JPH01319720A - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、紫外域、特には、波長３００ｎ＋ｍ以下の遠
紫外域でも使用可能な顕微鏡用対物レンズに関する。

〈従来の技術〉 従来の公知の顕微鏡用対物レンズは、その大半のものが
、可視域や赤外域で使用されるものであった。

これは、はとんどの光学ガラスが波長３００ｎｍより短
波長の紫外域や遠紫外域の光を透過できないためである
。

ところで、同じ開口数（ＮＡ）であっても、波長が短く
なるほど解像限界が上昇して細部まで観測できるとか、
試料に紫外光を照射してその試料から発せられた紫外光
あるいは蛍光を観測できるなど、試料の光学的特性の変
化に対応して多くの情報を得る上で、紫外域や遠紫外域
でも使用できることが望まれている。

従来の顕微鏡用対物レンズとしては、光透過構成を採用
せず、反射鏡による反射構成を採用していた。

１土従来■ 第５図は、ＲＵＤＯＬＦ　ＫＩＮＧＳＬＡＫＥ著”ＬＥ
ＮＳ　ＤＥＳＩＧＮＦＵＮＤＡＭＥＮＴＡＬＳ”　（Ａ
ＣＡＤＥＭＩＣＰＲＥＳＳ　１９７８　）　Ｐ、３３３
に示された顕微鏡用対物レンズであり、上記反射構成が
採用されている。

即ち、開口０１を有する第１の反射鏡０２と、開口０１
から入射される光を反射して第１の反射鏡０２に反射さ
せる第２の反射鏡０３とから構成されている。

この第１従来例によれば、２枚の反射鏡０２゜０３を用
いているだけであるから、色収差が無く、反射鏡０２，
０３の反射率さえ問題が無ければ紫外域でも使用可能で
あり、性能も優秀なものである。

ところが、かかる構成の対物レンズでは、テレセンドリ
ンクにできないために、視野周辺での光量が低下したり
、試料の凹凸に起因して倍率が変化する欠点があり、ま
た、中心の光束が遮蔽されているために光量が低下する
とともに、回折によって解像力が低下する欠点があり、
更に、ターレット式に配置された複数の対物レンズを切
換えて倍率を変えようとすると、複数の対物レンズ間で
瞳径と同焦点距離を同時に統一することができない欠点
があるといったように、設計上の自由度が低い欠点があ
った。

ところで、紫外域や遠紫外域の光を透過できる光学材料
として、蛍石、石英、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ
化バリウム（ＢａＦｚ）、塩化ナトリウム（ＮａＣｊり
などが知られており、これらの材料を用いて顕微鏡用対
物レンズを構成したものとしては、次のようなものがあ
る。

１１従来炎 第６図は、ＫＴＮＧＳＬＡＸＥ監修″ＡＰＰＬＩＥＤ　
０ＰＴＩＣ５ＡＮＤ　０ＰＴＩＣＡＬ　ＥＮＧＩＮＥＥ
ＲＩＮＧ　　Ｉ［［’“　（ＡＣＡＤＥＭＴＣＰＲＥＳ
Ｓ１９６５　）　Ｐ、１７３に記載されているカタディ
オプトリックタイプの顕微鏡用対物レンズを示し、負の
パワーの石英製の第ルンズ０４ａ、この第ルンズ０４ａ
に接合された正のパワーの螢石製の第２レンズ０４ｂ、
および、第２レンズ０４ｂに隣設された負のパワーの螢
石製の第３レンズ０４ｃから成る屈折レンズ系０４と、
第１の反射鏡０５と、開口０６を有する第２の反射鏡０
７と、開口０６を通った光を透過する石英製の第４レン
ズ０８とから構成されている。

第］」ＣＥ桝 第７図は、光技術］ンタクト誌　Ｖｏｌ、２５　Ｎｏ、
２（１９８７年２月）のＰ、１３７に記載されている顕
微鏡用対物レンズを示し、螢石製の第４レンズ０８と、
石英製の凹レンズ０１０ａを螢石製の凸レンズ０１０ｂ
、０１０ｃで挟んで接合した第２レンズ０１０と、その
第２レンズ０１０と同様に石英製の凹レンズ０１ｌａを
螢石製の凸レンズ０１　ｌ　ｂ。

０１１ｃで挟んで接合した第３レンズ０１１とから構成
されている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述のような第２およ、び第３従来例の
場合には、それぞれ次のような欠点があった。

里ユ１」ｌト先に点 石英製の第２レンズ０１０と螢石製の第２レンズ０４ｂ
とを接合しているが、紫外域や遠紫外域の波長の光を透
過可能な接着剤が現状では無いため、接合面での反射が
無いように接合面をオプチカルコンタクトにしなければ
ならず、接合面の加工に高い精度が要求されて高価にな
る欠点があった。

また、中心の光束が遮蔽されているために、前述第１従
来例と同様に、解像力および光量のいずれもが低下する
欠点があった。

策主従米炎勿欠立 第２レンズ０１０および第３レンズ０１１それぞれを石
英製の凹レンズ０ＩＯａ、０１ｌａと二枚の螢石製の凸
レンズ０１０ｂ、０１０ｃ、０１１ｂ、０１ｌｃとから
構成し、石英製の凹レンズ０１０ａ、０１ｌａのみでは
できない色収差の補正を、螢石製の凸レンズ０１０ｂ、
０１０ｃ、０１１ｂ、０１ｌｃの組合わせによって行う
ことができるようにしているが、前述第２従来例と同様
に、石英製の凹レンズ０１０ａ、０１ｌａと二枚の螢石
製の凸レンズ０１０ｂ、０１０ｃ、０１１ｂ、０１ｌｃ
それぞれ間の接合面をオプチカルコンタクトにしなけれ
ばならず、接合面の加工に高い精度が要求されて高価に
なる欠点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、反射構成を採用せずに、石英製のレンズと螢石製の
レンズとの組み合わせにより色収差を補正して紫外域や
遠紫外域で使用できる顕微鏡用対物レンズを安価にして
提供できるようにすることを目的とする。

く課題を解決するための手段〉 本発明の顕微鏡用対物レンズは、このような目的を達成
するために、 石英製の第１の両凹レンズまたは凸面側が物体側に向け
られた石英製の負のパワーのメニスカスレンズと、前記
第１の両凹レンズまたはメニスカスレンズの物体側とは
反対側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された石英
製または螢石製の第１の両凸レンズとから構成した第１
群レンズと、前記第１群レンズの物体側とは反対側に空
気を媒体とする空間を隔てて配置された石英製の第２の
両凹レンズと、前記第２の両凹レンズの物体側とは反対
側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された螢石製の
第２の両凸レンズとから構成した第２群レンズとから構
成され、 かつ、 下記条件式 ％式％ φ、：第１群レンズのパワー φ！：第２群レンズのパワー φ　：全系のパワー Ｌ　：物体面からレンズ系の像側焦 点までの距離 φ１．：第１群レンズを構成する正レ ンズのパワー φ１−：第１群レンズを構成する負レ ンズのパワー φ０．：第２群レンズを構成する第２ の正レンズのパワー φオー：第２群レンズを構成する第２ の負レンズのパワー を満足するように構成したことを特徴としている。

第２群レンズのパワーφ２は、全系のパワーφの０．９
倍未満で、かつ、０．３５倍を越えるように設定される
。０．９倍以上になると、作動距離が小さくなり、逆に
、０．３５倍以下になると、レンズ系の全長が焦点距離
に比べて過大になるからである。

第１群レンズのパワーφ１と第２９レンズのパワーφ寡
との和を全系のパワーφで除した値（φ８＋φ８）／φ
は、物体面からレンズ系の像側焦点までの距離りに全系
のパワーφを乗じたものの１．１５倍未満で、かつ、１
．０５倍を越えるように設定される。１．１５倍以上に
なると、ペッツバール和が大きくなって像面の湾曲が大
きくなりすぎるとともに、レンズ系の全長が焦点距離に
比べて過大になり、逆に、１．０５倍以下になると、テ
レセンドリンクな特性を持たせにくくなるからである。

第１群レンズを構成する石英製または螢石製の第１の両
凸レンズによる正レンズのパワーφ１．と第１群レンズ
を構成する石英製の第１の両凹レンズまたは負のパワー
のメニスカスレンズによる負レンズのパワーφ１−との
比の絶対値ｌφ１゜／φ１−１は、１．６５未満で、か
つ、１．４５を越えるように設定される。この範囲から
外れると、色収差の補正が困難になり、そして、１．６
５以上になると、球面収差の補正が不足し、逆に、１．
４５以下になると、補正過剰になるとともに像面の湾曲
が大きくなるからである。

また、第２群レンズを構成する螢石製の第２の正レンズ
のパワーφ２．と第２群レンズを構成する石英製の第２
の負レンズのパワーφ２−との比の絶対値１φ２゜／φ
、−１は、１．１未満で、かつ、０．８”　を越えるよ
うに設定される。この範囲から外れると、色収差の補正
が困難になり、そして、１．１以上になると、球面収差
の補正が不足し、逆に、０゜８以下になると、補正過剰
になるとともに像面の湾曲が大きくなるからである。

上記絶対値において、第１群レンズと第２群レンズとで
範囲に差があるのは、物体側の第１群レンズを通る光線
高が第２群レンズにおける光線高よりも低く、収差の補
正状態を変える必要があるとともに、第１群レンズと第
２群レンズとを合わせて収差を補正した方が良いからで
ある。

第１群レンズにおける正のパワーを有する正レンズとし
ては、色収差の補正のためには、螢石製の凸レンズとし
た方が良いが、物体側に近い第１群レンズでは光線高が
低く、色収差に与える影響も小さいので必ずしも色収差
を補正しなくても良く、加工の難しい螢石製とせずに石
英製の凸レンズを用いても良い。

〈作用〉 上記構成によれば、低倍対物レンズの基本型となってい
るリスター型として公知のタイプの接合面を分離するこ
とを基本的な考え方とし、第１群レンズおよび第２群レ
ンズのいずれをも、石英製か螢石製あるいは両者の組み
合わせとし、かつ、第１群レンズにおける石英製の第１
の両凹レンズまたは石英製のメニスカスレンズと石英製
または螢石製の第１の両凸レンズ、その第１の両凸レン
ズと第２群レンズにおける石英製の第２の両凹レンズ、
および、その第２の両凹レンズと第２群レンズにおける
螢石製の第２の両凸レンズそれぞれの間に空気間隔を設
け、接着剤を用いないようにすることによって、紫外域
や遠紫外域の光を透過でき、そして、第１群レンズおよ
び第２群レンズのいずれをも、負のパワーを有する負レ
ンズと正のパワーを有する正レンズとの組み合わせとす
ることによって球面収差を補正でき、更に、少なくとも
第２群レンズを、石英製の第２の両凹レンズと螢石製の
第２の両凸レンズとの組み合わせとすることによって、
色収差を補正できる。

〈実施例〉 次に、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。

以下の第１および第２実施例いずれの顕微鏡用対物レン
ズとも、開口数（ＮＡ）が０．０８３　、像サイズが１
０．６、そして、結像倍率が一１０倍の仕様である。

また、顕微鏡を構成する場合にあっては、対物レンズを
通して試料を照明する落射照明で使用することを考え、
いわゆる無限遠補正系としており、対物レンズ単独では
結像させないで、例えば、下記の結像レンズと組み合わ
せて使用する場合を想定している。

〔結像レンズの構成〕

結像レンズは、第ルンズ、第２レンズおよび第３レンズ
の３種で構成され、それぞれの材質、第ルンズの第２レ
ンズとは反対側を向いた面の曲率半径ｒ１、第２レンズ
側を向いた面の曲率半径ｒｚ、第２レンズの第２レンズ
側を向いた面の曲率半径ｒ３、第３レンズ側を向いた面
の曲率半径ｒａ、第３レンズの第２レンズ側を向いた面
の曲率半径ｒ５、および、第２レンズとは反対側を向い
た面の曲率半径ｒ６それぞれ、ならびに、第ルンズの中
心厚ｄｌ、第ルンズと第２レンズとの光軸上での面間隔
ｄ１□、第２レンズの中心厚ｄ２、第２レンズと第３レ
ンズとの光軸上での面間隔ｄ０、および、第３レンズの
中心厚ｄ、それぞれが下記のように設定されている。

〔曲率半径、レンズ中心厚、レンズ面間隔、材質〕ｒ、
　−−１３，４８８ この結像レンズにおいても、石英製と螢石製のレンズの
みの組み合わせで構成され、かつ、第ルンズと第２レン
ズ、および、第２レンズと第３レンズそれぞれは、空気
を媒体とする空間を隔てて配置されている。

呈上１施± 第１図は、第１実施例の対物レンズの配置図であり、顕
微鏡用対物レンズが、物体側に位置する第１群レンズ１
と、その第１群レンズ１の物体側とは反対側に空気を媒
体とする空間を隔てて配置された第２群レンズ２とから
構成されている。

前記第１群レンズ１は、凸面側が物体側に同けられた石
英製の負のパワーのメニスカスレンズ３と、そのメニス
カスレンズ３の物体側とは反対側に空気を媒体とする空
間を隔てて配置された石英製の第１の両凸レンズ４とか
ら構成されている。

また、前記第２群レンズ２は、石英製の両凹レンズ（第
２の凹レンズ）５と、その両凹レンズ５の物体側とは反
対側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された螢石製
の第２の両凸レンズ６とから構成されている。

そして、メニスカスレンズ３の物体側を向いた面の曲率
半径Ｒ１、第１の両凸レンズ４側を向いた面の曲率半径
Ｒｔ、第１の両凸レンズ４のメニスカスレンズ３側を向
いた面の曲率半径Ｒ３、第２群レンズ２側を向いた面の
曲率半径Ｒ４、第２群レンズ２を構成する両凹レンズ５
の第１群レンズ１側を向いた面の曲率半径ＲＳ、第２の
両凸レンズ６側を向いた面の曲率半径Ｒ８、第２の両凸
レンズ６の前記両凹レンズ５側を向いた面の曲率半径Ｒ
１、および、両凹レンズ５とは反対側を向いた面の曲率
半径Ｒ６それぞれ、ならびに、メニスカスレンズ３の中
心厚Ｄ＋、メニスカスレンズ３と第１の両凸レンズ４と
の光軸上での面間隔ＤＩ□、第１の両凸レンズ４の中心
厚Ｄｔ、第１の両凸レンズ４と第２群レンズ２を構成す
る両凹レンズ５との光軸上での面間隔Ｄｔ３、両凹レン
ズ５の中心厚Ｄｓ、両凹レンズ５と第２の両凸レンズ６
との光軸上での面間隔Ｄ　３４、および、第２の両凸レ
ンズ６の中心厚Ｄ４それぞれが下記のように設定されて
いる。

〔曲率半径、レンズ中心厚、レンズ面間隔、材質〕Ｄ３
　＝０．９０　　　　　　　　七央裂Ｒ，＝−７，６０
０ また、上記対物レンズにおいて、第１群レンズ１のパワ
ーφ１、第２群レンズ２のパワーφ２、第１群レンズ１
を構成するメニスカスレンズ３のパワーφ、−１第１群
レンズ１を構成する第１の両凸レンズ４のパワーφｌや
、第２群レンズ２を構成する両凹レンズ５のパワーφ２
−１第２群レンズ２を構成する第２の両凸レンズ６のパ
ワーφ２０、全系のパワーφ、および、物体面からレン
ズ系の像側焦点までの距ＭＬそれぞれは次の通りである
。

φ、　＝０．０２５４５３　　　　　φ、　−０，０２
９４２６φ、−１＝−０，０５９７１０φ１．タ０．０
８７７２０φｚ−＝　−０，１２１５２３φ２．ミ０．
１２７７１２φ　−０，０３３３３３Ｌ＝４５ 上記値に基づけば、 ０．３５φ＝０．０１１６６７ ０．９　φ＝０．０３００００ となり、０．３５φくφ、　＜　０．９φを満足してい
ることが明らかである。

また、 （φ１＋φ２）／φ＝１．６４６３７０１．０５Ｌφ＝
１．５７５０００ １．１５Ｌφ＝１．７２５０００ となり、１．０５Ｌφ〈（φ１＋φ２）／φ＜１．１５
Ｌφを満足していることが明らかである。

また、 １φ、。／φ＋−１−１，４６９１０１となり、１．４
５＜　ｌφ１．／φ、−１＜１．６５を満足しているこ
とが明らかである。

また、 １φ２．／φｚ−１＝１．０５０９２９となり、０．８
　＜　ｌφ２．／φｇ−１＜１．１を満足していること
が明らかである。

上記対物レンズの球面収差につき、波長２９８．０６０
Ｉ１１（符号１で示す）　、２０２．５４ｎｍ　（符号
２で示す）、３９８．８４ｎｍ　（符号３で示す）　、
２５３．７０ｎｎ　（符号４で示す）の光に対して求め
たところ、第２図の（ａ）に示す図を得た。

また、上記対物レンズの正弦条件につき、前述と同じ符
号１〜４で示した波長の光に対して求めたところ、第２
図の（ｂ）に示す図を得た。

また、上記対物レンズの非点収差につき、サジッタル像
面（符号Ｓで示す）およびメリジオナル像面（符号Ｍで
示す）それぞれを求めたところ、第２図の（ｃ）に示す
図を得た。

また、上記対物レンズの歪曲収差について求めたところ
、第２図の（ｄ）に示す図を得た。

これらの結果、球面収差および正弦条件それぞれから、
紫外域および遠紫外域の光のいずれに対しても収差を少
な（でき、しかも、３００ｎｍより短波長の遠紫外域の
光（符号１．２および４）に対して、３００ｎｍより長
い波長の紫外域の光（符号３）に対するよりも全体とし
て収差を少なくできており、遠紫外域において良好に使
用できることが明らかであり、また、非点収差および歪
曲収差それぞれにおいても収差を少なくできていること
が明らかである。

星Ｉ皇施■ 第３図は、第２実施例の対物レンズの配置図であり、顕
微゛鏡層対物レンズが、物体側に位置する第１群レンズ
１と、その第１群レンズ１１の物体側とは反対側に空気
を媒体とする空間を隔てて配置された第２群レンズ１２
とから構成されている。

前記第１群レンズ１１は、凸面側が物体側に向けられた
石英製の負のパワーのメニスカスレンズ１３とくそのメ
ニスカスレンズ１３の物体側とは反対側に空気を媒体と
する空間を隔てて配置された螢石製の第１の両凸レンズ
１４とから構成されている。

また、前記第２群レンズ１２は、石英製の両凹レンズ（
第２の凹レンズ）１５と、その両凹レンズ１５の物体側
とは反対側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された
螢石製の第２の両凸レンズ１６とから構成されている。

そして、メニスカスレンズ１３の物体側を向いた面の曲
率半径Ｒ７、第１の両凸レンズ１４側を向いた面の曲率
半径Ｒｚ、第１の両凸レンズ１４のメニスカスレンズ１
３側を向いた面の曲率半径Ｒｓ、第２群レンズ１２側を
向いた面の曲率半径Ｒ４、第２群レンズ１２を構成する
両凹レンズ１５の第１群レンズｌｌ側を向いた面の曲率
半径Ｒ７、第２の両凸レンズ１６側を向いた面の曲率半
径Ｒ８、第２の両凸レンズ１６の前記両凹レンズ１５側
を向いた面の曲率半径Ｒ１、および、両凹レンズ１５と
は反対側を向いた面の曲率半径Ｒ８それぞれ、ならびに
、メニスカスレンズ１３の中心厚ＤＩ、メニスカスレン
ズ１３と第１の両凸レンズ１４との光軸上での面間隔Ｄ
Ｉ！、第１の両凸レンズ１４の中心厚Ｄ２、第１の両凸
レンズ１４と第２群レンズ１２を構成する両凹レンズ１
５との光軸上での面間隔ＤＺ３、両凹レンズ１５の中心
厚Ｄ３、両凹レンズ１５と第２の両凸レンズ１６との光
軸上での面間隔Ｄ１、および、第２の両凸レンズ１６の
中心厚Ｄ４それぞれが下記のように設定されている。

〔曲率半径、レンズ中心厚、レンズ面間隔、材質］Ｒ，
＝　　４９．６９２ Ｄ、　＝３．ＯＯ石英製 Ｒ，＝　　　６．０６２ また、上記対物レンズにおいて、第１群レンズ１１のパ
ワーφ１、第２群レンズ１２のパワーφ２、第１群レン
ズ１１を構成するメニスカスレンズ１３のパワーφ１−
１第１群レンズ１１を構成する第１の両凸レンズ１４の
パワーφ１．、第２群レンズ１２を構成する両凹レンズ
１５のパワーφト、第２群レンズ１２を構成する第２の
両凸レンズ１６のパワーφ２．、全系のパワーφ、およ
び、物体面からレンズ系の像側焦点までの距離りそれぞ
れは次の通りである。

φ、　＝０．０４１６６２　　　　４ｇ　＝０．０１３
４４４φ、−＝　−０，０６９１３９φ１．＝０．１０
３１１５φ！−＝−０，１１６７１５φ２や＝０．０９
８８２７φ　　＝０．０３３３３３　　　　　　Ｌ＝４
５上記値に基づけば、 ０．３５φ＝０．０１１６６７ ０．９φ＝０．０３００００ となり、０．３５φくφ、　＜　０．９φを満足してい
ることが明らかである。

また、 （φ１＋φ２）／φ＝１．６５３１８０１．０５Ｌφ−
１，５７５０００ １，１５Ｌφ＝１．７２５０００ となり、１．０５Ｌφ〈（φ１＋φ、）／φ＜１．１５
Ｌφを満足していることが明らかである。

また、 １φ、や／φ＋−ｌ　−１，４９１４１６となり、１．
４５＜　ｌφ１／φ、−１＜１．６５を満足しているこ
とが明らかである。

また、 １φ２．／φ、−１−０，８４６７３８となり、０．８
　＜　ｌφ！、／φ！−１＜１．１を満足していること
が明らかである。

上記対物レンズの球面収差につき、波長２９８．０６ｎ
ｍ　（符号１で示す）　、　２０２．５４ｎｍ　（符号
２で示す）、３９８．８４ｎｍ　（符号３で示す）　、
２５３．７０ｎｍ　（符号４で示す）の光に対して求め
たところ、第４図の（ａ）に示す図を得た。

また、上記対物レンズの正弦条件につき、前述と同じ符
号１〜４で示した波長の光に対して求めたところ、第４
図の（ｂ）に示す図を得た。

また、上記対物レンズの非点収差につき、サジッタル像
面（符号Ｓで示す）およびメリジオナル像面（符号Ｍで
示す）それぞれを求めたところ、第４図の（Ｃ）に示す
図を得た。

また、上記対物レンズの歪曲収差について求めたところ
、第４図の（ｄ）に示す図を得た。

これらの結果、球面収差および正弦条件それぞれから、
紫外域および遠紫外域の光のいずれに対しても収差を少
なくでき、しかも、３００ｎｍより短波長の遠紫外域の
光（符号１．２および４）に対して、３００ｎｍより長
い波長の紫外域の光（符号３）に対するよりも全体とし
て収差を少なくできており、遠紫外域において良好に使
用できることが明らかであり、また、非点収差および歪
曲収差それぞれにおいても収差を少なくできていること
が明らかである。

本発明としては、前記第１群レンズ１．１１における負
のパワーのメニスカスレンズ３．１３に代えて、石英製
の第１の両凹レンズを用いるものでも良い。

そして、第１群レンズのパワーφ１、第２群レンズのパ
ワーφ２、第１群レンズを構成する石英製の第１の両凹
レンズまたは石英製の負のパワーのメニスカスレンズの
パワーφ１−１第１群レンズを構成する石英製または螢
石製の第１の両凸レンズのパワーφ１゜、第２群レンズ
を構成する石英製の両凹レンズのパワーφ２−１第２群
レンズを構成する螢石製の両凸レンズのパワーφ２１、
第２群レンズのパワーφ２、全系のパワーφ、および、
物体面からレンズ系の像側焦点までの距離りに対して、
下記条件式 φ２　〉０． ０，３５φくφＺ　＜　０．９φ、 １．０５Ｌφ〈（φ、＋φ２）／φ＜１．１５Ｌφ１．
４５＜　ｌ　φ１゜／φ、−１＜１．６５０．８＜　ｌ
　φ２．／φ２−１＜１．１を満足する場合に、球面収
差、正弦条件、非点収差および歪曲収差のいずれにおい
ても収差を少なくでき、紫外域や遠紫外域において良好
に使用できる顕微鏡用対物レンズを構成できることが推
測された。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の顕微鏡用対物レンズによ
れば、紫外域や遠紫外域の光を透過できる石英または蛍
石のみを材料として第１群レンズおよび第２群レンズの
いずれをも構成し、かつ、第１群レンズにおける石英製
の第１の両凹レンズまたは石英製の負のパワーのメニス
カスレンズと螢石製または石英製の第１の両凸レンズ、
第１群レンズと第２群レンズ、および、第２群レンズに
おける石英製の第２の両凹レンズと螢石製の第２の両凸
レンズそれぞれの間を空気を媒体とする空間として、接
着剤を用いない構成にするから、紫外域や遠紫外域で良
好に使用可能な顕微鏡用対物レンズを提供できる。

しかも、接着剤を使用しないばかりか、接合面をオプチ
カルコンタクトにする必要がないから、接合面の加工に
精度が要求されず、安価に構成できる。

そのうえ、第２群レンズを、負のパワーを有する石英製
の第２の両凹レンズと正のパワーを有する螢石製の第２
の両凸レンズとで構成するから、色収差および球面収差
のいずれをも補正して良好な像を得ることができる。

また、反射構成を採用せず、中心の光束を遮蔽しないか
ら、視野中央の光を良好に取込み、解像力および光景そ
れぞれを高くでき、鮮明な画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明に係る顕微鏡用対物レンズの実施例を示
し、第１図は、第１実施例のレンズの配置図、第２図の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、第１実施例の
球面収差図、正弦条件図、非点収差図および歪曲収差図
、第３図は、第２実施例のレンズの配置図、第４図の（
ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、第２実施例の球
面収差図、正弦条件図、非点収差図および歪曲収差図、
第５図は、第１従来例の反射鏡の配置図、第６図は、第
２従来例のレンズおよび反射鏡の配置図、第７図は、第
３従来例のレンズの配置図である。 １．１１・・・第１群レンズ ２．１２・・・第２群レンズ ３．１３・・・メニスカスレンズ ４．１４・・・第１の両凸レンズ ５．１５・・・第２の両凹レンズ ６．１６・・・第２の両凸レンズ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）石英製の第１の両凹レンズまたは凸面側が物体側
   に向けられた石英製の負のパワーのメニスカスレンズと
   、前記第１の両凹レンズまたはメニスカスレンズの物体
   側とは反対側に空気を媒体とする空間を隔てて配置され
   た石英製または螢石製の第１の両凸レンズとから構成し
   た第１群レンズと、前記第１群レンズの物体側とは反対
   側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された石英製の
   第２の両凹レンズと、前記第２の両凹レンズの物体側と
   は反対側に空気を媒体とする空間を隔てて配置された螢
   石製の第２の両凸レンズとから構成した第２群レンズと
   から構成され、 かつ、 下記条件式 φ＿１＞０、 φ＿２＞０、 ０．３５φ＜φ＿２＜０．９φ、 １．０５Ｌφ＜（φ＿１＋φ＿２）／φ＜１．１５Ｌφ
   １．４５＜｜φ＿１＿＋／φ＿１−｜＜１．６５０．８
   ＜｜φ＿２＿＋／φ＿２＿−｜＜１．１但し、 φ＿１：第１群レンズのパワー φ＿２：第２群レンズのパワー φ：全系のパワー Ｌ：物体面からレンズ系の像側焦点までの距離 φ＿１＿＋：第１群レンズを構成する正レンズのパワー φ＿１＿−：第１群レンズを構成する負レンズのパワー φ＿２＿＋：第２群レンズを構成する正レンズのパワー φ＿２＿−：第２群レンズを構成する負レンズのパワー を満足するように構成したことを特徴とする顕微鏡用対
   物レンズ。