JPH0138570Y2 - - Google Patents
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- JPH0138570Y2 JPH0138570Y2 JP12138883U JP12138883U JPH0138570Y2 JP H0138570 Y2 JPH0138570 Y2 JP H0138570Y2 JP 12138883 U JP12138883 U JP 12138883U JP 12138883 U JP12138883 U JP 12138883U JP H0138570 Y2 JPH0138570 Y2 JP H0138570Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は放射線環境下での目視検査を行なう際
に使用されるフアバスコープを利用した検査装置
に於いて、放射線による伝送損失を補償する補償
装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a compensation device for compensating transmission loss due to radiation in an inspection device using a fabric scope used for visual inspection in a radiation environment.
従来、高放射線下の目視検査には、耐放射線型
ITVカメラ、或いは耐放射線型フアイバスコー
プ等が用いられていた。従来のこの種各検査装置
の構成及び問題点を第1図乃至第4図を参照して
説明する。第1図はITVカメラを用いた検査装
置の一部の構成を示したもので、被検査体1の検
査面2(被検査体1の部分的な面、或いは全或)
の目視検査を行なう場合、検査ツール3(対象に
より種々の機械要素より構成されるため、図では
簡略化して示す)によつて、ITVカメラ4を取
り付け、ミラー5等によつて投影される検査面2
を光源6により照射し、目視検査を実施する。 Traditionally, radiation-resistant types have been used for visual inspection under high radiation conditions.
ITV cameras or radiation-resistant fiberscopes were used. The configuration and problems of conventional inspection devices of this type will be explained with reference to FIGS. 1 to 4. Fig. 1 shows a part of the configuration of an inspection device using an ITV camera.
When performing visual inspection of Side 2
is irradiated by the light source 6 and a visual inspection is performed.
しかしながら、このような構成による従来の
ITVカメラを用いた検査装置においては、ITV
カメラ4の寸法、重量大によるところから、検査
ツール3の大きさ、及び強度面からの重量が増大
し、更には、ケーブル類7の引き廻し等によつて
装置構成がかなり大がかりになるという欠点を有
していた。すなわち、検査装置がかなり大きくな
つてしまうという欠点を有していた。 However, the conventional
In inspection equipment using ITV cameras, ITV
Due to the large size and weight of the camera 4, the size and weight of the inspection tool 3 increase in terms of strength, and furthermore, the device configuration becomes quite large due to the routing of cables 7, etc. It had That is, it has the disadvantage that the inspection device becomes quite large.
そこでITVカメラに代り、フアイバスコープ
を用いた検査装置が開発された。すなわち、第2
図に示す如く、検査ツール3に、ITVカメラに
代つてフアイバスコープ8を取り付けた構成とし
たもので、これにより、ITVカメラによつて生
じた上述の欠点を改善していた。 Therefore, an inspection device using a fiberscope was developed to replace the ITV camera. That is, the second
As shown in the figure, the inspection tool 3 has a fiberscope 8 attached thereto in place of the ITV camera, thereby improving the above-mentioned drawbacks caused by the ITV camera.
しかしながら、これら各検査装置においては、
高放射線環境下での影響により感度劣化等の不都
合が生じるという共通の問題があつた。即ち、具
体的な放射線環境下での影響として、第1図に示
したようなITVカメラを用いた場合も、又、第
2図に示したようなフアイバスコープを用いた場
合も同様に、第3図に示す如く、検査時間hによ
り累積される放射線の集積線量Rに対して、
ITVカメラ、或いはフアイバスコープの感度dB、
或いは検査信号上のS/Nが著しく損われるとい
う現象が生じる。このことは検査進行過程上、一
定した検査が事実上不可能であることを示す。 However, in each of these inspection devices,
A common problem was that problems such as deterioration of sensitivity occurred due to the effects of high radiation environments. In other words, as for the effects under a specific radiation environment, the effects of radiation exposure are the same when using an ITV camera as shown in Figure 1, and when using a fiberscope as shown in Figure 2. As shown in Figure 3, for the integrated dose R of radiation accumulated over the examination time h,
ITV camera or fiberscope sensitivity dB,
Alternatively, a phenomenon occurs in which the S/N on the test signal is significantly impaired. This indicates that consistent testing is virtually impossible during the testing process.
ここで、フアイバスコープを用いた検査装置に
ついて、第4図を参照して更に詳細な説明を行な
う。尚、第4図に於いて、上記した第1図、及び
第2図と同一部分に対しては同一符号を付して示
している。フアイバスコープ8は、対物レンズ部
11により検査面2を投影し、フアイバスコープ
8の対面上に設けられた対物レンズ部12によ
り、撮像装置13に検査面2を撮像する構成を採
る。そして撮像装置13により、画像を電気信号
(映像信号)14に変換した上で処理装置(一般
的には画像処理装置)15に入力し、信号処理し
て目視検査を実施するシステムとなつている。こ
のような構成に於いて、実際に放射線環境にさら
されるのは、フアイバスコープ8自身と光源部
6、及び対物レンズ部11である。故に、この部
分6,8,11には放射線による影響から光学的
な伝送損失(主にレンズ透光率低下、フアイバス
コープ伝送損失量増加等)が発生し、目視検査性
能上に於いて著しい影響を与える。 Here, an inspection apparatus using a fiberscope will be described in more detail with reference to FIG. 4. In FIG. 4, the same parts as in FIGS. 1 and 2 described above are designated by the same reference numerals. The fiberscope 8 has a configuration in which an objective lens section 11 projects the inspection surface 2, and an objective lens section 12 provided on the opposite side of the fiberscope 8 images the inspection surface 2 on an imaging device 13. The image is then converted into an electrical signal (video signal) 14 by an imaging device 13, and then input to a processing device (generally an image processing device) 15 for signal processing and visual inspection. . In such a configuration, it is the fiberscope 8 itself, the light source section 6, and the objective lens section 11 that are actually exposed to the radiation environment. Therefore, optical transmission loss (mainly decrease in lens transmittance, increase in fiberscope transmission loss, etc.) occurs in these parts 6, 8, and 11 due to the influence of radiation, which has a significant effect on visual inspection performance. give.
本考案は上記実情に鑑みなされたもので、放射
線環境下での目視検査を行なう際に使用されるフ
アイバスコープを利用した検査装置において、前
記フアイバスコープと該フアイバスコープを介し
て得られる光学像を入力する撮像装置との間に、
光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置の増幅
度、及び被検査体の検査面を照射する光源の光量
を前記撮像装置の入力光量測光信号にもとづき自
動的に制御する構成として、前記撮像装置におけ
る受光感度を一定に保ち、放射線環境下における
伝送損失増加量を自動的に補償できるようにした
補償装置を提供することを目的とする。 The present invention was developed in view of the above-mentioned circumstances, and is an inspection device using a fiberscope used for visual inspection in a radiation environment. Between the input imaging device and
The imaging device includes an optical amplifying device, and automatically controls the amplification degree of the optical amplifying device and the amount of light of a light source that illuminates the inspection surface of the object based on an input light amount photometric signal of the imaging device. An object of the present invention is to provide a compensation device that can maintain a constant light-receiving sensitivity and automatically compensate for an increase in transmission loss in a radiation environment.
以下図面を参照して本考案の一実施例を説明す
る。第5図は本考案の一実施例における要部の構
成を示すもので、図中、第4図と同一部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。ここでは、
フアイバスコープ8の対物レンズ部12と、撮像
装置13の受光面との間に、対物レンズを含む光
量測光部21、及び放射線環境下におけるフアイ
バスコープ8等の伝送損失量を補償するための光
増幅装置としてイメージインテンシフアイヤ22
が設けられる。上記光量測光部21は、第6図に
示す如く、ハーフミラー31、対物レンズ32、
及びフオトセンサ(レンズ内蔵)33等により構
成され、フオトセンサ33より、撮像装置13の
入力光量測光信号Sfを得る構成としている。又、
第5図において、23は制御装置であり、光量測
光部21より得られる測光信号Sfにもとづいて、
イメージインテンシフアイヤ22の光増幅度、及
び光源6の光量を制御し、撮像装置13へ入力さ
れる光学像が常に一定レベル状態となるよう、即
ち、撮像装置13の受光感度を常に一定にすべく
伝送損失量に対する自動補償制御を行なう。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 5 shows the configuration of essential parts in an embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those in FIG. here,
Between the objective lens unit 12 of the fiberscope 8 and the light-receiving surface of the imaging device 13, there is a light amount photometry unit 21 including an objective lens, and an optical amplification unit for compensating the amount of transmission loss of the fiberscope 8 etc. in a radiation environment. Image intensifier 22 as a device
will be provided. As shown in FIG. 6, the light amount photometry section 21 includes a half mirror 31, an objective lens 32,
and a photo sensor (with a built-in lens) 33, etc., and is configured to obtain an input light amount photometry signal S f of the imaging device 13 from the photo sensor 33. or,
In FIG. 5, 23 is a control device, and based on the photometry signal S f obtained from the light amount photometry section 21,
The optical amplification degree of the image intensifier 22 and the light amount of the light source 6 are controlled so that the optical image input to the imaging device 13 is always at a constant level, that is, the light receiving sensitivity of the imaging device 13 is always kept constant. Automatic compensation control for the amount of transmission loss is performed.
ここで一実施例の作用を説明する。フアイバス
コープ8を介して伝送された検査面2上の光学像
はイメージインテンシフアイヤ22、及び光量測
光部21を経て撮像装置13に入力される。この
際、撮像装置13の入力光量が光量測光部21に
て測光され、その測光信号Sfが制御装置23に入
力される。この測光信号Sfは、フアイバスコープ
8の伝送損失量を示す参照信号となるもので、該
測光信号Sfにもとづき、制御装置23は、光源部
6の光量、及びイメージインテンシフアイヤ22
の光増幅度を制御し、撮像装置13へ入力される
光学像が常に最適状態となるよう、即ち、撮像装
置13における受光感度を一定に保つよう、フア
イバスコープ8の伝送損失量に対する自動補償を
行なう。これにより、放射線環境下におけるフア
イバスコープ8等の光伝送損失量が増加し、フア
イバスコープ8より出力される光学像の輝度が低
下しても、これをイメージインテンシフアイヤ2
2にて伝送損失量に応じた適度の光増幅度をもつ
て十分に補償し得、撮像装置13に常に一定した
光学像を入力できることから、安定画像による目
視検査が実施できる。 Here, the operation of one embodiment will be explained. The optical image on the inspection surface 2 transmitted via the fiberscope 8 is input to the imaging device 13 via the image intensifier 22 and the light amount photometer 21. At this time, the input light amount of the imaging device 13 is measured by the light amount photometry section 21, and the photometry signal S f is input to the control device 23. This photometric signal S f serves as a reference signal indicating the amount of transmission loss of the fiberscope 8. Based on this photometric signal S f , the control device 23 controls the light intensity of the light source section 6 and the image intensifier 22.
Automatic compensation for the amount of transmission loss of the fiberscope 8 is performed to control the optical amplification degree of the fiberscope 8 so that the optical image input to the imaging device 13 is always in an optimal state, that is, to keep the light receiving sensitivity in the imaging device 13 constant. Let's do it. As a result, even if the amount of optical transmission loss in the fiberscope 8 etc. increases in a radiation environment and the brightness of the optical image output from the fiberscope 8 decreases, this can be absorbed by the image intensifier 2.
2, the amount of transmission loss can be sufficiently compensated with an appropriate degree of optical amplification according to the amount of transmission loss, and a constant optical image can always be input to the imaging device 13, so that visual inspection can be performed using a stable image.
ここで、実質的な伝送損失量から作用を説明す
ると、フアイバスコープ8は、その特性から、放
射線未照射状態でも〜20dB/100m程度の伝送損
失を発生する。実質光源光量を1ルクスとする
と、(dB=10logA)より、光電面照度は1/100
ルクスに低下している。従つて、放射線による損
失増加量を30dB/100mとすれば、全体で〜
50dB/100m程度となり、1/105にまで低下す
る。よつて光源光量の増大のみでは補償が不可能
であるため、イメージインテンシフアイヤ22を
併用して用いる。これにより、〜10-5ルクス程度
まで受光感度が得られることから、光源6との組
み合わせで十分上記伝送損失に対しての補償が可
能となる。具体的には、
1 光源光量の補償可能範囲
光源光量(平均照度)5000ルクスまで可、
被写体反射率 0.1〜0.2程度
故に、0.1×5000ルクス〜0.2×5000ルクスが可
能。 Here, to explain the effect in terms of the amount of substantial transmission loss, the fiberscope 8 generates a transmission loss of about 20 dB/100 m even in a non-irradiated state due to its characteristics. If the actual light source light intensity is 1 lux, then (dB=10logA), the photocathode illuminance is 1/100
The lux has decreased. Therefore, if the increase in loss due to radiation is 30dB/100m, the overall amount is ~
It becomes about 50dB/100m, which is reduced to 1/10 5 . Therefore, since compensation cannot be achieved only by increasing the amount of light from the light source, an image intensifier 22 is also used. As a result, a light-receiving sensitivity up to about 10 -5 lux can be obtained, so that the combination with the light source 6 can sufficiently compensate for the above-mentioned transmission loss. Specifically, 1. Compensable range of light source light intensity: Light source light intensity (average illuminance) up to 5000 lux is possible.Subject reflectance is about 0.1 to 0.2. Therefore, 0.1 x 5000 lux to 0.2 x 5000 lux is possible.
2 インテンシフアイヤの補償可能範囲
10-5ルクス程度まで可能(自動感度調整機能
付)。2 Compensable range of intensifier up to approximately 10 -5 lux (with automatic sensitivity adjustment function).
この1),2)の実効値より、伝送損失による
補償が十分に可能であることが判る。 From the effective values of 1) and 2), it can be seen that compensation due to transmission loss is sufficiently possible.
以上詳記したように本考案の補償装置によれ
ば、放射線環境下での目視検査を行なう際に使用
されるフアイバスコープを利用した検査装置にお
いて、前記フアイバスコープと該フアイバスコー
プを介して得られる光学像を入力する撮像装置と
の間に光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置の
増幅度、及び被検査体の検査面を照射する光源の
光量を前記撮像装置の入力光量測定信号にもとづ
いて自動的に制御する構成としたことにより、撮
像装置の受光感度を一定に保ち、放射線環境下に
おける伝送損失増加量を自動的に補償して常に安
定した画像による目視検査の実施が可能となる。 As detailed above, according to the compensation device of the present invention, in an inspection device using a fiberscope used for visual inspection in a radiation environment, the fiberscope and the An optical amplification device is interposed between an imaging device that inputs an optical image, and the amplification degree of the optical amplification device and the light amount of a light source that illuminates the inspection surface of the object to be inspected are determined based on the input light amount measurement signal of the imaging device. By adopting a configuration that automatically controls the image pickup device, it is possible to maintain a constant light-receiving sensitivity of the imaging device and automatically compensate for the increase in transmission loss in a radiation environment, making it possible to perform visual inspections with always stable images. .
第1図、第2図及び第4図は、それぞれ従来の
検査装置の構成を示す図、第3図は上記第1図、
及び第2図の構成による検査装置の放射線集積線
量に対する伝送損失特性を説明するための図、第
5図は本考案の一実施例における要部の構成を示
す図、第6図は上記実施例における光量測光部の
構成を示す図である。
6……光源部、8……フアイバスコープ、1
1,12……対物レンズ部、13……撮像装置、
21……光量測光部、22……イメージインテン
シフアイヤ、23……制御装置。
1, 2, and 4 are diagrams showing the configuration of conventional inspection equipment, respectively, and FIG. 3 is the above-mentioned FIG. 1,
2 is a diagram for explaining the transmission loss characteristics with respect to the integrated radiation dose of the inspection device configured as shown in FIG. 2, FIG. FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a light amount photometry section in FIG. 6...Light source section, 8...Fiber scope, 1
1, 12...Objective lens section, 13...Imaging device,
21... Light amount photometer, 22... Image intensifier, 23... Control device.
Claims (1)
コープを用いた検査装置において、前記フアイバ
スコープと該フアイバスコープを介して伝送され
た被検査面の光学像を撮像する撮像装置との間に
設けられた光増幅装置、及び前記撮像装置の入力
光量を測光する光量測光部と、前記被検査面を照
射する光源部と、前記光量測光部の測光出力信号
にもとづいて、前記光増幅装置の増幅度、及び前
記光源部の光量を制御する制御装置とを具備し、
前記制御装置の光量制御及び光増幅度制御によ
り、放射線環境下における光伝送損失増加量を補
償することを特徴とした補償装置。 In an inspection device using a fiberscope for visual inspection in a radiation environment, the fiberscope is provided between the fiberscope and an imaging device that captures an optical image of the surface to be inspected transmitted via the fiberscope. an optical amplification device, a light amount photometry unit that measures the input light amount of the imaging device, a light source unit that irradiates the surface to be inspected, and an amplification degree of the optical amplification device based on the photometry output signal of the light amount photometry unit; and a control device that controls the amount of light from the light source section,
A compensation device that compensates for an increase in optical transmission loss in a radiation environment by controlling the amount of light and controlling the degree of optical amplification of the control device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12138883U JPS6028726U (en) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | compensation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12138883U JPS6028726U (en) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | compensation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028726U JPS6028726U (en) | 1985-02-26 |
| JPH0138570Y2 true JPH0138570Y2 (en) | 1989-11-17 |
Family
ID=30277849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12138883U Granted JPS6028726U (en) | 1983-08-03 | 1983-08-03 | compensation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028726U (en) |
-
1983
- 1983-08-03 JP JP12138883U patent/JPS6028726U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6028726U (en) | 1985-02-26 |
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