JPH0710267A - クリーンルーム用移載装置 - Google Patents
クリーンルーム用移載装置Info
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- JPH0710267A JPH0710267A JP15923493A JP15923493A JPH0710267A JP H0710267 A JPH0710267 A JP H0710267A JP 15923493 A JP15923493 A JP 15923493A JP 15923493 A JP15923493 A JP 15923493A JP H0710267 A JPH0710267 A JP H0710267A
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- JP
- Japan
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- positioning
- plate
- lifting
- glass substrate
- shaped electronic
- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持し
て、プロセス装置等の各ステージに効率良く正確に位置
決めして載置することができるクリーンルーム用移載装
置を提供する。 【構成】昇降機構１１上に持上げ位置決め機構１２を設
け、搬送車８によって搬入された水平状態の板状電子部
品を、持上げ位置決め機構１２により持上げて位置決め
する位置決め装置１と、別の昇降機構３１の上に水平移
動機構３２を設け、水平移動機構３２上を走行する移動
体３３上にハンドプレート３４を取付け、位置決め装置
１により位置決めされた板状電子部品を、ハンドプレー
ト３４上に保持して移動させるハンドリング装置３と、
を備える。
て、プロセス装置等の各ステージに効率良く正確に位置
決めして載置することができるクリーンルーム用移載装
置を提供する。 【構成】昇降機構１１上に持上げ位置決め機構１２を設
け、搬送車８によって搬入された水平状態の板状電子部
品を、持上げ位置決め機構１２により持上げて位置決め
する位置決め装置１と、別の昇降機構３１の上に水平移
動機構３２を設け、水平移動機構３２上を走行する移動
体３３上にハンドプレート３４を取付け、位置決め装置
１により位置決めされた板状電子部品を、ハンドプレー
ト３４上に保持して移動させるハンドリング装置３と、
を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ等を
製造するクリーンルーム内の工程で使用され、搬送車に
よって搬送されたガラス基板等の板状電子部品を、プロ
セス装置等のステージへ移載するクリーンルーム用移載
装置に関する。
製造するクリーンルーム内の工程で使用され、搬送車に
よって搬送されたガラス基板等の板状電子部品を、プロ
セス装置等のステージへ移載するクリーンルーム用移載
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイを製造する工
程では、ガラス基板上に多数の薄膜トランジスタや電極
を形成し、重ね合せたガラス基板の間隙に液晶を封入す
るなど多数の処理が、無塵状態で実施される必要がある
ため、その殆どがクリーンルーム内で実施される。
程では、ガラス基板上に多数の薄膜トランジスタや電極
を形成し、重ね合せたガラス基板の間隙に液晶を封入す
るなど多数の処理が、無塵状態で実施される必要がある
ため、その殆どがクリーンルーム内で実施される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のガラス基板を
各プロセス装置の各ステージに送る場合、従来では、例
えば１０枚程度のガラス基板がカセット（収納ケース）
内に収納され、そのカセットをステージの近くまで運
び、カセット内からガラス基板を一枚づつ取り出してス
テージに載置する作業を移載装置により行っていた。
各プロセス装置の各ステージに送る場合、従来では、例
えば１０枚程度のガラス基板がカセット（収納ケース）
内に収納され、そのカセットをステージの近くまで運
び、カセット内からガラス基板を一枚づつ取り出してス
テージに載置する作業を移載装置により行っていた。
【０００４】このため、ガラス基板が大形化した場合、
移載部に非常に広いスペースが必要となり、大形のガラ
ス基板を効率良くプロセス装置のステージに載置するこ
とができない等の問題があった。
移載部に非常に広いスペースが必要となり、大形のガラ
ス基板を効率良くプロセス装置のステージに載置するこ
とができない等の問題があった。
【０００５】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持して、
プロセス装置等の各ステージに効率良く正確に位置決め
して載置することができるクリーンルーム用移載装置を
提供することを目的とする。
で、ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持して、
プロセス装置等の各ステージに効率良く正確に位置決め
して載置することができるクリーンルーム用移載装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンルーム用移載装置は、昇降機構上
に持上げ位置決め機構を設け、搬送車によって搬入され
た水平状態の板状電子部品を、持上げ位置決め機構によ
り持上げて位置決めする位置決め装置と、別の昇降機構
の上に水平移動機構を設け、水平移動機構上を走行する
移動体上にハンドプレートを取付け、前記位置決め装置
により位置決めされた板状電子部品を、ハンドプレート
上に保持して移動させるハンドリング装置と、を備え、
前記持上げ位置決め機構には、枠体上の四隅に各々一対
の位置決め支持片が向きを略９０度ずらして取付られ、
各位置決め支持片には板状電子部品の縁部を支持する凹
部が設けられて構成される。
に、本発明のクリーンルーム用移載装置は、昇降機構上
に持上げ位置決め機構を設け、搬送車によって搬入され
た水平状態の板状電子部品を、持上げ位置決め機構によ
り持上げて位置決めする位置決め装置と、別の昇降機構
の上に水平移動機構を設け、水平移動機構上を走行する
移動体上にハンドプレートを取付け、前記位置決め装置
により位置決めされた板状電子部品を、ハンドプレート
上に保持して移動させるハンドリング装置と、を備え、
前記持上げ位置決め機構には、枠体上の四隅に各々一対
の位置決め支持片が向きを略９０度ずらして取付られ、
各位置決め支持片には板状電子部品の縁部を支持する凹
部が設けられて構成される。
【０００７】
【作用・効果】このような構成のクリーンルーム用移載
装置では、板状電子部品を水平に搭載した搬送車が位置
決め装置内の定位置に停止すると、位置決め装置の昇降
機構が作動して、持上げ位置決め機構が上昇し、搬送車
上の板状電子部品を水平状態のまま持上げる。このと
き、板状電子部品の四隅の縁部が、持上げ位置決め機構
の各位置決め支持片に接触しながら、支持片の凹部に進
入する。このとき、板状電子部品の位置ずれが修正さ
れ、正確な位置決めがなされた状態で、持上げ位置決め
機構に保持される。
装置では、板状電子部品を水平に搭載した搬送車が位置
決め装置内の定位置に停止すると、位置決め装置の昇降
機構が作動して、持上げ位置決め機構が上昇し、搬送車
上の板状電子部品を水平状態のまま持上げる。このと
き、板状電子部品の四隅の縁部が、持上げ位置決め機構
の各位置決め支持片に接触しながら、支持片の凹部に進
入する。このとき、板状電子部品の位置ずれが修正さ
れ、正確な位置決めがなされた状態で、持上げ位置決め
機構に保持される。
【０００８】次に、ハンドリング装置の水平移動機構が
作動して移動体が移動することにより、ハンドプレート
が持上げ位置決め機構の内側に進入し、昇降機構が作動
して水平移動機構と共にハンドプレートが上昇すること
により、板状電子部品はハンドプレート上に保持され
る。そして、水平移動機構の動作によりハンドプレート
が前進し、直前に位置するステージ等に板状電子部品が
載置される。
作動して移動体が移動することにより、ハンドプレート
が持上げ位置決め機構の内側に進入し、昇降機構が作動
して水平移動機構と共にハンドプレートが上昇すること
により、板状電子部品はハンドプレート上に保持され
る。そして、水平移動機構の動作によりハンドプレート
が前進し、直前に位置するステージ等に板状電子部品が
載置される。
【０００９】このように、搬送された板状電子部品を位
置決め装置がその持上げ位置決め機構を上昇させるだけ
で、簡単に且つ正確にその位置決めを行うことができ、
また、位置決めされた板状電子部品は、ハンドリング装
置のハンドプレートが保持してステージ等へ載置され、
効率良く移載することができる。
置決め装置がその持上げ位置決め機構を上昇させるだけ
で、簡単に且つ正確にその位置決めを行うことができ、
また、位置決めされた板状電子部品は、ハンドリング装
置のハンドプレートが保持してステージ等へ載置され、
効率良く移載することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１１】図１はクリーンルーム用移載装置の正面図
を示し、図２はその右側面図を、図３はその平面図を示
している。この移載装置は、レール９上を走行するモノ
レース搬送車８により搬送されたＬＣＤ等のガラス基板
Ｇを、持ち上げながら位置決めする位置決め装置１と、
位置決めされたガラス基板Ｇをハンドプレート３４上に
保持してプロセス装置ＰのステージＳに差し入れるハン
ドリング装置３とから構成される。
を示し、図２はその右側面図を、図３はその平面図を示
している。この移載装置は、レール９上を走行するモノ
レース搬送車８により搬送されたＬＣＤ等のガラス基板
Ｇを、持ち上げながら位置決めする位置決め装置１と、
位置決めされたガラス基板Ｇをハンドプレート３４上に
保持してプロセス装置ＰのステージＳに差し入れるハン
ドリング装置３とから構成される。
【００１２】モノレール搬送車８は、その上部にガラス
基板Ｇを載置する架台を有すると共に、水平に移動可能
な保持部７を両側に備え、ガラス基板Ｇを架台上に水平
に載置し、その縁部を保持部７により両側から保持して
搬送する構造である。
基板Ｇを載置する架台を有すると共に、水平に移動可能
な保持部７を両側に備え、ガラス基板Ｇを架台上に水平
に載置し、その縁部を保持部７により両側から保持して
搬送する構造である。
【００１３】位置決め装置１は、図４、図５に示すよう
に、レール９を挟むように配置され、レール上を走行し
て搬入されたモノレール搬送車８上のガラス基板Ｇを、
昇降機構１１上に取付けられた持上げ位置決め機構１２
により、持ち上げることによって位置決め保持するよう
に構成される。
に、レール９を挟むように配置され、レール上を走行し
て搬入されたモノレール搬送車８上のガラス基板Ｇを、
昇降機構１１上に取付けられた持上げ位置決め機構１２
により、持ち上げることによって位置決め保持するよう
に構成される。
【００１４】昇降機構１１は、レール９の下側に横断す
るように駆動軸１６が軸支され、減速機付きのモータ１
３がギヤを介して駆動軸１６に連係され、駆動軸１６の
両端部にプーリ１４が固定され、さらに、その上方に軸
支された別のプーリ１５との間にベルト１７が掛け渡さ
れて構成される。また、図５に示すように、ベルト１７
の両側に沿って配設された２本のガイド軸１８に、昇降
枠１９がガイドされて昇降自在に水平に支持され、昇降
枠１９の一部がベルト１７の一部に連結され、両側のベ
ルト１７の回転により両側の昇降枠１９が昇降する。
るように駆動軸１６が軸支され、減速機付きのモータ１
３がギヤを介して駆動軸１６に連係され、駆動軸１６の
両端部にプーリ１４が固定され、さらに、その上方に軸
支された別のプーリ１５との間にベルト１７が掛け渡さ
れて構成される。また、図５に示すように、ベルト１７
の両側に沿って配設された２本のガイド軸１８に、昇降
枠１９がガイドされて昇降自在に水平に支持され、昇降
枠１９の一部がベルト１７の一部に連結され、両側のベ
ルト１７の回転により両側の昇降枠１９が昇降する。
【００１５】持上げ位置決め機構１２は、図６に示すよ
うに、２分割された枠体２０上の四隅に、各々一対の位
置決め支持片２１が方向を９０度ずらして取付られ、各
位置決め支持片２１の上部の傾斜部には、進入するガラ
スの縁部と接触して回転するローラ２２が略水平に軸支
され、そして、両側の枠体２０が４本の支持軸２３上に
水平に固定されて構成される。
うに、２分割された枠体２０上の四隅に、各々一対の位
置決め支持片２１が方向を９０度ずらして取付られ、各
位置決め支持片２１の上部の傾斜部には、進入するガラ
スの縁部と接触して回転するローラ２２が略水平に軸支
され、そして、両側の枠体２０が４本の支持軸２３上に
水平に固定されて構成される。
【００１６】また、位置決め支持片２１は、ガラス基板
Ｇの縁部が上から進入して載置される凹部２１ａを有
し、各位置決め支持片２１の凹部２１ａと凹部２１ａと
の間隔がガラス基板Ｇの寸法に正確に合せられている。
これにより、ローラ２２に接触しながら進入したガラス
基板Ｇの各縁部を、位置決め支持片２１が正確に位置決
めして支持する。
Ｇの縁部が上から進入して載置される凹部２１ａを有
し、各位置決め支持片２１の凹部２１ａと凹部２１ａと
の間隔がガラス基板Ｇの寸法に正確に合せられている。
これにより、ローラ２２に接触しながら進入したガラス
基板Ｇの各縁部を、位置決め支持片２１が正確に位置決
めして支持する。
【００１７】これら４本の支持軸２３はフレームの軸受
部２４に上下摺動自在に支持され、各２対の支持軸２３
の下端部に、上記両側の昇降枠１９が各々固定される。
したがって、昇降機構１１のモータ１３、駆動軸１６、
ベルト１７の作動により、位置決め支持片２１を四隅に
設けた持上げ位置決め機構１２が昇降・動作する。
部２４に上下摺動自在に支持され、各２対の支持軸２３
の下端部に、上記両側の昇降枠１９が各々固定される。
したがって、昇降機構１１のモータ１３、駆動軸１６、
ベルト１７の作動により、位置決め支持片２１を四隅に
設けた持上げ位置決め機構１２が昇降・動作する。
【００１８】ハンドリング装置３が、そのハンドプレー
ト３４を上記持上げ位置決め機構１２の内側に差し入れ
るように、位置決め装置１の隣接位置に設置される。ハ
ンドリング装置３は、昇降機構３１の上に水平移動機構
３２を設け、水平移動機構３２の移動体３３上に、ハン
ドプレート３４を側方に水平に突き出すように取付けて
構成される。
ト３４を上記持上げ位置決め機構１２の内側に差し入れ
るように、位置決め装置１の隣接位置に設置される。ハ
ンドリング装置３は、昇降機構３１の上に水平移動機構
３２を設け、水平移動機構３２の移動体３３上に、ハン
ドプレート３４を側方に水平に突き出すように取付けて
構成される。
【００１９】昇降機構３１は、図１、図２に示すよう
に、基台３５上に４本のガイド軸３６が立設され、ガイ
ド軸３６に昇降枠３７が上下動可能に水平に支持され、
基台３５上に回転可能に立設されたねじ棒３８に、昇降
枠３７の一部に取付けためねじ部が螺合され、減速機付
きのモータ３９によりねじ棒３８を回転駆動して、昇降
枠を３７を水平状態で昇降させるように構成される。な
お、図２に示すように、昇降枠３７には、先端に重りを
取付けプーリに掛けられたワイヤの端部が連結され、こ
の重りにより昇降枠を常時上方に付勢する構造である。
に、基台３５上に４本のガイド軸３６が立設され、ガイ
ド軸３６に昇降枠３７が上下動可能に水平に支持され、
基台３５上に回転可能に立設されたねじ棒３８に、昇降
枠３７の一部に取付けためねじ部が螺合され、減速機付
きのモータ３９によりねじ棒３８を回転駆動して、昇降
枠を３７を水平状態で昇降させるように構成される。な
お、図２に示すように、昇降枠３７には、先端に重りを
取付けプーリに掛けられたワイヤの端部が連結され、こ
の重りにより昇降枠を常時上方に付勢する構造である。
【００２０】昇降枠３７上には、２本の脚部４０を介し
て水平移動機構３２が上記レール９の横断方向に且つ水
平に取付けられる。水平移動機構３２は、枠体４１内に
２本のレール４２が敷設され、レール４２上には移動体
３３が走行自在に係合する。また、２本のレール４２の
間には、枠体４１の両端に軸支されたプーリに掛け渡さ
れたワイヤ４３が配設され、図示しないモータによりプ
ーリが回転駆動されることにより、ワイヤ４３が回転す
る。ワイヤ４３の一部と上記移動体３３が連結され、モ
ータによるワイヤ４３の回転により、移動体３３はレー
ル４２上を走行する。
て水平移動機構３２が上記レール９の横断方向に且つ水
平に取付けられる。水平移動機構３２は、枠体４１内に
２本のレール４２が敷設され、レール４２上には移動体
３３が走行自在に係合する。また、２本のレール４２の
間には、枠体４１の両端に軸支されたプーリに掛け渡さ
れたワイヤ４３が配設され、図示しないモータによりプ
ーリが回転駆動されることにより、ワイヤ４３が回転す
る。ワイヤ４３の一部と上記移動体３３が連結され、モ
ータによるワイヤ４３の回転により、移動体３３はレー
ル４２上を走行する。
【００２１】移動体３３上には、図３に示すように、ハ
ンドプレート３４がＬ形のアームを介して取付けられ
る。このハンドプレート３４は、上記位置決め装置１の
持上げ位置決め機構１２の内側に水平に挿入可能な位置
に配置され、上面には図示しない吸引機構により吸引す
る複数の吸着孔が設けられる。
ンドプレート３４がＬ形のアームを介して取付けられ
る。このハンドプレート３４は、上記位置決め装置１の
持上げ位置決め機構１２の内側に水平に挿入可能な位置
に配置され、上面には図示しない吸引機構により吸引す
る複数の吸着孔が設けられる。
【００２２】なお、位置決め装置１の上方には、プロセ
ス装置Ｐから処理を終えて搬出されたガラス基板Ｇを、
一時的に載置しておくための載置部６が設けられる。
ス装置Ｐから処理を終えて搬出されたガラス基板Ｇを、
一時的に載置しておくための載置部６が設けられる。
【００２３】上記構成の移載装置は、クリーンルーム内
におけるプロセス装置、ストック装置等の前面のステー
ジ前に設けられたステーション位置に配置される。
におけるプロセス装置、ストック装置等の前面のステー
ジ前に設けられたステーション位置に配置される。
【００２４】モノレール搬送車８が、上部の保持部７に
ガラス基板Ｇを保持しながらレール９上を走行し、位置
決め装置１内の定位置で停止する。すると、モノレール
搬送車８の保持部７が両側に開いてガラス基板Ｇをリリ
ースし、この状態で、位置決め装置１の昇降機構１１が
作動し、ベルト１７の駆動により昇降枠１９が上昇し、
これにより、持上げ位置決め機構１２が上昇する。
ガラス基板Ｇを保持しながらレール９上を走行し、位置
決め装置１内の定位置で停止する。すると、モノレール
搬送車８の保持部７が両側に開いてガラス基板Ｇをリリ
ースし、この状態で、位置決め装置１の昇降機構１１が
作動し、ベルト１７の駆動により昇降枠１９が上昇し、
これにより、持上げ位置決め機構１２が上昇する。
【００２５】このとき、持上げ位置決め機構１２は、四
隅に位置する４対の位置決め支持片２１がガラス基板Ｇ
の四隅の縁部を保持するように上昇し、ガラス基板Ｇの
四隅の縁部は、先ずローラ２２に接触して、位置のずれ
を修正しながら、位置決め支持片２１の凹部２１ａ内に
進入し、位置決めされた状態で、図４、図５の実線に示
すような上方位置に保持される。
隅に位置する４対の位置決め支持片２１がガラス基板Ｇ
の四隅の縁部を保持するように上昇し、ガラス基板Ｇの
四隅の縁部は、先ずローラ２２に接触して、位置のずれ
を修正しながら、位置決め支持片２１の凹部２１ａ内に
進入し、位置決めされた状態で、図４、図５の実線に示
すような上方位置に保持される。
【００２６】次に、ハンドリング装置３の水平移動機構
３２が作動し、その移動体３３がワイヤ４３の回転によ
り図３の右方向に移動する。これにより、移動体３３に
取付けられたハンドプレート３４が、持上げ位置決め機
構１２の内側つまりガラス基板Ｇの真下に進入して停止
する。
３２が作動し、その移動体３３がワイヤ４３の回転によ
り図３の右方向に移動する。これにより、移動体３３に
取付けられたハンドプレート３４が、持上げ位置決め機
構１２の内側つまりガラス基板Ｇの真下に進入して停止
する。
【００２７】次に、ハンドリング装置３の昇降機構３１
が作動し、モータ３９の駆動によりねじ棒３８が回転し
て昇降枠３７が上昇し、水平移動機構３２と共にハンド
プレート３４が上昇する。このとき、ハンドプレート３
４が持上げ位置決め機構１２に保持されたガラス基板Ｇ
を下から持上げるように保持し、ガラス基板Ｇはその吸
着孔の吸着によってハンドプレート３４上に吸着・保持
され、図２に示す上方位置で停止する。
が作動し、モータ３９の駆動によりねじ棒３８が回転し
て昇降枠３７が上昇し、水平移動機構３２と共にハンド
プレート３４が上昇する。このとき、ハンドプレート３
４が持上げ位置決め機構１２に保持されたガラス基板Ｇ
を下から持上げるように保持し、ガラス基板Ｇはその吸
着孔の吸着によってハンドプレート３４上に吸着・保持
され、図２に示す上方位置で停止する。
【００２８】次に、再び、ハンドリング装置３の水平移
動機構３２が作動し、その移動体３３がワイヤ４３の回
転により図３の右方向に移動し、ハンドプレート３４に
保持されたガラス基板Ｇがプロセス装置ＰのステージＳ
の上に達したとき停止する。そして、ハンドリング装置
３の昇降機構３１の作動により、ハンドプレート３４を
下降させ、ガラス基板ＧをステージＳ上に載置する。
動機構３２が作動し、その移動体３３がワイヤ４３の回
転により図３の右方向に移動し、ハンドプレート３４に
保持されたガラス基板Ｇがプロセス装置ＰのステージＳ
の上に達したとき停止する。そして、ハンドリング装置
３の昇降機構３１の作動により、ハンドプレート３４を
下降させ、ガラス基板ＧをステージＳ上に載置する。
【００２９】その後、上方の載置部６に、処理を終えた
ガラス基板が載置されている場合、ハドリング装置３が
その昇降機構３１と水平移動機構３２を動作させて、ハ
ンドプレート３４を載置部６の位置まで移動させ、そこ
に載置されガラス基板Ｇを保持して最初の位置、つまり
モノレール搬送車８の上部まで搬送し、モノレール搬送
車８の保持部７に保持させる。そして、モノレール搬送
車８はそのガラス基板を次の工程に搬送する。
ガラス基板が載置されている場合、ハドリング装置３が
その昇降機構３１と水平移動機構３２を動作させて、ハ
ンドプレート３４を載置部６の位置まで移動させ、そこ
に載置されガラス基板Ｇを保持して最初の位置、つまり
モノレール搬送車８の上部まで搬送し、モノレール搬送
車８の保持部７に保持させる。そして、モノレール搬送
車８はそのガラス基板を次の工程に搬送する。
【００３０】一方、プロセス装置Ｐにおいて、処理を終
えたガラス基板がそのステージＳに出されたとき、ハン
ドリング装置３が上記と同様に動作して、ハンドプレー
ト３４をステージＳまで移動させ、そこのガラス基板を
保持して上方の載置部６まで搬送し、そこに一旦載置し
ておく。このようにして、モノレール搬送車８により搬
送されたガラス基板Ｇを順にプロセス装置Ｐに搬入し、
プロセス装置Ｐで処理を終えて搬出されたガラス基板Ｇ
を、再びモノレール搬送車８に載置して次の工程に送出
する行程が繰り返される。
えたガラス基板がそのステージＳに出されたとき、ハン
ドリング装置３が上記と同様に動作して、ハンドプレー
ト３４をステージＳまで移動させ、そこのガラス基板を
保持して上方の載置部６まで搬送し、そこに一旦載置し
ておく。このようにして、モノレール搬送車８により搬
送されたガラス基板Ｇを順にプロセス装置Ｐに搬入し、
プロセス装置Ｐで処理を終えて搬出されたガラス基板Ｇ
を、再びモノレール搬送車８に載置して次の工程に送出
する行程が繰り返される。
【００３１】このように、モノレール搬送車８によって
搬送されたガラス基板Ｇを位置決め装置１がその持上げ
位置決め機構１２を上昇させるだけで、簡単にガラス基
板の位置決めを行うことができ、また、位置決めされた
ガラス基板はハンドリング装置３のハンドプレート３４
が保持してプロセス装置ＰのステージＳへと搬入し、或
はステージ上のガラス基板をモノレール搬送車８の上部
まで搬送し、効率良く移載することができる。
搬送されたガラス基板Ｇを位置決め装置１がその持上げ
位置決め機構１２を上昇させるだけで、簡単にガラス基
板の位置決めを行うことができ、また、位置決めされた
ガラス基板はハンドリング装置３のハンドプレート３４
が保持してプロセス装置ＰのステージＳへと搬入し、或
はステージ上のガラス基板をモノレール搬送車８の上部
まで搬送し、効率良く移載することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す移載装置の正面図であ
る。
る。
【図２】同右側面図である。
【図３】同平面図である。
【図４】位置決め装置１の拡大正面図である。
【図５】同位置決め装置１の拡大側面図である。
【図６】持上げ位置決め機構１２の拡大斜視図である。
１−位置決め装置、３−ハンドリング装置、８−モノレ
ール搬送車、１１−昇降機構、１２−持上げ位置決め機
構、２１位置決め支持片、２２−ローラ、３１−昇降機
構、３２−水平移動機構、３３−移動体、３４、ハンド
プレート。
ール搬送車、１１−昇降機構、１２−持上げ位置決め機
構、２１位置決め支持片、２２−ローラ、３１−昇降機
構、３２−水平移動機構、３３−移動体、３４、ハンド
プレート。
Claims (1)
- 【請求項１】 昇降機構上に持上げ位置決め機構を設
け、搬送車によって搬入された水平状態の板状電子部品
を、該持上げ位置決め機構により持上げて位置決めする
位置決め装置と、 別の昇降機構の上に水平移動機構を設け、該水平移動機
構上を走行する移動体上にハンドプレートを取付け、前
記位置決め装置により位置決めされた板状電子部品を、
該ハンドプレート上に保持して移動させるハンドリング
装置と、 を備え、 前記持上げ位置決め機構には、枠体上の四隅に各々一対
の位置決め支持片が向きを略９０度ずらして取付られ、
該各位置決め支持片には板状電子部品の縁部を支持する
凹部が設けられていることを特徴とするクリーンルーム
用移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15923493A JPH0710267A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15923493A JPH0710267A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710267A true JPH0710267A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15689277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15923493A Withdrawn JPH0710267A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710267A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002239446A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Chugai Ro Co Ltd | 基板塗布装置 |
| WO2010075830A1 (de) | 2008-12-17 | 2010-07-08 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum schnelltransport von glasplatten |
| CN104876028A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-09-02 | 苏州茂特斯自动化设备有限公司 | 插针式海绵抓取机构 |
| CN110976369A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-04-10 | 陈赣平 | 一种安防用齿轮维护装置 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15923493A patent/JPH0710267A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101275423B1 (ko) * | 2008-12-17 | 2013-06-18 | 그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하 | 유리 시트의 고속 이송 방법 및 장치 |
| US8911197B2 (en) | 2008-12-17 | 2014-12-16 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Method and apparatus for the rapid transport of glass sheets |
| CN104876028A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-09-02 | 苏州茂特斯自动化设备有限公司 | 插针式海绵抓取机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |