JPH0136667B2 - - Google Patents
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- JPH0136667B2 JPH0136667B2 JP58071107A JP7110783A JPH0136667B2 JP H0136667 B2 JPH0136667 B2 JP H0136667B2 JP 58071107 A JP58071107 A JP 58071107A JP 7110783 A JP7110783 A JP 7110783A JP H0136667 B2 JPH0136667 B2 JP H0136667B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- movement
- shaft
- sample
- axis
- Prior art date
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- Expired
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/08—Holders for targets or for other objects to be irradiated
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は走査電子顕微鏡やオージエ電子分析装
置等に使用する試料装置に関するものである。
置等に使用する試料装置に関するものである。
この種の試料装置としてはＸ、Ｙ水平移動、Ｚ
動、回転及び傾斜動等が必要であり、従来から試
料室内に置かれたステージを伸縮スリーブや自在
継ぎ手等を使用して外部の駆動機構と結合し、所
定の移動とステージに伝達している。
動、回転及び傾斜動等が必要であり、従来から試
料室内に置かれたステージを伸縮スリーブや自在
継ぎ手等を使用して外部の駆動機構と結合し、所
定の移動とステージに伝達している。
［従来技術］
第１図は従来の試料装置の概略を示すもので、
１は走査電子顕微鏡の試料室であり、該試料室の
上には対物レンズを始めとする電子光学系２が積
載されている。該試料室の前蓋３には試料傾斜ス
テージ４が回動可能に保持されており、その歯車
５に噛合う歯車６をシヤフト７を介して外部の摘
子８により回転するとステージ４は軸９の周りに
回動し、任意な角度の傾斜ができる。該傾斜ステ
ージ４の上にはＹ動ステージ１０、Ｘ動ステージ
１１、回転ステージ１２が順次積載されており、
回転ステージの中に試料１３を保持したホルダー
１４が挿入されている。傾斜ステージ４とＹ動ス
テージ１０の間及びＹ動ステージとＸ動ステージ
の間には各ステージの移動を滑らかにするために
複数個のボールが介在してある。回転ステージの
シヤフト１５は両移動ステージ１０，１１を貫通
して下方に取出され、その先端に傘歯車１６が固
定されている。該傘歯車には傘歯車１７が噛合
い、自在継ぎ手１８及びシヤフト１９を介して前
蓋３に設けた摘子２０に接続している。前記回転
用のシヤフトは中空状であり、該シヤフトの中に
試料上下用のシヤフト２１が挿入されている。こ
のシヤフトの下端は梃２２に当接しており、該梃
の回転により試料ホルダー１４は上下に移動させ
られる。該梃は捩子棒２３、自在継ぎ彼２４及び
シヤフト２５を介して摘子２６に接続している。
２７はＹ動用の摘子であり、シヤフト２８、自在
継ぎ手２９及び捩子棒３０を介してＹ動ステージ
１０に移動を伝達する。３１は前記Ｘ動ステージ
の摘子である。
１は走査電子顕微鏡の試料室であり、該試料室の
上には対物レンズを始めとする電子光学系２が積
載されている。該試料室の前蓋３には試料傾斜ス
テージ４が回動可能に保持されており、その歯車
５に噛合う歯車６をシヤフト７を介して外部の摘
子８により回転するとステージ４は軸９の周りに
回動し、任意な角度の傾斜ができる。該傾斜ステ
ージ４の上にはＹ動ステージ１０、Ｘ動ステージ
１１、回転ステージ１２が順次積載されており、
回転ステージの中に試料１３を保持したホルダー
１４が挿入されている。傾斜ステージ４とＹ動ス
テージ１０の間及びＹ動ステージとＸ動ステージ
の間には各ステージの移動を滑らかにするために
複数個のボールが介在してある。回転ステージの
シヤフト１５は両移動ステージ１０，１１を貫通
して下方に取出され、その先端に傘歯車１６が固
定されている。該傘歯車には傘歯車１７が噛合
い、自在継ぎ手１８及びシヤフト１９を介して前
蓋３に設けた摘子２０に接続している。前記回転
用のシヤフトは中空状であり、該シヤフトの中に
試料上下用のシヤフト２１が挿入されている。こ
のシヤフトの下端は梃２２に当接しており、該梃
の回転により試料ホルダー１４は上下に移動させ
られる。該梃は捩子棒２３、自在継ぎ彼２４及び
シヤフト２５を介して摘子２６に接続している。
２７はＹ動用の摘子であり、シヤフト２８、自在
継ぎ手２９及び捩子棒３０を介してＹ動ステージ
１０に移動を伝達する。３１は前記Ｘ動ステージ
の摘子である。
斯かる構成において摘子３１，２７を任意に回
転すると試料１３は光軸Ｚに対して直角な平面内
でＸ及びＹ方向に移動する。又、摘子２６を回転
すると試料は光軸方向の位置が変化する。更に、
摘子２０を回転すると試料はシヤフト１６の軸心
の周りに回転し、更に又摘子７を回すと傾斜ステ
ージ４が回動し、ステージ全体が軸９の周りに回
転し試料は任意に傾斜される。
転すると試料１３は光軸Ｚに対して直角な平面内
でＸ及びＹ方向に移動する。又、摘子２６を回転
すると試料は光軸方向の位置が変化する。更に、
摘子２０を回転すると試料はシヤフト１６の軸心
の周りに回転し、更に又摘子７を回すと傾斜ステ
ージ４が回動し、ステージ全体が軸９の周りに回
転し試料は任意に傾斜される。
この様な構成にすると試料は任意な位置に移動
でき、又任意な角度に傾斜でき、所望の試料観察
が可能であるが、図から解るように各移動の駆動
軸が独立に試料室前蓋に取付けられているため、
試料傾斜の目的で傾斜ステージ４を傾斜していく
と、各移動伝達用の軸（シヤフト）はかみ合う形
になり、又相互に干渉して所望の角度の傾斜観察
が不可能になる。又、摺動部分が多く潤滑剤の使
用が不可欠となり、試料の汚染の原因になつた
り、真空シール部材として金属ベローズが使用し
にくいので試料室内を超高真空に保持することが
困難である等の欠点を有している。
でき、又任意な角度に傾斜でき、所望の試料観察
が可能であるが、図から解るように各移動の駆動
軸が独立に試料室前蓋に取付けられているため、
試料傾斜の目的で傾斜ステージ４を傾斜していく
と、各移動伝達用の軸（シヤフト）はかみ合う形
になり、又相互に干渉して所望の角度の傾斜観察
が不可能になる。又、摺動部分が多く潤滑剤の使
用が不可欠となり、試料の汚染の原因になつた
り、真空シール部材として金属ベローズが使用し
にくいので試料室内を超高真空に保持することが
困難である等の欠点を有している。
［発明の目的］
而して、本発明は上記従来の欠点に鑑みてなさ
れたもので、特に試料の傾斜角を充分に大きくと
るにも拘らず傾斜の水平移動や上下移動が何等の
支障なしに行なえる電子線装置等用の試料装置を
提供するものである。
れたもので、特に試料の傾斜角を充分に大きくと
るにも拘らず傾斜の水平移動や上下移動が何等の
支障なしに行なえる電子線装置等用の試料装置を
提供するものである。
［発明の構成］
本発明の構成は、電子線等の光軸方向をＺ方
向、該Ｚ方向に直角な方向をＹ方向、該Ｚ方向及
びＹ方向に直角な方向をＸ方向と呼ぶとき、Ｙ方
向に傾斜軸を有する傾斜体を試料室に取付け、共
に該傾斜体上に載置されたＸ方向の移動を与える
ステージ及びＺ方向の移動を与えるステージを備
え、該傾斜体を載置して又は該傾斜体上に載置さ
れてＹ方向の移動を与えるステージを備え、共に
Ｙ方向に移動可能な二重軸を前記傾斜体の傾斜軸
と同心的に配置し、該二重軸のうちの一方の軸の
光軸側端部と前記Ｘ方向の移動を与えるステージ
との間に該軸の移動を前記ステージのＸ方向の移
動に変換する第１の梃体を介在せしめ、該一方の
軸の他端部をその軸に沿つて押圧する手段を備
え、前記二重軸のうちの他方の軸の光軸側端部と
前記Ｚ方向の移動を与えるステージとの間に該軸
の移動を前記ステージのＺ方向の移動に変換する
第２の梃体を介在せしめ、該他方の軸の他端部を
その軸に沿つて押圧する手段を備え、前記Ｙ方向
移動ステージを移動させるための駆動機構を備え
ることを特徴としている。
向、該Ｚ方向に直角な方向をＹ方向、該Ｚ方向及
びＹ方向に直角な方向をＸ方向と呼ぶとき、Ｙ方
向に傾斜軸を有する傾斜体を試料室に取付け、共
に該傾斜体上に載置されたＸ方向の移動を与える
ステージ及びＺ方向の移動を与えるステージを備
え、該傾斜体を載置して又は該傾斜体上に載置さ
れてＹ方向の移動を与えるステージを備え、共に
Ｙ方向に移動可能な二重軸を前記傾斜体の傾斜軸
と同心的に配置し、該二重軸のうちの一方の軸の
光軸側端部と前記Ｘ方向の移動を与えるステージ
との間に該軸の移動を前記ステージのＸ方向の移
動に変換する第１の梃体を介在せしめ、該一方の
軸の他端部をその軸に沿つて押圧する手段を備
え、前記二重軸のうちの他方の軸の光軸側端部と
前記Ｚ方向の移動を与えるステージとの間に該軸
の移動を前記ステージのＺ方向の移動に変換する
第２の梃体を介在せしめ、該他方の軸の他端部を
その軸に沿つて押圧する手段を備え、前記Ｙ方向
移動ステージを移動させるための駆動機構を備え
ることを特徴としている。
［実施例］
以下本発明を図面に示した実施例に基づき詳細
に説明する。
に説明する。
第２図は本発明の一実施例の縦断面図、第３図
はその一部の斜視図であり、３２は第１図におけ
る試料室の前蓋３に相当する真空筐体である。該
真空筐体の真空側には多数のボールを含み、転が
り接触をする直線ガイド３３ａ，３３ｂが設けら
れ試料のＹ動ベース３４を光軸Ｚと直角な方向
（Ｙ方向）に移動可能に保持している。尚、実際
は該直線ガイドは図面と直角な方向に配置されて
いるが、図面を解り易くするために便宜上Ｚ軸と
同じ方向に配置した。該Ｙ軸ベースには試料の傾
斜体３５がボールベアリングを介してＹ軸の回り
に回動可能に保持されており、その外周の一部に
は歯車３６が刻設してある。該歯車は歯車３７に
噛合つており、軸３８及びベローズ等からなる自
在軸（図示せず）を介して試料室外に取出され、
図示しない回転摘子に連結される。該傾斜体の光
軸側先端部には多数のボールを有する直線ガイド
３９を介して試料上下動（Ｚ動）ステージ４０が
設けられている。該Ｚ動ステージには前記直線ガ
イド３９と同様な直線ガイド４１ａ，４１ｂを介
して試料Ｘ動ステージ４２がＸ軸方向に移動可能
に保持されている。又、該Ｚ動ステージにはＬ字
型梃４３が回転可能に取付けられており、その一
端はＸ動ステージの端部に接触し、他端は傾斜体
の軸心と同心的に配置されたＸ動駆動軸４４に接
触している。前記Ｘ動ステージには試料回転ステ
ージ４５が保持されており、試料４６は該回転ス
テージにホルダーを介して保持されている。この
回転ステージにはボールベアリングを介してＸ動
ステージに支持されたシヤフト４７が取付けら
れ、該シヤフトはＸ動ステージの下方に取出され
ている。該シヤフトには傘歯車４８が固定されて
おり、傘歯車４９、回転軸５０を介して試料室外
の回転用摘子（図示せず）に連繋される。前記Ｘ
動駆軸用の軸４４はＹ動ベース３４及び真空筐体
３２を貫通して大気側に取出され、Ｙ動ベースと
一体のＹ動移動板５１の中まで達している。該Ｙ
動移動板は前記Ｙ動ベース３４と筒状の複数本の
支柱５２ａ，５２ｂにより結合されている。該支
柱は真空筐体を移動可能に貫通しており、実際は
多数のボールを含んだ直線ガイドにより真空筐体
に保持されている。該支柱と前記真空筐体３２と
の間は金属ベローズ５３ａ，５３ｂにより真空シ
ールがなされている。支柱５２ａの中にはＺ動駆
動軸５４が移動可能に挿入されており、その真空
内端部付近にはレバー５５が固定してある。該軸
も多数のボールを使用したガイドにより移動が案
内されている。Ｚ動軸とＹ動ベース３４との間に
は金属ベローズ５６が設けられ、移動を許容しな
がら真空シールがなされている。前記Ｘ動駆動軸
４４に嵌挿して同心的に筒状の軸５７が配置さ
れ、二重軸が構成される。該筒状の軸の一端（光
軸Ｚに近い側）にはＬ字型の梃５８が接触してお
り、又他端は前記レバー５５に接触している。二
重軸と各梃との関係は第３図に斜視図で示してあ
る。前記梃５８の他端は試料上下用のステージ４
０に係合しており、前記レバー５５、筒状軸５７
を介して伝達されたＺ動軸５４からの移動をＺ動
ステージ４０に伝える。５９はＸ動駆動軸４４と
真空筐体３２との間に設けられた金属ベローズで
ある。前記真空筐体３２に固定されたフレーム６
１にはＹ動マイクロメータヘツド６０が支持さ
れ、その先端部はＹ動移動板と係合し、Ｙ方向の
ステージ移動がなされる。６２及び６３は夫々Ｘ
動及びＹ動の駆動用マイクロメータヘツドであ
り、Ｙ動移動板５１に取付けられ、各駆動軸４
４，５４に係合している。
はその一部の斜視図であり、３２は第１図におけ
る試料室の前蓋３に相当する真空筐体である。該
真空筐体の真空側には多数のボールを含み、転が
り接触をする直線ガイド３３ａ，３３ｂが設けら
れ試料のＹ動ベース３４を光軸Ｚと直角な方向
（Ｙ方向）に移動可能に保持している。尚、実際
は該直線ガイドは図面と直角な方向に配置されて
いるが、図面を解り易くするために便宜上Ｚ軸と
同じ方向に配置した。該Ｙ軸ベースには試料の傾
斜体３５がボールベアリングを介してＹ軸の回り
に回動可能に保持されており、その外周の一部に
は歯車３６が刻設してある。該歯車は歯車３７に
噛合つており、軸３８及びベローズ等からなる自
在軸（図示せず）を介して試料室外に取出され、
図示しない回転摘子に連結される。該傾斜体の光
軸側先端部には多数のボールを有する直線ガイド
３９を介して試料上下動（Ｚ動）ステージ４０が
設けられている。該Ｚ動ステージには前記直線ガ
イド３９と同様な直線ガイド４１ａ，４１ｂを介
して試料Ｘ動ステージ４２がＸ軸方向に移動可能
に保持されている。又、該Ｚ動ステージにはＬ字
型梃４３が回転可能に取付けられており、その一
端はＸ動ステージの端部に接触し、他端は傾斜体
の軸心と同心的に配置されたＸ動駆動軸４４に接
触している。前記Ｘ動ステージには試料回転ステ
ージ４５が保持されており、試料４６は該回転ス
テージにホルダーを介して保持されている。この
回転ステージにはボールベアリングを介してＸ動
ステージに支持されたシヤフト４７が取付けら
れ、該シヤフトはＸ動ステージの下方に取出され
ている。該シヤフトには傘歯車４８が固定されて
おり、傘歯車４９、回転軸５０を介して試料室外
の回転用摘子（図示せず）に連繋される。前記Ｘ
動駆軸用の軸４４はＹ動ベース３４及び真空筐体
３２を貫通して大気側に取出され、Ｙ動ベースと
一体のＹ動移動板５１の中まで達している。該Ｙ
動移動板は前記Ｙ動ベース３４と筒状の複数本の
支柱５２ａ，５２ｂにより結合されている。該支
柱は真空筐体を移動可能に貫通しており、実際は
多数のボールを含んだ直線ガイドにより真空筐体
に保持されている。該支柱と前記真空筐体３２と
の間は金属ベローズ５３ａ，５３ｂにより真空シ
ールがなされている。支柱５２ａの中にはＺ動駆
動軸５４が移動可能に挿入されており、その真空
内端部付近にはレバー５５が固定してある。該軸
も多数のボールを使用したガイドにより移動が案
内されている。Ｚ動軸とＹ動ベース３４との間に
は金属ベローズ５６が設けられ、移動を許容しな
がら真空シールがなされている。前記Ｘ動駆動軸
４４に嵌挿して同心的に筒状の軸５７が配置さ
れ、二重軸が構成される。該筒状の軸の一端（光
軸Ｚに近い側）にはＬ字型の梃５８が接触してお
り、又他端は前記レバー５５に接触している。二
重軸と各梃との関係は第３図に斜視図で示してあ
る。前記梃５８の他端は試料上下用のステージ４
０に係合しており、前記レバー５５、筒状軸５７
を介して伝達されたＺ動軸５４からの移動をＺ動
ステージ４０に伝える。５９はＸ動駆動軸４４と
真空筐体３２との間に設けられた金属ベローズで
ある。前記真空筐体３２に固定されたフレーム６
１にはＹ動マイクロメータヘツド６０が支持さ
れ、その先端部はＹ動移動板と係合し、Ｙ方向の
ステージ移動がなされる。６２及び６３は夫々Ｘ
動及びＹ動の駆動用マイクロメータヘツドであ
り、Ｙ動移動板５１に取付けられ、各駆動軸４
４，５４に係合している。
上記構成において、先ずＹ動マイクロメータヘ
ツド６０を回転するとＹ動移動板５１がＹ方向に
移動し、Ｙ動ベースが同方向に移動するため、真
空筐体３２を除いた全体がＹ方向に移動する。従
つて、試料４６は電子線光軸に直角なＹ方向に移
動する。次に、Ｘ動駆動用のマイクロメータヘツ
ド６２を回転すると、そのスピンドルの先端が軸
心方向に移動し、Ｘ動駆動用の軸４４がＹ軸方向
に移動する。該移動は梃４３により方向が90度転
換され、第３図から解るようにＸ方向の移動とし
てＸ動ステージ４２に与えられる。又、Ｚ動マイ
クロメータヘツド６３を回転すると、軸５４がＹ
軸方向に移動し、それによつてレバー５５、二重
軸を構成する筒状軸５７が同方向に移動し、該筒
状軸の端面に接触した梃５８に該Ｙ方向の移動が
与えられる。該移動は第３図から解るように梃に
より90度方向が転換されＹとＸと直角なＺ方向の
移動となり、Ｚ動ステージ４０に伝達される。こ
のようにしてマイクロメータヘツド６０，６２，
６３を任意に回転すると試料４６はＸ、Ｙ、Ｚの
方向に自由に移動でき、所望の部所の走査電子顕
微鏡観察が可能である。試料を任意に移動させた
状態において、傾斜したい場合には図示しない摘
子を回転して歯車３７を回すと、歯車３６を介し
て回転ステージ３５がＸ動駆動軸４４の軸心の回
りに回動し、該傾斜ステージ３５に支持されてい
るＺ動ステージ４０及びＸ動ステージ４２が一体
となつてＹ軸の周りに回動する。それによつて試
料４６はＹ軸に関し傾斜し、傾斜観察が可能とな
る。該傾斜時、Ｘ動用及びＹ動用の梃４３及び５
８が傾斜軸心の回りに回転するが該梃は二重軸を
構成する軸４４と筒状軸５７の端面に接しながら
各ステージ４２及び４０と一体に回動するのみ
で、傾斜に際してＸ動やＺ動を生ずることはな
い。従つて、大角度の試料傾斜が可能となる。
ツド６０を回転するとＹ動移動板５１がＹ方向に
移動し、Ｙ動ベースが同方向に移動するため、真
空筐体３２を除いた全体がＹ方向に移動する。従
つて、試料４６は電子線光軸に直角なＹ方向に移
動する。次に、Ｘ動駆動用のマイクロメータヘツ
ド６２を回転すると、そのスピンドルの先端が軸
心方向に移動し、Ｘ動駆動用の軸４４がＹ軸方向
に移動する。該移動は梃４３により方向が90度転
換され、第３図から解るようにＸ方向の移動とし
てＸ動ステージ４２に与えられる。又、Ｚ動マイ
クロメータヘツド６３を回転すると、軸５４がＹ
軸方向に移動し、それによつてレバー５５、二重
軸を構成する筒状軸５７が同方向に移動し、該筒
状軸の端面に接触した梃５８に該Ｙ方向の移動が
与えられる。該移動は第３図から解るように梃に
より90度方向が転換されＹとＸと直角なＺ方向の
移動となり、Ｚ動ステージ４０に伝達される。こ
のようにしてマイクロメータヘツド６０，６２，
６３を任意に回転すると試料４６はＸ、Ｙ、Ｚの
方向に自由に移動でき、所望の部所の走査電子顕
微鏡観察が可能である。試料を任意に移動させた
状態において、傾斜したい場合には図示しない摘
子を回転して歯車３７を回すと、歯車３６を介し
て回転ステージ３５がＸ動駆動軸４４の軸心の回
りに回動し、該傾斜ステージ３５に支持されてい
るＺ動ステージ４０及びＸ動ステージ４２が一体
となつてＹ軸の周りに回動する。それによつて試
料４６はＹ軸に関し傾斜し、傾斜観察が可能とな
る。該傾斜時、Ｘ動用及びＹ動用の梃４３及び５
８が傾斜軸心の回りに回転するが該梃は二重軸を
構成する軸４４と筒状軸５７の端面に接しながら
各ステージ４２及び４０と一体に回動するのみ
で、傾斜に際してＸ動やＺ動を生ずることはな
い。従つて、大角度の試料傾斜が可能となる。
第４図は本発明の他の実施例を示す主要部の斜
視図である。該実施例では三重軸が形成され、試
料のＸ、Ｙ、Ｚの移動を該三重軸の各軸の移動に
より与える構成である。図中、７０はＹ動駆動用
の軸で傾斜軸（Ｙ軸）に沿つて最も中心に配置さ
れ、図示しないＹ動ステージに移動を与える。該
Ｙ動駆動軸にはＸ動駆動用の筒状軸７１が嵌挿さ
れ、その端面には梃７２が係合している。該梃は
Ｘ動ステージに係合し、試料をＸ方向に移動す
る。７３はＺ動駆動用の筒状軸で筒状軸７１に嵌
挿されている。該軸の端面にはＺ動用の梃７４が
係合され、Ｙ方向の移動がＺ方向に変換されてＺ
動ステージに伝達される。これら全体又は梃７
２，７４と各ステージは試料傾斜ステージに保持
されており、任意な傾斜が可能である。この様に
Ｘ、Ｙ、Ｚの移動を三重軸を使用して行なうよう
に構成しても試料傾斜時の各移動軸の相互干渉は
発生せず、正確で大角度の傾斜が可能である。
視図である。該実施例では三重軸が形成され、試
料のＸ、Ｙ、Ｚの移動を該三重軸の各軸の移動に
より与える構成である。図中、７０はＹ動駆動用
の軸で傾斜軸（Ｙ軸）に沿つて最も中心に配置さ
れ、図示しないＹ動ステージに移動を与える。該
Ｙ動駆動軸にはＸ動駆動用の筒状軸７１が嵌挿さ
れ、その端面には梃７２が係合している。該梃は
Ｘ動ステージに係合し、試料をＸ方向に移動す
る。７３はＺ動駆動用の筒状軸で筒状軸７１に嵌
挿されている。該軸の端面にはＺ動用の梃７４が
係合され、Ｙ方向の移動がＺ方向に変換されてＺ
動ステージに伝達される。これら全体又は梃７
２，７４と各ステージは試料傾斜ステージに保持
されており、任意な傾斜が可能である。この様に
Ｘ、Ｙ、Ｚの移動を三重軸を使用して行なうよう
に構成しても試料傾斜時の各移動軸の相互干渉は
発生せず、正確で大角度の傾斜が可能である。
［効果］
以上詳細に説明したような構成となせば、試料
の傾斜時に駆動用のスリーブ等がからみ合うよう
なことがなくなり、大角度で高精度の試料傾斜が
可能となる。又、殆どの部分を転がり接触にする
ことが可能で、従来の様に滑り接触部に潤滑剤を
塗るようなことは必要なく、従つて試料汚染の少
ない試料装置が完成する。又、特にＸ、Ｙ、Ｚの
移動は全て直線的な移動のみを真空室内に導入す
れば良いので、移動機構が簡単で且つ真空シール
として金属ベローズが使用でき、超高真空の試料
室が得られる。従つて、本発明の試料装置はオー
ジエ電子分析装置などの超高真空装置用の試料装
置に利用でき、甚だ効果の高いものである。
の傾斜時に駆動用のスリーブ等がからみ合うよう
なことがなくなり、大角度で高精度の試料傾斜が
可能となる。又、殆どの部分を転がり接触にする
ことが可能で、従来の様に滑り接触部に潤滑剤を
塗るようなことは必要なく、従つて試料汚染の少
ない試料装置が完成する。又、特にＸ、Ｙ、Ｚの
移動は全て直線的な移動のみを真空室内に導入す
れば良いので、移動機構が簡単で且つ真空シール
として金属ベローズが使用でき、超高真空の試料
室が得られる。従つて、本発明の試料装置はオー
ジエ電子分析装置などの超高真空装置用の試料装
置に利用でき、甚だ効果の高いものである。
第１図は従来の走査電子顕微鏡用試料装置の概
略を説明する図、第２図は本発明の一実施例を示
す縦断面図、第３図は第２図における一部分の斜
視図、第４図は本発明の他の実施例を示す主要部
斜視図である。 ３２：真空筐体、３４：Ｙ動ベース、３５：傾
斜ステージ、３６，３７：歯車、４０：Ｚ動ステ
ージ、４２：Ｘ動ステージ、４３，５８：梃、４
４：Ｘ動駆動軸、４６：試料、５１：Ｙ動移動
板、５２ａ，５２ｂ：支柱、５３ａ，５３ｂ：ベ
ローズ、５４：Ｚ動駆動軸、５５：レバー、５
６，５９：ベローズ、５７：筒状軸、６０，６
２，６３：駆動用マイクロメータヘツド。
略を説明する図、第２図は本発明の一実施例を示
す縦断面図、第３図は第２図における一部分の斜
視図、第４図は本発明の他の実施例を示す主要部
斜視図である。 ３２：真空筐体、３４：Ｙ動ベース、３５：傾
斜ステージ、３６，３７：歯車、４０：Ｚ動ステ
ージ、４２：Ｘ動ステージ、４３，５８：梃、４
４：Ｘ動駆動軸、４６：試料、５１：Ｙ動移動
板、５２ａ，５２ｂ：支柱、５３ａ，５３ｂ：ベ
ローズ、５４：Ｚ動駆動軸、５５：レバー、５
６，５９：ベローズ、５７：筒状軸、６０，６
２，６３：駆動用マイクロメータヘツド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子線等の光軸方向をＺ方向、該Ｚ方向に直
角な方向をＹ方向、該Ｚ方向及びＹ方向に直角な
方向をＸ方向と呼ぶとき、Ｙ方向に傾斜軸を有す
る傾斜体を試料室に取付け、共に該傾斜体上に載
置されたＸ方向の移動を与えるステージ及びＺ方
向の移動を与えるステージを備え、該傾斜体を載
置して又は該傾斜体上に載置されてＹ方向の移動
を与えるステージを備え、共にＹ方向に移動可能
な二重軸を前記傾斜体の傾斜軸と同心的に配置
し、該二重軸のうちの一方の軸の光軸側端部と前
記Ｘ方向の移動を与えるステージとの間に該軸の
移動を前記ステージのＸ方向の移動に変換する第
１の梃体を介在せしめ、該一方の軸の他端部をそ
の軸に沿つて押圧する手段を備え、前記二重軸の
うちの他方の軸の光軸側端部と前記Ｚ方向の移動
を与えるステージとの間に該軸の移動を前記ステ
ージのＺ方向の移動に変換する第２の梃体を介在
せしめ、該他方の軸の他端部をその軸に沿つて押
圧する手段を備え、前記Ｙ方向移動ステージを移
動させるための駆動機構を備えることを特徴とす
る電子線装置等用試料装置。 ２ 前記Ｙ方向の移動を与えるステージは前記傾
斜体を載置して備えられている特許請求の範囲第
１項記載の電子線等用試料装置。 ３ 前記Ｙ方向の移動を与えるステージは前記傾
斜体に載置されて備えられていると共に、前記Ｙ
方向の移動を与えるステージを移動させるための
機構は前記二重軸と同心的に設けられ且つその光
軸側端部で該Ｙ方向の移動を与えるステージと接
続されている第３の軸を含む特許請求の範囲第１
項記載の電子線等用試料装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58071107A JPS59196549A (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 電子線装置等用試料装置 |
| US06/601,652 US4587431A (en) | 1983-04-22 | 1984-04-18 | Specimen manipulating mechanism for charged-particle beam instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58071107A JPS59196549A (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 電子線装置等用試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59196549A JPS59196549A (ja) | 1984-11-07 |
| JPH0136667B2 true JPH0136667B2 (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=13450994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58071107A Granted JPS59196549A (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 電子線装置等用試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59196549A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2627065B2 (ja) * | 1987-06-22 | 1997-07-02 | 東芝機械株式会社 | 試料のセット装置 |
| JP5403560B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2014-01-29 | コリア ベイシック サイエンス インスティテュート | 透過電子顕微鏡の、３方向以上から試片を観察し分析するための３軸駆動が可能な試片ホルダー |
| CN115200970B (zh) * | 2022-09-16 | 2023-01-03 | 常州隆斯克普电子科技有限公司 | 一种可旋转持续制冷样品台 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2489589A1 (fr) * | 1980-08-29 | 1982-03-05 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif de reglage de la position et de l'orientation autour d'un axe d'un porte-echantillon pour microscope electronique |
-
1983
- 1983-04-22 JP JP58071107A patent/JPS59196549A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59196549A (ja) | 1984-11-07 |
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