表面上にそ
の周囲にラジアル目盛線の形に形成され、他の方法は角
度目盛が平行な目盛線の形で円筒状の目盛担体の表面上
に形成されるものである。
（従来の技術）
ヨーロッパ特許明細書００９６４４８には光電的角度測
定装置が記載されており、その際走査ユニットは反射光
で円形の目盛ディスクの表面上のラジアル角度目盛をそ
の周縁で走査される。走査ユニットにおいて光源からで
る光線がビームスプリフタ、コンデンサ及び光学的に結
像する要素、その焦線が目盛ディスクの回転軸線と一致
するシリンドリカルレンズ及び円錐ミラを介して目盛デ
ィスクのラジアル角度目盛上に入射しそしてラジアル角
度目盛から前記要素及び対象物によって光電的センサ装
置の平行な走査目盛上に反射される。シリンドリカルレ
ンズ及び円錐状ミラから成る光学的に結像させる要素は
このコストのかかるように構成された角度測定装置では
、平行な走査目盛上へのラジアル角度目盛の一致した結
像のために役立つ。
定装置が記載されており、その際走査ユニットは反射光
で円形の目盛ディスクの表面上のラジアル角度目盛をそ
の周縁で走査される。走査ユニットにおいて光源からで
る光線がビームスプリフタ、コンデンサ及び光学的に結
像する要素、その焦線が目盛ディスクの回転軸線と一致
するシリンドリカルレンズ及び円錐ミラを介して目盛デ
ィスクのラジアル角度目盛上に入射しそしてラジアル角
度目盛から前記要素及び対象物によって光電的センサ装
置の平行な走査目盛上に反射される。シリンドリカルレ
ンズ及び円錐状ミラから成る光学的に結像させる要素は
このコストのかかるように構成された角度測定装置では
、平行な走査目盛上へのラジアル角度目盛の一致した結
像のために役立つ。
Ｆａ、ＤＲ，ＪＯｔｌＡＮＮＥＳ ＨＥＩＤＥＮＨＡＩ
Ｎ Ｇｍｂｈ ｒＷｉｎｋｅｌｍｅｓｓｇｅｒａｅｔ
ＬＩＤＡ ３６０ Ｊ 、Ｊｕｌｉ １９８６の文献
から光電的角度測定装置が公知であり、その際鋼バンド
の形の角度目盛が円筒状の目盛担体の外面上に固定され
ておりかつ走査ユニットによって反射光で走査される。
Ｎ Ｇｍｂｈ ｒＷｉｎｋｅｌｍｅｓｓｇｅｒａｅｔ
ＬＩＤＡ ３６０ Ｊ 、Ｊｕｌｉ １９８６の文献
から光電的角度測定装置が公知であり、その際鋼バンド
の形の角度目盛が円筒状の目盛担体の外面上に固定され
ておりかつ走査ユニットによって反射光で走査される。
そのような光電的走査ユニットは例えば、光源、コンデ
ンサ、ビームスプリフタ、走査目盛を備えた平らな走査
板及び光電要素を有する。光源から出る光線はコンデン
サによって平行にされ、ビームスプリッタを通った後に
平らな走査板の走査目盛を垂直に貫き、円筒状の目盛担
体の外面上の角度目盛から走査板の走査によってビーム
スプリフタ上に反射されかつビームスプリッタによる転
向後に光電要素上に入射する。平らな走査板は入射光線
の光軸に対して垂直かつ目盛担体の表面の母線に対して
平行に配設されている。目盛担体の表面の湾曲のために
中心平面内の光線のみが光軸を通りかつ目盛担体の回転
軸線を通って目盛担体の角度目盛から垂直に走査板の走
査目盛によって反射される。この中央平面の外方にこの
平面に対して平行に目盛担体の角度目盛上に入射する平
行光線はこの目盛担体の表面の湾曲のために相応した反
射角度で反射されかつそれによって最早走査板の走査目
盛を垂直には通過しない。しかし中央平面の両側への距
離の増加に伴う反射される光線の拡散の増大は光電要素
によって発生される走査信号の信号品質に不利に作用し
、その結果それから得られる両対象物の相対的な角度位
置のための得られた測定値が測定精度不良を有さないこ
とになる。
ンサ、ビームスプリフタ、走査目盛を備えた平らな走査
板及び光電要素を有する。光源から出る光線はコンデン
サによって平行にされ、ビームスプリッタを通った後に
平らな走査板の走査目盛を垂直に貫き、円筒状の目盛担
体の外面上の角度目盛から走査板の走査によってビーム
スプリフタ上に反射されかつビームスプリッタによる転
向後に光電要素上に入射する。平らな走査板は入射光線
の光軸に対して垂直かつ目盛担体の表面の母線に対して
平行に配設されている。目盛担体の表面の湾曲のために
中心平面内の光線のみが光軸を通りかつ目盛担体の回転
軸線を通って目盛担体の角度目盛から垂直に走査板の走
査目盛によって反射される。この中央平面の外方にこの
平面に対して平行に目盛担体の角度目盛上に入射する平
行光線はこの目盛担体の表面の湾曲のために相応した反
射角度で反射されかつそれによって最早走査板の走査目
盛を垂直には通過しない。しかし中央平面の両側への距
離の増加に伴う反射される光線の拡散の増大は光電要素
によって発生される走査信号の信号品質に不利に作用し
、その結果それから得られる両対象物の相対的な角度位
置のための得られた測定値が測定精度不良を有さないこ
とになる。
この精度不良の除去は角度目盛の湾曲度の減少（目盛担
体の曲率半径の増大）、目盛担体の表面上の角度目盛か
ら走査板の走査目盛までの間隔の減少、及び中心平面に
対して垂直な走査目盛の長さの減少によって行われるこ
とができる。しかしこれら３つの措置には限界がある。
体の曲率半径の増大）、目盛担体の表面上の角度目盛か
ら走査板の走査目盛までの間隔の減少、及び中心平面に
対して垂直な走査目盛の長さの減少によって行われるこ
とができる。しかしこれら３つの措置には限界がある。
目盛担体の曲率は使用目的によって設定されそして角度
目盛から走査目盛までの間隔は操作技術的理由から任意
には減少されない。走査目盛の長さは一定の寸法を下回
ることは許されない、そのわけはさもなければ光電要素
によって発生される走査信号の最大の振幅が測定値の完
全な形成には小さ過ぎるからである。
目盛から走査目盛までの間隔は操作技術的理由から任意
には減少されない。走査目盛の長さは一定の寸法を下回
ることは許されない、そのわけはさもなければ光電要素
によって発生される走査信号の最大の振幅が測定値の完
全な形成には小さ過ぎるからである。
（発明の課題）
本発明は冒頭に記載された形式の光電的角度測定装置で
は走査ユニットを完全な測定値が得られるように構成す
ることを課題とする。
は走査ユニットを完全な測定値が得られるように構成す
ることを課題とする。
（課題の解決のための手段）
本発明の課題はに入射光のための走査ユニットは光学的
に結像可能な要素を有し、その焦点は目盛担体の回転軸
線上に位置するか又はその焦線が ゛目盛担体の回
転軸線と一致することによって解決される。
に結像可能な要素を有し、その焦点は目盛担体の回転軸
線上に位置するか又はその焦線が ゛目盛担体の回
転軸線と一致することによって解決される。
（発明の効果）
本発明によって得られる利点は特に、その焦点又は焦線
が円筒状の目盛担体上に位置する走査ユニットに光路の
ための光学的要素を配設することによって追加の要素な
しに簡単な方法で目盛担体の円筒面上の平行な角度目盛
の湾曲による測定精度の不良が排除されることにある。
が円筒状の目盛担体上に位置する走査ユニットに光路の
ための光学的要素を配設することによって追加の要素な
しに簡単な方法で目盛担体の円筒面上の平行な角度目盛
の湾曲による測定精度の不良が排除されることにある。
角度目盛のための目盛担体の曲率が最早できる限り大き
い値に制限されないので、提案された角度測定装置の使
用範囲が著しく拡大される。他方では円板状の目盛担体
の表面上にあってラジアル走査目盛によって走査される
ラジアル角度目盛での測定精度の不良が回避される、そ
のわけはラジアル角度目盛とラジアル走査目盛との間の
相互の輪郭差が生じないからである。
い値に制限されないので、提案された角度測定装置の使
用範囲が著しく拡大される。他方では円板状の目盛担体
の表面上にあってラジアル走査目盛によって走査される
ラジアル角度目盛での測定精度の不良が回避される、そ
のわけはラジアル角度目盛とラジアル走査目盛との間の
相互の輪郭差が生じないからである。
本発明の有利な構成は他の請求項からも得られる。
（実施例）
第１図には図式的に第１の光電的角度測定装置が平面図
でそして第２図には側面図が示されている。回転軸線Ｄ
１の回りに回転可能に支承された円筒状の目盛担体Ｔｌ
はその軸−１によって図示しない回転可能な対象物と結
合している０円筒状の目盛担体Ｔ１の外周面Ｍｌ上には
角度目盛−丁１がつけられており、角度目盛は目盛担体
Ｔ１の回転軸線０１に対して平行に経過する反射する目
盛線Ｒ３Ｉと吸収する同一の幅の目盛線ＡＳＩとから成
り、これらは交互に繰り返される。
でそして第２図には側面図が示されている。回転軸線Ｄ
１の回りに回転可能に支承された円筒状の目盛担体Ｔｌ
はその軸−１によって図示しない回転可能な対象物と結
合している０円筒状の目盛担体Ｔ１の外周面Ｍｌ上には
角度目盛−丁１がつけられており、角度目盛は目盛担体
Ｔ１の回転軸線０１に対して平行に経過する反射する目
盛線Ｒ３Ｉと吸収する同一の幅の目盛線ＡＳＩとから成
り、これらは交互に繰り返される。
この角度目盛−Ｔ１は図示しない固定の対象物と結合さ
れた走査ユニット＾ｌによって反射光により走査され、
走査ユニットは光源Ｌ１、集光レンズの形の光学要素Ｓ
１、スプリットミラＳＳ１、走査目盛ＡＴＬを備えた平
らな走査板ＡＰＩ並びに光電要素Ｐ１を有する。走査目
盛ＡＴＬは目盛担体Ｔ１の回転軸線ＤＩに対して平行な
透明の目盛線ＴＳＩと等しい幅の不透明の目盛線［１５
１とから成る。両対象物はスピンドル及び図示しない工
作機械のベツドによって形成されることができる。
れた走査ユニット＾ｌによって反射光により走査され、
走査ユニットは光源Ｌ１、集光レンズの形の光学要素Ｓ
１、スプリットミラＳＳ１、走査目盛ＡＴＬを備えた平
らな走査板ＡＰＩ並びに光電要素Ｐ１を有する。走査目
盛ＡＴＬは目盛担体Ｔ１の回転軸線ＤＩに対して平行な
透明の目盛線ＴＳＩと等しい幅の不透明の目盛線［１５
１とから成る。両対象物はスピンドル及び図示しない工
作機械のベツドによって形成されることができる。
光源Ｌ１から出る光線は集光レンズｓｔ、ビームスプリ
ッタＳＳ１、及び平らな走査板ＡＰＩの走査目盛ＡＴＩ
を通り、目盛担体Ｔ１の角度目盛−Ｔｌから走査目盛へ
Ｔ１を通ってビームスプリッタＳＳｌ上に反射されかつ
それからビームスプリッタＳＳｌによる転向後に光電要
素Ｐｌ上に入射する。平らな走査板ＡＰＩは光線の光軸
ＯＡＩに対して垂直かつ光軸ＯＡｌに垂直に交差する円
筒面Ｍ１の母線に対して平行に最適の走査の基準に従っ
て決定される特定された距離ａｌに配設されている。
ッタＳＳ１、及び平らな走査板ＡＰＩの走査目盛ＡＴＩ
を通り、目盛担体Ｔ１の角度目盛−Ｔｌから走査目盛へ
Ｔ１を通ってビームスプリッタＳＳｌ上に反射されかつ
それからビームスプリッタＳＳｌによる転向後に光電要
素Ｐｌ上に入射する。平らな走査板ＡＰＩは光線の光軸
ＯＡＩに対して垂直かつ光軸ＯＡｌに垂直に交差する円
筒面Ｍ１の母線に対して平行に最適の走査の基準に従っ
て決定される特定された距離ａｌに配設されている。
本発明によれば光電要素Ｓｌの焦点Ｂ１は目盛担体Ｔｌ
の回転軸線Ｄｌ上に位置するので、第１図によれば全て
の光線は目盛担体Ｔ１の回転軸線Ｄ１に関してラジアル
方向に拡散した光路において角度目盛−Ｔｌ上に入射し
かつ角度目盛ＷＴＩからそれ自体によって反射され、そ
の結果光電要素Ｐ１から発生される周期的な走査信号の
信号品質の不利な影響は最早生ぜずそして従って周期的
な走査信号から公知の方法で得られた両対数物の相対角
度位置のための測定値は測定精度不良を有さない。
の回転軸線Ｄｌ上に位置するので、第１図によれば全て
の光線は目盛担体Ｔ１の回転軸線Ｄ１に関してラジアル
方向に拡散した光路において角度目盛−Ｔｌ上に入射し
かつ角度目盛ＷＴＩからそれ自体によって反射され、そ
の結果光電要素Ｐ１から発生される周期的な走査信号の
信号品質の不利な影響は最早生ぜずそして従って周期的
な走査信号から公知の方法で得られた両対数物の相対角
度位置のための測定値は測定精度不良を有さない。
円筒面Ｍ１の湾曲又は目盛担体Ｔ１の曲率半径Ｒ１は不
利な結果なしに任意にその都度の使用目的に相応して選
択されることができる。次に第５図に基づいて説明する
ように、走査板ＡＰＩの走査目盛ＡＴ１の全長が目盛担
体Ｔ１の角度目盛−Ｔ１の走査のために利用されること
ができる。走査目盛ＡＴＩの格子定数はラジアル方向の
光線のために角度目盛−Ｔ１の格子定数に対してＲ１に
対してＲ１＋ａｌの比に選択される。
利な結果なしに任意にその都度の使用目的に相応して選
択されることができる。次に第５図に基づいて説明する
ように、走査板ＡＰＩの走査目盛ＡＴ１の全長が目盛担
体Ｔ１の角度目盛−Ｔ１の走査のために利用されること
ができる。走査目盛ＡＴＩの格子定数はラジアル方向の
光線のために角度目盛−Ｔ１の格子定数に対してＲ１に
対してＲ１＋ａｌの比に選択される。
第３図において図式的に第２の光電的角度測定装置が平
面図でそして第４図においては側面図で示されている。
面図でそして第４図においては側面図で示されている。
回転軸線Ｄ２のまわりに回転可能に支承された円筒状の
目盛担体Ｔ２はその軸Ｗ２によって図示しない回転可能
な対象物と結合している。円筒状の目盛担体Ｔ２の円筒
面Ｍ２上には角度目盛−Ｔ２がつけられており、角度目
盛−Ｔ２は目盛担体Ｔ２の回転軸線Ｄ２に対して平行な
反射する目盛線Ｒ５２及び等しい幅の吸収する目盛線Ａ
Ｓ２から成り、これらは交互に繰り返される。
目盛担体Ｔ２はその軸Ｗ２によって図示しない回転可能
な対象物と結合している。円筒状の目盛担体Ｔ２の円筒
面Ｍ２上には角度目盛−Ｔ２がつけられており、角度目
盛−Ｔ２は目盛担体Ｔ２の回転軸線Ｄ２に対して平行な
反射する目盛線Ｒ５２及び等しい幅の吸収する目盛線Ａ
Ｓ２から成り、これらは交互に繰り返される。
この角度目盛−Ｔ２は図示しない固定の対象物に結合さ
れた走査ユニットＡ２によって反射光によって走査され
、走査ユニットは光源Ｌ２、集光レンズの形の光電要素
Ｓ２、走査目盛ＡＴ２を備えた平らな走査板ＡＰ２ 、
及び光電要素Ｐ２を有し、走査ユニットＡ２は目盛担体
Ｔ２の回転軸ＬＡＤ２に対して平行な透明の目盛線Ｔ２
と等しい幅の不透明の目盛線ＵＳ２とから成り、これら
は相互に繰り返される。両対数物はスピンドル及び図示
しない工作機械のベツドによって形成されることができ
る。
れた走査ユニットＡ２によって反射光によって走査され
、走査ユニットは光源Ｌ２、集光レンズの形の光電要素
Ｓ２、走査目盛ＡＴ２を備えた平らな走査板ＡＰ２ 、
及び光電要素Ｐ２を有し、走査ユニットＡ２は目盛担体
Ｔ２の回転軸ＬＡＤ２に対して平行な透明の目盛線Ｔ２
と等しい幅の不透明の目盛線ＵＳ２とから成り、これら
は相互に繰り返される。両対数物はスピンドル及び図示
しない工作機械のベツドによって形成されることができ
る。
光源Ｌ２から目盛担体Ｔ２の回転軸線Ｄ２に対して斜め
に出る光線は集光レンズＳ２及び平らな走査板ＡＰ２の
走査板ＡＰ２を通りかつ目盛担体Ｔ２の走査目盛ＡＴ２
から走査目盛ＡＴ２を通って光電要素Ｒ２上に反射され
る。平らな走査板ＡＰＩは光軸ＯＡ２と交差する円筒面
Ｍ２の母線に対して平行に、最適の走査の基準に従って
決定されるような特定の距離ａ２に配設されている。
に出る光線は集光レンズＳ２及び平らな走査板ＡＰ２の
走査板ＡＰ２を通りかつ目盛担体Ｔ２の走査目盛ＡＴ２
から走査目盛ＡＴ２を通って光電要素Ｒ２上に反射され
る。平らな走査板ＡＰＩは光軸ＯＡ２と交差する円筒面
Ｍ２の母線に対して平行に、最適の走査の基準に従って
決定されるような特定の距離ａ２に配設されている。
本発明によれば光学的要素Ｓ２は目盛担体Ｔ２の回転軸
線Ｄ２上に位置するので、第３図によれば全ての光線は
目盛担体Ｔ２の回転軸線Ｄ２に関してラジアル方向に拡
散した光路を通って角度目盛訂２上に入射しかつ角度目
盛ＷＴ２から反射され、その結果光電要素Ｐ２によって
発生される周期的信号の信号品質の不利な影響は最早生
ずることなくそれによって周期的な走査信号から公知の
方法で得られた両対数物の相対的な角度位置のための測
定値は測定精度不良を有さない。
線Ｄ２上に位置するので、第３図によれば全ての光線は
目盛担体Ｔ２の回転軸線Ｄ２に関してラジアル方向に拡
散した光路を通って角度目盛訂２上に入射しかつ角度目
盛ＷＴ２から反射され、その結果光電要素Ｐ２によって
発生される周期的信号の信号品質の不利な影響は最早生
ずることなくそれによって周期的な走査信号から公知の
方法で得られた両対数物の相対的な角度位置のための測
定値は測定精度不良を有さない。
第５図において第３図の右半分を示し、第５図の左半分
は技術水準を示す。この技術水準では光ａ！ＸＬ２から
出る光線はコンデンサＫによって平行に向けられ、平ら
な走査板ＡＰ２の走査目盛へＴ２を通りかつ円筒面Ｍ２
上の角度目盛ＷＴ２から走査目盛ＡＴ２によって光電要
素Ｒ２上に反射される。円筒状の目盛担体Ｔ２の表面Ｍ
２の湾曲のために光軸ＯＡ２に対して平行な光線は光軸
Ｏ＾２の両側に対して図平面内においては角度目盛−Ｔ
２上に垂直でない状態で当たりかつ従って図平面内での
相応した反射の下に走査目盛ＡＰ１上に反射される。第
５図の左半分では個所ＳＴに角度目盛−Ｔ２の反射する
目盛線ＲＳ２から反射された光線が走査目盛ＡＴ２の不
透明の目盛線ＵＳ２上入射し、その結果角度目盛−Ｔ２
の反射する目盛線ＲＳ２は走査目盛ＡＴ２の不透明の目
盛線ＵＳ２によって陰部を生じ、そのような陰部は第５
図の右側面には本発明による光線のために目盛担体子２
の回転軸１ｓＤ２に関してラジアル方向に経過する光線
によっては生じない。それによって技術水準とは異なり
本発明では目盛担体Ｔ２の角度目盛訂２の走査のために
走査板ＡＰ２の走査目盛ＡＴ２の全長が利用されること
ができる。円筒面Ｍ２の湾曲又は目盛担体Ｔ２の曲率半
径Ｒ２は測定精度に不利な結果を生ずることなしに任意
にその都度の使用目的に相応して選択されることができ
る。走査目盛へＴ２の格子定数はラジアル方向の光線の
ために角度目盛ＷＴ２の格子定数に対してＲ２に対して
Ｒ２＋ａ２の比率に選択されている。
は技術水準を示す。この技術水準では光ａ！ＸＬ２から
出る光線はコンデンサＫによって平行に向けられ、平ら
な走査板ＡＰ２の走査目盛へＴ２を通りかつ円筒面Ｍ２
上の角度目盛ＷＴ２から走査目盛ＡＴ２によって光電要
素Ｒ２上に反射される。円筒状の目盛担体Ｔ２の表面Ｍ
２の湾曲のために光軸ＯＡ２に対して平行な光線は光軸
Ｏ＾２の両側に対して図平面内においては角度目盛−Ｔ
２上に垂直でない状態で当たりかつ従って図平面内での
相応した反射の下に走査目盛ＡＰ１上に反射される。第
５図の左半分では個所ＳＴに角度目盛−Ｔ２の反射する
目盛線ＲＳ２から反射された光線が走査目盛ＡＴ２の不
透明の目盛線ＵＳ２上入射し、その結果角度目盛−Ｔ２
の反射する目盛線ＲＳ２は走査目盛ＡＴ２の不透明の目
盛線ＵＳ２によって陰部を生じ、そのような陰部は第５
図の右側面には本発明による光線のために目盛担体子２
の回転軸１ｓＤ２に関してラジアル方向に経過する光線
によっては生じない。それによって技術水準とは異なり
本発明では目盛担体Ｔ２の角度目盛訂２の走査のために
走査板ＡＰ２の走査目盛ＡＴ２の全長が利用されること
ができる。円筒面Ｍ２の湾曲又は目盛担体Ｔ２の曲率半
径Ｒ２は測定精度に不利な結果を生ずることなしに任意
にその都度の使用目的に相応して選択されることができ
る。走査目盛へＴ２の格子定数はラジアル方向の光線の
ために角度目盛ＷＴ２の格子定数に対してＲ２に対して
Ｒ２＋ａ２の比率に選択されている。
光学的要素Ｓは焦点Ｂの代わりに焦線を有する場合、図
示しない方法で本発明によれば焦線は目盛担体Ｔの回転
軸線りと合致する。
示しない方法で本発明によれば焦線は目盛担体Ｔの回転
軸線りと合致する。
第６図において図式的に第３の光電的角度測定装置の側
面図が示されかつ第７図において平面図が示されている
。回転軸ｖＡＤ３の回りに回転可能に支承された目盛デ
ィスクの形の目盛担体Ｔ３はその軸Ｄ３によって図示し
ない回転可能な対象物と結合している。目盛ディスクＴ
３の平らな表面０３は周縁に角度目盛−Ｔ３を付けられ
、角度目盛ＷＴ２は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に
対してラジアル方向経過する反射する目盛線ＲＳ３と等
しい幅の不透明の目盛線ＡＳ３とから成り、これらは交
互に繰り返される。
面図が示されかつ第７図において平面図が示されている
。回転軸ｖＡＤ３の回りに回転可能に支承された目盛デ
ィスクの形の目盛担体Ｔ３はその軸Ｄ３によって図示し
ない回転可能な対象物と結合している。目盛ディスクＴ
３の平らな表面０３は周縁に角度目盛−Ｔ３を付けられ
、角度目盛ＷＴ２は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に
対してラジアル方向経過する反射する目盛線ＲＳ３と等
しい幅の不透明の目盛線ＡＳ３とから成り、これらは交
互に繰り返される。
ラジアル角度目盛−Ｔ３は図示しない固定の対象物と結
合している走査ユニフ）Ａ３により反射により走査され
、走査ユニットは光源Ｌ３、走査口ｆｉＡＴ３を備えた
平らな走査板ＡＰ３及び光電要素Ｐ３を有する。走査口
＠ＡＴ３は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に対してラ
ジアル方向に向いた透明の目盛線ＴＳ３と等しい幅の不
透明の目盛線υＳ３とから成り、これらは交互に繰り返
される０両対象物はスピンドル及び図示しない工作機械
のベツドとによって形成されることができる。
合している走査ユニフ）Ａ３により反射により走査され
、走査ユニットは光源Ｌ３、走査口ｆｉＡＴ３を備えた
平らな走査板ＡＰ３及び光電要素Ｐ３を有する。走査口
＠ＡＴ３は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に対してラ
ジアル方向に向いた透明の目盛線ＴＳ３と等しい幅の不
透明の目盛線υＳ３とから成り、これらは交互に繰り返
される０両対象物はスピンドル及び図示しない工作機械
のベツドとによって形成されることができる。
光源Ｌ３から目盛ディスクＴ３の表面０３に対して斜め
に回転軸線Ｄ３の方向に経過する光路から出る光線は集
光レンズＳ３と平らな走査板ＡＰ３の走査目盛ＡＴ３と
を通過しかつ目盛ディスクＴ３の角度口ｆｉＷＴ３から
走査目盛ＡＴ３によって光電要素Ｐ３上に反射される。
に回転軸線Ｄ３の方向に経過する光路から出る光線は集
光レンズＳ３と平らな走査板ＡＰ３の走査目盛ＡＴ３と
を通過しかつ目盛ディスクＴ３の角度口ｆｉＷＴ３から
走査目盛ＡＴ３によって光電要素Ｐ３上に反射される。
平らな走査板ＡＰ３は目盛ディスクＴ３の平らな表面０
３に対して平行に、最適な走査の基準に従って決定され
た特定された距離において配設されている。
３に対して平行に、最適な走査の基準に従って決定され
た特定された距離において配設されている。
本発明によれば光学的に結像させる要素Ｓ３の焦点Ｂ３
は目盛ディスクＴ３上に位置するので、第７図によれば
全ての光線は回転軸線Ｄ３を通るラジアル平面内におい
て光軸ＯＡ３を備えた拡散光路においてかつ目盛ディス
クＴ３の表面０３に対して垂直にラジアル角度目盛−Ｔ
３上に入射しかつラジアル角度目盛−丁３からこの平面
内で反射され、その結果ラジアル角度目盛訂３はラジア
ル走査目盛ＡＴａ上に合致して結像され、光電要素Ｐ３
によって発生される周期的走査信号の信号品質には何ら
不利な影響を与えず従って周期的走査信号から公知の方
法で得られた両対象物の相対的な角度位置のための測定
値は測定精度不良を有さない。
は目盛ディスクＴ３上に位置するので、第７図によれば
全ての光線は回転軸線Ｄ３を通るラジアル平面内におい
て光軸ＯＡ３を備えた拡散光路においてかつ目盛ディス
クＴ３の表面０３に対して垂直にラジアル角度目盛−Ｔ
３上に入射しかつラジアル角度目盛−丁３からこの平面
内で反射され、その結果ラジアル角度目盛訂３はラジア
ル走査目盛ＡＴａ上に合致して結像され、光電要素Ｐ３
によって発生される周期的走査信号の信号品質には何ら
不利な影響を与えず従って周期的走査信号から公知の方
法で得られた両対象物の相対的な角度位置のための測定
値は測定精度不良を有さない。
第８図において図式的に第４の光電的角度測定装置が側
面図でそして第９図には平面図で示されている。回転軸
１０４のまわりに回転可能に支承された目盛ディスクの
形の目盛担体Ｔ４はその軸線ｕ４によって図示しない回
転可能な対象物に結合している。目盛ディスクＴ４の平
らな表面０４上にはその周縁に角度目盛−Ｔ４が付けら
れており、角度目盛ＷＴ４は目盛ディスクＴ４の回転軸
線Ｄ４に対してラジアル方向に経過する反射する目盛線
ＡＳ４と等しい幅の吸収する目盛線ＡＳ４が配設されて
おり、これら交互に繰り返される。
面図でそして第９図には平面図で示されている。回転軸
１０４のまわりに回転可能に支承された目盛ディスクの
形の目盛担体Ｔ４はその軸線ｕ４によって図示しない回
転可能な対象物に結合している。目盛ディスクＴ４の平
らな表面０４上にはその周縁に角度目盛−Ｔ４が付けら
れており、角度目盛ＷＴ４は目盛ディスクＴ４の回転軸
線Ｄ４に対してラジアル方向に経過する反射する目盛線
ＡＳ４と等しい幅の吸収する目盛線ＡＳ４が配設されて
おり、これら交互に繰り返される。
ラジアル角度目盛ｗｒ４は図示しない固定の対象物に結
合した走査ユニット＾４によって反射によって走査され
、走査ユニットは光源Ｌ４、走査目盛訂４を備えた平ら
な走査板ＡＰ４及び光電要素Ｐ４を有する。走査目盛Ａ
Ｔ４は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に対してラジア
ル方向を向いた透明の目盛線ＴＳ４と等しい幅の不透明
の目盛線ＵＳ４とから成り、これらは交互に繰り返され
る６両対象物はスピンドル及び図示しない工作機械のベ
ツドとによって形成されることができる。
合した走査ユニット＾４によって反射によって走査され
、走査ユニットは光源Ｌ４、走査目盛訂４を備えた平ら
な走査板ＡＰ４及び光電要素Ｐ４を有する。走査目盛Ａ
Ｔ４は目盛ディスクＴ３の回転軸線Ｄ３に対してラジア
ル方向を向いた透明の目盛線ＴＳ４と等しい幅の不透明
の目盛線ＵＳ４とから成り、これらは交互に繰り返され
る６両対象物はスピンドル及び図示しない工作機械のベ
ツドとによって形成されることができる。
光［Ｌ４から目盛ディスクＴ４の表面０４に対して斜め
に回転軸線Ｄ４の方向に経過する光路からでる光線は集
光レンズＳ４と平らな走査板ＡＰ４の走査目盛ＡＴ４と
を通過しかつ目盛ディスクＴ４の角度目盛−丁４から走
査目盛ＡＴ４によって光電要素Ｐ４上に反射される。平
らな走査板ＡＰ４は目盛ディスクＴ４の平らな表面０４
に対して平行に、最適な走査の基準に従って決定された
特定された距離において配設されている。
に回転軸線Ｄ４の方向に経過する光路からでる光線は集
光レンズＳ４と平らな走査板ＡＰ４の走査目盛ＡＴ４と
を通過しかつ目盛ディスクＴ４の角度目盛−丁４から走
査目盛ＡＴ４によって光電要素Ｐ４上に反射される。平
らな走査板ＡＰ４は目盛ディスクＴ４の平らな表面０４
に対して平行に、最適な走査の基準に従って決定された
特定された距離において配設されている。
本発明によれば光学的に結像させる要素Ｓ４の焦点Ｂ４
は目盛ディスクＴ４上に位置するので、第９図によれば
全ての光線は回転軸線Ｄ４を通るラジアル平面内におい
て光軸ＯＡ４を備えた拡散光路においてかつ目盛ディス
クＴ４の表面０４に対して垂直にラジアル角度目盛訂４
上に入射しかつラジアル角度目盛−Ｔ４からこの平面内
で反射され、その結果ラジアル角度目盛訂４はラジアル
走査目盛ＡＴｄ上に合致して結像され光電要素Ｐ４によ
って発生される周期的走査信号の信号品質には何ら不利
な影響を与えず従って周期的走査信号から公知の方法で
得られた両対象物の相対的な角度位置のための測定値は
測定精度不良を有さない。
は目盛ディスクＴ４上に位置するので、第９図によれば
全ての光線は回転軸線Ｄ４を通るラジアル平面内におい
て光軸ＯＡ４を備えた拡散光路においてかつ目盛ディス
クＴ４の表面０４に対して垂直にラジアル角度目盛訂４
上に入射しかつラジアル角度目盛−Ｔ４からこの平面内
で反射され、その結果ラジアル角度目盛訂４はラジアル
走査目盛ＡＴｄ上に合致して結像され光電要素Ｐ４によ
って発生される周期的走査信号の信号品質には何ら不利
な影響を与えず従って周期的走査信号から公知の方法で
得られた両対象物の相対的な角度位置のための測定値は
測定精度不良を有さない。
角度目盛−丁と走査目盛ＡＴの符合する目盛線ＲＳ。
ＡＳ、 ＴＳ、 ＵＳは相互に平行である。
本発明は上記のインクリメンタル角度測定装置の他にア
ブソリュート角度測定装置でも実施される。同様に本発
明は反射でも透過でも更には所謂反射−透過光方法でも
行われることができる。
ブソリュート角度測定装置でも実施される。同様に本発
明は反射でも透過でも更には所謂反射−透過光方法でも
行われることができる。
第１図は第１の光電的角度測定装置の平面図、第２図は
側面図、第３図は第２の光電的角度測定装置の平面図、
第４図は側面図、第５図は２つの光線の対向状態、第６
図は第３の光電的角度測定装置の側面図、第７図は平面
図、第８図は第４の光電的角度測定装置の側面図そして
第９図は平面図である。 図中符号 Ａ ・・・・走査ユニット Ｂ ・・・・焦点 Ｄ ・・・・回転軸線 Ｓ ・・・・結像要素 Ｔ ・・・・目盛ｌ旦体
側面図、第３図は第２の光電的角度測定装置の平面図、
第４図は側面図、第５図は２つの光線の対向状態、第６
図は第３の光電的角度測定装置の側面図、第７図は平面
図、第８図は第４の光電的角度測定装置の側面図そして
第９図は平面図である。 図中符号 Ａ ・・・・走査ユニット Ｂ ・・・・焦点 Ｄ ・・・・回転軸線 Ｓ ・・・・結像要素 Ｔ ・・・・目盛ｌ旦体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、相互に回転可能な２つの対象物の相対位置の測定の
ための光電的角度測定装置にして、その際一方の対象物
に結合した、走査目盛を備えた走査ユニットは、他方の
対象物と結合した目盛担体の角度目盛を走査しそして走
査目盛と角度目盛の符合した目盛線は相互に平行に経過
している、前記光電的角度測定装置において、 入射光のための走査ユニット（Ａ）は光学的に結像可能
な要素を有し、その焦点（Ｂ）は目盛担体（Ｔ）の回転
軸線（Ｄ）上に位置するか又はその焦線が目盛担体（Ｔ
）の回転軸線（Ｄ）と一致することを特徴とする前記光
電的角度測定装置。 ２、角度目盛（ＷＴ１；ＷＴ２）は円筒状の目盛担体（
Ｔ ；Ｔ２）の表面（Ｍ１；Ｍ２）上の平行な目盛線（
ＲＳ１、ＡＳ１；ＲＳ２、ＡＳ２）から成りそして走査
目盛（ＡＴ１、ＡＴ２）が目盛担体（Ｔ１；Ｔ２）の回
転軸線（Ｄ１；Ｄ２）に対して平行な平らな走査板（Ａ
Ｐ１；ＡＰ２）上の平行な目盛線（ＴＳ１、ＵＳ１；Ｔ
Ｓ２、ＵＳ２）から成る、請求項１記載の光電的角度測
定装置。 ３、角度目盛（ＷＴ３；ＷＴ４）が円板状の目盛担体（
Ｔ３；Ｔ４）の表面（Ｏ３；Ｏ４）上のラジアル目盛線
（ＲＳ３、ＡＳ３；ＲＳ４、ＡＳ４）から成りそして走
査目盛（ＡＴ３；ＡＴ４）が目盛担体（Ｔ３；Ｔ４）の
回転軸線（Ｄ３；Ｄ４）に関して平らな走査板（ＡＰ３
；ＡＰ４）上のラジアル目盛線（ＴＳ３、ＵＳ３；ＴＳ
４、ＵＳ４）からなる、請求項１記載の光電的角度測定
装置。 ４、目盛担体（Ｔ１）の回転軸線（Ｄ１）に対して垂直
に経過する光軸（ＯＡ１）を備えた入射光線のための走
査ユニット（Ａ１）が光源（Ｌ１）、光学的要素（Ｓ１
）、ビームスプリッタ（ＳＳ１）、走査目盛（ＡＴ１）
を備えた平らな走査板（ＡＰ１）及び少なくとも１つの
光電要素（Ｐ１）とを有する、請求項１又は２記載の光
電的角度測定装置。 ５、目盛担体（Ｔ２〜Ｔ４）の回転軸線（Ｄ２〜Ｄ４）
に対して斜めに向いた光軸（ＯＡ２〜ＯＡ４）を有する
入射光線のための走査ユニット（Ａ２〜Ａ４）が光源（
Ｌ２〜Ｌ４）、光学的要素（Ｓ２〜Ｓ４）、走査目盛（
ＡＴ２〜ＡＴ４）を備えた平らな走査板（ＡＰ２〜ＡＰ
４）及び少なくとも１つの光電要素（Ｐ２〜Ｐ４）を有
する、請求項１から３項までのうちのいずれか一記載の
光電的角度測定装置。 ６、走査目盛（ＡＴ１；ＡＴ２）の格子定数及び角度目
盛（ＷＴ１；ＷＴ２）の格子定数とが目盛担体（Ｔ１；
Ｔ２）の回転軸線（Ｄ１；Ｄ２）からのその各距離（Ｒ
１＋ａ１、Ｒ１；Ｒ２＋ａ２、Ｒ２）に比例する、請求
項１記載の光電的角度測定装置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3812804 | 1988-04-16 | ||
| DE3818218A DE3818218A1 (de) | 1988-04-16 | 1988-05-28 | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
| DE3818218.1 | 1988-05-28 | ||
| DE3812804.7 | 1988-05-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316610A true JPH01316610A (ja) | 1989-12-21 |
| JP2610680B2 JP2610680B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=25867081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1092029A Expired - Lifetime JP2610680B2 (ja) | 1988-04-16 | 1989-04-13 | 光電的角度測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4987302A (ja) |
| EP (1) | EP0345414B1 (ja) |
| JP (1) | JP2610680B2 (ja) |
| DE (2) | DE3818218A1 (ja) |
| ES (1) | ES2027046T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006030189A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | エンコーダ |
| US7358865B2 (en) | 2005-08-29 | 2008-04-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder and apparatus using optical encoder |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5148019A (en) * | 1989-12-22 | 1992-09-15 | Ricoh Company Ltd. | Moving amount detecting method using a shadow picture diffraction interference pattern |
| DE4316250C2 (de) * | 1993-05-14 | 1997-06-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| JPH11227249A (ja) * | 1998-02-16 | 1999-08-24 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
| EP1519158B1 (de) * | 2003-09-23 | 2010-08-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
| EP2120018A1 (en) * | 2008-05-14 | 2009-11-18 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Measuring system for measuring the rotational displacement. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441336A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-02 | Nippon Saafuakutanto Kougiyou | Cosmetics |
| JPS593306A (ja) * | 1982-06-08 | 1984-01-10 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 物体の角変位測定装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1592120A (ja) * | 1968-05-17 | 1970-05-11 | ||
| US3524067A (en) * | 1968-06-26 | 1970-08-11 | Ibm | Compact line grating position sensing device |
| US3770970A (en) * | 1972-03-15 | 1973-11-06 | Trump Ross Ind Controls Inc | Shaft angle encoder |
| DE2653545C2 (de) * | 1976-11-25 | 1979-01-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6300 Lahn- Wetzlar | Fotoelektrische Auflicht-Wegmeßeinrichtung |
| DE3327849A1 (de) * | 1983-08-02 | 1985-02-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung |
| NL8502679A (nl) * | 1985-10-01 | 1987-05-04 | Philips Nv | Optisch omzetelement en verplaatsingsmeter voorzien van dit element. |
| DE3621236A1 (de) * | 1986-06-25 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
-
1988
- 1988-05-28 DE DE3818218A patent/DE3818218A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-01-31 EP EP89101597A patent/EP0345414B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-01-31 DE DE8989101597T patent/DE58900427D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-01-31 ES ES198989101597T patent/ES2027046T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-04-13 US US07/337,735 patent/US4987302A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-13 JP JP1092029A patent/JP2610680B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441336A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-02 | Nippon Saafuakutanto Kougiyou | Cosmetics |
| JPS593306A (ja) * | 1982-06-08 | 1984-01-10 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 物体の角変位測定装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006030189A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | エンコーダ |
| US7358865B2 (en) | 2005-08-29 | 2008-04-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder and apparatus using optical encoder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4987302A (en) | 1991-01-22 |
| EP0345414B1 (de) | 1991-11-06 |
| EP0345414A1 (de) | 1989-12-13 |
| ES2027046T3 (es) | 1992-05-16 |
| DE58900427D1 (de) | 1991-12-12 |
| JP2610680B2 (ja) | 1997-05-14 |
| DE3818218A1 (de) | 1989-10-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4079252A (en) | Photoelectric grating displacement measuring apparatus | |
| US4200395A (en) | Alignment of diffraction gratings | |
| EP0318095A1 (en) | Apparatus for optically scanning an object | |
| US4370058A (en) | Digital focimeter and method | |
| US3572937A (en) | Method and apparatus for interferometric measurement of machine slide roll | |
| JPS6391515A (ja) | 光電測角装置 | |
| JPH0749971B2 (ja) | 測定装置 | |
| JPH01316610A (ja) | 光電的角度測定装置 | |
| US3783270A (en) | Focus indicating devices | |
| JPS59166805A (ja) | 光学投影器及びその使用方法 | |
| US5124563A (en) | Optical scanning method and device for measuring the width of lines | |
| EP0110937A1 (en) | APPARATUS FOR MEASURING THE DIMENSIONS OF CYLINDRICAL OBJECTS BY MEANS OF A FLOATING LASER BEAM. | |
| JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
| US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
| JPS60200112A (ja) | 光学的形状誤差検出法 | |
| JPH05256666A (ja) | ロータリーエンコーダー | |
| JPH0599638A (ja) | 測角装置 | |
| JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
| JP3392898B2 (ja) | 格子干渉型変位測定装置 | |
| JPS6166927A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
| JPH07119626B2 (ja) | ロータリーエンコーダー | |
| Shagam et al. | Optical figure inspection of diamond-turned metal mirrors | |
| JPH0462003B2 (ja) | ||
| SU798567A1 (ru) | Устройство дл контрол дефектовпОВЕРХНОСТи ТЕл ВРАщЕНи | |
| US5111040A (en) | Photoelectric device for position measuring |