JPH01319945A - 微粉末ガラスペースト製造方法 - Google Patents
微粉末ガラスペースト製造方法Info
- Publication number
- JPH01319945A JPH01319945A JP63154413A JP15441388A JPH01319945A JP H01319945 A JPH01319945 A JP H01319945A JP 63154413 A JP63154413 A JP 63154413A JP 15441388 A JP15441388 A JP 15441388A JP H01319945 A JPH01319945 A JP H01319945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- pulverized
- paste
- solvent
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（、産業上の利用分野〕
本発明は微細パターンを印刷するために使用する微粉末
ガラスペーストの製造方法に関する。
ガラスペーストの製造方法に関する。
ガラス粉末を印刷法にて表面につけ焼成融合し、プラス
化する■程は、ｊ７膜ＩＣの製造工程や、ガラスで表面
保護されたチップを製造する工程で用いられる。市販さ
れているガラス粉末入りペーストは、ガラス粉末の粒度
が２５０メツシユパス又は３５０メツシユパスのものが
主で、まれには６００メツシュパス程度のものが存在す
る。
化する■程は、ｊ７膜ＩＣの製造工程や、ガラスで表面
保護されたチップを製造する工程で用いられる。市販さ
れているガラス粉末入りペーストは、ガラス粉末の粒度
が２５０メツシユパス又は３５０メツシユパスのものが
主で、まれには６００メツシュパス程度のものが存在す
る。
上述した従来のガラスペースト中のガラス粉末の粒度は
大きい。これはガラスを微粉末化すると、粉砕したガラ
スの表面が活性化し気体を吸着し焼成した時に気泡だら
けのガラスになったり、粉砕したガラス粒子同志が再結
合するため、単独に安定に存在しにくいため、あるいは
出来た粉末が細かくなるとふるいにかけて取り扱うのが
難しい等のためである。
大きい。これはガラスを微粉末化すると、粉砕したガラ
スの表面が活性化し気体を吸着し焼成した時に気泡だら
けのガラスになったり、粉砕したガラス粒子同志が再結
合するため、単独に安定に存在しにくいため、あるいは
出来た粉末が細かくなるとふるいにかけて取り扱うのが
難しい等のためである。
このため従来のガラス粉末ペーストを用いると、ガラス
の粒子径が平均１０〜２０μｍ、最大６０μｍ程度のも
のであるため、２５０メツシユ、３２５メツシユといっ
たスクリーンを用いてパターン印刷すると、パターンの
端部にガラスがつまることから細かいパターンを印刷す
る際、鮮明度にかける。これは見かけが悪いだけではな
く半導体装置の製造に於いて、ガラスをパッシベーショ
ン用として使用する場合一部にコーティング不充分な接
合か所が出来、特性１又、信頼性上不具合が生じるとい
う欠点があった。従って、細かいパターンの形成には不
向きであった。
の粒子径が平均１０〜２０μｍ、最大６０μｍ程度のも
のであるため、２５０メツシユ、３２５メツシユといっ
たスクリーンを用いてパターン印刷すると、パターンの
端部にガラスがつまることから細かいパターンを印刷す
る際、鮮明度にかける。これは見かけが悪いだけではな
く半導体装置の製造に於いて、ガラスをパッシベーショ
ン用として使用する場合一部にコーティング不充分な接
合か所が出来、特性１又、信頼性上不具合が生じるとい
う欠点があった。従って、細かいパターンの形成には不
向きであった。
本発明の目的は上記欠点を除去し、微粉末ガラスを安定
に分散させた微粉末ガラスペーストの製造方法を提供す
ることにある。
に分散させた微粉末ガラスペーストの製造方法を提供す
ることにある。
本発明の微粉末ガラスペーストの製造方法は、溶媒を用
いてガラス粉末を湿式粉砕し微粉末化する工程と、微粉
末化したガラスを分離する工程と、分離した微粉末化し
たガラスに粘結剤を添加しらいかい機にてペースト状に
ねる工程とを含んで構成される。
いてガラス粉末を湿式粉砕し微粉末化する工程と、微粉
末化したガラスを分離する工程と、分離した微粉末化し
たガラスに粘結剤を添加しらいかい機にてペースト状に
ねる工程とを含んで構成される。
次に、本発明について実施例に基づき説明する。
まずガラスを安定に微粉末化する。これには溶媒を用い
て湿式粉砕する必要がある。溶媒としてはアルコール等
を利用する。１ｇ位のアルミナジャーを利用する場合、
この中に約１０００ｇのアルミナのメディアと３００ｇ
のガラス粉末（２５０メツシユパス）と１００〜２００
ｍ、 １の、例えばイソプロピルアルコールを入れ１
０〜２０時間ローラーの上で回転させガラスを粉砕する
。
て湿式粉砕する必要がある。溶媒としてはアルコール等
を利用する。１ｇ位のアルミナジャーを利用する場合、
この中に約１０００ｇのアルミナのメディアと３００ｇ
のガラス粉末（２５０メツシユパス）と１００〜２００
ｍ、 １の、例えばイソプロピルアルコールを入れ１
０〜２０時間ローラーの上で回転させガラスを粉砕する
。
この操作により第１図に示すように、平均粒度的２５μ
ｍのガラス粉末より平均粒度的１μｍ、最大２５μｍの
微粉末ガラスを得ることができた。
ｍのガラス粉末より平均粒度的１μｍ、最大２５μｍの
微粉末ガラスを得ることができた。
このガラススラリーをジャーから出して沈でん法あるい
は遠心分離法でん法でガラスと溶媒層を分離後、上澄の
イソプロピルアルコールをデカント法、あるいはアスピ
レータ−等で除去する。この状態ではガラスの粉末の表
面は溶媒でうずくおおわれている。このガラス粉末を乳
鉢に明は粘結剤を入れ３〜５時間ねりあわせると完全に
ガラスが分散したペーストが得られる。
は遠心分離法でん法でガラスと溶媒層を分離後、上澄の
イソプロピルアルコールをデカント法、あるいはアスピ
レータ−等で除去する。この状態ではガラスの粉末の表
面は溶媒でうずくおおわれている。このガラス粉末を乳
鉢に明は粘結剤を入れ３〜５時間ねりあわせると完全に
ガラスが分散したペーストが得られる。
尚、湿式粉砕後に溶媒を除去したガラスを再度アルミナ
メディア入りのジャーの中に入れペーストの粘結剤に使
用している溶剤を加え１時間程回転させたのち溶剤を沈
でん法で除去し、次にこのガラスに粘結剤を添加しガラ
スペーストとしてもよい。
メディア入りのジャーの中に入れペーストの粘結剤に使
用している溶剤を加え１時間程回転させたのち溶剤を沈
でん法で除去し、次にこのガラスに粘結剤を添加しガラ
スペーストとしてもよい。
以上説明した様に本発明により作成したガラスペースト
は、ガラスの粒度が細かいため、細いパターンの印刷に
於てもメツシュがつまったりする事がないため、鮮明な
印刷パターンが得られる。
は、ガラスの粒度が細かいため、細いパターンの印刷に
於てもメツシュがつまったりする事がないため、鮮明な
印刷パターンが得られる。
第１図は本発明の一実施例に用いたガラス粉末の湿式粉
砕前後の粒度分布図であり、１は粉砕前、２は粉砕後の
粒度分布を示す。 １１ Ｕ ｌ／＜）を勺 刀゛う１＃＄Ｊ）老友刀（ 箔１目
砕前後の粒度分布図であり、１は粉砕前、２は粉砕後の
粒度分布を示す。 １１ Ｕ ｌ／＜）を勺 刀゛う１＃＄Ｊ）老友刀（ 箔１目
Claims (1)
- 溶媒を用いてガラス粉末を湿式粉砕し微粉末化する工
程と、微粉末化したガラスを分離する工程と、分離した
微粉末化したガラスに粘結剤を添加しらいかい機にてペ
ースト状にねる工程とを含むことを特徴とする微粉末ガ
ラスペーストの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154413A JPH01319945A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 微粉末ガラスペースト製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154413A JPH01319945A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 微粉末ガラスペースト製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319945A true JPH01319945A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15583613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63154413A Pending JPH01319945A (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 微粉末ガラスペースト製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01319945A (ja) |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP63154413A patent/JPH01319945A/ja active Pending
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