JPH0725657A - グリーンシート用スラリーの製造方法 - Google Patents
グリーンシート用スラリーの製造方法Info
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- JPH0725657A JPH0725657A JP5153836A JP15383693A JPH0725657A JP H0725657 A JPH0725657 A JP H0725657A JP 5153836 A JP5153836 A JP 5153836A JP 15383693 A JP15383693 A JP 15383693A JP H0725657 A JPH0725657 A JP H0725657A
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- Japan
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- slurry
- ceramic powder
- solvent
- dispersant
- green sheet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】スラリーの混合、混練から脱泡までを行うスラ
リー製造装置において、連続的に供給されるスラリーが
均一混合および均一分散されたものとなることを可能と
する、原料の投入手順を提供する。 【構成】２種類以上のセラミック粉末、溶剤、分散剤お
よびバインダからなる原料を粗混合し、混練、脱泡を行
ってグリーンシート用スラリーを製造する方法におい
て、原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤、量の少な
い第１のセラミック粉末、量の多い第２のセラミック粉
末、分散剤、バインダの順に原料を投入するか、或い
は、原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤と分散剤を
投入して混合溶液とし、該混合溶液中に、予め均一に乾
式混合された２種類以上のセラミック粉末を投入し、そ
の後バインダを投入する。
リー製造装置において、連続的に供給されるスラリーが
均一混合および均一分散されたものとなることを可能と
する、原料の投入手順を提供する。 【構成】２種類以上のセラミック粉末、溶剤、分散剤お
よびバインダからなる原料を粗混合し、混練、脱泡を行
ってグリーンシート用スラリーを製造する方法におい
て、原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤、量の少な
い第１のセラミック粉末、量の多い第２のセラミック粉
末、分散剤、バインダの順に原料を投入するか、或い
は、原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤と分散剤を
投入して混合溶液とし、該混合溶液中に、予め均一に乾
式混合された２種類以上のセラミック粉末を投入し、そ
の後バインダを投入する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のグリーンシート
を積層した後に、一括焼成することによりセラミック多
層配線基板を作製するためのグリーンシート用スラリー
の製造方法に関する。
を積層した後に、一括焼成することによりセラミック多
層配線基板を作製するためのグリーンシート用スラリー
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミック多層配線基板を作製す
るためのグリーンシート用スラリーは、バッチ式のボー
ルミルと脱泡装置を使用して、セラミック粉末の製造ロ
ット単位に原料の混合、混練および脱泡を行っていた。
るためのグリーンシート用スラリーは、バッチ式のボー
ルミルと脱泡装置を使用して、セラミック粉末の製造ロ
ット単位に原料の混合、混練および脱泡を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、セラミック多
層配線用のグリーンシートにおいては、ムライトとアル
ミナなどの２種以上のセラミック粉末を使用し、多量の
セラミック粉末と微量とセラミック粉末が混合されるの
で、均一な混合、均一な混練を必要とする。上記、従来
技術のボールミルで原料の混合、混練を行う方法では、
溶剤、セラミック粉末、バインダ、分散剤等を装置内に
一括投入し、長時間かけて均一混合、すなわち、多量の
セラミック粉末中に微量のセラミック粉末を均一に混ぜ
合わせ、混練（均一分散）を行い、スラリーを作製して
いた。
層配線用のグリーンシートにおいては、ムライトとアル
ミナなどの２種以上のセラミック粉末を使用し、多量の
セラミック粉末と微量とセラミック粉末が混合されるの
で、均一な混合、均一な混練を必要とする。上記、従来
技術のボールミルで原料の混合、混練を行う方法では、
溶剤、セラミック粉末、バインダ、分散剤等を装置内に
一括投入し、長時間かけて均一混合、すなわち、多量の
セラミック粉末中に微量のセラミック粉末を均一に混ぜ
合わせ、混練（均一分散）を行い、スラリーを作製して
いた。
【０００４】しかし、スラリーを連続的に製造しようと
する場合、前述のボールミルによる混合方式のように、
原料を一括投入する投入手順では、均一混合、均一分散
されたスラリーを製造できないという問題があった。従
って、スラリーを連続的に製造しようとする場合、その
装置に適した投入手順を見出す必要があった。
する場合、前述のボールミルによる混合方式のように、
原料を一括投入する投入手順では、均一混合、均一分散
されたスラリーを製造できないという問題があった。従
って、スラリーを連続的に製造しようとする場合、その
装置に適した投入手順を見出す必要があった。
【０００５】本発明の目的は、スラリーの混合、混練か
ら脱泡までを連続で行うスラリー製造装置において、連
続的に供給されるスラリーが均一混合および均一分散さ
れたものとなることを可能とする、グリーンシート用ス
ラリーの製造方法提供することにある。
ら脱泡までを連続で行うスラリー製造装置において、連
続的に供給されるスラリーが均一混合および均一分散さ
れたものとなることを可能とする、グリーンシート用ス
ラリーの製造方法提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、２種類
以上のセラミック粉末、溶剤、分散剤およびバインダか
らなる原料を粗混合し、混練、脱泡を行ってグリーンシ
ート用スラリーを製造する方法において、原料を粗混合
する粗混合タンクに、溶剤、量の少ない第１のセラミッ
ク粉末、量の多い第２のセラミック粉末、分散剤、バイ
ンダを、原料として、この順に投入することを特徴とす
るグリーンシート用スラリーの製造方法が提供される。
以上のセラミック粉末、溶剤、分散剤およびバインダか
らなる原料を粗混合し、混練、脱泡を行ってグリーンシ
ート用スラリーを製造する方法において、原料を粗混合
する粗混合タンクに、溶剤、量の少ない第１のセラミッ
ク粉末、量の多い第２のセラミック粉末、分散剤、バイ
ンダを、原料として、この順に投入することを特徴とす
るグリーンシート用スラリーの製造方法が提供される。
【０００７】また、本発明によれば、２種類以上のセラ
ミック粉末、溶剤、分散剤およびバインダからなる原料
を粗混合し、混練、脱泡を行ってグリーンシート用スラ
リーを製造する方法において、原料を粗混合する粗混合
タンクに、溶剤と分散剤を投入して混合溶液とし、該混
合溶液中に、予め均一に乾式混合された２種類以上のセ
ラミック粉末を投入し、その後バインダを投入すること
を特徴とするグリーンシート用スラリーの製造方法が提
供される。
ミック粉末、溶剤、分散剤およびバインダからなる原料
を粗混合し、混練、脱泡を行ってグリーンシート用スラ
リーを製造する方法において、原料を粗混合する粗混合
タンクに、溶剤と分散剤を投入して混合溶液とし、該混
合溶液中に、予め均一に乾式混合された２種類以上のセ
ラミック粉末を投入し、その後バインダを投入すること
を特徴とするグリーンシート用スラリーの製造方法が提
供される。
【０００８】本発明のスラリー製造方法において用いる
２種類以上のセラミック粉末は、多量の成分としては、
主成分となるムライトなどであり、微量の成分として
は、焼結助剤となるアルミナなどである。多量の成分
は、セラミック粉末全体の９９〜９０容量％程度を占
め、微量の成分は、セラミック粉末全体の１〜１０容量
％程度である。
２種類以上のセラミック粉末は、多量の成分としては、
主成分となるムライトなどであり、微量の成分として
は、焼結助剤となるアルミナなどである。多量の成分
は、セラミック粉末全体の９９〜９０容量％程度を占
め、微量の成分は、セラミック粉末全体の１〜１０容量
％程度である。
【０００９】以下、図面に従って、本発明を説明する。
図１は、本発明を実施するための、混合、混練から脱泡
までを連続で行う連続混練脱泡装置の構成を示す。
図１は、本発明を実施するための、混合、混練から脱泡
までを連続で行う連続混練脱泡装置の構成を示す。
【００１０】図１の連続混練脱泡装置は、セラミック粉
末、溶剤、バインダ等を投入して、攪拌混合を行いスラ
リーを作製する粗混合タンク５と、粗混合タンク５で作
製されたスラリーを一次保管し、かつ、次の工程へ定量
的にスラリーを送るクッションタンク６と、クッション
タンク６から送り出されたスラリーの混練、分散を行う
多連サンドミルからなる混練分散装置７と、スラリーの
粘度調整を行う脱泡タンク８とから構成されている。脱
泡タンク８から連続的に吐出するスラリーは、キャステ
ィングマシンのダム槽１０に貯められる。
末、溶剤、バインダ等を投入して、攪拌混合を行いスラ
リーを作製する粗混合タンク５と、粗混合タンク５で作
製されたスラリーを一次保管し、かつ、次の工程へ定量
的にスラリーを送るクッションタンク６と、クッション
タンク６から送り出されたスラリーの混練、分散を行う
多連サンドミルからなる混練分散装置７と、スラリーの
粘度調整を行う脱泡タンク８とから構成されている。脱
泡タンク８から連続的に吐出するスラリーは、キャステ
ィングマシンのダム槽１０に貯められる。
【００１１】図２および図３は、本発明に基づきスラリ
ーを製造する方法を例示する工程図である。
ーを製造する方法を例示する工程図である。
【００１２】図１の装置を用いて、図２の工程で本発明
を実施する場合、溶剤を溶剤供給タンク２からポンプ３
を使って粗混合タンク５に投入後、攪拌羽根９を回転さ
せ、溶剤を攪拌している中に、投入口４から微量のセラ
ミック粉末を加えて混合し、凝集を解き、１次粒子（セ
ラミック粉末粒子の原形）する。この後、粉体投入ホッ
パー１から多量のセラミック粉末を加え、微量のセラミ
ック粉末が多量のセラミック粉末中に均一に混合される
ように十分混合する。分散剤は、セラミック粉末の分散
性をさらに上げるために投入口４から加えて混合する。
しかし、分散剤を加える前後にセラミック粉末を投入す
ると、分散剤は、先に入れたセラミック粉末の粒子の表
面に全て付着し、後から投入したセラミック粉末と混合
した場合、十分な分散性が得られない。このため、図２
の工程の場合は、セラミック粉末を全て混合した後に、
分散剤を加えることが重要である。分散剤投入後、さら
に、攪拌、混合を行い、セラミック粉末を１次粒子とす
る。その後、投入口４からバインダを加え、攪拌、混合
を行うことにより、１次粒子となったセラミック粉末の
表面にバインダが付着したスラリーが得られる。
を実施する場合、溶剤を溶剤供給タンク２からポンプ３
を使って粗混合タンク５に投入後、攪拌羽根９を回転さ
せ、溶剤を攪拌している中に、投入口４から微量のセラ
ミック粉末を加えて混合し、凝集を解き、１次粒子（セ
ラミック粉末粒子の原形）する。この後、粉体投入ホッ
パー１から多量のセラミック粉末を加え、微量のセラミ
ック粉末が多量のセラミック粉末中に均一に混合される
ように十分混合する。分散剤は、セラミック粉末の分散
性をさらに上げるために投入口４から加えて混合する。
しかし、分散剤を加える前後にセラミック粉末を投入す
ると、分散剤は、先に入れたセラミック粉末の粒子の表
面に全て付着し、後から投入したセラミック粉末と混合
した場合、十分な分散性が得られない。このため、図２
の工程の場合は、セラミック粉末を全て混合した後に、
分散剤を加えることが重要である。分散剤投入後、さら
に、攪拌、混合を行い、セラミック粉末を１次粒子とす
る。その後、投入口４からバインダを加え、攪拌、混合
を行うことにより、１次粒子となったセラミック粉末の
表面にバインダが付着したスラリーが得られる。
【００１３】図２の工程の場合、セラミック粉末が３種
以上のときも、微量のものを先に入れ、多量のものを後
から入れる手順を原則とする。すなわち、量の少ないセ
ラミック粉末から順に投入する。しかし、例えば、微量
のもの２種に多量のもの１種のような場合、微量の２種
が量の差が小さい場合は、微量のものの内何れを先とし
てもよい。
以上のときも、微量のものを先に入れ、多量のものを後
から入れる手順を原則とする。すなわち、量の少ないセ
ラミック粉末から順に投入する。しかし、例えば、微量
のもの２種に多量のもの１種のような場合、微量の２種
が量の差が小さい場合は、微量のものの内何れを先とし
てもよい。
【００１４】図１の装置を用いて、図３の工程で本発明
を実施する場合には、まず、溶剤を溶剤供給タンク２か
らポンプ３を使って粗混合タンク５に投入後、攪拌羽根
９を回転させ、溶剤を攪拌している中に、投入口４から
分散剤を加えて混合を行い、溶剤と分散剤の混合液を作
る。この混合液中にセラミック粉末を１種類ずつ入れる
と、十分な分散性が得られないので、あらかじめ２種類
以上のセラミック粉末を乾式混合して均一に混合された
状態のセラミック粉末を作っておき、それを粉体投入ホ
ッパー１に入れ、上記溶剤と分散剤の混合液中に加え
て、攪拌、混合を行う。その後、投入口４よりバインダ
を加え、混合を行ってスラリーを得る。
を実施する場合には、まず、溶剤を溶剤供給タンク２か
らポンプ３を使って粗混合タンク５に投入後、攪拌羽根
９を回転させ、溶剤を攪拌している中に、投入口４から
分散剤を加えて混合を行い、溶剤と分散剤の混合液を作
る。この混合液中にセラミック粉末を１種類ずつ入れる
と、十分な分散性が得られないので、あらかじめ２種類
以上のセラミック粉末を乾式混合して均一に混合された
状態のセラミック粉末を作っておき、それを粉体投入ホ
ッパー１に入れ、上記溶剤と分散剤の混合液中に加え
て、攪拌、混合を行う。その後、投入口４よりバインダ
を加え、混合を行ってスラリーを得る。
【００１５】図３の工程の場合は、あらかじめ２種以上
のセラミック粉末を乾式混合しておくので、セラミック
粉末の種類が何種類でも同様に行うことができる。
のセラミック粉末を乾式混合しておくので、セラミック
粉末の種類が何種類でも同様に行うことができる。
【００１６】
【作用】セラミック粉末は、通常粉末の粒子同士がくっ
ついて、もとの単一粒子の粒径より大きくなっている
が、本発明の図２の工程では、粗混合装置内に投入した
溶剤中に微量のセラミック粉末を入れてその凝集を解
き、単一粒子に解粒させた後に、多量のセラミック粉末
を入れて、微量のセラミック粉末が多量のセラミック粉
末中に均一に混合される様に十分混合させる。その後、
分散剤を入れて、さらに分散性を向上させてから、バイ
ンダを加えるので、セラミック粉末の一次粒子の表面に
バインダが付着したスラリーが得られる。
ついて、もとの単一粒子の粒径より大きくなっている
が、本発明の図２の工程では、粗混合装置内に投入した
溶剤中に微量のセラミック粉末を入れてその凝集を解
き、単一粒子に解粒させた後に、多量のセラミック粉末
を入れて、微量のセラミック粉末が多量のセラミック粉
末中に均一に混合される様に十分混合させる。その後、
分散剤を入れて、さらに分散性を向上させてから、バイ
ンダを加えるので、セラミック粉末の一次粒子の表面に
バインダが付着したスラリーが得られる。
【００１７】また、本発明の図３の工程では、あらかじ
め微量のセラミック粉末と多量のセラミック粉末を乾式
混合して均一に混合した状態のセラミック粉末を作って
おき、これを粗混合装置内に投入した溶剤と分散剤の混
合液中に入れる。従って、溶剤により希釈された分散剤
の溶液中にセラミック粉末が混合されることで、分散剤
がセラミック粉末中にまんべんなく行き渡り、分散性が
向上する。その後、バインダを投入するので、この場合
も、セラミック粉末の一次粒子の表面にバインダが付着
したスラリーが得られる。
め微量のセラミック粉末と多量のセラミック粉末を乾式
混合して均一に混合した状態のセラミック粉末を作って
おき、これを粗混合装置内に投入した溶剤と分散剤の混
合液中に入れる。従って、溶剤により希釈された分散剤
の溶液中にセラミック粉末が混合されることで、分散剤
がセラミック粉末中にまんべんなく行き渡り、分散性が
向上する。その後、バインダを投入するので、この場合
も、セラミック粉末の一次粒子の表面にバインダが付着
したスラリーが得られる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例について、説明する。
【００１９】〔実施例１〕図１の装置を用いて、図２の
工程で、セラミック多層配線基板のグリーンシート用ス
ラリーを製造した。多量のセラミック粉末と微量のセラ
ミック粉末としては、平均粒径約３．０μm のムライト
粉末と平均粒径約０．６μm のアルミナ粉末を容量比９
５：５で用いた。
工程で、セラミック多層配線基板のグリーンシート用ス
ラリーを製造した。多量のセラミック粉末と微量のセラ
ミック粉末としては、平均粒径約３．０μm のムライト
粉末と平均粒径約０．６μm のアルミナ粉末を容量比９
５：５で用いた。
【００２０】まず、溶剤供給タンク２から溶剤として純
水を、ポンプ３を使って粗混合タンク５に投入し、攪拌
羽根９を回転させて溶剤を攪拌している中に、投入口４
から、アルミナ粉末を加えて攪拌混合し、アルミナ粉末
の凝集を解き、１次粒子にした後、粉体投入ホッパー１
から、ムライト粉末を加えて、微量のアルミナ粉末が多
量のムライト粉末中に均一に混合されるように、十分攪
拌混合する。
水を、ポンプ３を使って粗混合タンク５に投入し、攪拌
羽根９を回転させて溶剤を攪拌している中に、投入口４
から、アルミナ粉末を加えて攪拌混合し、アルミナ粉末
の凝集を解き、１次粒子にした後、粉体投入ホッパー１
から、ムライト粉末を加えて、微量のアルミナ粉末が多
量のムライト粉末中に均一に混合されるように、十分攪
拌混合する。
【００２１】次に、投入口４から、分散剤として界面活
性剤を投入して攪拌混合した後、投入口４からバインダ
としてアクリル樹脂を投入して攪拌混合した。このスラ
リーをクッションタンク６に送り、クッションタンク６
からスラリーを定量的に混練分散装置７に送り、混練分
散を行い、次に脱泡タンク８においてスラリー粘度の調
整を行った。
性剤を投入して攪拌混合した後、投入口４からバインダ
としてアクリル樹脂を投入して攪拌混合した。このスラ
リーをクッションタンク６に送り、クッションタンク６
からスラリーを定量的に混練分散装置７に送り、混練分
散を行い、次に脱泡タンク８においてスラリー粘度の調
整を行った。
【００２２】粗混合タンク５で混合されたスラリーが、
すべてクッションタンク６に送られた後、再度、上記と
同様の投入手順で粗混合タンク５に原料を投入し、攪拌
混合してスラリーを製造し、クッションタンク６に送る
ことにより、その後の混練、脱泡を連続して行うことが
できた。
すべてクッションタンク６に送られた後、再度、上記と
同様の投入手順で粗混合タンク５に原料を投入し、攪拌
混合してスラリーを製造し、クッションタンク６に送る
ことにより、その後の混練、脱泡を連続して行うことが
できた。
【００２３】脱泡タンク８から連続的にキャスティング
マシンに送り出されるスラリーは、キャスティングマシ
ンのダム槽１０に貯められ、ドクターブレードより脱泡
タンクの吐出圧力で一定速度で駆動しているコンベア上
のルミラーフィルム上に吐出され、これを引き延ばしな
がら乾燥して、グリーンシートを作製したところ、１次
粒子の表面に付着したバインダを介して粒子同士がよく
接着し、シートにした際に割れにくく、シートの粘着性
が優れたものであった。
マシンに送り出されるスラリーは、キャスティングマシ
ンのダム槽１０に貯められ、ドクターブレードより脱泡
タンクの吐出圧力で一定速度で駆動しているコンベア上
のルミラーフィルム上に吐出され、これを引き延ばしな
がら乾燥して、グリーンシートを作製したところ、１次
粒子の表面に付着したバインダを介して粒子同士がよく
接着し、シートにした際に割れにくく、シートの粘着性
が優れたものであった。
【００２４】〔実施例２〕図１の装置を用いて、図３の
工程で、セラミック多層配線基板のグリーンシート用ス
ラリーを製造した。平均粒径約３．０μmのムライト粉
末と平均粒径約０．６μmのアルミナ粉末を容量比９
５：５で予め乾式混合して均一に混合された状態のセラ
ミック粉末としておいた。
工程で、セラミック多層配線基板のグリーンシート用ス
ラリーを製造した。平均粒径約３．０μmのムライト粉
末と平均粒径約０．６μmのアルミナ粉末を容量比９
５：５で予め乾式混合して均一に混合された状態のセラ
ミック粉末としておいた。
【００２５】溶剤供給タンク２から溶剤として純水を、
ポンプ３を使って粗混合タンク５に投入し、攪拌羽根９
を回転させて溶剤を攪拌している中に、投入口４から、
分散剤として界面活性剤を投入して攪拌混合し、溶剤と
分散剤の混合液とした。粉体投入ホッパー１に、上記予
め均一混合されたセラミック粉末を入れて、粗混合タン
ク５中の混合液の中に加えて、攪拌混合を行った。その
後、投入口４よりバインダとしてアクリル樹脂を加え、
さらに攪拌混合を行って、セラミック粒子の表面にバイ
ンダが付着したスラリーが得られた。このスラリーをク
ッションタンク６に送り、クッションタンク６からスラ
リーを定量的に混練分散装置７に送り、混練分散を行
い、次に脱泡タンク８においてスラリー粘度の調整を行
った。
ポンプ３を使って粗混合タンク５に投入し、攪拌羽根９
を回転させて溶剤を攪拌している中に、投入口４から、
分散剤として界面活性剤を投入して攪拌混合し、溶剤と
分散剤の混合液とした。粉体投入ホッパー１に、上記予
め均一混合されたセラミック粉末を入れて、粗混合タン
ク５中の混合液の中に加えて、攪拌混合を行った。その
後、投入口４よりバインダとしてアクリル樹脂を加え、
さらに攪拌混合を行って、セラミック粒子の表面にバイ
ンダが付着したスラリーが得られた。このスラリーをク
ッションタンク６に送り、クッションタンク６からスラ
リーを定量的に混練分散装置７に送り、混練分散を行
い、次に脱泡タンク８においてスラリー粘度の調整を行
った。
【００２６】粗混合タンク５で混合されたスラリーがす
べてクッションタンク６に送られた後、再度上記と同様
の投入手順で粗混合タンク５に原料を投入し、攪拌混合
してスラリーを製造し、クッションタンク６に送ること
により、その後の混練、脱泡を連続して行うことができ
た。
べてクッションタンク６に送られた後、再度上記と同様
の投入手順で粗混合タンク５に原料を投入し、攪拌混合
してスラリーを製造し、クッションタンク６に送ること
により、その後の混練、脱泡を連続して行うことができ
た。
【００２７】脱泡タンク８から取り出されたスラリーか
ら、実施例１の場合と同様にして、グリーシートを作製
したところ、１次粒子の表面に付着したバインダを介し
て粒子同士がよく接着し、シートにした際に割れにく
く、シートの粘着性が優れたものであった。
ら、実施例１の場合と同様にして、グリーシートを作製
したところ、１次粒子の表面に付着したバインダを介し
て粒子同士がよく接着し、シートにした際に割れにく
く、シートの粘着性が優れたものであった。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、スラリーを連続的に製
造する装置において、粗混合タンク内で２種以上のセラ
ミック粉末を均一に混合することができ、品質の安定し
たスラリーを連続的に製造することができる。
造する装置において、粗混合タンク内で２種以上のセラ
ミック粉末を均一に混合することができ、品質の安定し
たスラリーを連続的に製造することができる。
【図１】本発明を実施するための、混合、混練から脱泡
までを連続で行う連続混練脱泡装置の構成を示すブロッ
ク図である。
までを連続で行う連続混練脱泡装置の構成を示すブロッ
ク図である。
【図２】本発明に基づきスラリーを製造する方法の一例
の工程図である。
の工程図である。
【図３】本発明に基づきスラリーを製造する方法の別の
例の工程図である。
例の工程図である。
１…粉体投入ホッパー、２…溶剤供給タンク、３…ポン
プ、４…投入口、５…粗混合タンク、６…クッションタ
ンク、７…混練分散装置、８…脱泡タンク、９…攪拌羽
根、１０…キャスティングマシンのダム槽。
プ、４…投入口、５…粗混合タンク、６…クッションタ
ンク、７…混練分散装置、８…脱泡タンク、９…攪拌羽
根、１０…キャスティングマシンのダム槽。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 寛 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 川原田 政幸 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内
Claims (6)
- 【請求項１】２種類以上のセラミック粉末、溶剤、分散
剤およびバインダからなる原料を粗混合し、混練、脱泡
を行ってグリーンシート用スラリーを製造する方法にお
いて、 原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤、量の少ない第
１のセラミック粉末、量の多い第２のセラミック粉末、
分散剤、バインダを、原料として、この順に投入するこ
とを特徴とするグリーンシート用スラリーの製造方法。 - 【請求項２】混練、脱泡を連続的に行う請求項１記載の
グリーンシート用スラリーの製造方法。 - 【請求項３】２種類以上のセラミック粉末が、主成分と
なるセラミック粉末とこれに添加される焼結助剤からな
るものである請求項１記載のグリーンシート用スラリー
の製造方法。 - 【請求項４】２種類以上のセラミック粉末、溶剤、分散
剤およびバインダからなる原料を粗混合し、混練、脱泡
を行ってグリーンシート用スラリーを製造する方法にお
いて、 原料を粗混合する粗混合タンクに、溶剤と分散剤を投入
して混合溶液とし、該混合溶液中に、予め均一に乾式混
合された２種類以上のセラミック粉末を投入し、その
後、バインダを投入することを特徴とするグリーンシー
ト用スラリーの製造方法。 - 【請求項５】混練、脱泡を連続的に行う請求項４記載の
グリーンシート用スラリーの製造方法。 - 【請求項６】２種類以上のセラミック粉末が、主成分と
なるセラミック粉末とこれに添加される焼結助剤からな
るものである請求項４記載のグリーンシート用スラリー
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153836A JPH0725657A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | グリーンシート用スラリーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5153836A JPH0725657A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | グリーンシート用スラリーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0725657A true JPH0725657A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15571161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5153836A Pending JPH0725657A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | グリーンシート用スラリーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725657A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005211354A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Kyocera Corp | 生体部材及びその製造方法並びに人工関節 |
| CN118955150A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-11-15 | 苏州芯合半导体材料有限公司 | 一种分散稳定的陶瓷浆料及其制备方法 |
-
1993
- 1993-06-24 JP JP5153836A patent/JPH0725657A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005211354A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Kyocera Corp | 生体部材及びその製造方法並びに人工関節 |
| CN118955150A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-11-15 | 苏州芯合半导体材料有限公司 | 一种分散稳定的陶瓷浆料及其制备方法 |
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