JPH0134078Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は連続厚膜焼成炉に関するものである。

（従来の技術とその問題点） 厚膜IC製品を得るに当つては、アルミナやほ
うろう質の基板に導体、誘電体または抵抗体を構
成構成するペーストを印刷して回路網を作り、こ
の回路網を乾燥して有機溶剤を揮散させた後、ペ
ーストの焼結および基板への密着を図るため焼成
される。

この焼成工程を実施するための装置として、入
口筒と炉体と出口筒（冷却筒）とを直列に連結
し、それらの間にベルトコンベアを通した連続厚
膜焼成炉が汎用されている。

この種焼成工程は、製品の性質上、清浄な雰囲
気と厳格な温度管理の元で行われることが必要で
あり、そのため、一般に、連続厚膜焼成炉の設置
されている室を空調設備で制御し、入口筒を含む
炉体のまわりを金属カバーで囲んだ構成としてい
る。

しかしながら、焼成工程は500℃以下の温度で
のバーンアウトと約900℃での本焼成からなつて
おり、これが連続長時間実施されるので、カバー
に断熱材の内張りを施したとしても、炉体からの
放散熱量が蓄積して炉体およびカバーが設置した
室の空調条件を乱すほどの温度に上昇し、作業環
境を悪化させるという問題があつた。

（問題点を解決するための手段） 本考案は前記のような従来の焼成炉の問題点を
解消し、炉体やカバーの温度上昇を確実に防止す
ることができ、かつまた基板の適正な冷却を行う
ことができるこの種連続厚膜焼成炉を提供しよう
とするもので、その特徴とするところは、入口筒
を含む炉体をカバーで囲んだ連続厚膜焼成炉にお
いて、冷却筒のまわりに開口がカバーと炉体天井
間に臨むガイドケーシングを取付け、ガイドケー
シング内に吹出し口を冷却筒に向けたフアン（ブ
ロワーを含む以下同じ）を装備させ、このフアン
により外気を吸込み冷却筒に吹付けることにより
冷却筒を通る基板を空冷し、さらに空冷後の空気
流をガイドケーシングを介してカバー天井部に沿
つて流し、排気部から流出させることにより、カ
バー内の加熱空気を効率的に導出させることにあ
る。

（実施例） 以下本考案の実施例を添付図面に基いて説明す
る。

第１図と第２図は本考案に係る連続厚膜焼成炉
を示すもので、１は入口筒、２は炉体、３は冷却
筒であり、基台４上に直列状に連結され、コンベ
アベルト５により被処理物としての基板を移送す
るようになつている。冷却筒３の端部にはガスカ
ーテン部３１を有する出口部３０が連結され、炉
体２の内側にはヒータ７が配設され、その内側に
炉心管６が通され、さきの入口筒１と冷却筒３と
連結されている。

８は前記入口筒１と炉体２および冷却筒３を外
囲するカバーであり、ボツクス状の断面をなし、
入口筒１に近い天井位置に排気部９が開設されて
いる。

１０は前記カバー８内において、冷却筒３のま
わりを取囲むガイドケーシングであり、側端部を
もつて冷却筒３のフランジ３２，３２と連結して
おり、上部にはカバー８と炉体天井部２１間に臨
む吐出口１０１が開設され、該吐出口１０１の背
部はガイド用勾配１０２が形成されている。そし
て、ガイドケーシング１０の内部には、吹出し口
が冷却筒３に向いたフアン１１，１１が配設さ
れ、このフアン１１，１１より下部には外気取入
れ用の開口１０３が形成されている。フアン１
１，１１は風量の大きいものを用いることが好ま
しい。

その他図面中、１２は雰囲気ガスの導入部、１
３はバーンアウトガスの排出部であり、カバー８
の排気部９内に位置されている。

本考案は上記のような構成からなるので、ペー
ストを印刷した基板を入口筒１の手前でコンベア
ベルト５に載置し、ヒータ７を作動させるととも
に雰囲気導入部１２から所定成分の雰囲気を導入
するもので、これにより、ペーストに含まれる樹
脂系バインダは揮発、燃焼され、排出部１３から
排気部９を経て外部に放散される。続いて基板は
移送されながら高温加熱されることによりペース
トの焼結と基板への接合が行われ、冷却筒３に到
る。

この操業中、本考案はフアン１１，１１を作動
するものであり、これにより外気はガイドケーシ
ング１０の下部開口１０３からガイドケーシング
１０内に吸込まれ、冷却筒３に吹付けられる。こ
れにより冷却筒３を通過する基板が間接的に空冷
される。

そして基板の空冷にあたつた空気流は風量が大
きいため温度上昇はわずかであり、該空気流はガ
イドケーシング１０内において、ガイド用勾配１
０２により吐出口１０１に導かれ、ここからカバ
ー８と炉体天井部２１間の空間１４に噴出され
る。

噴出された空気流は、第１図に示すように、前
記空間１４を炉体２の出口方向から入口方向に流
れ、その間に、炉体２から自然対流で上昇する加
熱空気を押出し排気部９から放出させる。それに
つれて、炉体の側面２２，２２からの加熱空気の
上昇流が促進され、前記空気流に帯同排出され
る。これが操業中継続するため、炉体２とカバー
８間の温度は充分に下降された状態に保たれ、カ
バーからの放熱による空調の乱れを生じさせな
い。

なお、基板の冷却を行うフアン１１，１１が、
カバー８に直接でなく、出口部３０より手前の冷
却筒３を仕切るように囲むガイドケーシング１０
に内蔵されており、これの下部の開口１０３から
空気を吸引し、ガイドケーシング１０上部の吐出
口１０１にガイドさせるようにしているので、炉
内雰囲気を乱す必配はない。

（考案の効果） 以上説明した本考案によるときには、加熱焼成
後の基板を適切に冷却することができ、しかもそ
の冷却媒体の空気を利用して炉体とカバー間の温
度上昇を確実に防止することができ、連続運転に
よつても、空調を乱したりすることのない安全な
作業環境を維持することができるなどのすぐれた
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る連続厚膜焼成炉の一実施
例を示す部分切欠側面図、第２図は同じくその横
断面図である。 １……入口筒、２……炉体、３……冷却筒、８
……カバー、９……排気部、１０……ガイドケー
シング、１１……フアン、１０１……吐出口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 入口筒を含む炉体のまわりを空間をおいてカバ
   ーで囲むとともに、カバーの端部に偏した位置に
   排気部を設け、かつ、冷却筒のまわりには、吐出
   口がカバーと炉体天井間に臨むガイドケーシング
   を取付け、ガイドケーシング内には吹出し口を冷
   却筒に向けたフアンを装備させたことを特徴とす
   る連続厚膜焼成炉。