JPH0132460B2 - - Google Patents
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- JPH0132460B2 JPH0132460B2 JP55089547A JP8954780A JPH0132460B2 JP H0132460 B2 JPH0132460 B2 JP H0132460B2 JP 55089547 A JP55089547 A JP 55089547A JP 8954780 A JP8954780 A JP 8954780A JP H0132460 B2 JPH0132460 B2 JP H0132460B2
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- powder
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この発明は荷電粒子線、例えば微小電子線束で
試料面を走査し、その二次電子等を検出して分析
をおこなう電子線（荷電粒子線）走査形分析装置
により粉末試料の成分を測定する際の粉末試料の
試料作成方法に関する。
試料面を走査し、その二次電子等を検出して分析
をおこなう電子線（荷電粒子線）走査形分析装置
により粉末試料の成分を測定する際の粉末試料の
試料作成方法に関する。
(ロ) 従来技術
従来から粉末試料を例えば電子線走査形分析装
置によつて測定する場合、試料の粉末の大きさ、
その他の条件によつて試料採取法を工夫し、被測
定試料粉末ごとに第１図、第２図、第３図に示さ
れたように、粉末試料１とベークライト樹脂等の
合成樹脂剤２とを約１：10の割合で混合して成形
した樹脂混合粉末試料３を、同じくベークライト
樹脂材等の合成樹脂材の保持部材４の頂面に積み
重ねて、それぞれ加熱圧着させ、さらにその表面
をそれぞれ研磨して電子線走査面とするようにし
た試料を用いている。
置によつて測定する場合、試料の粉末の大きさ、
その他の条件によつて試料採取法を工夫し、被測
定試料粉末ごとに第１図、第２図、第３図に示さ
れたように、粉末試料１とベークライト樹脂等の
合成樹脂剤２とを約１：10の割合で混合して成形
した樹脂混合粉末試料３を、同じくベークライト
樹脂材等の合成樹脂材の保持部材４の頂面に積み
重ねて、それぞれ加熱圧着させ、さらにその表面
をそれぞれ研磨して電子線走査面とするようにし
た試料を用いている。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点
上記の方法では、複数個の試料について各試料
毎に加熱圧着、研磨作業を繰返す必要があり、ま
た、分析に際しては試料交換を１回ごとにおこな
う必要があり、時間的な損失とともに甚だ面倒で
あつた。
毎に加熱圧着、研磨作業を繰返す必要があり、ま
た、分析に際しては試料交換を１回ごとにおこな
う必要があり、時間的な損失とともに甚だ面倒で
あつた。
(ニ) 問題点を解決するための手段
この発明は、荷電粒子線走査形分析装置、例え
ば電子線走査形分析装置に使用する複数個の粉末
試料を迅速に作成できる方法を提供することを目
的とする。
ば電子線走査形分析装置に使用する複数個の粉末
試料を迅速に作成できる方法を提供することを目
的とする。
その方法は、試料粉末と合成樹脂剤とを混合し
た樹脂混合粉末試料を充填した複数試料保持手段
を、合成樹脂材の試料保持部材頂面に配列し、こ
の保持部材と複数試料保持手段とを加熱加圧し
て、複数試料保持手段を前記試料保持部材内に埋
込み両者を一体化し、その後該一体化したものの
頂面が平滑になるように研磨することにある。
た樹脂混合粉末試料を充填した複数試料保持手段
を、合成樹脂材の試料保持部材頂面に配列し、こ
の保持部材と複数試料保持手段とを加熱加圧し
て、複数試料保持手段を前記試料保持部材内に埋
込み両者を一体化し、その後該一体化したものの
頂面が平滑になるように研磨することにある。
(ホ) 作用
複数試料保持手段により、試料保持部材の頂面
に被測定対象の複数個の粉末試料を互いに区分し
て配設でき、保持部材への加熱圧着作業により、
保持部材に一体化されるので、その後一体化され
たものの頂面の研磨作業により、試料保持手段に
充填された各試料の電子線走査面の研磨を同時に
行える。
に被測定対象の複数個の粉末試料を互いに区分し
て配設でき、保持部材への加熱圧着作業により、
保持部材に一体化されるので、その後一体化され
たものの頂面の研磨作業により、試料保持手段に
充填された各試料の電子線走査面の研磨を同時に
行える。
(ヘ) 実施例
第４図はこの発明の方法に使用する試料保持部
材の斜視図で、直径が約５mm、深さ約６mm、板厚
0.1〜0.2mmのアルミニウム板をプレス加工した金
属容器である。この容器５に試料粉末１とフエノ
ール樹脂剤２とを混合した樹脂混合粉末試料３を
充填する。この容器５をすくなくとも２個フエノ
ール樹脂材の試料保持部材６の頂面に配列する。
（実施例では６個の容器５1〜５6が配列されてい
る。）試料粉末１の種類を識別する識別片７を設
ける。
材の斜視図で、直径が約５mm、深さ約６mm、板厚
0.1〜0.2mmのアルミニウム板をプレス加工した金
属容器である。この容器５に試料粉末１とフエノ
ール樹脂剤２とを混合した樹脂混合粉末試料３を
充填する。この容器５をすくなくとも２個フエノ
ール樹脂材の試料保持部材６の頂面に配列する。
（実施例では６個の容器５1〜５6が配列されてい
る。）試料粉末１の種類を識別する識別片７を設
ける。
この状態を表わしたのが第５図である。なお、
識別片７は試料粉末１あるいは容器５と同程度の
硬さの物質の線材を利用する。
識別片７は試料粉末１あるいは容器５と同程度の
硬さの物質の線材を利用する。
第５図の状態で試料粉末１とフエノール樹脂剤
２との樹脂混合粉末試料３1〜３6が充填された容
器５1〜５6と保持部材６とを加熱すると共に加圧
する。この加熱加圧により容器５1〜５6内で混合
粉末試料３が焼結すると共に容器５1〜５6が保持
部材６の頂面上に加熱圧着され容器５1〜５6と保
持部材６とが一体に成型される。
２との樹脂混合粉末試料３1〜３6が充填された容
器５1〜５6と保持部材６とを加熱すると共に加圧
する。この加熱加圧により容器５1〜５6内で混合
粉末試料３が焼結すると共に容器５1〜５6が保持
部材６の頂面上に加熱圧着され容器５1〜５6と保
持部材６とが一体に成型される。
つぎに、一体化されたものの頂面が平滑になる
ように研磨する。
ように研磨する。
例えば、一体化されたものの断面が第６図（第
５図のＡ―Ａ断面）の如く各容器の方が突出して
いる場合は、容器の方から研磨し、逆の場合は、
保持部材６から研磨する。なお、最終的に頂面全
面が平滑になり、荷電粒子線走査面として使用で
きれば研磨のプロセスは問わない。
５図のＡ―Ａ断面）の如く各容器の方が突出して
いる場合は、容器の方から研磨し、逆の場合は、
保持部材６から研磨する。なお、最終的に頂面全
面が平滑になり、荷電粒子線走査面として使用で
きれば研磨のプロセスは問わない。
この研磨作業は前工程の加熱加圧作業で、各容
器５1〜５6と保持部材６とが一体に成形され、各
容器５1〜５6が保持部材６に強固に保持されてい
ることから、容易に行なえ、保持部材６も大きい
ので研磨の作業性にも優れている。
器５1〜５6と保持部材６とが一体に成形され、各
容器５1〜５6が保持部材６に強固に保持されてい
ることから、容易に行なえ、保持部材６も大きい
ので研磨の作業性にも優れている。
なお、容器５は第７図のようにその底面に孔８
を設けることにより、加熱加圧工程で内部の成形
試料の合成樹脂と保持部材６のそれとを結合させ
て、容器５ならびに内部の試料３をより強固に保
持部材６に１体的に保持させることができる。
を設けることにより、加熱加圧工程で内部の成形
試料の合成樹脂と保持部材６のそれとを結合させ
て、容器５ならびに内部の試料３をより強固に保
持部材６に１体的に保持させることができる。
さらに、樹脂混合粉末試料が充填される保持手
段は第８図のように１枚の板部材９にプレスし、
複数個の穴１０1〜１０6を設け、この板部材９を
保持部材６上に載置した際にそれの頂面と前記穴
１０1〜１０6で形成される空所を容器とすること
も可能である。なお、６′はプレスにより形成し
た凹部で第５図、第６図の識別片７に対応する。
段は第８図のように１枚の板部材９にプレスし、
複数個の穴１０1〜１０6を設け、この板部材９を
保持部材６上に載置した際にそれの頂面と前記穴
１０1〜１０6で形成される空所を容器とすること
も可能である。なお、６′はプレスにより形成し
た凹部で第５図、第６図の識別片７に対応する。
(ト) 効果
この発明の方法によれば、以上詳述したように
電子線走査面の研磨作業を被測定粉末試料ごとに
おこなう必要がなく１回の研磨作業で実施でき、
さらに試料の成形作業と保持部材への圧着作業が
一挙におこなえるので、研磨作業とあいまつて試
料作成の作業工程が単純化され、迅速に荷電粒子
線（電子線）走査形分析装置用粉末試料の作成が
おこなえるものである。
電子線走査面の研磨作業を被測定粉末試料ごとに
おこなう必要がなく１回の研磨作業で実施でき、
さらに試料の成形作業と保持部材への圧着作業が
一挙におこなえるので、研磨作業とあいまつて試
料作成の作業工程が単純化され、迅速に荷電粒子
線（電子線）走査形分析装置用粉末試料の作成が
おこなえるものである。
第１図は試料粉末の説明図、第２図は試料粉末
と合成樹脂剤との混合試料の説明図、第３図は従
来の電子線走査形分析装置用粉末試料の説明用斜
視図、第４図、第７図および第８図はこの発明の
方法に使用される試料保持手段の説明用斜視図、
第５図は、この発明の方法により研磨される前の
試料の説明用斜視図、第６図はこの発明の方法よ
り作成された試料の説明用断面図である。 １…試料粉末、２…合成樹脂剤、３…試料、４
…試料保持部材、５……試料保持手段、６…識別
片。
と合成樹脂剤との混合試料の説明図、第３図は従
来の電子線走査形分析装置用粉末試料の説明用斜
視図、第４図、第７図および第８図はこの発明の
方法に使用される試料保持手段の説明用斜視図、
第５図は、この発明の方法により研磨される前の
試料の説明用斜視図、第６図はこの発明の方法よ
り作成された試料の説明用断面図である。 １…試料粉末、２…合成樹脂剤、３…試料、４
…試料保持部材、５……試料保持手段、６…識別
片。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 粉末成型試料の断面を荷電粒子線走査形分析
装置で測定するための試料作成方法において、 試料粉末と合成樹脂剤とを混合した樹脂混合粉
末試料を充填した複数試料保持手段を、合成樹脂
材の試料保持部材頂面に配列し、この保持部材と
前記複数試料保持手段とを加熱加圧して、前記複
数試料保持手段を前記試料保持部材内に埋込み両
者を一体化し、その後該一体化したものの頂面が
平滑になるように研磨することを特徴とする荷電
粒子線走査形分析装置のための粉末試料の試料作
成方法。 ２ 前記複数試料保持手段が、複数個の金属容器
である特許請求の範囲第１項記載の荷電粒子線走
査形分析装置のための粉末試料の試料作成方法。 ３ 前記複数試料保持手段が、複数個の穴を備え
た板部材である特許請求の範囲第１項記載の荷電
粒子線走査形分析装置のための粉末試料の試料作
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954780A JPS5714746A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method for preparing powdered sample for linear scanning type analytical apparatus of electrically charged particle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954780A JPS5714746A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method for preparing powdered sample for linear scanning type analytical apparatus of electrically charged particle |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5714746A JPS5714746A (en) | 1982-01-26 |
| JPH0132460B2 true JPH0132460B2 (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=13973840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8954780A Granted JPS5714746A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method for preparing powdered sample for linear scanning type analytical apparatus of electrically charged particle |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5714746A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62132143A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Fujitsu Ltd | 試料作成方法 |
| JP2587559Y2 (ja) * | 1993-11-12 | 1998-12-16 | クロマトサイエンス株式会社 | 赤外分光光度計の錠剤試料作成器 |
| JP5836134B2 (ja) * | 2012-01-11 | 2015-12-24 | 日本電子株式会社 | オージェ電子分光法用試料作製方法 |
| JP5846440B2 (ja) * | 2012-05-14 | 2016-01-20 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | レーザアブレーションを用いた定量分析用試料ディスクの製造方法 |
| JP6344565B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2018-06-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 樹脂包埋試料およびその作製方法 |
| JP6344564B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2018-06-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 樹脂包埋試料およびその作製方法 |
| JP6620935B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2019-12-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 樹脂包埋試料およびその作製方法 |
| JP6519459B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2019-05-29 | 住友金属鉱山株式会社 | 鉱物粒子解析装置用の鉱石観察試料およびその作製方法 |
| JP6504097B2 (ja) * | 2016-04-01 | 2019-04-24 | 住友金属鉱山株式会社 | オージェ電子分光分析の分析試料作製方法およびオージェ電子分光分析方法 |
-
1980
- 1980-06-30 JP JP8954780A patent/JPS5714746A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5714746A (en) | 1982-01-26 |
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