JPH01318247A - 基板搬送用エレベータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体基板やフォトマスク用ガラス基板等
（以下、単に基板と称する）を１枚毎に昇降搬送するエ
レベータに関するものである。

（従来の技術〕 一般に、基板の表面処理工程においては、基板に塵埃が
付着するのを避けるため、なるべく上方の位置で基板の
表面処理をするように、スピンナー等の基板載置面やそ
れに付随する基板の搬送路は高い位置に配置されている
。

しかし、基板表面にパターンを焼付ける露光工程等にお
いては、露光装置の光学系が上方に位置し、露光部が下
方に位置しているという構造上の制約から、露光装置に
付随する搬送路は比較的低い位置に配置されている。

基板搬送用エレベータは、このような一方の１ａ送路か
ら高低差を有する他方の搬送路へ基板を搬送スるのに用
いられるもので、この種のエレベータとしては、従来よ
り、例えば、本出願人の提案に係る実開昭５９−１７０
５１７号公報に開示されたものが知られている。

それは昇降可能に設けられたリフタを具備して成り、リ
フタで基板の外縁部を支持し、なるべくリフタと基板と
の接触面積を小さくして、塵埃の付着を防止するように
構成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前段工程で使用する装置と後段工程で使用す
る装置とでは、製造業者が異なるため、上方に位置する
搬送路と下方に位置する搬送路とではラインピッチが異
なる場合がある。

例えば、第３図の仮想線で示す露光装置４において、そ
の露光装置の搬入出路３と５のラインピッチＰ２は、エ
レベータを介して基板２を受は渡しする上方に位置する
スピンコータ等の表面処理装置の給排送路１と６のライ
ンピッチＰ１と異なることがある。

エレベータの給送用リフタｌｌａと排送用リフタｌｌｂ
の間隔は上方に位置する給排送路１・６のラインピンチ
Ｐ１に適合させて配置構成されているため、エレベータ
と露光装置４との間に一方の搬送路５からラインピンチ
の異なる他方の搬送路６へ基板２を移し換える手段１２
０が必要になる。

しかし、極度に塵埃の付着を回避する必要があるこの種
の装置において、新たに基板の移載手段１２０を介在さ
せることは、それだけ基板の裏面汚染の機会が多くなる
ので、好ましくない。また、エレベータとその後続の装
置との間に移載手段を付設するためのスペースを必要と
し、しかも、移載手段を制御するための別の制御ユニッ
トを付設する必要があるため、制御回路が複雑化する。

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、基
板の移載手段を省くことによって、そのためのスペース
を省くとともに、基板の裏面汚染の軽減を図ること、及
び制御ユニットの単一化によって制御回路の簡素化、ひ
いてはコストの低減を図ることをその目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するものであり、次のように
構成されている。

即ち、昇降可能に設けられ基板の外縁部を支持する２組
のリフタを備えた基板搬送用エレベータにおいて、少な
くとも一方のリフタを横移動させる搬送路間隔変更手段
を備え、一方の搬送路から高低差を有しラインピッチが
異なる他方の搬送路へ基板を搬送するように構成したこ
とを特徴とするものである。

〔作　用〕

本発明では、一方の搬送路より送られてきた基板を直接
リフタで受は取り、次いで搬送路間隔変更手段でリフタ
を横移動させることにより、２組のリフタ間ピッチを他
方の搬送路間のピンチに揃え、基板を直接化の搬送路へ
引き渡すことになる。

これにより、従来例のような移載手段は不要になる。

〔実施例〕

以下、本発明を添付図面に示す実施例により詳細に説明
する。

第１図は本発明の１実施例を示す基板搬送用エレベータ
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図である。

第１図において符号１０はエレベータ全体を示し、この
エレベータ１０ば例えば図示を省略したスピンコータ等
の基板表面処理装置とパターンの焼付露光装置４との間
に設けられ、上方に位置する給送路１より基板２を受は
取って下方に位置する搬入路３へ引き渡し、焼付露光装
置４でパターンの焼付けをした後、下方に位置する排出
路５より当該基板２を受は取り、上方に位置し、上記搬
入出路３・５とラインピンチが異なる排送路６へ基板２
を引き渡すように構成されている。

即ち、このエレベータ１０はそれぞれ昇降可能に設けら
れた２組のリフタｌｌａ　　・ｌｌｂと、各リフタｌｌ
ａ　　・ｌｌｂを昇降可能に支持する架台１２・１２と
、基台１５上に立設され架台１２を昇降案内するガイド
フレーム１４と、架台１２を無端ベルト１８で昇降駆動
する駆動モータ１６と、一方のリフタ（排送用リフタ）
ｌｌｂを横（矢印Ｂ）方向へ移動するピンチ変更手段２
０とを具備して成る。なお第１図中符号７及び８はそれ
ぞれ上方に位置する給送路ｌ及び排送路６とリフタ１１
ａ及びｌｌｂを接続するアーム式基板搬送装置である。

各リフタｌｌａ　　・ｌｌｂは基板２との接触面積をで
きるだけ少なくして、裏面の汚染を防止するため、外縁
部を支持するように構成されており、給送用リフタｌｌ
ａは一方の架台１２に直接固設され、排送用リフタｌｌ
ｂは、他方の架台１２に対して横移動可能に設けられて
いる・ 各ガイドフレーム１４には架台１２を昇降案内する一組
のガイドレール１３・１３と、駆動モータ１６の駆動プ
ーリ１７と一対をなす従動プーリ１９が設けられ、駆動
プーリ１７と従動プーリ１９とにわたって巻掛けられた
無端ベルｌ−１８の一部が架台１２に固定され、駆動モ
ータ１６によって架台１２を昇降させるように構成され
ている。

上記搬送路間隔変更子ｌＮ２Ｏは、第２図に示すように
排送用リフタｌｌｂを固設したリフタ支持ブロック２１
と、架台１２に対してリフタ支持ブロック２１を横移動
可能に支持するリフタガイドバー２２と、リフタ支持ブ
ロック２１と一体的に横移動可能に設けられたリフタ駆
動用ブロック２３と、リフタ駆動用ブロック２３を横移
動可能に支持するガイドバー２４と、リフタ駆動用ブロ
ック２３を横駆動するエアシリンダ２５とを具備して成
る。

リフタガイドバー２２は昇降可能に設けられた架台１２
にその一端部が片持式に植設され、リフタ支持ブロック
２１にあけた挿通孔内を挿通させて当該リフタ支持ブロ
ック２１を横移動可能に支持している。

一方、リフタ駆動用ブロック２３を支持するガイドバー
２４は、基台１５上に支持具２６・２６を介してリフタ
ガイドバー２２と平行をなすように設けられ、リフタ駆
動用ブロック２３にあけた挿通孔内を挿通させて当該リ
フタ駆動用ブロック２３を横移動可能に支持している。

そしてリフタ駆動用ブロック２３の側面にはエアシリン
ダ２５の出力ロソド２５ａが連結され、リフタ駆動用ブ
ロック２３は第２図の仮想線で示す出力口・ノド収縮位
置Ｃと、実線で示す出カロット伸区位置りとに位置切替
え可能に構成されている。

また、リフタ駆動用ブロック２３の前面には、リフタ支
持ブロック２１を一定範囲内で昇降案内するとともに、
リフタ支持ブロック２１を横方向へ移動させるガイド部
材３１が立設されている。

このガイド部材３１の上側には、上記出力ロット伸長位
置りでリフタ支持ブロック２１を上昇可能に案内するガ
イド棒３２がそれらの端部を近接させて直列状に設けら
れ、このガイド棒３２は第１図に示すように、前記ガイ
ドフレーム１４より横向に設けたアーム３３に固定され
ており、リフタ支持ブロック２１が下降した際に、当該
ブロック２１が上記ガイド部材３１を介してリフタ駆動
用ブロック２３と一体化するのを確実ならしめるための
ものである。

即ち、リフタ支持ブロック２１の背面には一対の転動コ
ロ３０・３０が回転自在に設けられ、この転動コロ３０
・３０によりガイド部材３１を挟持した状態で両ブロッ
ク２１・２３が一体化し、横方向への移動が可能となる
。そして、リフタ駆動用ブロック２３が出力ロンド伸長
位置りへ移動した状態では、リフタ駆動用ブロック２３
の前面へ固定したガイド部材３１が他方のガイド棒３２
と直列状につながり、リフタ支持ブロック２１は上昇可
能となる。

以上の構成からなるエレベータ１０の動作について説明
する。

先ず、上方に位置する給送路ｌより給送用リフタｌｌａ
で基板２を受はをる。次いで、リフタ１１ａが下降して
、下方に位置する搬入路３へ基板２を引き渡す。なお、
搬入路３の始端部には、基板２の搬送手段３５が待機し
ており、リフタｌｌａから受取った基板２を給送路３に
沿って焼付露光装置４側へ搬送するようになっている。

焼付露光装置４でパターンの焼付けを終えた基板２は、
下方に位置する排出路５に沿って搬送手段３６によりそ
の終端部へ排出される。このとき、排送用リフタｌｌｂ
は第２図の仮想線で示すように、出力ロンド収縮位置Ｃ
で最下降の状態で待機しており、基板２を搬送手段３６
で運び込むと、排送用リフタｌｌｂが上昇してその基板
２を受取り、次に排送用リフタｌｌｂが出力ロンド伸長
位置りまで横移動し、次いで上昇移動して基板２を上方
に位置する排送路６へ引き渡す。

上記実施例では、搬送路間隔変更手段２０で排送用リフ
タｌｌｂを横移動させるものについて例示したが、これ
に限ることな（、給送用リフタ１１ａを横移動させるも
の、あるいは両方のリフタ１１ａ　　・ｌｌｂをそれぞ
れ横移動させるものでもよい。

また、上記実施例では搬送路間隔変更手段かリフタｌｌ
ｂを下降位置で幅寄せするものについて例示したが、上
昇位置で横移動するものでもよく、その他多様な変形を
加えて実施し得ることは多言を要しない。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように本発明によれば、次のよう
な効果を奏する。

イ、相互にラインピンチの異なる上方の基板搬送路と下
方の基板搬送路間で基板の受は渡しをするのに、リフタ
を搬送路間隔変更手段で横移動させることにより、他の
移載手段を介在させずとも、一方の搬送路より基板を直
接リフタ上に載置することができるので、他の移載手段
を設けるためのスペースを省きながら、基板の裏面汚染
の軽減を図ることができる。

口、また、搬送路間隔変更手段はエレベータを構成する
一手段として一体に組み込まれ、エレベータの制御ユニ
・７トが単一化されることから、制御回路の簡素化、ひ
いてはコストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す基板搬送用エレベータ
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図、第３図は従来例を模式的に示す斜視図で
ある。 ２・・・基板、５・・・一方の搬送路（排出路）、６・
・・他方の搬送路（排送路）、１０・・・基板搬送用エ
レベータ、ｌｌａ　　・ｌｌｂ・・・リフタ、２０・・
・搬送路間隔変更手段、Ｐｌ・　Ｐｌ・・・ラインピッ
チ。 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、昇降可能に設けられ基板の外縁部を支持する２組の
   リフタを備えた基板搬送用エレベータにおいて、 少なくとも一方のリフタを横移動させる搬 送路間隔変更手段を備え、一方の搬送路から高低差を有
   しラインピッチが異なる他方の搬送路へ基板を搬送する
   ように構成したことを特徴とする基板搬送用エレベータ