JPH0134359Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、固体レーザ用の励起ランプ、すなわ
ち、クリプトンアークランプ、クセノンランプ、
タングステンランプなどの給電用電極口金に関す
るものである。

固体レーザ用の励起ランプにおいては、陽極と
陰極間に電圧を印加することによつて放電を得て
いる。その放電エネルギーの一部は固体レーザ励
起光に用いられるが、他の一部は熱となる。ラン
プ管材料（石英などを利用している）は高温にな
ると破壊するので、一般に、ランプと同軸状に水
を流し、ランプを冷却している。

また、陽極、陰極の電極も高温となり、タング
ステンなどの電極材料がスバツタし、ランプ破壊
を起す。そこで、電極も水冷を行つている。

従来の固体レーザ用励起ランプにおいては、第
１図を用いて後で説明するが、陽極口金部、ラン
プ発光部、陰極口金部の順の連続水路で純水で冷
却している。この場合、陽極と陰極間のランプ電
気抵抗と陽極と陰極の間の水路での純水の電気抵
抗とが並列になつている。また、ランプ放電開始
時の陽極と陰極間のランプ電気抵抗は非常に高
く、また、放電開始をさせる放電開始電圧は高電
圧である。そこで、長時間使用で純水の電気抵抗
が低下すると、ランプ放電開始時の高電圧印加時
において、純水に電流がリークし、ランプは放電
しない。すなわち、ミスフアイアが起る。固体レ
ーザが実用される場合には、ミスフアイアを防が
なければならない。

本考案の目的は、ミスフアイアがなく、かつ、
電極の冷却を十分に行なうことができ、ランプ使
用時間が長時間であり、実用性に富む固体レーザ
用励起ランプを提供することにある。

本考案は、少なくとも一方の電極口金（特に陽
極と比較して高温にならない陰極）を、ミスフア
イアを防ぐため、電極口金が直接水に接しないよ
うに、絶縁物のキヤツプで覆うことを特徴とし、
かつ電極の冷却を良くするため、絶縁物キヤツプ
の材料にアルミナセラミツク、ベリリアなどの高
熱伝導率絶縁物を用いることにより、ミスフアイ
アがなく、電極スパツタの少ない長時間使用可能
な固体レーザ用励起ランプを得ることを特徴とし
ている。

次に図面を用いて、本考案を実施例により詳わ
しく説明する。

第１図は従来の固体レーザ用励起ランプの一例
である。励起ランプは石英などが材料となるラン
プ管１と、陽極３と、陰極４とからなり、陽極３
と陰極４の間に電源９の電圧を印加すると、放電
発光部２に放電が起る。なお、放電を開始すると
きは、放電を維持する電圧よりも高電圧を要す
る。放電発光部２には、ここが高温になつてラン
プ管１が破壊しないように、水冷ジヤケツト７を
用い、同軸状の水路８を形成し、純水を用い冷却
している。また水路８を用い、陽極３、陰極４が
スパツタしてランプ破壊の原因とならないよう
に、陽極口金５、陰極口金６を冷却している。こ
の場合、陽極口金５と陰極口金６の間の水路での
純水の電気抵抗と、陽極３と陰極４の間の電気抵
抗は並列になつている。従つて、陽極３と陰極４
の間で放電を得るためには、純水の電気抵抗が充
分大きい必要がある。ところが最初純水の電気抵
抗は高いが、長時間使用に伴い電気抵抗は低下し
ていく。この時、放電を開始するため高電圧を印
加すると、純水に電流が流れ、陽極３と陰極４の
間に放電が起らず、すなわちミスフアイアする。
固体レーザが実用される場合には、ミスフアイア
しない励起ランプが必要である。

第２図は本考案の一実施例で、陰極口金を絶縁
キヤツプで覆つた例である。すなわち、第２図に
おいて、陰極４側の口金６は絶縁キヤツプ１０で
覆われている。このようにすると、純水の電気抵
抗が低下しても、ミスフアイアすることは皆無と
なる。しかし、陰極口金６が直接冷却されていな
いので、絶縁キヤツプ１０の熱伝導率が小さい場
合には、陰極４の熱は効率よく奪われず、陰極は
高温となり、スパツタ蒸発する。スパツタ蒸発し
た電極金属はランプ管１に付着し、黒い膜を形成
するがこの黒い膜が放電発光を吸収し、逐にはラ
ンプは破壊し、ランプは長時間使用できなくな
る。

しかし、本考案の絶縁キヤツプ１０は、高い熱
伝導率を持つアルミナセラミツク、ベリリアなど
の絶縁材料で作られているので、陰極４の熱は効
率良く冷却水に奪われて行き、従つて、陰極１４
はスパツタ蒸発することが少なく、ランプの長時
間使用が可能となる。

なお、電源９によつては、陽極口金５も絶縁す
る必要がある場合があり、この場合にも前述と同
様に、高い熱伝導率をもつ絶縁材料で作られた絶
縁キヤツプを用いれば良い。

以上に詳述したように、本考案によれば、ミス
フアイアが皆無で、長時間使用可能な固体レーザ
用励起ランプが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の固体レーザ用励起ランプの一例
の断面正面図、第２図は本考案の実施例の断面正
面図を示す。なお図面に使用した符号はそれぞれ
以下のものを示す。 １……ランプ管、２……放電発光部、３……陽
極、４……陰極、５……陽極口金、６……陰極口
金、７……水冷ジヤケツト、８……水路、９……
電源、１０……絶縁キヤツプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 透明石英管と、前記石英管の両端に配置された
   陰極および陽極と、前極陰極に接続された陰極口
   金と、前記陽極に接続された陽極口金とを有する
   固体レーザ用励起ランプと、前記励起ランプに同
   軸上に配置され前記励起ランプをおおう水冷用ジ
   ヤケツトとを有し、前記水冷用ジヤケツトに水を
   流して前記励起ランプを冷却する励起ランプ構造
   において、 前記陰極口金又は陽極口金はその少くとも一方
   の口金外周面の冷却水接水部をアルミナセラミツ
   ク、ペリリアなどの高熱伝導率絶縁物からなるキ
   ヤツプで覆い、前記キヤツプはその外壁面だけが
   前記冷却水に接し、前記口金の前記キヤツプに覆
   われていない部分が冷却水に接しないように配置
   したことを特徴とする固体レーザ用励起ランプ構
   造。