JPH01320442A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
- Publication number
- JPH01320442A JPH01320442A JP15417488A JP15417488A JPH01320442A JP H01320442 A JPH01320442 A JP H01320442A JP 15417488 A JP15417488 A JP 15417488A JP 15417488 A JP15417488 A JP 15417488A JP H01320442 A JPH01320442 A JP H01320442A
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- pressure
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- electrode
- detection circuit
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 32
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気体の圧力測定装置に関するものである。
〔発明の概要１
本発明は、被圧力測定となる気体の充填される２つの部
屋と、その２つの部屋を分離するダイヤフラムからなる
圧力測定装置において、２つの部屋の藺に、２つのダイ
ヤフラムにはさまれた基準圧力となる気体が充填される
部屋を設け、その部屋の内部に電極を設けることにより
、従来被圧力測定となる気体に直接接触していた電極を
、被圧力測定となる気体と直接接触しないようにしたも
のである。この結果、腐食性ガスの差圧の測定や、差圧
と絶対圧の同時測定を可能とするものである。
屋と、その２つの部屋を分離するダイヤフラムからなる
圧力測定装置において、２つの部屋の藺に、２つのダイ
ヤフラムにはさまれた基準圧力となる気体が充填される
部屋を設け、その部屋の内部に電極を設けることにより
、従来被圧力測定となる気体に直接接触していた電極を
、被圧力測定となる気体と直接接触しないようにしたも
のである。この結果、腐食性ガスの差圧の測定や、差圧
と絶対圧の同時測定を可能とするものである。
従来の、ダイヤフラムの変位を、静電容量の変化として
検出する差圧型の圧力測定装置では、第４図に示すよう
に、゛被圧力測定となる気体の充填される第１の部屋ｌ
及び第２の部屋２と、この２つの部屋を分離するダイヤ
フラム２０から構成され、このダイヤフラム１２が、第
１の部屋１と第２の部屋２の差圧により変位する。第１
の部屋に設けられた第１の電極６と第２の部屋に設けら
れた第２の電極７により、このダイヤフラム１２の変位
により変化する第１の電極６とダイヤフラム２０の間の
静電容量及び、第２の電極７とダイヤフラム２０の間の
静電容量を検出し、そのそれぞれの静電容量の差から第
１の部屋１と第２の部屋２の差圧を検出する方法をとっ
ていた。
検出する差圧型の圧力測定装置では、第４図に示すよう
に、゛被圧力測定となる気体の充填される第１の部屋ｌ
及び第２の部屋２と、この２つの部屋を分離するダイヤ
フラム２０から構成され、このダイヤフラム１２が、第
１の部屋１と第２の部屋２の差圧により変位する。第１
の部屋に設けられた第１の電極６と第２の部屋に設けら
れた第２の電極７により、このダイヤフラム１２の変位
により変化する第１の電極６とダイヤフラム２０の間の
静電容量及び、第２の電極７とダイヤフラム２０の間の
静電容量を検出し、そのそれぞれの静電容量の差から第
１の部屋１と第２の部屋２の差圧を検出する方法をとっ
ていた。
上記のような圧力測定装置では、電極が被圧力測定とな
る気体が充填される部屋に設けられているため、被圧力
測定となる気体と接触してしまう、このため、腐食性ガ
スの差圧を測定する場合には、電極が腐食してしまうた
め、長期の安定した測定が困難であるという欠点を有し
ていた。
る気体が充填される部屋に設けられているため、被圧力
測定となる気体と接触してしまう、このため、腐食性ガ
スの差圧を測定する場合には、電極が腐食してしまうた
め、長期の安定した測定が困難であるという欠点を有し
ていた。
上記課題を解決するために１本発明においては、被圧力
測定となる気体が充填される第１の部屋と第２の部屋の
間に、基準圧力となる気体が充填される第３の部屋を設
け、第１のダイヤフラムによって第１の部屋と第３の部
屋を、第２のダイヤフラムによって第２の部屋と第３の
部屋をそれぞれ気密的に分離し、第３の部屋の内部に静
電容量を検出する電極群を設ける構造にした。
測定となる気体が充填される第１の部屋と第２の部屋の
間に、基準圧力となる気体が充填される第３の部屋を設
け、第１のダイヤフラムによって第１の部屋と第３の部
屋を、第２のダイヤフラムによって第２の部屋と第３の
部屋をそれぞれ気密的に分離し、第３の部屋の内部に静
電容量を検出する電極群を設ける構造にした。
〔作用］
上記のような構成によれば、静電容量を検出する電極群
が被圧力測定となる気体に直接接触することがなくなり
、腐食性ガスに対しても、十分測定することができる。
が被圧力測定となる気体に直接接触することがなくなり
、腐食性ガスに対しても、十分測定することができる。
〔実施例１
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は１本発明の一実施例を示す断面図である。
被圧力測定となる気体が充填される第１の部屋ｌと第２
の部屋２との間に、基準圧力となる気体が充填される第
３の部屋３が設けられ、第１のダイヤフラム４により第
１の部屋ｌと第３の部ｍ３とが気密的に分離され、第２
のダイヤフラム５により第２の部屋２と第３の部屋３と
が気密的に分離されている。壁８は、第１のダイヤフラ
ム４と第２のダイヤフラム５の中間位置に設けられ、第
３の部屋３を２分し、２分した第３の部屋３の圧力を同
等にするように壁８の中心部に導通用の穴９が設けられ
ている。第１の電極６は、第１のダイヤフラム４との間
に静電容量を持つように、これに対向する前記壁８の面
上に設けられ、第２の電極７は、第２のダイヤフラム５
との間に静電容量をもつように、これに対向する前記壁
８の面上に設けられ、第１の電極６と第２の電極７は絶
縁されている。第１のダイヤフラム４と第２のダイヤフ
ラム５は共通に接地され、第１の電極６及び第２の電極
７は、容量検出回路ｌＯに、容量検出回路ｌＯは、圧力
検出回路１１にそれぞれ接続されている。
の部屋２との間に、基準圧力となる気体が充填される第
３の部屋３が設けられ、第１のダイヤフラム４により第
１の部屋ｌと第３の部ｍ３とが気密的に分離され、第２
のダイヤフラム５により第２の部屋２と第３の部屋３と
が気密的に分離されている。壁８は、第１のダイヤフラ
ム４と第２のダイヤフラム５の中間位置に設けられ、第
３の部屋３を２分し、２分した第３の部屋３の圧力を同
等にするように壁８の中心部に導通用の穴９が設けられ
ている。第１の電極６は、第１のダイヤフラム４との間
に静電容量を持つように、これに対向する前記壁８の面
上に設けられ、第２の電極７は、第２のダイヤフラム５
との間に静電容量をもつように、これに対向する前記壁
８の面上に設けられ、第１の電極６と第２の電極７は絶
縁されている。第１のダイヤフラム４と第２のダイヤフ
ラム５は共通に接地され、第１の電極６及び第２の電極
７は、容量検出回路ｌＯに、容量検出回路ｌＯは、圧力
検出回路１１にそれぞれ接続されている。
第２図は１本発明の他の実施例を示す断面図である。
被圧力測定となる気体が充填される第１の部屋ｌ及び第
２の部屋２は、壁１２によって仕切られ、かつ、第１の
ダイヤフラム４及び第２のダイヤフラム５によって第３
の部屋３と気密的に分離されている。第３の部屋３には
、第１の電極６及び第２の電極７が、各々第１のダイヤ
フラム４及び第２のダイヤフラム５に対向して配置され
、かつ、基準圧力となる気体が充填されている。第１の
ダイヤフラム４と第２のダイヤフラム５は、共通に接地
され、第１の電極６と第２の電極７とは、容量検出回路
１０に接続され、容量検出回路１０の出力が、圧力検出
回路１１に接続されている。
２の部屋２は、壁１２によって仕切られ、かつ、第１の
ダイヤフラム４及び第２のダイヤフラム５によって第３
の部屋３と気密的に分離されている。第３の部屋３には
、第１の電極６及び第２の電極７が、各々第１のダイヤ
フラム４及び第２のダイヤフラム５に対向して配置され
、かつ、基準圧力となる気体が充填されている。第１の
ダイヤフラム４と第２のダイヤフラム５は、共通に接地
され、第１の電極６と第２の電極７とは、容量検出回路
１０に接続され、容量検出回路１０の出力が、圧力検出
回路１１に接続されている。
以上説明した本発明による圧力測定装置は次の様に作動
する。
する。
第１の部屋ｌ及び第２の部屋２に、それぞれ未知の圧力
の気体を導入すると、基準圧力となる第３の部屋３との
差圧に応じて、第１のダイヤフラム４及び第２のダイヤ
フラム５がそれぞれ変位する。第１のダイヤフラム４の
変位により、この第ｌのダイヤフラム４と第１の電極６
との間の静電容量が、第２のダイヤフラム５の変位によ
り、この第２のダイヤフラム５と第２の電極７との間の
静電容量が、それぞれ変化する。この変化の差分を容量
検出回路１０により検出し、それを電気的信号に変換し
、圧力検出回路１１に供給する。そして、この圧力検出
回路１１は、この容量変化の差分を表わす電気信号から
、第１の部屋１に導入された気体と、第２の部屋２に導
入された気体との圧力差を検出する。
の気体を導入すると、基準圧力となる第３の部屋３との
差圧に応じて、第１のダイヤフラム４及び第２のダイヤ
フラム５がそれぞれ変位する。第１のダイヤフラム４の
変位により、この第ｌのダイヤフラム４と第１の電極６
との間の静電容量が、第２のダイヤフラム５の変位によ
り、この第２のダイヤフラム５と第２の電極７との間の
静電容量が、それぞれ変化する。この変化の差分を容量
検出回路１０により検出し、それを電気的信号に変換し
、圧力検出回路１１に供給する。そして、この圧力検出
回路１１は、この容量変化の差分を表わす電気信号から
、第１の部屋１に導入された気体と、第２の部屋２に導
入された気体との圧力差を検出する。
第３図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、第
１図において、壁８の面上に設けられた第１の電極６及
び第２の電極７を、それぞれ二重電極構造にしたもので
ある。
１図において、壁８の面上に設けられた第１の電極６及
び第２の電極７を、それぞれ二重電極構造にしたもので
ある。
第３の電極１３は、第１のダイヤフラム４の変位が零の
とき、第１の電極６と第１のダイヤフラム４との間の静
電容量と、第３の電極１３と第１のダイヤフラム４との
間の静電容量が等しくなるように、第１のダイヤフラム
に対向する壁８の面上の第１の電極６の外側に設けられ
ており、第４の電極１４は、第２のダイヤフラム５の変
位が零のとき、第２の電極７と第２のダイヤフラム５と
の間の静電容量と、第４の電極１４と第２のダイヤフラ
ム５との間の静電容量が等しくなるように、第２のタイ
ヤフラム５に対向する壁８の面上の第２の電極７の外側
に設けられている。第１のダイヤフラム４及び第２のダ
イヤフラム５は共通に接地され、第１の電極６と第３の
電極１３は、第１の容量検出回路１５に、第２の電極７
と第４の電極１４は、第２の容量検出回路１６に接続さ
れ、第１の容量検出回路１５は、第１の圧力検出回路１
７と第３の圧力検出回路１９に、第２の容量検出回路１
６は、第２の圧力検出回路１８と第３の圧力検出回路１
９に接続している。
とき、第１の電極６と第１のダイヤフラム４との間の静
電容量と、第３の電極１３と第１のダイヤフラム４との
間の静電容量が等しくなるように、第１のダイヤフラム
に対向する壁８の面上の第１の電極６の外側に設けられ
ており、第４の電極１４は、第２のダイヤフラム５の変
位が零のとき、第２の電極７と第２のダイヤフラム５と
の間の静電容量と、第４の電極１４と第２のダイヤフラ
ム５との間の静電容量が等しくなるように、第２のタイ
ヤフラム５に対向する壁８の面上の第２の電極７の外側
に設けられている。第１のダイヤフラム４及び第２のダ
イヤフラム５は共通に接地され、第１の電極６と第３の
電極１３は、第１の容量検出回路１５に、第２の電極７
と第４の電極１４は、第２の容量検出回路１６に接続さ
れ、第１の容量検出回路１５は、第１の圧力検出回路１
７と第３の圧力検出回路１９に、第２の容量検出回路１
６は、第２の圧力検出回路１８と第３の圧力検出回路１
９に接続している。
以上のような構成において、次に動作を説明する。
第１の部屋ｌ及び第２の部屋２に、それぞれ未知の圧力
の気体を導入すると、基準圧力となる第３の部屋３との
差圧に応じて、第１のタイヤフラム４及び第２のダイヤ
フラム５がそれぞれ変位する。第１のダイヤフラム４の
変位により、この第１のダイヤフラム４と第１の電極６
及び第３の電極１３との間の静電容量がそれぞれ変位す
る。この静電容量の変化を第１の容量検出回路１５によ
り検出する。又、第２のダイヤフラム５の変位により、
この第２のタイヤフラム５と第２の電極７及び第４の電
極１４との間の静電容量がそれぞれ変化する。この静電
容量の変化を第２の容量検出回路１６により検出する。
の気体を導入すると、基準圧力となる第３の部屋３との
差圧に応じて、第１のタイヤフラム４及び第２のダイヤ
フラム５がそれぞれ変位する。第１のダイヤフラム４の
変位により、この第１のダイヤフラム４と第１の電極６
及び第３の電極１３との間の静電容量がそれぞれ変位す
る。この静電容量の変化を第１の容量検出回路１５によ
り検出する。又、第２のダイヤフラム５の変位により、
この第２のタイヤフラム５と第２の電極７及び第４の電
極１４との間の静電容量がそれぞれ変化する。この静電
容量の変化を第２の容量検出回路１６により検出する。
第１の容量検出回路１５は、検出した静電容量の変化に
応じた電気的信号を第１の圧力検出回路１７及び第３の
圧力検出回路１９に供給する。又、第２の容量検出回路
１６は、検出した静電容量の変化に応じた電気的信号を
第２の圧力検出回路１８及び第３の圧力検出回路１９に
供給する１次いで、第１の圧力検出回路１７は、第１の
容量検出回路１５からの電気的信号に応じて、第１の部
屋１に導入された気体の圧力を検出し、第２の圧力検出
回路１８は、第２の容量検出回路１６からの電気的信号
に応じて、第２の部屋２に導入された気体の圧力を検出
する。第３の圧力検出回路は、第１の容量検出回路１５
及び第２の容量様出回！ｆ１１６からの電気的信号より
、それぞれの容量変化の差分を検出し、それに応じて、
第１の部屋ｌに導入された気体と、第２の部屋２に導入
された気体の差圧を検出する。
応じた電気的信号を第１の圧力検出回路１７及び第３の
圧力検出回路１９に供給する。又、第２の容量検出回路
１６は、検出した静電容量の変化に応じた電気的信号を
第２の圧力検出回路１８及び第３の圧力検出回路１９に
供給する１次いで、第１の圧力検出回路１７は、第１の
容量検出回路１５からの電気的信号に応じて、第１の部
屋１に導入された気体の圧力を検出し、第２の圧力検出
回路１８は、第２の容量検出回路１６からの電気的信号
に応じて、第２の部屋２に導入された気体の圧力を検出
する。第３の圧力検出回路は、第１の容量検出回路１５
及び第２の容量様出回！ｆ１１６からの電気的信号より
、それぞれの容量変化の差分を検出し、それに応じて、
第１の部屋ｌに導入された気体と、第２の部屋２に導入
された気体の差圧を検出する。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したように、被圧力測定となる気体
を充填する２つの部屋の間に基準圧力となる部屋を設け
、そこに静電容量を検出する電極群を設けることにより
、被圧力測定となる気体と該電極群とが分離されている
ため、腐食性ガスの圧力を測定する場合も、電極が腐食
されることがなく、長期間、安定に圧力を測定すること
が可能となり、さらに、絶対圧もしくはゲージ圧と差圧
との同時測定も可能になる圧力測定装置を提供すること
ができる。
を充填する２つの部屋の間に基準圧力となる部屋を設け
、そこに静電容量を検出する電極群を設けることにより
、被圧力測定となる気体と該電極群とが分離されている
ため、腐食性ガスの圧力を測定する場合も、電極が腐食
されることがなく、長期間、安定に圧力を測定すること
が可能となり、さらに、絶対圧もしくはゲージ圧と差圧
との同時測定も可能になる圧力測定装置を提供すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す断面図、第３図は本発明の他の実
施例を示す断面図、第４図は従来の実施例を示す断面図
である。 ｌ・・・第１の部屋 ２・・・第２の部屋 ３・・・第３の部屋 ４・・・第１のダイヤフラム ５・・・第２のダイヤフラム ６・・・第１の電極 ７・・・第２の電極 ８・・・壁 ９・・・穴 ｌＯ・・・容量検出回路 １１・・・圧力検出回路 ２０・・・ダイヤフラム 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助第１図 本発明の４ｕの実１を仔”１亦Ｔ（〒面図ｆｓ２図 ′＄光明の把の次た列玉示王直面図 第３図 冬さ！米の９ざ２−ツｊ＃１Ｊｉｉブチミー４−９ζ１
−面図第４図
明の他の実施例を示す断面図、第３図は本発明の他の実
施例を示す断面図、第４図は従来の実施例を示す断面図
である。 ｌ・・・第１の部屋 ２・・・第２の部屋 ３・・・第３の部屋 ４・・・第１のダイヤフラム ５・・・第２のダイヤフラム ６・・・第１の電極 ７・・・第２の電極 ８・・・壁 ９・・・穴 ｌＯ・・・容量検出回路 １１・・・圧力検出回路 ２０・・・ダイヤフラム 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助第１図 本発明の４ｕの実１を仔”１亦Ｔ（〒面図ｆｓ２図 ′＄光明の把の次た列玉示王直面図 第３図 冬さ！米の９ざ２−ツｊ＃１Ｊｉｉブチミー４−９ζ１
−面図第４図
Claims (1)
- 被圧力測定となる気体が充填される２つの部屋と、該２
つの部屋を気密的に分離するダイヤフラムとからなる圧
力測定装置において、被圧力測定となる気体が充填され
る第１及び第２の部屋と、該第１の部屋と第２の部屋と
の間に設けられた基準圧力となる気体が充填される第３
の部屋と、該第１の部屋及び第２の部屋と該第３の部屋
とを気密的に分離する第１及び第２のダイヤフラムと、
該第１及び第２のダイヤフラムに対する静電容量を検出
するための第３の部屋内に設けられた電極郡と、該第１
及び第２のダイヤフラムと該電極郡とに電気的に接続さ
れる容量検出回路と、該容量検出回路に電気的に接続さ
れる圧力検出回路とからなることを特徴とする圧力測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15417488A JPH01320442A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15417488A JPH01320442A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 圧力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320442A true JPH01320442A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15578453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15417488A Pending JPH01320442A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01320442A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05334583A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Toho Gas Co Ltd | ガス遮断装置 |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP15417488A patent/JPH01320442A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05334583A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Toho Gas Co Ltd | ガス遮断装置 |
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