JPH01319007A - 回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位置調整方法 - Google Patents
回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位置調整方法Info
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- JPH01319007A JPH01319007A JP15166388A JP15166388A JPH01319007A JP H01319007 A JPH01319007 A JP H01319007A JP 15166388 A JP15166388 A JP 15166388A JP 15166388 A JP15166388 A JP 15166388A JP H01319007 A JPH01319007 A JP H01319007A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 240000001548 Camellia japonica Species 0.000 description 1
- 235000018597 common camellia Nutrition 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 244000144985 peep Species 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は例えば露光器、ソーラーシュミレータ等に利用
される回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位ｉ
ｉ！２調整方法に関する。
される回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位ｉ
ｉ！２調整方法に関する。
（従来の技術）
従来のこの種方法として、第７図に示すように、回転楕
円鏡ａの第１焦点すに放電管Ｃをその陰極ｄの先端ｅ付
近が位置するように配設し、該放電管Ｃからの光を該回
転楕円鏡ａの第２焦点ｆに集光させるに際し、該放電管
Ｃを点灯させると共に該第２焦点ｆを含む光軸ｇと直角
の平面上に黒板りを配置し、該黒板り上のマーキングを
施した第２焦点ｆに該放電管Ｃからの光が集光するよう
に該放電管Ｃを移動調整するようにしたものは知られる
。
円鏡ａの第１焦点すに放電管Ｃをその陰極ｄの先端ｅ付
近が位置するように配設し、該放電管Ｃからの光を該回
転楕円鏡ａの第２焦点ｆに集光させるに際し、該放電管
Ｃを点灯させると共に該第２焦点ｆを含む光軸ｇと直角
の平面上に黒板りを配置し、該黒板り上のマーキングを
施した第２焦点ｆに該放電管Ｃからの光が集光するよう
に該放電管Ｃを移動調整するようにしたものは知られる
。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来方法によれば、放電管からの高
輝度の光が届く回転楕円鏡の光軸に対して斜め方向から
黒板上を見つめつつ該放電管からの光が第２焦点に集光
するように該放電管を移動調整しなければならず、斜め
方向からの調整であるため、確実に第２焦点に集光させ
ることが難しく、熟練を要すると共に高輝度の光から目
を守るため減光フィルタを掛けなればならない等の不都
合があり、さらに放電管からの光をインテグレータレン
ズで受けるインチブレークレンズ光学系においては、放
電管の位置調整が不可能となる不都合があった。
輝度の光が届く回転楕円鏡の光軸に対して斜め方向から
黒板上を見つめつつ該放電管からの光が第２焦点に集光
するように該放電管を移動調整しなければならず、斜め
方向からの調整であるため、確実に第２焦点に集光させ
ることが難しく、熟練を要すると共に高輝度の光から目
を守るため減光フィルタを掛けなればならない等の不都
合があり、さらに放電管からの光をインテグレータレン
ズで受けるインチブレークレンズ光学系においては、放
電管の位置調整が不可能となる不都合があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記従来方法の不都合を無くした方法を提供し
ようとするものであって、請求項１の方法は、回転楕円
鏡の第１焦点に放電管をその陰極の先端付近が位置する
ように配設し、該放電管からの光を該回転楕円鏡の第２
焦点に集光させるに際し、該回転楕円鏡に、その光軸に
対して直角の該第１焦点を含む平面上において９０度間
隔の２つの覗き穴を設け、該放電管を消灯すると共に該
第２焦点に点光源又はファイバーライトガイドからの光
を導入してその光を該第１焦点に集光させ、該放電管を
その陰極の先端付近が発光する該第１焦点に合致するよ
うに該両覗き穴から覗きながら移動調整したことを特徴
とする請求項２の方法は回転楕円鏡の第１焦点に放電管
をその陰極の先端付近が位置するように配設し、該放電
管からの光を該回転楕円鏡の第２焦点に集光させるに際
し、該回転楕円鏡に、その光軸に対して直角の該第１焦
点を含む平面上において９０度間隔の２つの覗き穴を設
け、該光軸上の該第２焦点よりも該第１焦点側に該平面
と平行の平面鏡を設け、該平面鏡に対して該第２焦点と
対称位置に点光源を配置し、該放電管を消灯すると共に
該点光源からの光を該平面鏡で反射させて該第１焦点に
集光させ、該放電管をその陰極の先端付近が発光する該
第１焦点に合致するように該両覗き穴から覗きながら移
動調整したことを特徴とする。
ようとするものであって、請求項１の方法は、回転楕円
鏡の第１焦点に放電管をその陰極の先端付近が位置する
ように配設し、該放電管からの光を該回転楕円鏡の第２
焦点に集光させるに際し、該回転楕円鏡に、その光軸に
対して直角の該第１焦点を含む平面上において９０度間
隔の２つの覗き穴を設け、該放電管を消灯すると共に該
第２焦点に点光源又はファイバーライトガイドからの光
を導入してその光を該第１焦点に集光させ、該放電管を
その陰極の先端付近が発光する該第１焦点に合致するよ
うに該両覗き穴から覗きながら移動調整したことを特徴
とする請求項２の方法は回転楕円鏡の第１焦点に放電管
をその陰極の先端付近が位置するように配設し、該放電
管からの光を該回転楕円鏡の第２焦点に集光させるに際
し、該回転楕円鏡に、その光軸に対して直角の該第１焦
点を含む平面上において９０度間隔の２つの覗き穴を設
け、該光軸上の該第２焦点よりも該第１焦点側に該平面
と平行の平面鏡を設け、該平面鏡に対して該第２焦点と
対称位置に点光源を配置し、該放電管を消灯すると共に
該点光源からの光を該平面鏡で反射させて該第１焦点に
集光させ、該放電管をその陰極の先端付近が発光する該
第１焦点に合致するように該両覗き穴から覗きながら移
動調整したことを特徴とする。
（作 用）
請求項１及び請求項２の方法によれば、回転楕円鏡の第
２焦点に導入し或いは平面鏡で反射された点光源又はフ
ァイバーライトガイドからの低輝度の光を第１焦点に集
光させ、その光と消灯する放電管の陰極の先端付近とを
回転楕円鏡に設けた光軸に対して直角方向の９０度間隔
の２つの覗き穴から覗きながら放電管の点灯時最大輝度
となる陰極の先端付近が発光する第１焦点に合致するよ
うに放電管を移動調整する。かくするときは、点光源又
はファイバーライトガイドからの光をなくし、放電管を
点灯させれば、回転楕円鏡の第２焦点に放電管からの光
が確実に集光される。
２焦点に導入し或いは平面鏡で反射された点光源又はフ
ァイバーライトガイドからの低輝度の光を第１焦点に集
光させ、その光と消灯する放電管の陰極の先端付近とを
回転楕円鏡に設けた光軸に対して直角方向の９０度間隔
の２つの覗き穴から覗きながら放電管の点灯時最大輝度
となる陰極の先端付近が発光する第１焦点に合致するよ
うに放電管を移動調整する。かくするときは、点光源又
はファイバーライトガイドからの光をなくし、放電管を
点灯させれば、回転楕円鏡の第２焦点に放電管からの光
が確実に集光される。
（実施例）
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は回転楕円鏡ｌの光学系の集光原理図を示すもの
で、この回転楕円鏡ｌの光軸２上の第１焦点位置ｐｔに
点光源３を配置し、これを点灯すると、この光は必ず第
２焦点位置Ｆ２に点となって集光し、また逆に第２焦点
位置Ｆ２に点光源３を配置し、これを点灯すると、この
光は必ず第１焦点位置Ｆｌに点となって集光する。
で、この回転楕円鏡ｌの光軸２上の第１焦点位置ｐｔに
点光源３を配置し、これを点灯すると、この光は必ず第
２焦点位置Ｆ２に点となって集光し、また逆に第２焦点
位置Ｆ２に点光源３を配置し、これを点灯すると、この
光は必ず第１焦点位置Ｆｌに点となって集光する。
上記集光原理を利用して簡単且つ正確な光源位置調整を
行なえるようにしたのが本発明である。
行なえるようにしたのが本発明である。
第２図は回転楕円鏡１の第１焦点位置Ｆ１に、第３図及
び第４図に示ｒようなランプ電極形状及び発光輝度分布
を有する直流点灯型のショートアーク放電管４例えばキ
セノンランプ、メタルハライドランプ等を配設し、点灯
した該放電管４からの光を第２焦点位置Ｆ２に集光させ
るようにした光学系において、該放電管４の位置調整を
行なう場合の実施例を示す。
び第４図に示ｒようなランプ電極形状及び発光輝度分布
を有する直流点灯型のショートアーク放電管４例えばキ
セノンランプ、メタルハライドランプ等を配設し、点灯
した該放電管４からの光を第２焦点位置Ｆ２に集光させ
るようにした光学系において、該放電管４の位置調整を
行なう場合の実施例を示す。
この場合、光学系の配置寸法は使用される回転椿円ｍｌ
の基本設計数値に合わせて決定され、また該回転楕円鏡
ｌには、光軸２に対して直角の第１焦点位置Ｆ１を含む
平面上において９０度間隔の２つの覗き穴５．５が設け
られる。
の基本設計数値に合わせて決定され、また該回転楕円鏡
ｌには、光軸２に対して直角の第１焦点位置Ｆ１を含む
平面上において９０度間隔の２つの覗き穴５．５が設け
られる。
使用される放電管４はその陰極６ （カソード）の先端
６ａが最も輝度が高いので、この先端６ａ付近が第１焦
点位ｉＰ１に合致するように移動調整するのが好ましく
、具体的には、第１焦点泣置Ｆ１近傍にｘ−ｙ−ｚステ
ージで保持された高輝度の放電管４を置くと共に第２焦
点位置Ｆ２に低輝度の点光源７を置き、該放電管４を消
灯すると共に該点光源６を点灯し、点光源７からの光を
第１焦点位置Ｆ１に集光させ、その光と放電管４の陰極
６の先端６ａ付近とを覗き穴５．５から覗きながら該先
端６ａ付近が発光する第１焦点位置Ｆ１に合致するよう
に前記ｘ−ｙ−ｚステージを移動させ放電管４の位置調
整をした。
６ａが最も輝度が高いので、この先端６ａ付近が第１焦
点位ｉＰ１に合致するように移動調整するのが好ましく
、具体的には、第１焦点泣置Ｆ１近傍にｘ−ｙ−ｚステ
ージで保持された高輝度の放電管４を置くと共に第２焦
点位置Ｆ２に低輝度の点光源７を置き、該放電管４を消
灯すると共に該点光源６を点灯し、点光源７からの光を
第１焦点位置Ｆ１に集光させ、その光と放電管４の陰極
６の先端６ａ付近とを覗き穴５．５から覗きながら該先
端６ａ付近が発光する第１焦点位置Ｆ１に合致するよう
に前記ｘ−ｙ−ｚステージを移動させ放電管４の位置調
整をした。
かくするときは、回転楕円鏡ｌの光軸２に対して直交す
る９０度間隔の２方向からの調整であるため、熟練者で
なくても簡単に且つ確実に調整でき、また放電管４を消
灯し点光源７がらの低輝度の光を見ながら調整するので
、減光フィルタを掛ける必要もない。そして調整後、点
光源７を除き、放電管４を点灯すれば、該放電管４から
の光は第２焦点位ＲＦ２に確実に集光され、露光器等に
利用される。
る９０度間隔の２方向からの調整であるため、熟練者で
なくても簡単に且つ確実に調整でき、また放電管４を消
灯し点光源７がらの低輝度の光を見ながら調整するので
、減光フィルタを掛ける必要もない。そして調整後、点
光源７を除き、放電管４を点灯すれば、該放電管４から
の光は第２焦点位ＲＦ２に確実に集光され、露光器等に
利用される。
第５図は回転楕円鏡１の第１焦点位置Ｆｌに放電管４を
配設し、点灯した該放電管４からの光を第２焦点位置Ｆ
２から先端８ａが有効径分だけ離れたファイバーライト
ガイド８で受け、この光を照明装置の光源として利用す
る光学系において、該放電管４の位置調整を行なう場合
の実施例を示す。この場合、ファイバーライトガイド８
の先端８ａより第２焦点位置Ｆ２に光を導入することに
より、第２焦点位置Ｆ２に点光源７を置いた前記第２図
の実施例と同様の作用、効果が得られる。
配設し、点灯した該放電管４からの光を第２焦点位置Ｆ
２から先端８ａが有効径分だけ離れたファイバーライト
ガイド８で受け、この光を照明装置の光源として利用す
る光学系において、該放電管４の位置調整を行なう場合
の実施例を示す。この場合、ファイバーライトガイド８
の先端８ａより第２焦点位置Ｆ２に光を導入することに
より、第２焦点位置Ｆ２に点光源７を置いた前記第２図
の実施例と同様の作用、効果が得られる。
第６図は回転楕円鏡１の第１焦点位置Ｆ１に放電管４を
配設し、点灯した該放電管４からの光をインテグレータ
レンズ９で受け、この光を照射面１０に均一に照射する
ようにした光学系において該放電管４の位置調整を行な
う場合の実施例を示す。
配設し、点灯した該放電管４からの光をインテグレータ
レンズ９で受け、この光を照射面１０に均一に照射する
ようにした光学系において該放電管４の位置調整を行な
う場合の実施例を示す。
この場合には、第２焦点位置Ｆ２が構造的に得られない
ので、設計上得られた第２焦点位置Ｐ２’よりも第１焦
点位置Ｆ１側に光軸２に直角に平面鏡１１を設け、該平
面鏡１１に対して第２焦点位置Ｐ２’と対称位置に発光
ダイオード、ミニチュアランプ等の点光源１２を置き、
点灯した点光源１２からの光を平面鏡１１で反射させて
その光を第１焦点位置Ｐｉに集光させることにより第２
焦 ２点位置Ｆ２に点光源７を置いた前記第２図の実施
例と同様の作用・効果が得られる。
ので、設計上得られた第２焦点位置Ｐ２’よりも第１焦
点位置Ｆ１側に光軸２に直角に平面鏡１１を設け、該平
面鏡１１に対して第２焦点位置Ｐ２’と対称位置に発光
ダイオード、ミニチュアランプ等の点光源１２を置き、
点灯した点光源１２からの光を平面鏡１１で反射させて
その光を第１焦点位置Ｐｉに集光させることにより第２
焦 ２点位置Ｆ２に点光源７を置いた前記第２図の実施
例と同様の作用・効果が得られる。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、光軸に対して直角方向
から覗きながら放電管の陰極の先端付近が発光する第１
焦点に合致するように該放電管を移動調整することがで
きるので、光軸に対して斜め方向から見ながら放電管か
らの光が黒板上にマーキングした第２焦点に集光するよ
うに該放電管を移動調整する前記した従来方法に比して
調整が簡単且つ確実にでき、また放電管を消灯し第２焦
点に導入した点光源又はファイバーライトガイドからの
光を利用して調整できるので、放電管を点灯して調整す
る前記従来のように減光フィルタを掛ける必要がなくな
り、さらに第２焦点が構造的に得られないインテグレー
タレンズの光学系に′−も平面鏡による反射を利用する
ことにより適用できる等の効果を有する。
から覗きながら放電管の陰極の先端付近が発光する第１
焦点に合致するように該放電管を移動調整することがで
きるので、光軸に対して斜め方向から見ながら放電管か
らの光が黒板上にマーキングした第２焦点に集光するよ
うに該放電管を移動調整する前記した従来方法に比して
調整が簡単且つ確実にでき、また放電管を消灯し第２焦
点に導入した点光源又はファイバーライトガイドからの
光を利用して調整できるので、放電管を点灯して調整す
る前記従来のように減光フィルタを掛ける必要がなくな
り、さらに第２焦点が構造的に得られないインテグレー
タレンズの光学系に′−も平面鏡による反射を利用する
ことにより適用できる等の効果を有する。
第１図は回転楕円鏡光学系の集光原理図、第２図は本発
明の第１実施例の説明図、第３図はその放電管のランプ
電極形状を示す概略説明図、第４図はその放電管の発光
輝度分布を示す説明図、第５図は本発明の第２実施例の
説明図、第６図は本発明の第３実施例の説明図、第７図
は従来例の説明図である。 ｌ・・・回転楕円鏡 ２・・・光軸 ４・・・放電管 ５・・・覗き穴 ６・・・陰極 ６ａ・・・先端 ７．１２・・・点光源 ８・・・ファイバーライトガイド １１・・・平面鏡 ＰＩ・・・第１焦点 Ｆ２・・・第２焦点 第１図 極 極ランプ電極形状 第４図 陰 １ 陽 極 極
明の第１実施例の説明図、第３図はその放電管のランプ
電極形状を示す概略説明図、第４図はその放電管の発光
輝度分布を示す説明図、第５図は本発明の第２実施例の
説明図、第６図は本発明の第３実施例の説明図、第７図
は従来例の説明図である。 ｌ・・・回転楕円鏡 ２・・・光軸 ４・・・放電管 ５・・・覗き穴 ６・・・陰極 ６ａ・・・先端 ７．１２・・・点光源 ８・・・ファイバーライトガイド １１・・・平面鏡 ＰＩ・・・第１焦点 Ｆ２・・・第２焦点 第１図 極 極ランプ電極形状 第４図 陰 １ 陽 極 極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転楕円鏡の第１焦点に放電管をその陰極の先端付
近が位置するように配設し、該放電管からの光を該回転
楕円鏡の第２焦点に集光させるに際し、該回転楕円鏡に
、その光軸に対して直角の該第１焦点を含む平面上にお
いて９０度間隔の２つの覗き穴を設け、該放電管を消灯
すると共に該第２焦点に点光源又はファイバーライトガ
イドからの光を導入してその光を該第１焦点に集光させ
、該放電管をその陰極の先端付近が発光する該第１焦点
に合致するように該両覗き穴から覗きながら移動調整し
たことを特徴とする回転楕円鏡を使用した集光装置にお
ける光源位置調整方法。 ２、回転楕円鏡の第１焦点に旅電管をその陰極の先端付
近が位置するように配設し、該放電管からの光を該回転
楕円鏡の第２焦点に集光させるに際し、該回転楕円鏡に
、その光軸に対して直角の該第１焦点を含む平面上にお
いて９０度間隔の２つの覗き穴を設け、該光軸上の該第
２焦点よりも該第１焦点側に該平面と平行の平面鏡を設
け、該平面鏡に対して該第２焦点と対称位置に点光源を
配置し、該放電管を消灯すると共に該点光源からの光を
該平面鏡で反射させて該第１焦点に集光させ、該放電管
をその陰極の先端付近が発光する該第１焦点に合致する
ように該両覗き穴から覗きながら移動調整したことを特
徴とする回転楕円鏡を使用した集光位置における光源位
置調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15166388A JPH01319007A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15166388A JPH01319007A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位置調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319007A true JPH01319007A (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=15523506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15166388A Pending JPH01319007A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 回転楕円鏡を使用した集光装置における光源位置調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01319007A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628120A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-16 | Ushio Inc | 光加熱炉の光学系位置調整方法 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP15166388A patent/JPH01319007A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628120A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-16 | Ushio Inc | 光加熱炉の光学系位置調整方法 |
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