JPH0136706B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0136706B2 JPH0136706B2 JP57031446A JP3144682A JPH0136706B2 JP H0136706 B2 JPH0136706 B2 JP H0136706B2 JP 57031446 A JP57031446 A JP 57031446A JP 3144682 A JP3144682 A JP 3144682A JP H0136706 B2 JPH0136706 B2 JP H0136706B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- fixing table
- main body
- rotating shaft
- sample fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料を真空吸着により固定してボンデ
イングする超音波ワイヤボンデイング装置に関す
る。
イングする超音波ワイヤボンデイング装置に関す
る。
例えば、試料をキヤリアに乗せてボンデイング
位置に搬送するキヤンタイプ又はデイアル・イ
ン・パツケージ（DIP）においては、特開昭56―
87336号公報に示すように、キヤリアより試料を
分離するために、試料固定台が上昇して試料を持
ち上げ、真空吸着により試料を固定し、ツールが
上下及びXY方向に移動して試料にワイヤをボン
デイングし、その後試料固定台が下降して試料を
再びキヤリアに載置するようになつている。
位置に搬送するキヤンタイプ又はデイアル・イ
ン・パツケージ（DIP）においては、特開昭56―
87336号公報に示すように、キヤリアより試料を
分離するために、試料固定台が上昇して試料を持
ち上げ、真空吸着により試料を固定し、ツールが
上下及びXY方向に移動して試料にワイヤをボン
デイングし、その後試料固定台が下降して試料を
再びキヤリアに載置するようになつている。
ところで、上記方法は熱圧着方式であるので、
試料固定台は単に上下動させればよいが、超音波
方式及び超音波熱圧着方式の場合は、試料固定台
は上下動の外に回転動作を行わなければならな
い。このため、試料を真空吸着により固定してボ
ンデイングする方法を超音波方式に採用すること
は困難とされていた。
試料固定台は単に上下動させればよいが、超音波
方式及び超音波熱圧着方式の場合は、試料固定台
は上下動の外に回転動作を行わなければならな
い。このため、試料を真空吸着により固定してボ
ンデイングする方法を超音波方式に採用すること
は困難とされていた。
本発明はかかる背景に立つてなされたもので、
試料を真空吸着により固定する試料固定台を上下
動及び回転させることができ、超音波ワイヤボン
デイングが可能な超音波ワイヤボンデイング装置
を提供することを目的とする。
試料を真空吸着により固定する試料固定台を上下
動及び回転させることができ、超音波ワイヤボン
デイングが可能な超音波ワイヤボンデイング装置
を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２
図は第１図の平面図である。試料１はキヤリア２
に載置されて図示しない搬送手段でボンデイング
位置に送られてくる。ボンデイング位置の下方に
は試料１を吸着する吸着孔１０ａが形成された試
料固定台１０が配設されており、試料固定台１０
の上面には試料吸着時に試料１が密着するように
ゴム材等の軟質材からなる緩衝部材１１が接着固
定されている。試料固定台１０は回転軸１２の上
部に固定されており、回転軸１２は本体１３に軸
受１４を介して回転自在に支承されている。また
回転軸１２の下端は本体１３に固定されたモータ
１５の出力軸１５ａにカツプリング１６を介して
連結されている。また回転軸１２にはモータ１５
の一回転停止のタイミングをとるための検出板１
７が固定されており、この検出板１７に対応して
検出器１８が配設されている。検出器１８は本体
１３に固定されたホルダー１９に固定されてい
る。更に回転軸１２には試料固定台１０と検出板
１７間にブツシユ２０が回転自在に嵌挿されてお
り、このブツシユ２０の上下面には回転軸１２の
摩擦を少なくするためにワツシヤ２１が介在され
ている。またブツシユ２０の内周には真空吸着の
ための溝２０ａが設けられており、この溝２０ａ
に連通するように回転軸１２には貫通孔１２ａが
設けられている。またブツシユ２０には前記溝２
０ａに連通するように外部よりパイプ２２が固定
され、パイプ２２は図示しない真空ポンプにホー
ス２３を介して接続されている。パイプ２２は前
記ホルダー１９の上部に形成されたＵ字溝１９ａ
に嵌挿され、ブツシユ２０が回転しないように回
り止めされている。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２
図は第１図の平面図である。試料１はキヤリア２
に載置されて図示しない搬送手段でボンデイング
位置に送られてくる。ボンデイング位置の下方に
は試料１を吸着する吸着孔１０ａが形成された試
料固定台１０が配設されており、試料固定台１０
の上面には試料吸着時に試料１が密着するように
ゴム材等の軟質材からなる緩衝部材１１が接着固
定されている。試料固定台１０は回転軸１２の上
部に固定されており、回転軸１２は本体１３に軸
受１４を介して回転自在に支承されている。また
回転軸１２の下端は本体１３に固定されたモータ
１５の出力軸１５ａにカツプリング１６を介して
連結されている。また回転軸１２にはモータ１５
の一回転停止のタイミングをとるための検出板１
７が固定されており、この検出板１７に対応して
検出器１８が配設されている。検出器１８は本体
１３に固定されたホルダー１９に固定されてい
る。更に回転軸１２には試料固定台１０と検出板
１７間にブツシユ２０が回転自在に嵌挿されてお
り、このブツシユ２０の上下面には回転軸１２の
摩擦を少なくするためにワツシヤ２１が介在され
ている。またブツシユ２０の内周には真空吸着の
ための溝２０ａが設けられており、この溝２０ａ
に連通するように回転軸１２には貫通孔１２ａが
設けられている。またブツシユ２０には前記溝２
０ａに連通するように外部よりパイプ２２が固定
され、パイプ２２は図示しない真空ポンプにホー
ス２３を介して接続されている。パイプ２２は前
記ホルダー１９の上部に形成されたＵ字溝１９ａ
に嵌挿され、ブツシユ２０が回転しないように回
り止めされている。
前記本体１３はスライダー３０を介してフレー
ム３１に上下摺動自在に取付けられており、フレ
ーム３１はサブベース３２を介してベース３３に
固定されている。また本体１３には一端にカムフ
オロア３４が回転自在に取付けられたアーム３５
が固定され、このアーム３５が上下動可能なよう
に前記フレーム３１には逃げ用長孔３１ａが形成
されている。カムフオロア３４は図示しないモー
タで駆動されるカム軸３６に固定された上下用カ
ム３７に接するように設けられている。そして、
本体１３に設けられたばね掛け３８とフレーム３
１の上面に固定されたばね掛け３９とに引張りば
ね４０がかけられ、本体１３は上方に付勢され、
カムフオロア３４は上下用カム３７に圧接してい
る。
ム３１に上下摺動自在に取付けられており、フレ
ーム３１はサブベース３２を介してベース３３に
固定されている。また本体１３には一端にカムフ
オロア３４が回転自在に取付けられたアーム３５
が固定され、このアーム３５が上下動可能なよう
に前記フレーム３１には逃げ用長孔３１ａが形成
されている。カムフオロア３４は図示しないモー
タで駆動されるカム軸３６に固定された上下用カ
ム３７に接するように設けられている。そして、
本体１３に設けられたばね掛け３８とフレーム３
１の上面に固定されたばね掛け３９とに引張りば
ね４０がかけられ、本体１３は上方に付勢され、
カムフオロア３４は上下用カム３７に圧接してい
る。
次にかかる構成よりなる本装置の動作について
説明する。試料１が図示しない試料送り機構でボ
ンデイング位置に送られてくると、カム軸３６が
回転し、上下用カム３７の低い部分３７ａがカム
フオロア３４に接するようになる。これにより本
体１３は引張りばね４０の付勢力でアーム３５と
上に上昇し、試料固定台１０の上面に設けられた
緩衝部材１１が試料１の裏面に当接して持ち上げ
る。試料固定台１０が試料１に当接する試料固定
台１０の上昇位置は図示しない検出器によつて検
出され、真空ポンプの真空圧がホース２３、パイ
プ２２、溝２０ａ、貫通孔１２ａ、吸着孔１０ａ
を通して作用し、試料１は試料固定台１０に吸着
される。
説明する。試料１が図示しない試料送り機構でボ
ンデイング位置に送られてくると、カム軸３６が
回転し、上下用カム３７の低い部分３７ａがカム
フオロア３４に接するようになる。これにより本
体１３は引張りばね４０の付勢力でアーム３５と
上に上昇し、試料固定台１０の上面に設けられた
緩衝部材１１が試料１の裏面に当接して持ち上げ
る。試料固定台１０が試料１に当接する試料固定
台１０の上昇位置は図示しない検出器によつて検
出され、真空ポンプの真空圧がホース２３、パイ
プ２２、溝２０ａ、貫通孔１２ａ、吸着孔１０ａ
を通して作用し、試料１は試料固定台１０に吸着
される。
この状態で図示しないタイミングスイツチによ
つてモータ１５が回転する。モータ１５の出力軸
１５ａの回転はカツプリング１６、回転軸１２を
介して試料固定台１０に伝達される。これにより
試料１の２つのボンデイング点が超音波発振方向
に一致するように回転させられ、図示しないツー
ルがXY駆動及び上下動して試料１にワイヤボン
デイングが行われる。ボンデイング完了後は前記
と逆の動作によつて試料固定台１０は下降し、ま
た検出板１７の原点位置を検出器１８が検出する
までモータ１５が回転してモータ１５は原点復帰
する。
つてモータ１５が回転する。モータ１５の出力軸
１５ａの回転はカツプリング１６、回転軸１２を
介して試料固定台１０に伝達される。これにより
試料１の２つのボンデイング点が超音波発振方向
に一致するように回転させられ、図示しないツー
ルがXY駆動及び上下動して試料１にワイヤボン
デイングが行われる。ボンデイング完了後は前記
と逆の動作によつて試料固定台１０は下降し、ま
た検出板１７の原点位置を検出器１８が検出する
までモータ１５が回転してモータ１５は原点復帰
する。
このように、試料固定台１０を回転軸１２を介
してモータ１５に直結し、かつ試料固定台１０と
共にモータ１５を上下動可能に構成してなるの
で、試料１を試料固定台１０で真空吸着して超音
波によるワイヤボンデイングを行うことができ
る。
してモータ１５に直結し、かつ試料固定台１０と
共にモータ１５を上下動可能に構成してなるの
で、試料１を試料固定台１０で真空吸着して超音
波によるワイヤボンデイングを行うことができ
る。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、試料をキヤリアより分離して真空吸着によつ
て固定した状態で超音波ワイヤボンデイングを行
うことができる。
ば、試料をキヤリアより分離して真空吸着によつ
て固定した状態で超音波ワイヤボンデイングを行
うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図は第１図の平面図である。 １…試料、１０…試料固定台、１２…回転軸、
１３…本体、１５…モータ、２０…ブツシユ、２
２…パイプ、２３…ホース、３０…スライダー、
３５…アーム、３７…上下用カム。
２図は第１図の平面図である。 １…試料、１０…試料固定台、１２…回転軸、
１３…本体、１５…モータ、２０…ブツシユ、２
２…パイプ、２３…ホース、３０…スライダー、
３５…アーム、３７…上下用カム。
Claims (1)
- １ 上下動可能に設けられた本体と、この本体に
回転自在に支承された回転軸と、この回転軸の上
部に固定され試料を真空吸着によつて固定する試
料固定台と、前記本体に取付けられ出力軸が前記
回転軸の下端に直結されたモータと、前記本体を
上下動させる上下動駆動手段と、前記試料固定台
に真空圧を供給する真空手段とを備えた超音波ワ
イヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57031446A JPS58148431A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 超音波ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57031446A JPS58148431A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 超音波ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58148431A JPS58148431A (ja) | 1983-09-03 |
| JPH0136706B2 true JPH0136706B2 (ja) | 1989-08-02 |
Family
ID=12331473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57031446A Granted JPS58148431A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 超音波ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58148431A (ja) |
-
1982
- 1982-02-26 JP JP57031446A patent/JPS58148431A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58148431A (ja) | 1983-09-03 |
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